本発明は一次ミラー、二次ミラー（４）、その上に二次ミラー（４）の支持部（３）を支える機械構造（２）が位置する、一次ミラーを含む支持ベース（１）、及び光学測定手段を備える光学式宇宙観測システムに関し、前記機械構造（２）は複数のメカニカルアーム（２１〜２６）を備える。
本システムは、支持ベース（１）上に位置する複数のアクチュエータ（５１〜５６）を含むシステム（５）もまた有し、前記アクチュエータは前記メカニカルアーム（２１〜２６）の下端に接続され、そして前記メカニカルアームの上端は二次ミラーの支持部（３）の周辺において前記支持部に接続される。
本発明は打上げロケットに搭載され、軌道に投入されることを目指す宇宙望遠鏡に関する。本発明は特に、展開可能な二次ミラー及び、光学系のアクティブ制御用の手段を有する望遠鏡を対象とする。
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【課題】光学素子を迅速に且つ複数の方向に移動又は変位させることができる光学素子駆動装置、鏡筒、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子駆動装置４２は、第１ミラー２８の周縁部に配置される３つの駆動装置４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃを備えている。これら各駆動装置４１Ａ〜４１Ｃは、第１ミラー２８の光軸２８ａに平行な第１の方向への第１電磁気力と、前記第１の方向に交差すると共に、第１ミラー２８の周縁部に沿った第２の方向への第２電磁気力とを発生する駆動源４５をそれぞれ有している。 （もっと読む）

【課題】コイルに巻回された導線の巻数を増加させて、磁石体とコイルとの間に発生する力を大きくすることができるとともに、コイルの温度上昇を抑制し、また、容量性センサが検出する駆動対象体の変位量に誤差が生じることを抑制することができるアクチュエータを得る。
【解決手段】磁石体２と、磁石体２に嵌合され、一端部がミラー１に取り付けられる第１のシャフト４と、第１のシャフト４に対向して設けられた第２のシャフト５と、第１のシャフト４に取り付けられた第１のセンサ電極１３と、第２のシャフト５に取り付けられた第２のセンサ電極１４と、磁石体２の軸線方向の外側に配置された円筒形状のコイル３と、コイル３を保持したコイル保持手段６と、コイル保持手段６の熱を外部に排出する排熱手段１０と、スペーサ７を介してコイル保持手段６を支持し、第２のシャフト５を支持したベース８とを備えている。 （もっと読む）

ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学系（４７）は、ＥＵＶ使用放射線ビーム（３）を用いて物体視野（１９）を照明するように機能する。事前設定デバイス（６，１０）は、照明パラメータを事前設定するように機能する。照明補正デバイスは、物体視野照明の強度分布及び／又は角度分布を補正するように機能する。照明補正デバイスは、物体視野（１９）の上流で使用放射線ビーム（３）が少なくとも部分的に印加される光学構成要素（１３）を有し、光学構成要素（１３）は、制御方式で駆動することによって変位させることができる。検出器（５０，５３）は、照明パラメータのうちの１つを取得するように機能する。評価デバイス（３１）は、検出器データを評価し、それを制御信号に変換するように機能する。少なくとも１つのアクチュエータ（６１，６２）は、光学構成要素（１３）を変位させるように機能する。露光中に、アクチュエータは、投影露光の期間中の検出器信号を用いて制御され、露光される物体（１８）の方向に物体視野（１９）のエッジに対して８μｍよりも小さい最大変位が保証される。その結果は、精度に対して最も厳しい要求が与えられた場合であっても、事前設定された照明パラメータとの整合性を保証するように用いられる照明光学系である。 （もっと読む）

【課題】振動や衝撃が加わることによって起こる、偏心の悪化やバランス変動を低減し得る光偏向装置を提供する。
【解決手段】光ビームを偏向走査する回転多面鏡２と、回転多面鏡２が取り付けられる受座部３ａを備えたフランジ部材３と、フランジ部材３の受座部３ａに回転多面鏡２を弾性力によって押圧固定するためのバネ部材４と、フランジ部材３を回転駆動する駆動手段とを備えた光偏向装置において、フランジ部材３とバネ部材４とを１つのネジ部材５によって共締めする構成で、フランジ部材３及びバネ部材４の両方にネジ部材５がネジ係合する雌ネジが設けられ、ネジ部材５の雄ネジとのねじ結合によって締結され、バネ部材４とフランジ部材３をセルフタップ式のネジにより両方にタップを切りながら組付けることでスキャナモータの回転中心に対しバネの回転中心とネジの回転中心を略一致させる。 （もっと読む）

【課題】主走査線の波高Δｔを抑制することができる光走査装置、画像形成装置、反射光学素子湾曲方向決定方法を提供する。
【解決手段】走査レンズ４３の反り、湾曲補正機構によって湾曲せしめられる反射鏡４６の書込光反射方向、走査レンズ４３から湾曲補正機構によって湾曲せしめられる反射鏡４６までの間に設けられた反射鏡の数、書込光の進行方向に基づいて、凸面湾曲補正機構を用いるか、凹面湾曲補正機を用いるかを決定する。 （もっと読む）

【課題】光学装置の２つの物体の間に所定の接触力または所定の接触面圧を生成するための方法において、２つの物体の間の高伝熱を単純な方法で確保する。
【解決手段】第１の物体(108)と第２の物体(109)と接続デバイスと(111)を有する光学装置のための接続装置において、第１の物体(108)は、接触領域(110)にて層状様式で第２の物体(109)と接触し、接続デバイス(111)は、第２の物体(109)に接続し、かつ少なくとも１つの接触ユニット(112)を介して第１の物体(108)に接続する。接触ユニット(112)は、複数の分離した接触素子(112.4)を備え、各接触素子(112.4)は、弾性変形したバネユニット(112.5)を介して第２の物体(109)に接続され、接触力への寄与を生成する。 （もっと読む）

【課題】光走査装置の揺動に重畳されるリンギングが、経時的に或いは環境変化により増大し、走査光にむらが生じて描画される画像の品質が低下することを防止する。
【解決手段】光ビームを揺動する反射部により走査する光走査装置１であり、反射部６を揺動させる駆動波形を生成する駆動部２と、駆動波形の生成に使用される波形情報を複数記憶する波形情報記憶部３と、複数の波形情報から一つの波形情報を選定し、選定された波形情報を駆動部に与えて駆動波形を設定する駆動波形設定部４と、反射部６の揺動に重畳されるリンギング量を検出する検出部５とを備え、駆動波形設定部４は、波形情報記憶部３に記憶された複数の波形情報を駆動部２に順次与え、検出部５により検出されたリンギング量が所定値よりも小さくなる波形情報を選定する。 （もっと読む）

【課題】複数方向の被写体を単一の撮像素子にて撮像すると共に、画角の確保、薄型化、高性能化しやすい複数方向撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像光学系１１０１と撮像光学系１１０２を有し、各撮像光学系は、プリズムと、プリズムに入射する光束を制限する開口部を持つ明るさ絞りを備え、各プリズムは入射面、正パワーの反射面、射出面を有し、明るさ絞りはプリズムの入射面の直前に配置され、第１のプリズムの側面と第２のプリズムの側面を向かい合わせ、かつ、各々の側面の間に遮光物を配置するか若しくは側面を拡散面とし、撮像面に対して垂直な方向をＳ軸方向、Ｓ軸方向に直交し２つの撮像光学系が並ぶ方向をＶ軸方向、Ｓ軸方向とＶ軸方向の双方に直交する方向をＨ軸方向とするとき、各明るさ絞りの開口部は、Ｖ軸方向のサイズがそれと直交する方向のサイズよりも小さい。 （もっと読む）

温度制御装置（１９）を用いて、少なくとも１個の光学体（１７）を有する光学アセンブリ（１６）の温度を制御する。光学体（１７）の温度は、熱流に作用されうる少なくとも１つの光学面（１８）を用いて制御する。温度制御装置（１９）は、光学体 （１７）または光学体（１７）と熱的に連結した伝熱体から放出された熱流を受けるヒートシンク（２０）を有する。ヒートシンク（２０）は、光学面（１８）の周辺領域（２２）に隣接配置する。温度制御装置（１９）は、少なくとも１個の加熱体（２９）を備える加熱装置（２８）を有し、加熱体は、光学体（１７）に隣接配置する。加熱体（２９）は、物理的な熱橋部（３２）を介してヒートシンク（２０）に連結する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の波面収差を好適に維持できる光学素子位置調整装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子位置調整装置は、ミラー３３，３５を保持し、且つ鏡筒２９に対してミラー３３，３５を６自由度方向に移動させるべく駆動する駆動部を有するミラー保持装置と、第６ミラー３５のＺ軸方向における位置を計測するための第６軸方向計測器６１Ｆと、第４ミラー３３のＹ軸方向における位置を計測するための鏡筒半径計測器６２及び間隔計測器６３と、各計測器６１Ｆ，６２，６３からの計測結果に基づきミラー保持装置を制御する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 小型化が可能な光学装置を提供すること。
【解決手段】 光学装置２は、基板１０と支柱２０ａ，２０ｂと片持ち梁２２ａ，２２ｂとミラー構造体３８と電極１２ａ，１２ｂを備えている。ミラー構造体３８の表面に形成されているアルミニウム膜３６で光ビームを反射することができる。Ｄ１側に静電引力を作用させると、片持ち梁２２ａ，２２ｂを基板１０に近づく方向に湾曲させることができる。片持ち梁２２ａ，２２ｂの先端に固定されたミラー構造体３８は片持ち梁と同じ方向に傾斜する。ミラー構造体３８を揺動軸２６の周りに揺動させることによって、光ビームの進行方向を大きく変えることができる。片持ち梁２２ａ，２２ｂは揺動軸２６に直交する方向に伸びている。このために、片持ち梁の長さに制限されることなく光学装置２を小型化することができる。 （もっと読む）

リソグラフィ装置（２）は、放射（２００）を提供するように構成された放射源（ＳＯ）と、放射源（ＳＯ）からの放射（２００）を集光するように構成された放射コレクタ（ＣＯ）と、照明システム（ＩＬ）と、ディテクタ（３００）と、を備え得る。ディテクタ（３００）は、コレクタ（ＣＯ）のアライメントに関連して、照明システム（ＩＬ）と固定した位置関係に配置され得る。さらに、コレクタ（ＣＯ）の領域（３１０）は、放射源（ＳＯ）から放たれ、かつディテクタ（３００）に向けてこの領域（３１０）を横断する放射（２００）の一部分を誘導するように構成され得る。ディテクタ（３００）は、放射（２００）の一部における変化を検出するように構成され得る。この変化は、コレクタ（ＣＯ）のアライメントに関連した照明システム（ＩＬ）に対するコレクタ（ＣＯ）の位置または向きにおける変化を示すものであってよい。 （もっと読む）

【解決手段】リソグラフィ装置のモジュール（７０、１７０）内に光学素子（１）を取り付けるように構成されたマウントである。マウントは、光学素子（１）の周縁を支持するように構築され配置された複数の弾性部材（１２）を備える。各弾性部材（２）は、光学素子の周囲で光学素子（１）と係合するように構成された複数の弾性区画（４’、４”、４'''）を備える。各弾性区画は別の弾性区画と独立して屈曲するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 熱的展開を伴う巻尺および前記巻尺を備える展開可能な構造を提供する。
【解決手段】 本発明は、少なくとも２層の堆積を含む巻尺（１０）であって、この巻尺（１０）が複合材料（１１）をベースとした支持層と呼ばれる第１の層と、使用状態において、その要素を巻かれたまたは折り畳まれた位置に維持するために、ポリマーがガラス状態にあるような高いガラス転移温度を有する前記ポリマーをベースとした最上層（１２）と呼ばれる層とを含むことを特徴とする巻尺（１０）に関する。
本発明は、さらに、とりわけ宇宙用途を対象とした前記巻尺を含む展開可能な構造に関する。 （もっと読む）

特にマイクロリソグラフィのための光学装置は光学モジュール（１０４）と、支持構造部（１０９）と、結合装置（１０８）とを備える。結合装置は、第１結合部（１１０．１）と第２結合部（１１０．２）とを有する少なくとも１つの結合ユニット（１１０）を備え、第１結合部は光学モジュールに、第２結合部は支持構造部に結合されている。第１結合部は、第１主曲率（Ｋ１−１）を有する第１接触面（１１０．３）を備え、第１主曲率は第１主曲率軸線（ＡＫ２−１）を規定し、第２結合部は、第２主曲率を有する第２接触面を備え、第１主曲率は第２主曲率軸線を規定する。第２主曲率は第１主曲率に適合されており、組付け状態で第１接触面は第２接触面に接触する。結合装置は、第１結合部および第２結合部に作用する位置決め装置の少なくとも一部を備え、位置決め装置は、組付け状態となる前の調整状態で前記第１接触面と第２接触面との間の狭い間隙を非接触に保持するように構成されており、第１接触面と第２接触面との間における第１主曲率軸線を中心とした補償のための移動は、第１結合部と第２結合部との間における補償のための移動により力作用が生じることなしに可能となる。
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【課題】結像性能の向上が容易な位置決め装置、光学系、露光装置及び光学系の調整方法を提供する。
【解決手段】光学素子２を鏡筒４内に位置決めする位置決め装置３は、光学素子２を支持する第１中間プレート１２０を位置決め部を介して第２中間プレート１２５から分割可能にし、鏡筒４の開口１６０から光学素子２、保持部１１０及び第１中間プレート１２０を一体的に出し入れ可能としている。第２中間プレート１２５を鏡筒４内に固定することによって修正加工された光学素子２を鏡筒４内に戻した際の位置再現性を向上している。 （もっと読む）

【課題】人目を気にしながら侵入しようとする者の警戒心を高めると同時に、敷地３内に居る家人の視野を広げ又は家人の死角を減少させて、家人の監視可能範囲を広げる。
【解決手段】エントランスポール１１は、住宅の戸外であって住宅に隣接する道路２に面する箇所に設置され、エントランスポール１１の外面のうち少なくとも二側面各々に設けられた第１のミラー２２及び第２のミラー２３を備え、第１のミラー２２は道路２上の人から見て当該人の姿を映し出すように向けられ、第２のミラー２３は住宅の敷地３内から見て道路２及び住宅への往来に使用する敷地内の通路６を映し出すように向けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイス露光装置等の精密光学機械において、光学素子の変形を抑制することのできる光学素子保持機構等を提供する。
【解決手段】光学系鏡筒内のミラー１（光学素子）は、３組の保持部材セット１０で保持されている。これら保持部材セット１０は、ミラー１側周面に１２０°振り分けられて分散配置されている。保持部材セット１０は、リングに連結される連結部材１８を備えている。連結部材１８の内側には、ミラー１側周面に接着剤１７で接着される接着部材１６と、この接着部材１６からミラー１の周方向の双方向にそれぞれ延びる２枚の板バネ１１とが設けられている。板バネ１１は、２枚のバネ片１２が剛体片１３を挟んで直列に接続されてなる。板バネ１１はミラー１の径方向に容易に変形できる。そのため、ミラー１の不均一な局所変形を小さく抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーチップと電極基板とが高い間隔精度で貼り合わせられるマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、マイクロミラーチップ１１０と、電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０の間に接して配置されて両者の間隔を制御する中間部材１５０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０を接合する複数の接合部材１７０とから構成されている。中間部材１５０は、接合部材１７０を収容する複数の貫通孔１５２を有し、その上下面には逃げ溝１５４Ａと逃げ溝１５４Ｂがそれぞれ形成されている。逃げ溝１５４Ａと逃げ溝１５４Ｂは、それぞれ、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０と共働して、接合部材１７０の接合余剰物質を貫通孔１５２から排出するための排出経路を形成する。 （もっと読む）