【課題】非共振周波数で駆動する静電駆動型ミラーデバイスにおいて、振れ角を大きくする。
【解決手段】２軸ミラーデバイスにおいて、第二の可動フレーム８を動かすアクチュエータ１３が、第一と第二の２つのアクチュエータ９，１３から構成されており、可動フレームの回転角がゼロである状態からは第一のアクチュエータ９で第二の可動フレーム８を回転させはじめ、特定の回転角までいったところで第二のアクチュエータ１３で第二の可動フレームを回転させることで非共振駆動でも大きな振れ角を得る。 （もっと読む）

【課題】封止基板の接合での気密封止パッケージで発生する内部応力による振動デバイスの共振周波数の変化やばらつきを低減し、安定した特性の機能素子パッケージを提供するものである。
【解決手段】第１の材料基板に対し、支持フレーム２０、梁３３及び振動部３０を含む複数の機能素子１０と、各支持フレーム２０を連結する連結部と、を有する機能素子ウエハを形成し、第２の材料基板に対し機能素子ウエハにおける機能素子１０に対応する凹部を形成し、第３の材料基板に対し、機能素子ウエハを、剛性の低い部材を介して接合し、機能素子ウエハにおける連結部を除去し、第３の材料基板の機能素子ウエハを接合した側の主面に、第２の材料基板の凹部を形成した側の主面を、機能素子が、凹部内に封止されるように接合し、第１の材料基板、第２の材料基板及び第３の材料基板の接合体にダイシングを行う。 （もっと読む）

【課題】揺動体が固定されるトーションバーの真直度が悪いと、揺動体を効率よく揺動させることができない。
【解決手段】一端がベース２０に固定されたトーションバー２３と、ベース２０から突出するトーションバー２３の一端から離れてトーションバー２３に固定された光反射面２１を有する揺動体２２と、この揺動体２２をトーションバー２３の長手方向軸線Ａを中心として揺動させる素子駆動部１８とを備えた本発明による振動素子１７は、ベース２０に対するトーションバー２３の一端の取り付け中心Ｏを通り、かつトーションバー２３の長手方向に沿って一直線に延在する理想揺動軸線ＡRと揺動体の重心Ｇとを含む仮想平面に対して揺動体２２の光反射面２１が直交状態にあり、トーションバー２３および／または揺動体２２に固定される重心位置補正部材２４の重心が仮想平面内にあって揺動体２２の重心Ｇよりも理想揺動軸線ＡR側に位置している。 （もっと読む）

【課題】ミラーを高精度に駆動でき、高精細の画像を表示できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】ミラー２１０は、ホルダ２５０とカバー２５１により気密状態に保持されているので、空気抵抗が大きく、ミラー面積が大きいことも相まって、リンギングを抑制して精度良い低周波の非共振駆動を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】微小ミラーで反射され投写部に向かう光以外の不要な光を良好に除去することにより、画像品質の低下を抑制できる投写型表示装置を提供する。
【解決手段】プロジェクタは、光源ランプ１００からの光を変調するＤＭＤ７００と、ＤＭＤ７００により変調された光を被投写面に投写する投写レンズ３０とを備える。ＤＭＤ７００は、複数の可動式の微小ミラー７１０と、光透過性を有し微小ミラー７１０を覆うカバーガラス７２０とを含む。プロジェクタは、光源ランプ１００からの光をＤＭＤ７００に導くＴＩＲプリズム６００をさらに備える。ＴＩＲプリズム６００の第２プリズム６２０には、微小ミラー７１０により反射され投写レンズ３０に向かう光を透過するとともにカバーガラス７２０により反射された光を反射して投写レンズ３０の入射面３０ａから離れる方向へ向かわせる第５側面６２２が設けられる。 （もっと読む）

【課題】フレア光の発生を抑えつつ、ＭＥＭＳミラーの動作の安定化を図ることができる光走査装置を提供することに。
【解決手段】レーザーダイオード（光源）と、該レーザーダイオードから出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、前記レーザーダイオードから出射される光ビームを前記ＭＥＭＳミラー上に線状に結像させる自由曲面ミラー（結像素子）と、前記ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームを被走査面上に結像させる走査レンズ３３，３４を備えた光走査装置１３において、パッケージ壁３１とその開口部を覆うパッケージカバー及びカバーガラス３０によってＭＥＭＳ室３１を形成し、該ＭＥＭＳ室３１に前記レーザーダイオードと前記ＭＥＭＳミラー及び前記自由曲面ミラーを収容するとともに、ＭＥＭＳ室３１を気密封止する。 （もっと読む）

【課題】光の走査精度を向上すると共に、光の走査範囲を広域化することが可能な光走査装置を提供すること。
【解決手段】本光走査装置は、開口部を有する筐体と、前記筐体内に揺動可能な状態で収容され、光源から出射される光を反射して走査する可動ミラーと、前記筐体の開口部を封止するとともに、前記可動ミラーに走査された走査光を筐体の外部に透過させる光透過部と、を有し、前記光透過部の前記筐体側の面は凹状の曲面であり、前記光透過部の前記走査光が透過する領域は高屈折材料により構成され、前記可動ミラーの全可動範囲において、前記可動ミラーの両端部は前記凹状の曲面の一部の領域、又は、前記凹状の曲面の一部の領域と連続する前記筐体の内側面の一部の領域と対向し、前記凹状の曲面の一部の領域において、前記可動ミラーの両端部と前記凹状の曲面との距離が一定値であり、前記筐体の内側面の一部の領域において、前記可動ミラーの両端部と前記筐体の内側面との距離が前記一定値以上である。 （もっと読む）

【課題】消費電力の増加、偏向角や走査性能の低下を招くことなく、振動や衝撃による故障、破損を抑制できるマイクロスキャナを提供する。
【解決手段】可動部２と、可動部２を囲む固定枠１と、可動部２を揺動可能に支持する主軸部３と、可動部２又は主軸部３に変位を与える変位部４とを有し、変位部４のＺ方向の変位を規制する規制部６０を備えているマイクロスキャナＯＳ。 （もっと読む）

【課題】気密封止光偏向器パッケージを有する画像表示装置における往復走査の同期方式はパッケージ外に設けた光ビーム検出器の検出信号に基づいて行っていたために、有効光ビームへの影響が大きく、装置が大型化する。
【解決手段】封止ガラス１は中央に光学透過窓１１を有し、その周辺に遮光カバー１２ａが形成された遮光部１２を有する。光偏向器２をセラミック実装基板３のキャビティ３ａ内に配置し、セラミック実装基板３のキャビティ３ａを封止ガラス１によって気密封止してある。有機薄膜フォトセンサ４ａ、４ｂはパッケージ内部にあって、光偏向器２のマイクロミラー２１から反射される走査光ビームが通過する光学透過窓１１の極近傍に設けられている。 （もっと読む）

【課題】封止基板の接合での気密封止パッケージで発生する内部応力による振動デバイスの共振周波数の変化やばらつきを低減し安定した特性の共振振動デバイスを提供する。
【解決手段】共振振動デバイスは、振動部が形成されている基板と、該基板に接合されて気密封止する封止基板とによって構成され、振動部が形成されている基板に封止基板に接合する接合フレーム１０１とは別に振動部を支持する支持フレーム１０３が設けられていて、接合フレーム１０１と支持フレーム１０３とがそれぞれのフレームよりも剛性の小さい部材によって結合されている。 （もっと読む）

本発明は、リサジュー図形を観察フィールドへ投射する投射装置用の偏向システムに関する。偏光ユニットは、リサジュー図形を生じさせるために、少なくとも第１及び第２の偏向軸について光線を偏向させるように設計され、また、偏向軸に関する振動を生じさせるための偏向ユニットと、おおむね偏向ユニットの共振周波数に相当する、第１及び第２の作動周波数を有する、偏向ユニットのための作動信号を発生させる制御装置とを備え、前記偏向ユニットは、３．０００未満のＱ値を有し、前記制御装置は、振動の最大振幅が偏向ユニットの共振範囲内に留まるように、偏向ユニットの振動の測定された位相位置に応じて第１及び／又は第２の制御周波数を制御するように設計された、制御回路を備える。本発明は更に、このような偏向システムを備えた投射装置及び相当する偏向システムを作動させる方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 所望の振動特性を確保しつつ小型化や省電力化等を有効に図ることができる振動素子、光走査装置及び映像投影装置並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】 光学ミラー部３２２が設けられる振動部（梁部３１）と、この振動部を振動させる駆動部（磁界印加手段７０等）とを備え、振動部が加工硬化及び時効硬化処理を施すことで形成されており、振動のし易さを示すＱ値が１０００以上の振動素子とすることにより、所望の振動特性を確保しつつ小型化や省電力化を有効に図ることができる振動素子３０を実現し、また、振動素子３０と共に駆動に関わる部品を縮小して、アクチュエータ装置１や、光走査装置や映像投影装置等の性能向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 所望の振動特性を確保しつつ設計の自由度を格段に向上することができる振動素子及び光走査装置並びに映像投影装置を提供する。
【解決手段】 光学ミラー部３２２が設けられる振動部（梁部３１）と、この振動部を振動させる駆動部（磁界印加手段７０等）とを備え、加工硬化及び時効硬化処理が施されて形成されると共に歪み振幅が３×１０^−３より大きい振動部とし、所望の振動特性を確保しつつ設計の自由度を格段に向上することができる振動素子３０を実現し、また、振動素子３０と共に駆動に関わる部品を縮小して、アクチュエータ装置１や、光走査装置や映像投影装置等の性能向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 所望の振動特性を確保しつつ設計の自由度を格段に向上することができる振動素子、光走査装置及び映像投影装置並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】 光学ミラー部３２２が設けられる振動部（梁部３１）と、この振動部を振動させる駆動部（磁界印加手段７０等）とを備え、共振周波数の変化量と歪み振幅の大きさとの関係を示す共振特性曲線のピーク形状が線対称となる振動特性を有する振動部とし、所望の振動特性を確保しつつ設計の自由度を格段に向上することができる振動素子３０を実現し、また、振動素子３０と共に駆動に関わる部品を縮小して、アクチュエータ装置１や、光走査装置や映像投影装置、画像形成装置等の性能向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】光学振れ角を大きくすることが可能で且つ不要な光が出射されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有する可動部形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成され可動部形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２とを備える。可動部形成基板１の可動部２０のミラー面２１側に回折格子５が形成されており、第１のカバー基板２が、入射光および、回折格子５の法線に対して入射光とは反対側にある負の次数の回折光のうち規定次数の回折光以外を遮光するカバー基板を構成している。 （もっと読む）

【課題】可動部の機械振れ角に応じて出力が変化する受光素子を備えながらも、小型化を図れ且つ可動部の機械振れ角を大きくできるＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有する可動部形成基板１と、可動部形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、可動部形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。可動部形成基板１の可動部２０のミラー面２１側に回折格子５が形成されている。第１のカバー基板２は、入射光を透過させる入射光透過部２０３、および、０次の回折光である反射光からなる走査光を透過させる走査光透過部２０４が形成されるとともに、０次以外の規定次数の回折光を受光する受光素子６が可動部形成基板１側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であり、且つ、低コストで、不要な反射光の方向がミラー面での反射光の方向に揃うのを抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に透光性樹脂により形成された成形部６を有し、当該成形部６の表面が、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１側の平面とは非平行な非平行面６１となっている。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

【課題】可動板と捻り梁との接合部における応力による可動板のたわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光反射性を有する反射鏡４２が設けられた可動板４１と、支持枠４４と、可動板４１を支持枠４４に対して回動可能に連結する弾性支持梁４３と、可動板４１の反射鏡４２と反対の面側に設けられた磁石３７とを備え、弾性支持梁４３は、可動板４１の回動軸Ｘに垂直な断面で見たときに、幅が反射鏡４２側から磁石３７側に向けて漸次増加する形状をなしている。 （もっと読む）

【課題】光偏向器にミラーデバイスの温度を調整するための温度調整手段を配設することによってミラーデバイスの製造工程やパッケージへの組み込みに影響をあたえることを抑制できる光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、温度調整手段は、筺体本体に配設されている。 （もっと読む）