【課題】個別に制御可能である素子のアレイにおける素子の動作を改良する。
【解決手段】個別に制御可能である素子のアレイにおける素子を制御する方法が提供される。この方法は、素子を駆動する駆動電圧の周波数を変化させることを含む。 （もっと読む）

【課題】
収差補正上好ましい計測位置と実際の計測位置を一致させた光学素子の位置決め装置を提供する。
【解決手段】
本発明の光学素子の位置決め装置は、光学素子２を含む可動部と、可動部を駆動する駆動機構１００と、光学素子２の位置を計測する位置計測センサ１３０と、位置計測センサ１３０による計測結果に基づき駆動機構１００を制御する光学素子制御手段１０とを備え、光学素子２に中心画角の主光線が入射する入射位置（ｐ点）は、光学素子２を含む光学系の光軸からずれており、位置計測センサ１３０は、光軸に直交する方向における入射位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】振動部と磁性体とを設計する際の設計自由度を確保することができ、振動部と磁性体とを接合した際の接合強度および寸法精度が高いアクチュエータ、および、かかるアクチュエータを有する画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、回動可能に支持された可動板２１と、可動板２１に設けられた磁石２１２と、磁石２１２の近傍で、通電により磁界を発生させるコイル２１２とを備えている。磁石２１２は、可動板２１に接合膜５ａを介して接合されており、接合膜５ａは、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜５ａは、その少なくとも一部の領域にエネルギを付与したことにより、接合膜５ａの表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜５ａの表面の領域に発現した接着性によって、可動板２１と磁石２１２とを接合している。 （もっと読む）

【課題】ヘリオスタット３に取付けられる反射鏡（ファセット３１）を擬似的に回転円錐曲線面に合わせる作業を、効率的且つ簡易な取付調整を行うようにする。
【解決手段】太陽光集光用のヘリオスタット３を構成している反射鏡（ファセット３１）の取付姿勢測定装置であって、ファセット３１に入射する前記レーザ光が、太陽光の入射角度と同じ角度で入射する位置に設置されたレーザ光送信部１と、前記ファセット３１の形成する擬似的な曲面の焦点に据付けたレーザ受光板２１から構成した。 （もっと読む）

この装置は、真空雰囲気に設けられた光学素子の温度を制御するための役割を果たす。装置は、光学素子から離間して配置されており、放射熱伝達によって光学素子を冷却するための冷却器を備える。制御器は放射冷却部の温度を制御するための役割を果たす。さらに装置は光学素子を加熱するための加熱部を備える。加熱部は、加熱部の温度を制御するために制御器に接続されている。得られる温度制御装置は、特にＥＵＶマイクロリソグラフィ装置の光学素子に用いることができ、光学系の安定した性能をもたらす。
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【課題】 反射面へのデブリの付着を低減しつつＤＰＰ発散光を集光させることのできる光源ユニット。
【解決手段】 光源ユニットは、標的材料をプラズマ化し、該プラズマからＥＵＶ光を放出する光源本体と、貫通孔を有する第１反射鏡（１２ａ）と、光源本体と第１反射鏡との間の光路中に配置された第２反射鏡（１２ｂ）と、光源本体から放出されるデブリを第１反射鏡と第２反射鏡との間の光路中において除去するためのデブリ除去機構（２５，２６）とを備えている。光源ユニットは、ＥＵＶ光を、第１反射鏡の反射面、第２反射鏡の反射面、および第１反射鏡の貫通孔を介して、所定の位置に集光する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、鏡の余分なストレスによる鏡面の変歪を防止できる鏡支持装置を得る。
【解決手段】この鏡支持装置は、矩形形状の保持枠部材の内側に収められた矩形状の鏡１を支持する支持体を有する鏡支持装置において、支持体は、鏡１が鉛直方向に載置されたときの鏡の下側部と保持枠部材の下側部との間に設けられ鏡１の重量を支持する重量支持体７を有しており、この重量支持体７は、鏡１の周縁部に設けられたパッド１４ａと、このパッド１４ａと保持枠部材の下側部との間に設けられ両面が共に平滑面である複数の平板１４ｂ，１４ｃが積層された積層パッドとを有している。 （もっと読む）

【課題】製造工程中に含めることが可能であり、光学部品の位置や角度を高精度に設定することが可能な光学部品取付面の形成方法を提供する。
【解決手段】光学部品取付面の形成では、まず光学部品の実装位置３１には複数の突起３２が形成されたハウジング１１を用意する。次に、ハウジング１１をプレス装置４０のテーブル４１上にセットし、ハウジング１１の突起３２のプレス工程を行う。プレス工程では、プレスヘッド４２を真っ直ぐに降下させて、光学部品の実装位置３１に設けられた突起３２の先端を押し潰し、ハウジングの底面（基準面）３６に対して平行な平面を形成する。これにより、多少の高さばらつきがある突起の高さは均一化され、基準面に対する平行性も高精度に確保される。 （もっと読む）

【課題】低い特定の熱伝導性の材料で製造られた熱負荷を受ける本体に対する温度補償装置において、熱負荷を受ける本体内の熱分布が、熱変形のリスクがなく、且つ、低熱膨張係数の効果を劣化させない装置を提供する。
【解決手段】一つ以上の熱分配体を有する熱分配デバイスが、熱負荷を受ける本体１と熱分配体１１との間にギャップ１８が存在するように熱負荷を受ける本体の表面に接合しており、ギャップは機械的な分離に関連して、熱負荷を受ける本体と熱分配との熱的結合のために流体１７で充填される。 （もっと読む）

【課題】
薄型、軽量、高輝度、輝度均一性の高いバックライトユニットおよびこれを用いた映像表示装置を提供すること。
【解決手段】
本発明に係る映像表示装置は、平面状に配置された複数の光源（１）と、該光源からの光を反射する反射部（３、４）と、前記光源及び前記反射部で反射されて光を拡散する拡散部（５）と、前記光源、反射部及び拡散部を保持もしくは支持するシャーシ（２）を含むバックライトユニット（２０）と、前記バックライトユニットの前記拡散部で拡散された光が入射される液晶表示部（１５）とを備える。そして、前記反射部は、少なくとも２個以上の位置決め用の突起形状（６）を有し、前記シャーシは、前記反射部を位置決めするための、少なくとも２個以上の穴部（７）を有する。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、振動や衝撃等が加わってもヒンジ部が折損しにくいようにし、耐振動・耐衝撃性能を向上させる。
【解決手段】可動構造体としての光走査ミラー素子１は、２つのヒンジ部３によりフレーム部４に可動板２を揺動可能に軸支して成っている。各ヒンジ部３の両側部近傍部位には、それぞれ、フレーム部４から可動板２に向け略水平に突設された側部ストッパ８ａが設けられている。また、ヒンジ部３の下方には、フレーム部４から突設された下部ストッパが設けられている。外部から振動や衝撃が加わったとき、ヒンジ部３が側部ストッパ８ａ、下部ストッパに接触し可動板２の異常変位が妨げられるので、ヒンジ部３の折損が防止される。 （もっと読む）

少なくとも4つの方向に旋回することが可能な2軸ミラーの配列を有する制御式反射装置について示した。小型ミラー配列の各小型ミラーは、ヨークによるねじれ軸によって支持され、このヨークは、同一平面上にある第2の直交ねじれ軸によって、ミラー配列支持に取り付けられる。ミラーおよびヨークは、全てのミラー／ヨーク組立体に共有されるミラー配列支持上の共通ノードに対して導電性である。各ミラー／ヨーク組立体の下側では、ミラー配列支持は、相互に、およびミラー／ヨーク組立体に対して、電気的に絶縁された4つの板領域を有する。ミラー配列支持内のドライバスイッチからの電気信号に応答して、これらの板領域は、組毎に駆動され、共通ノードに対応した電場が選択的に提供される。この電場は、ミラーおよびヨークを引き寄せ、これによりミラー／ヨーク組立体の所望の反射状態への動きが容易となる。
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【課題】２軸駆動方式のビーム照射装置において、目標領域におけるビームの照射位置を、簡素な構成にて円滑に検出できるようにする。
【解決手段】ミラーホルダ１０の支軸１２に平行平板状の光屈折素子１７を装着し、光屈折素子１７を挟む位置に半導体レーザ２０５とＰＳＤ２０６を配置する。ミラー１５の回動に伴って光屈折素子１７が回動し、これにより、ＰＳＤ２０６の受光面上におけるレーザ光の照射位置が変位する。受光面上におけるレーザ光の照射位置は、ミラー１５の回動位置に対応する。よって、ＰＳＤ２０６からの出力をもとに、ミラー１５の回動位置を検出でき、さらには、目標領域内におけるレーザ光のスキャン位置を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】光学素子、コネクタ素子及び光学素子ホルダを含む光学素子ユニットが提供される。
【解決手段】光学素子は主延長平面並びに外円周を有し、かつラジアル方向を規定する。コネクタ素子は光学素子と光学素子ホルダを接続し、コネクタ素子は外円周で光学素子に接続される第一のコネクタ部及び光学素子ホルダに接続される第二のコネクタ部を有する。第一のコネクタ部と第二のコネクタ部は少なくとも１つのカップリング部を通じて接続され、カップリング部はラジアル方向に柔軟性を持ち、主延長平面に対する略平行平面における第一のコネクタ部と第二のコネクタ部との間の回転を実質的に防止する。 （もっと読む）

【課題】画像投影光学ユニットを鉛直方向に移動させることなく、ピント調整（投影距離調整）ができる画像投影表示装置の調整方法を得る。
【解決手段】スクリーンと直交する方向に画像投影光学ユニットを移動させるステップと、小ミラーをスクリーンと平行な方向と直交する方向の少なくとも一方に移動させるステップとを組み合わせてピント調整を行う調整方法。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減を図れ、容易に製造できる光学部品用筐体、およびプロジェクタを提供すること。
【解決手段】光学部品用筐体（２５）は、内部に向けて貫通する複数の孔を有し、複数の光学部品が内部に収納配置される容器状部材（２５Ａ）および蓋状部材（２５Ｂ）で構成される筐体本体と、複数の光学部品を筐体本体内の所定位置に位置決めする複数の位置決め部材（２５３）を備える。複数の位置決め部材（２５３）は、複数の孔に挿通されて光学部品と当接し、光源から射出される光束の照明光軸上の所定位置に光学部品を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】撮像装置及び撮像方法において、結像光学系の光軸前方に存在する遮蔽物に起因するケラレの発生を防止する。
【解決手段】撮像対象領域から入射する光束を結像して撮像する撮像装置１において、互いに所定間隔をもって入射した複数の光束を５ａ，５ｂ反射させる反射光学系（２）と、結像部（４）及び反射される複数の光束５ａ，５ｂを結像部（４）に導く光束合成部（３）を有する結像光学系とを備える構成とする。 （もっと読む）

前駆体オブジェクトをユニタリセラミックオブジェクトに変換するためのプロセスは、例えば、少なくとも２つの部片から形成される例えばセラミックの光学走査ミラーを製造する。光学セクションが少なくとも１つの光学表面と少なくとも１つの付着表面とを有し、支持セクションが少なくとも１つの付着表面を有し、また好ましくは取付け区域を有する。光学セクション及び支持セクションは、選択された支持セクションが様々なサイズ、形状、又は方向を有する複数の光学セクションのいずれをも受け入れるように、グラファイトなどの前駆体の材料から個別の部片として形成される。ミラーを形成するために、付着表面を互いに隣接して置き、次いでこれらのセクションを炭化珪素などのセラミック材料に同時に変換し、モノリス走査ミラーを形成する。 （もっと読む）

【課題】 希薄な太陽光を用いた吸収冷凍サイクルにおいて実用に耐えるレベルの冷凍能力を有する除湿冷房装置を提供する。
【解決手段】 最上部に吸収剤となる塩化カルシウム１６を収容する吸収剤収容部１７を有し前記吸収剤収容部１７の下部から長手方向に沿って下方へとナイロンの交ラク体であるヘチマロン１８が螺旋状に配設された除湿塔１３，１４，１５と、前記除湿塔１３，１４，１５内へと略１．５気圧で加圧して大気を送り込む高圧ブロアー１２と、前記除湿塔１３，１４，１５を通過した大気を水に接触をさせない状態で散水して冷却を行う冷却塔２４，２５とを備え、除湿効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、鏡筒内にミラーを取り付けるためのミラー取付構造、このミラー取付構造を用いた投影光学系および露光装置に関し、ベースプレートに固定されるミラーの変形を容易，確実にチェックすることを目的とする。
【解決手段】 ミラーの外周に配置されるミラー支持部を、弾性変形可能な支持部材を介してベース部材に支持してなるミラー取付構造において、前記ミラー支持部にミラー位置基準部材を配置するとともに、前記ベース部材にベース部材位置基準部材を配置してなることを特徴とする。 （もっと読む）