【課題】照明光学系のミラーに直接触れることなくミラーが交換可能なミラー着脱装置を提供する。
【解決手段】平面ミラー４に取り付けられた複数の支持部６を支持機構７を介して筐体９に固定し、支持機構７によりそのミラー曲率を調整するミラー曲率調整機構５の平面ミラー４を着脱するミラー着脱装置１であって、平面ミラー４の表面部を覆う表部材２と、平面ミラー４の裏面部を覆う裏部材３とで形成され、表面部材２及び裏部材３により平面ミラー４を覆った状態で支持機構７に対して着脱可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】画像形成のためにレーザビームを感光体ドラム上に照射する光走査装置において、折り返しミラーの曲げ振動起因のビームスポット位置変動を抑制する。
【解決手段】折り返しミラー１０１の両端部が、光走査装置の光学箱の底面に設けられた２つの座面部材１０２ａ，１０２ｂで該折り返しミラー１０１の反射面を傾斜させて支持した状態で固定されており、折り返しミラー１０１の２つの座面部材１０２ａ，１０２ｂ間の長手方向所定箇所で該折り返しミラー１０１を前記光学箱の底面方向に押える振動抑制治具１０４を有する。 （もっと読む）

反射屈折投影対物系は、複数のレンズ及び少なくとも１つの凹ミラー（ＣＭ）を有し、更に、物体視野から凹ミラーに延びる部分ビーム経路を凹ミラーから像視野に延びる部分ビーム経路から分離するための２つの偏向ミラー（ＦＭ１，ＦＭ２）を有する。偏向ミラーは、第１の方向（ｘ方向）と平行に延びる傾斜軸の回りに投影対物系の光軸（ＯＡ）に対して傾斜される。第１の偏向ミラーは、第１の視野平面に対して光学近接に配置され、第２の偏向ミラーは、第１の視野平面に対して光学的に共役な第２の視野平面に対して光学近接に配置される。これらの視野平面の間に配置された光学結像系は、第１の方向に−１に近い結像スケールを有する。第１の位置と第１の位置に対して変位距離だけオフセットされた第２の位置との間の第１の方向と平行な偏向ミラー（ＦＭ１，ＦＭ２）の同期変位のための変位デバイス（ＤＩＳＸ）が設けられる。投影対物系を通じて進む投影放射線ビームは、偏向ミラーの第１の位置において第１の反射領域内で反射され、偏向ミラーの第２の位置において、第１の方向と平行に第１の反射領域に関して上述の変位距離だけ横にオフセットされた第２の反射領域内で反射される。偏向ミラーは、第１の反射領域と第２の反射領域とで異なる局所反射特性分布を有する。それによって視野効果、例えば、視野均一性の能動的操作又は波面の能動的操作が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 複数の反射光学素子のうちの１つを光路中に位置決めする装置であって、各反射光学素子を容易に交換することのできる素子切換装置。
【解決手段】 複数の反射光学素子（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ）のうちの１つを光路中に位置決めする素子切換装置（３０）は、光路側とは反対の側から複数の反射光学素子を着脱自在に取り付け可能な本体部（３０ａ）と、本体部に取り付けられた複数の反射光学素子から選択された１つの反射光学素子を光路中に位置決めするために本体部を駆動する駆動部（３０ｃ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】反射型光学素子の傾き調整を行っても、投影映像と反射面の位置関係のズレが少ない保持構造を備えた画像投影装置を実現する。
【解決手段】反射型光学素子６を角度調節可能に保持固定する保持構造を有し、反射型光学素子は、外周部に投影映像画面の中心光軸に直交し投影映像画面の一辺に平行な第１の方向に軸芯を持つガイド軸１１，１２を有し、ガイド軸を第１保持部材２０に設けた溝部２１，２２に回転可能に保持され、第１保持部材２０は、外周部に第１の方向と直交する方向の第２の方向に設けられ投影映像画面の中心光軸に直交する軸芯を持つガイド軸２４，２５を有し、ガイド軸を第２保持部材３０に設けた溝部３１，３２に回転可能に保持される構造であり、反射型光学素子のガイド軸と第１保持部材のガイド軸の軸芯は、反射型光学素子の反射面と投影映像画面の中心光軸とが交わる点に接するように構成した。 （もっと読む）

【課題】信頼性および耐久性の高いミラー位置調整装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ミラー位置調整装置は、パルスモーターから伝達される動力によって回転するとともに、ＶＩＰＡ板などの光部品から出射された光を受光可能な受光面を有するステージを有する。また、ミラー位置調整装置は、ステージの受光面上に設けられ、ステージが回転することで移動するとともに、光部品から出射された光を反射させるミラーを有する。また、ミラー位置調整装置は、一端をステージに、他端を支持部材に接続され、受光面に対する垂線と平行になるようにステージに接続されたシャフトを有する。 （もっと読む）

【解決手段】
可動反射要素１１０と、関連づけられたアクチュエータ１０９とを備える光学装置が開示される。アクチュエータは第１磁石１１３と第２磁石１１４とを備える。第１磁石１１３は、その第１磁石が動くことにより可動反射要素が動くよう可動反射要素に接続される。第２磁石１１４は、モータ１１６の動作によりその第２磁石が動くようモータに接続される。第２磁石は、その第２磁石が動くことにより第１磁石が動くよう第１磁石に対して配置される。 （もっと読む）

【課題】光学素子が回転する間、該光学素子を安定させることができるガルバノメータスキャナを提供する。
【解決手段】ガルバノメータスキャナが、光学素子の遠位端と係合される機械支持ユニットを備える。光学素子の近位端は回転式電動モータの出力シャフトに接続される。機械支持ユニットは、光学素子の回転軸と、回転式電動モータの回転軸との位置合わせを維持する。機械支持ユニットは、支持構造と、光学素子の遠位端に係合される機械取付具とを備える。軸受は機械取付具のシャフトを機械支持構造と係合させる。 （もっと読む）

ＥＵＶまたはＵＶリソグラフィ装置の部材（４００）の２つの部位（４０１、４０３）の接合を改善し、時間経過にともなって接合部位（４０１、４０３）における追加的な応力が生じる蓋然性を低減させる。ＥＵＶまたはＵＶリソグラフィ装置の部材（４００）が、接着材料（４０５）で互いに接合される２つの部位（４０１、４０３）を有し、前記接着材料（４０５）が、当該接着材料（４０５）を周囲のガス環境から絶縁する保護層（４０７）で覆われる。 （もっと読む）

【課題】減圧封止環境下で好適に使用可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、可動ミラー１１２を有するマイクロミラーチップ１１０と、マイクロミラーチップ１１０に対向して配置される電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間に配置されてマイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを接合するハンダバンプ１５０とを有している。マイクロミラーチップ１１０はまた４つの薄膜永久磁石１２４を有している。電極基板１３０はまたシート状永久磁石１３８を有している。シート状永久磁石１３８と薄膜永久磁石１２４は互いに引き合うことにより、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とハンダバンプ１５０が相互に密着される。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、しかも短時間で光学部品の位置調整を行うことが可能な、光学部品の固定構造を提供する。
【解決手段】画像を投影する光学部品を、保持部材を介して載置台に固定される光学部品の固定構造において、前記載置台に突設した突設部と、前記保持部材に設けられ、前記突設部が６軸方向に移動可能且つ遊貫自在に嵌合している第１の貫通孔と、前記保持部材の載置台と対向しない面に固定された板状の調整プレートと、該調整プレートの前記保持部材に設けられた貫通孔と対向する位置に設けられ、前記突設部が６軸方向に移動可能且つ遊貫自在に嵌合している第２の貫通孔と、を有し、前記第１の貫通孔、前記第２の貫通孔と前記突設部の位置関係を調整し、該調整した位置で、前記突設部の前記調整プレートからの突出部と、前記調整プレートとを接着剤によって固着し、前記光学部品を載置台に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】自由空間伝搬を用いた光通信装置の入力部または出力部に用いて通信光の光軸合わせを高い周波数応答性で行なうことができる可動鏡機構を提供する。
【解決手段】保持基板２６に固定された反射鏡２７と、保持基板２６を動かして、その法線方向の方位を調整するアクチュエータ２３と、上記保持基板と枢結し、上記アクチュエータと上記保持基板を連接させるための引っ張り手段２２と、引っ張り手段２２とアクチュエータ２３とを持設する支持基板２１と、上記アクチュエータを制御する制御器と、を備えるものである。上記引っ張り手段と上記保持基板とを、円環状の板ばね等の回転対称性を有する板バネ、圧縮バネあるいは引っ張りバネなどで枢結してもよい。上記の制御器は、保持基板２６と引っ張り手段２２とを枢結する部分が不動点であるように上記アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられた固定電極と可動ミラーに設けられた可動電極とが可動ミラーの揺動軸と電極面が垂直となっている光学装置において、固定電極と可動電極の電極面を大きくすることと、可動ミラーのミラーサイズを大きくすることとを両立させる。
【解決手段】可動ミラーの下方に、可動ミラーが揺動する揺動軸と電極面が垂直となるように固定電極と可動電極を設置する。可動電極は可動ミラーの下面から下方に延びており、固定電極は基板から可動電極に向けて延びている。可動電極と固定電極が可動ミラーの下方に設けられるため、可動電極を設ける領域を可動ミラーの表面に確保する必要がない。材料基板の面積に対してミラー面積を大きく取ることができ、開口率を大きくすることができる。固定電極と可動電極は、可動ミラーの揺動角の検出装置や、静電駆動式アクチュエータとして利用できる。 （もっと読む）

【課題】従来の反射ミラー駆動機構は、コイル磁石から発生される磁力の向き及び大きさを制御して反射ミラーの角度を決定してレーザ光線を走査させるので、より確実に反射ミラーを回転揺動させるためにヒンジの反発力よりも大きな駆動力が必要となり、消費電力が大きくなっている。
【解決手段】本発明による反射ミラー駆動機構では、反射ミラー３０は、フレクチャヒンジ体２０を介して枠体１０に取付けられている。フレクチャヒンジ体２０には、トルカ４０と角度検出器５０とが設けられており、駆動制御部６０は、角度検出器５０からの角度信号５０ａに基づいてとるか４０への入力電流６０９ａを制御して、反射ミラー３０を共振周波数ｆ_０で回転揺動させる。 （もっと読む）

【課題】光線束を案内するためのミラーにおいて、ミラーの熱放散装置の熱放散能力を改善する。
【解決手段】光線束を案内するためのミラー（８；４４）は、ベース（２１；４５）と、ベース（２１；４５）の反射面（１９）におけるミラー（８；４４）の反射性を増大させるコーティング（２２）と、コーティング（２２）に溜まった熱（２３）を放散させるための熱放散装置（２４）とを備える。熱放散装置（２４）は少なくとも１つのペルティエ素子（２５）を有し、コーティング（２２）は、ペルティエ素子（２５）に直接に塗布される。 （もっと読む）

【課題】 像を反転する鏡でありながら、薄くて持ち運びに便利でコンパクトな鏡を提供する。
【解決手段】 第１の方向の断面では物体面と反対側に凸面を向けた非球面であり、前記第１の方向に直交する第２の方向の断面では平面である透過光学素子と、前記透過光学素子に対して物体面と反対側に配置した反射光学素子と、を有し、前記物体面から出射した光束は、前記透過光学素子を経て、前記反射光学素子で反射され、前記反射光学素子側から前記透過光学素子を通過し、瞳で結像することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】受光部にて受光される背景光ノイズを低減すると共に、対象物からの微弱な戻り光を受光部にてより的確にとらえ、且つ、装置の小型化等を図る。
【解決手段】光学装置１０は、レーザ光源１２及びコリメートレンズ１４と、コリメートレンズ１４から出射されたレーザ光の反射角度を変更するように回動可能とされると共に、両面が反射面２６Ａ，２６Ｂとされて一方の反射面２６Ａでコリメートレンズ１４から出射されたレーザ光を反射し他方の反射面２６Ｂで対象物からの戻り光を反射する走査ミラー２６を有して構成されたメムスミラー１６と、一方の反射面２６Ａで反射されたレーザ光が他方の反射面２６Ｂの向く側に出射されるように、一方の反射面２６Ａで反射されたレーザ光を複数回反射させて対象物に向けて出射させる光線方向変換鏡１８と、他方の反射面２６Ｂで反射された戻り光を受光する結像レンズ２０及び受光素子２２と、を備えている。 （もっと読む）

ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学系は、放射線源から物体視野に照明光ビームを誘導するのに使用される。少なくとも１つのＥＵＶミラー（１３）は、照明光ビームを形成するための非平面ミラートポグラフィを有する反射面（２９）を有する。ＥＵＶミラー（１３）は、その前に配置された少なくとも１つのＥＵＶ減衰器を有する。ＥＵＶミラー（１３）の反射面（２９）に対面する減衰器面は、ミラートポグラフィを補完するように設計された減衰器トポグラフィを有し、それによって減衰器面のうちの少なくともある一定の区画は、反射面（２９）から一定の間隔の位置に配置される。その結果は、可能な限り少ない望ましくない放射線損失しか伴わずに物体視野にわたる照明パラメータ、例えば、照明強度分布又は照明角度分布の望ましくない変化を補正することができる照明光学系である。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの磁石（２２）を備える投影露光システム用のアクチュエータであって、磁石を、マイクロ技術製造法により製造した磁石保持板（１２）で封入及び／又は支持し、これは、移動マニピュレータ表面（２３）を、付加的な接続材料を用いずに一体接続又は結合接続により磁石保持板で保持することにより、確実な接続を得るような方法で行う。 （もっと読む）

【課題】ビジネス、教育、行政及び／又は娯楽用途のためのデジタルプロジェクター等の投映装置の光トンネルの保持と調整を可能にする。
【解決手段】光トンネル組立物の光トンネル６１０を保持及び心合せする光トンネル保持調整機構６００は、第１軸において光トンネルの心合せを調整すると共に第１軸の所定位置に光トンネルを固定状態で保持するコンプライアントばね力を付与するように、第１表面に沿って光トンネルと当接する１個以上の第１コンプライアントばねフィンガー６４０を含む。光トンネル保持調整機構は、更に、第２軸において光トンネルの心合せを調整すると共に第２軸の所定位置に光トンネルを固定状態で保持するコンプライアントばね力を付与するように、第２表面に沿って光トンネルと当接する１個以上の第２コンプライアントばねフィンガー６４５を含む。光トンネル保持調整機構は単体で形成してもよい。 （もっと読む）