光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置
【課題】光偏向器にミラーデバイスの温度を調整するための温度調整手段を配設することによってミラーデバイスの製造工程やパッケージへの組み込みに影響をあたえることを抑制できる光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、温度調整手段は、筺体本体に配設されている。
【解決手段】光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、温度調整手段は、筺体本体に配設されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光偏向素子を備える光偏向器、光偏向器が備える光偏向素子の温度調整方法、光偏向素子を備える光偏向器の製造方法、及び光偏向器を備える画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、反射面を回動させることによって、光源から反射面に入射する光束を偏向させて、当該偏向光によって画像形成面上を走査することで画像形成面に画像を形成する光偏向器が知られている。高解像度の画像を形成するためには、より高い周波数で反射面を回動させることが必要である。ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）の技術を応用して製作されたミラーデバイスは、従来から用いられているポリゴンミラーやガルバノミラーでは実現が困難な高い周波数で駆動させることが可能である。このミラーデバイスは、反射面が形成又は取り付けられた可動板と、弾性を有する捻り梁と、駆動源とを備え、捻り梁を軸にして反射面を往復回動させることによって、光源から反射面に入射する光束を偏向させる光偏向器である。
このようなミラーデバイスでは、回動角を充分に大きくするために、駆動周波数を構造体の共振周波数にあわせることが行われている。共振周波数は、可動板の慣性モーメントや捻り梁のねじり弾性係数などの特性によって定まる。
【０００３】
ねじり弾性係数などの特性は、温度に依存して変動するため、光偏向器の温度を一定に保つことによって、共振周波数を一定に保つことで、駆動周波数を安定させて良好な画像を形成することが行われている。特許文献１には、ねじり梁に近接した発熱部を設けて、ねじり梁の温度を一定に維持する振動ミラー、振動ミラーの振れ角制御方法、光書込装置及び画像形成装置が開示されている。特許文献２には、駆動源を構成するコイルを熱源として用いて弾性支持部（捻り梁に相当）を含む振動系の温度を調整する、搖動体装置、光偏向器、及びその制御方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−６９７３１号公報
【特許文献２】特開２００７−１７１９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１や特許文献２に開示された装置においては、可動板を含むミラーデバイスに発熱部材を作りこむ必要があるため、ＭＥＭＳの技術を応用したミラーデバイスの製造工程に加えて、発熱部材を作りこむ工程を実施する必要がある。このため、発熱部材を含むミラーデバイスの作りこみが困難であるという課題があった。
また、ミラーデバイスをパッケージに組み込む際に発熱部材に接続された配線を一緒に組み込むことが必要であり、パッケージにおけるミラーデバイスが組み込まれた空間を封止する蓋部材をパッケージ本体に固定する際に、蓋部材をパッケージ本体に固定しながら配線の引き回し及び固定を実施する必要があった。配線の引き回し及び固定を一緒に実施するために、蓋部材をパッケージ本体に固定するために採用できる方法が制限されてしまうことによって、必ずしも適切な固定方法を採用することができないという課題があった。最適な方法を採れないことに起因して、ミラーデバイスが組み込まれた空間を密封できない可能性があった。ミラーデバイスが組み込まれた空間を密閉できると、当該空間を負圧にすることで、可動板が受ける抵抗を軽減して、より小さい力で可動板を効率よく回動させることができる。ミラーデバイスを高速で駆動するためには、小さい力で可動板を効率よく回動させることができることは、重要な要件である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、前記光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、前記温度調整手段は、前記筺体本体に配設されていることを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる光偏向器によれば、温度調整手段によって光偏向素子の温度を調整することで、光偏向素子の温度を略一定に保つことができる。光偏向素子の温度を一定に保つことによって、光偏向素子の固有の共振周波数が温度変化によって変動することを抑制することができる。光偏向素子の駆動周波数を規定する要因のひとつである共振周波数の変動を抑制することで、光偏向素子の駆動周波数を安定させることができる。
温度調整手段が筺体本体に配設されていることによって、温度調整手段を製造する工程は、光偏向素子を製造する工程とは関わりなく実施することができる。これにより、温度調整手段を光偏向素子と一体に形成することに起因して光偏向素子の製造工程が困難になることを防止して、容易に製造することができる。
温度調整手段が筺体本体に配設されていることによって、光偏向素子を筺体本体に組み込む前に、温度調整手段を筺体本体に、予め組み込んで、温度調整手段に接続されている配線の引き回し及び固定を予め実施しておくことができる。これにより、光偏向素子を筺体本体に組み込む際に、並行して温度調整手段を筺体本体に組み込むことが不要であり、素子室を封止する際に、略並行して温度調整手段の配線の引き回し及び固定を実施することが不要である。素子室を封止する際に、略並行して温度調整手段の配線の引き回し及び固定を実施することに起因して、素子室を封止する方法が制限されることがなく、適切な封止方法を採用することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる光偏向器は、前記筺体本体が、前記素子室内に形成されており、前記支持枠を支持することによって前記光偏向素子を支持する支持部を有し、前記温度調整手段は、前記支持部に配設されていることが好ましい。
【００１０】
この光偏向器によれば、温度調整手段は支持枠を支持する支持部に配設されている。これにより、温度調整手段によって支持部の温度を効率よく調整することができ、支持部の温度を調整することで、支持部に支持された支持枠の温度を効率よく調整することができる。支持枠の温度を効率よく調整することで、支持枠に接続された弾性支持梁の温度を効率よく調整することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる光偏向器は、前記筺体本体が、前記素子室を構成する側壁を有し、前記温度調整手段は、前記側壁における、前記素子室内に固定された前記光偏向素子の前記支持枠に対向する位置に配設されていることが好ましい。
【００１２】
この光偏向器によれば、温度調整手段は、側壁における光偏向素子の支持枠に対向する位置に配設されている。これにより、温度調整手段によって温度調整手段が配設された側壁の部分に対向する位置に配設されている支持枠の温度を効率よく調整することができる。支持枠の温度を効率よく調整することで、支持枠に接続された弾性支持梁の温度を効率よく調整することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる光偏向器は、前記温度調整手段が、加熱用コイルであることが好ましい。
【００１４】
この光偏向器によれば、加熱用コイルによって光偏向素子を加熱して、所望の温度にすることができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる光偏向器は、前記温度調整手段が、冷却素子又は加熱素子に接続された熱伝導端子であることが好ましい。
【００１６】
この光偏向器によれば、冷却素子又は加熱素子によって熱伝導端子を冷却又は加熱することで、光偏向素子を加熱又は冷却して所望の温度に調整するために適切な温度に、熱伝導端子の温度を調整することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる光偏向器は、前記素子筺体が、前記反射面に入射する光束及び前記反射面によって反射された光束が透過する窓部を有し前記素子室を封止する蓋部材を備え、前記加熱用コイルと電源とを接続する回路配線、及び前記冷却素子又は前記加熱素子と前記熱伝導端子とを接続する熱伝導配線は、前記筺体本体における前記蓋部材が配設された側と反対の外面から導出されていることが好ましい。
【００１８】
この光偏向器によれば、回路配線及び熱伝導配線は、蓋部材が配設された側と反対の外面から導出されている。これにより、光偏向素子を筺体本体に組み込む際に、回路配線又は熱伝導配線の引き回し及び固定を実施することが不要である。素子室を封止する際に、温度調整手段の配線の引き回し及び固定を実施することに起因して、素子室を封止する方法が制限されることがなく、適切な封止方法を採用することができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる光偏向器は、前記筺体本体が、前記回路配線を構成する回路配線、又は前記熱伝導配線を構成する熱伝導配線の一部分が配設された配線基板に、前記外面を当接又は臨ませて固定されていることが好ましい。
【００２０】
この光偏向器によれば、配線基板に当接する又は臨む位置にある外面から導出された回路配線又は熱伝導配線を、配線基板に形成された回路配線又は熱伝導配線に容易に接続することができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる光偏向器は、前記蓋部材と前記筺体本体とが、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合されていることが好ましい。
【００２２】
この光偏向器によれば、蓋部材と筺体本体とは、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合されることで、接合面の全面が確実に接合されている。これにより、素子室を確実に雰囲気と隔絶させることができる。このため、例えば素子室を負圧にして、可動板が回動する際の抵抗を低減することができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例にかかる光偏向素子の温度調整方法は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、を備える光偏向器における光偏向素子の温度調整方法であって、前記筺体本体に配設されている温度調整手段によって、前記光偏向素子の温度を調整することを特徴とする。
【００２４】
本適用例にかかる光偏向素子の温度調整方法によれば、温度調整手段によって光偏向素子の温度を調整することで、光偏向素子の温度を略一定に保つことができる。光偏向素子の温度を一定に保つことによって、光偏向素子の固有の共振周波数が温度変化によって変動することを抑制することができる。光偏向素子の駆動周波数を規定する要因のひとつである共振周波数の変動を抑制することで、光偏向素子の駆動周波数を安定させることができる。
温度調整手段が筺体本体に配設されていることによって、温度調整手段を製造する工程は、光偏向素子を製造する工程とは関わりなく実施することができる。これにより、温度調整手段を光偏向素子と一体に形成することに起因して光偏向素子の製造工程が困難になることを防止して、容易に製造することができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかる光偏向素子の温度調整方法は、前記筺体本体が、前記素子室内に形成されており、前記支持枠を支持することによって前記光偏向素子を支持する支持部を有し、前記温度調整手段は、前記支持部に配設されていることが好ましい。
【００２６】
この光偏向素子の温度調整方法によれば、温度調整手段は支持枠を支持する支持部に配設されている。これにより、温度調整手段によって支持部の温度を効率よく調整することができ、支持部の温度を調整することで、支持部に支持された支持枠の温度を効率よく調整することができる。支持枠の温度を効率よく調整することで、支持枠に接続された弾性支持梁の温度を効率よく調整することができる。
【００２７】
［適用例１１］本適用例にかかる光偏向器の製造方法は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、前記光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備える光偏向器の製造方法であって、前記光偏向素子を形成する光偏向素子形成工程と、前記筺体本体を形成すると共に、前記筺体本体に前記温度調整手段を配設する筺体本体形成工程と、前記素子室に前記光偏向素子を組み込む、光偏向素子組み込み工程と、前記素子室を封止する蓋部材を前記筺体本体に接合する蓋部材接合工程と、を有することを特徴とする。
【００２８】
本適用例にかかる光偏向器の製造方法によれば、筺体本体形成工程において筺体本体に配設された温度調整手段によって光偏向素子の温度を調整することで、光偏向素子の温度を略一定に保つことができる。光偏向素子の温度を一定に保つことによって、光偏向素子の固有の共振周波数が温度変化によって変動することを抑制することができる。光偏向素子の駆動周波数を規定する要因のひとつである共振周波数の変動を抑制することで、光偏向素子の駆動周波数を安定させることができる。
光偏向素子形成工程は、筺体本体形成工程において温度調整手段が筺体本体に配設されることによって、温度調整手段を製造する工程や温度調整手段を配設する工程とは関わりなく実施することができる。これにより、温度調整手段を光偏向素子と一体に形成することに起因して光偏向素子の製造工程が困難になることを防止して、容易に製造することができる。
光偏向素子組み込み工程は、筺体本体形成工程において温度調整手段が筺体本体に配設されることによって、並行して温度調整手段を筺体本体に組み込むことを不要にすることができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかる光偏向器の製造方法は、前記温度調整手段が、接続配線を介して前記温度調整手段を駆動する温度調整手段駆動源と接続されており、前記筺体本体形成工程において、前記筺体本体における前記蓋部材が配設される側と反対の外面から、前記接続配線を導出することが好ましい。
【００３０】
この光偏向器の製造方法によれば、筺体本体形成工程において、回路配線及び熱伝導配線は、蓋部材が配設された側と反対の外面から導出されている。これにより、蓋部材接合工程では、素子室を封止する際に、略並行して温度調整手段の配線の引き回し及び固定を実施することを不要にすることができる。素子室を封止する際に、略並行して温度調整手段の配線の引き回し及び固定を実施することに起因して、素子室を封止する方法が制限されることがなく、適切な封止方法を採用することができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかる光偏向器の製造方法は、前記蓋部材接合工程において、前記蓋部材と前記筺体本体とを、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合することが好ましい。
【００３２】
この光偏向器の製造方法によれば、蓋部材と筺体本体とを、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合することで、接合面の全面を確実に接合することができる。これにより、素子室を確実に雰囲気と隔絶させることができるため、例えば素子室を負圧にして、可動板が回動する際の抵抗を低減することができる。
【００３３】
［適用例１４］本適用例にかかる画像形成装置は、光源と、上記した適用例に記載の光偏向器と、を備え、前記光源から射出された光束を前記光偏向器によって偏向させることで画像を形成することを特徴とする。
【００３４】
本適用例にかかる画像形成装置によれば、温度を適切に調整することによって安定した稼働を実現できる光偏向素子を備える光偏向器を備えることによって、品質の高い画像を安定して形成することができる。
温度調整手段が筺体本体に配設されていることによって容易に製造することができる光偏向器を備えることで、容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】投射型画像表示装置の主要な構成要素を示す説明図。
【図２】（ａ）は、光偏向素子の形状を示す平面図。（ｂ）は、（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面図。
【図３】（ａ）は、素子筺体の筺体本体の外形形状及び筺体本体と一体に形成された加熱コイルを示す上面側から見た平面図。（ｂ）は、素子筺体の筺体本体及び封止蓋の断面形状及び加熱コイルを示す断面図。（ｃ）は、素子筺体の筺体本体の外形形状及び加熱コイルを示す、（ａ）とは反対側から見た平面図。
【図４】（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図。（ｂ）は、主走査偏向器の断面図。（ｃ）は、可動板が回動した状態を示す断面図。（ｄ）は、可動板が回動した状態を示す断面図。
【図５】（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図。（ｂ）は、主走査偏向器の断面図。
【図６】印刷装置の全体構成を模式的に示す断面図。
【図７】印刷装置が備える露光ユニットの概略構成を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置の一実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、光偏向器を備える画像形成装置としての投射型画像表示装置を例にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３７】
＜投射型画像表示装置＞
最初に、投射型画像表示装置１について、図１を参照して説明する。図１は、投射型画像表示装置の主要な構成要素を示す説明図である。
図１に示すように、投射型画像表示装置１は、光束ＬをスクリーンＳの横方向（主走査方向）及び縦方向（副走査方向）に２次元的に走査することにより、スクリーンＳ上に画像を形成（描画）する装置である。
【００３８】
投射型画像表示装置１は、光源ユニット２と、光走査ユニット３と、図示省略した表示装置制御部と、を備えている。光源ユニット２から光束Ｌが射出され、当該光束Ｌが光走査ユニット３によって２次元的に走査されてスクリーンＳに投射されて、スクリーンＳ上に画像が形成される。
なお、スクリーンＳは、投射型画像表示装置１に一体に備えられたものであっても別体であってもよい。また、スクリーンＳの表面側（光Ｌの照射側）で画像を視認するように構成してもよいし、スクリーンＳの裏面側（光Ｌの照射側とは反対側）から画像を視認するように構成してもよい。
【００３９】
光源ユニット２は、レーザー光源２１と、ダイクロイックプリズム２２とを備えている。レーザー光源２１は、３色の光のいずれかを射出する、レーザー光源２１Ｒ、レーザー光源２１Ｇ、又はレーザー光源２１Ｂである。レーザー光源２１Ｒは赤色の光束ＬＲを射出し、レーザー光源２１Ｇは緑色の光束ＬＧを射出し、レーザー光源２１Ｂは青色の光束ＬＢを射出する。
【００４０】
ダイクロイックプリズム２２は、３色の光のいずれかを選択的に反射する、ダイクロイックプリズム２２Ｒ、ダイクロイックプリズム２２Ｇ、又はダイクロイックプリズム２２Ｂである。ダイクロイックプリズム２２Ｒは、赤色光を選択的に反射する反射部を備えている。レーザー光源２１Ｒから射出された赤色の光束ＬＲは、ダイクロイックプリズム２２Ｒに入射し、反射部で反射されてダイクロイックプリズム２２Ｇに向けて射出される。当該光束を、光束Ｌ１と表記する。
【００４１】
ダイクロイックプリズム２２Ｇは、緑色光を選択的に反射する反射部を備えている。レーザー光源２１Ｇから射出された緑色の光束ＬＧは、ダイクロイックプリズム２２Ｇに入射し、反射部で反射されてダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｒからダイクロイックプリズム２２Ｇに向けて射出された光束Ｌ１は、ダイクロイックプリズム２２Ｇの反射部を透過して、ダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｇは、光束ＬＧを反射し、光束Ｌ１を透過させることで、光束ＬＧと光束Ｌ１とが合成された光束Ｌ２を、ダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出する。
【００４２】
ダイクロイックプリズム２２Ｂは、青色光を選択的に反射する反射部を備えている。レーザー光源２１Ｂから射出された青色の光束ＬＢは、ダイクロイックプリズム２２Ｂに入射し、反射部で反射されて射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｇからダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出された光束Ｌ２は、ダイクロイックプリズム２２Ｂの反射部を透過して、射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｂは、光束ＬＢを反射し、光束Ｌ２を透過させることで、光束ＬＢと光束Ｌ２とが合成された光束Ｌを、射出する。光束Ｌは、３色の光束ＬＲと、光束ＬＧと、光束ＬＢとが合成された光束である。
【００４３】
光走査ユニット３は、主走査偏向器３１と、副走査偏向器３２と、偏向器支持基板３３（図４参照）と、固定反射鏡３４とを備えている。
主走査偏向器３１は、光偏向素子４０を備えており、光偏向素子４０は、回動軸Ｘを回動軸として回動する可動板４１に固定された反射鏡４２を備えている。
光源ユニット２のダイクロイックプリズム２２Ｂから射出された光束Ｌは、反射鏡４２によって反射されて、回動軸Ｘの軸方向に略直角な主走査方向に走査される。主走査偏向器３１が、光偏向器に相当する。
【００４４】
副走査偏向器３２は、例えば、ガルバノミラーにより構成されており、主走査方向に略平行な回動軸Ｙを回動軸として回動する副走査反射鏡４８を備えている。
主走査偏向器３１の反射鏡４２によって反射された光束Ｌは、副走査反射鏡４８によって反射されて、主走査方向に略直角な副走査方向に走査される。
副走査反射鏡４８によって反射された光束Ｌは、固定反射鏡３４で反射されて、スクリーンＳに照射される。主走査偏向器３１による主走査方向の走査と、副走査偏向器３２による副走査方向の走査とによって、スクリーンＳ上に、２次元の画像が形成される。
【００４５】
＜光偏向素子＞
次に、主走査偏向器３１が備える光偏向素子４０について、図２を参照して説明する。図２は、光偏向素子の形状を示す図である。図２（ａ）は、光偏向素子の形状を示す平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面図である。
図２に示すように、光偏向素子４０は、可動板４１と、反射鏡４２と、一対の弾性支持梁４３，４３と、支持枠４４と、を備えている。可動板４１と弾性支持梁４３と支持枠４４とは、例えばシリコン基板をエッチングして形成され、一体に形成されている。
可動板４１の形状は、円形の平板である。反射鏡４２は、平板形状の可動板４１の一面に、配設されている。反射鏡４２は、例えばアルミニウムの薄膜であり、平滑に仕上げられたシリコンの面に、例えばスパッタリングによって形成される。
【００４６】
弾性支持梁４３は、略四角柱の形状を有している。一対の弾性支持梁４３，４３は、それぞれの弾性支持梁４３の一端が、可動板４１の側面における円形平板形状の中心に関して略対称の位置において接続されており、それぞれの中心軸が一直線となる方向に延在している。中心軸は、四角柱形状の長手方向に延在し、幅方向及び厚さ方向の中心位置に位置しており、図２（ａ）に示した回動軸Ｘと一致している。
支持枠４４は、略方形の板の内側に開口４４ａが形成された額縁状の形状を有している。可動板４１（反射鏡４２）と一対の弾性支持梁４３，４３とは、開口４４ａに配設されている。弾性支持梁４３の可動板４１と接続された一端の反対側の一端が、額縁形状の対向する２辺の略中央にそれぞれ接続されている。
一対の弾性支持梁４３，４３が回動軸Ｘを中心にして捩れることによって、可動板４１（反射鏡４２）は、回動軸Ｘを中心にして回動する。主走査偏向器３１が投射型画像表示装置１に組み込まれた状態で、図２（ａ）に示した回動軸Ｘは、図１に示した回動軸Ｘと同じものである。反射鏡４２が、反射手段に相当する。
【００４７】
＜素子筺体＞
次に、主走査偏向器３１が備える素子筺体５０について、図３を参照して説明する。図３は、素子筺体の外形形状及び素子筺体と一体に形成された加熱コイルを示す図である。図３（ａ）は、素子筺体の筺体本体の外形形状及び筺体本体と一体に形成された加熱コイルを示す上面側から見た平面図であり、図３（ｂ）は、素子筺体の筺体本体及び封止蓋の断面形状及び加熱コイルを示す断面図であり、図３（ｃ）は、素子筺体の筺体本体の外形形状及び加熱コイルを示す、図３（ａ）とは反対側から見た平面図である。筺体本体の内部を明示するために、図３（ａ）は、封止蓋５１がない状態を示している。断面図において断面より手前の物は表示されないが、図３（ｂ）における加熱コイル５８は、断面より手前の部分を二点鎖線で示している。
【００４８】
図３に示すように、素子筺体５０は、筺体本体５２及び封止蓋５１を備えている。筺体本体５２は、略直方体を有し、上面５３において外面に開口する素子室５４が形成されている。筺体本体５２の外面における上面５３の反対側の外面を外底面５７と表記する。上述したように、図３（ａ）は上面５３側から見た平面図であり、図３（ｃ）は外底面５７側から見た平面図である。本実施形態の主走査偏向器３１では、上面５３側を上側と表記し、外底面５７側を下側と表記する。外底面５７には、駆動装置３６（図４参照）の駆動コイル３８（図４参照）を配設するための外底面凹部５７ａが形成されている。
【００４９】
筺体本体５２の素子室５４を囲む部分を、側壁５２ａと表記する。素子室５４における底面と側壁５２ａとの角部には、素子室５４側に膨出した支持部５６が形成されている。底面と支持部５６とに囲まれた素子室５４の部分を、素子室凹部５４ａと表記する。素子室凹部５４ａは、略直方体形状の空間である。素子室５４の平面形状は、支持枠４４の外形形状と相似形であって、支持枠４４の外形形状より僅かに大きくなっており、光偏向素子４０を素子室５４内に配置することができる。素子室５４内に配置された光偏向素子４０は、支持枠４４が支持部５６に当接して支持される（図４参照）。素子室凹部５４ａの平面形状は、光偏向素子４０の開口４４ａの平面形状と略相似形状であり、支持部５６は、可動板４１や弾性支持梁４３に接触することなく、支持枠４４を支持する。
封止蓋５１を上面５３に載せて、封止蓋５１と上面５３とを接合することによって、素子室５４は封止される。反射鏡４２に入射する光束は、封止蓋５１を透過して入射し、反射鏡４２によって反射された光束は、封止蓋５１を透過して主走査偏向器３１から射出される。封止蓋５１が、蓋部材に相当する。
【００５０】
筺体本体５２には、加熱コイル５８が一体に形成されている。加熱コイル５８は、コイル端子５８ａと、コイル接続部５８ｂと、コイル部５８ｃと、コイル接続部５８ｄと、コイル部５８ｅと、コイル接続部５８ｆと、コイル端子５８ｇと、を有し、これらの各部分がこの順番で接続されて一体になっている。
コイル端子５８ａとコイル端子５８ｇとは、略長方形形状の平板な端子であって、外底面５７に配設されている。コイル部５８ｃは、支持部５６より上側の側壁５２ａの内部における素子室５４側に近い部分に配設されており、螺旋状に複数巻き（図３では約２巻き）、素子室５４を巻いている。コイル部５８ｅは、支持部５６の内部の上側に配設されており、渦巻き状に複数巻き（図３では約２巻き）、巻いている。コイル接続部５８ｂの一端は、コイル端子５８ａに接続されており、コイル接続部５８ｂのもう一端は、コイル部５８ｃの一端に接続されている。コイル部５８ｃにおけるコイル接続部５８ｂに接続された一端の反対側の一端は、コイル接続部５８ｄの一端に接続されている。コイル接続部５８ｄにおけるコイル部５８ｃに接続された一端の反対側の一端は、コイル部５８ｅの一端に接続されている。コイル部５８ｅにおけるコイル接続部５８ｄに接続された一端の反対側の一端は、コイル接続部５８ｆの一端に接続されている。コイル接続部５８ｆにおけるコイル部５８ｅに接続された一端の反対側の一端は、コイル端子５８ｇに接続されている。なお、コイル接続部５８ｂと、コイル部５８ｃと、コイル接続部５８ｄと、コイル部５８ｅと、コイル接続部５８ｆとは、説明をわかり易くするために付した名称であり、加熱コイル５８において、上記した位置に在る部分が、それぞれ該当する名称の部分に相当する。
コイル端子５８ａとコイル端子５８ｇとを電源に接続して通電することで、コイル接続部５８ｂと、コイル部５８ｃと、コイル接続部５８ｄと、コイル部５８ｅと、コイル接続部５８ｆと、が発熱する。これらの発熱する部分の中で、コイル部５８ｃと、コイル部５８ｅとが、加熱用コイル及び温度調整手段に相当する。コイル端子５８ａとコイル端子５８ｇとが、回路配線に相当する。
【００５１】
筺体本体５２は、例えば低温焼成のセラミックスで形成する。セラミックス材料の膜を形成し、焼結することを繰り返し、積層させることによって、筺体本体５２を形成する。筺体本体５２を形成する途中の段階で、セラミックス膜の上に加熱コイル５８を構成する膜を形成し、加熱コイル５８を構成する膜の上にさらにセラミックス膜を積層することによって、加熱コイル５８が一体に形成された筺体本体５２を形成する。
加熱コイル５８を形成する工程を含む筺体本体５２を形成する工程が、筺体本体を形成すると共に、筺体本体に温度調整手段を配設する筺体本体形成工程に相当する。
【００５２】
＜主走査偏向器＞
次に、主走査偏向器３１について、図４を参照して説明する。図４は、主走査偏向器の構成を示す図である。図４（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図であり、図４（ｂ）は、主走査偏向器の断面図であり、図４（ｃ）及び図４（ｄ）は、可動板が回動した状態を示す断面図である。断面図において断面より手前の物は表示されないが、図４（ｂ），（ｃ），（ｄ）における加熱コイル５８は、断面より手前の部分を二点鎖線で示している。
図４に示すように、主走査偏向器３１は、光偏向素子４０と、素子筺体５０と、駆動装置３６と、加熱コイル５８とを備えている。主走査偏向器３１は、素子筺体５０の筺体本体５２が、偏向器支持基板３３に固定されることで、偏向器支持基板３３に支持されている。
【００５３】
光偏向素子４０は、支持枠４４が素子筺体５０の筺体本体５２における支持部５６に固定されることによって、筺体本体５２に固定されている。光偏向素子４０の可動板４１と反射鏡４２と一対の弾性支持梁４３，４３とは、筺体本体５２における素子室凹部５４ａの部分に位置しており、可動板４１及び可動板４１と一体に形成された反射鏡４２は回動可能である。
可動板４１における反射鏡４２が配設された反対側の面には、駆動装置３６の磁石３７が固定されている。筺体本体５２の外底面凹部５７ａには、駆動装置３６の駆動コイル３８が固定されている。駆動コイル３８は、筺体本体５２の底部を介して可動板４１と略対向する位置に配設されている。
【００５４】
周期的に変化する電流（交流）が駆動コイル３８に供給されることにより、駆動コイル３８は上方（可動板４１側）に向く磁界と、下方に向く磁界とを交互に発生させる。この磁界により、駆動コイル３８に対し磁石３７の両端（主走査偏向器３１においては、回動軸Ｘから遠い位置に位置する両端）に位置する一対の磁極のうち一方の磁極が接近し他方の磁極が離間するような力が磁石３７に作用する。磁石３７が固定された可動板４１は一対の弾性支持梁４３，４３が捩れ変形することによって回動可能であって、図４（ｃ）及び図４（ｄ）に示すように、回動軸Ｘ回りに回動させられる。
【００５５】
上述したように、加熱コイル５８のコイル部５８ｃは、支持部５６より上側の側壁５２ａの内部における素子室５４側に近い部分に配設されており、螺旋状に複数巻き素子室５４を巻いている。素子室５４におけるコイル部５８ｃが周囲に在るあたりには、支持枠４４が位置している。また、コイル部５８ｅは、支持部５６の内部の上側に配設されており、支持部５６の上面には、支持枠４４が支持されている。
【００５６】
光偏向素子４０を筺体本体５２の素子室５４に設置した後、封止蓋５１を筺体本体５２の上面５３に載せて、封止蓋５１と上面５３とを接合することによって、素子室５４は封止されている。封止蓋５１と上面５３とは、例えば金属接合、共晶結合、又は陽極接合などによって接合する。また、例えば接合作業を減圧された雰囲気中で実施することによって、封止された素子室５４は減圧状態になっている。
【００５７】
偏向器支持基板３３には、一対の接続端子３３ｂ，３３ｂとそれぞれの接続端子３３ｂに接続された回路配線３３ａとが形成されている。筺体本体５２が、偏向器支持基板３３に固定された状態で、筺体本体５２の外底面５７に配設されたコイル端子５８ａ及びコイル端子５８ｇは、それぞれ接続端子３３ｂに当接しており、コイル端子５８ａ又はコイル端子５８ｇと接続端子３３ｂとは電気的に接続されている。回路配線３３ａは図示省略した電源に接続されており、回路配線３３ａ及び接続端子３３ｂを介して、電源から加熱コイル５８に電力が供給される。回路配線３３ａ及び接続端子３３ｂが、回路配線に相当する。偏向器支持基板３３が、配線基板に相当する。
図示省略したが、駆動コイル３８と駆動装置３６の制御装置や電源とを電気的に接続する接続配線も、偏向器支持基板３３に形成することができる。
加熱コイル５８に供給する電力を制御することによって、加熱コイル５８の温度を略一定に維持することで、加熱コイル５８のコイル部５８ｃが周囲に配置されており、コイル部５８ｅの上側に位置する支持枠４４の温度を略一定に維持する。
【００５８】
＜他の主走査偏向器＞
次に、主走査偏向器３１とは一部の構成が異なる主走査偏向器２３１について、図５を参照して説明する。図５は、主走査偏向器の構成を示す図である。図５（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図であり、図５（ｂ）は、主走査偏向器の断面図である。断面図において断面より手前の物は表示されないが、図５（ｂ）における熱伝導部材２５８は、断面より手前の部分を二点鎖線で示している。
図５に示すように、主走査偏向器２３１は、光偏向素子４０と、素子筺体２５０と、駆動装置３６と、熱伝導部材２５８と、偏向器支持基板２３３と、温度調整素子２３８と、を備えている。
【００５９】
光偏向素子４０は、主走査偏向器３１が備える光偏向素子４０と実質的に同じものである。駆動装置３６は、主走査偏向器３１が備える駆動装置３６と実質的に同じものである。素子筺体２５０は、筺体本体２５２及び封止蓋５１を備えている。封止蓋５１は、主走査偏向器３１の筺体本体５２が備える封止蓋５１と実質的に同じものである。筺体本体２５２の形状は、素子筺体５０が備える筺体本体５２と実質的に同じ形状である。筺体本体２５２は、筺体本体５２が有する素子室５４と支持部５６と上面５３と外底面５７と外底面凹部５７ａと側壁５２ａと実質的に同じ形状を有する、素子室２５４と支持部２５６と上面２５３と外底面２５７と外底面凹部２５７ａと側壁２５２ａとを有している。
光偏向素子４０及び駆動装置３６は、主走査偏向器３１における光偏向素子４０又は駆動装置３６と同様に、筺体本体２５２に固定されている。
【００６０】
筺体本体２５２には、熱伝導部材２５８が一体に形成されている。熱伝導部材２５８は、接続端子部２５８ａと、熱伝導接続部２５８ｂと、熱伝導端子部２５８ｃと、熱伝導接続部２５８ｄと、熱伝導端子部２５８ｅと、熱伝導接続部２５８ｆと、接続端子部２５８ｇと、を有し、これらの各部分がこの順番で接続されて一体になっている。
接続端子部２５８ａと接続端子部２５８ｇとは、略長方形形状の平板な端子であって、筺体本体２５２の外底面２５７に配設されている。熱伝導端子部２５８ｃは、支持部２５６より上側の側壁２５２ａの内部における素子室２５４側に近い部分に配設されており、螺旋状に複数巻き、素子室２５４を巻いて配設されている。熱伝導端子部２５８ｅは、支持部２５６の内部の上側に配設されており、渦巻き状に複数巻き（図５では約２巻き）、巻いている。熱伝導接続部２５８ｂの一端は、接続端子部２５８ａに接続されており、熱伝導接続部２５８ｂのもう一端は、熱伝導端子部２５８ｃの一端に接続されている。熱伝導端子部２５８ｃにおける熱伝導接続部２５８ｂに接続された一端の反対側の一端は、熱伝導接続部２５８ｄの一端に接続されている。熱伝導接続部２５８ｄにおける熱伝導端子部２５８ｃに接続された一端の反対側の一端は、熱伝導端子部２５８ｅの一端に接続されている。熱伝導端子部２５８ｅにおける熱伝導接続部２５８ｄに接続された一端の反対側の一端は、熱伝導接続部２５８ｆの一端に接続されている。熱伝導接続部２５８ｆにおける熱伝導端子部２５８ｅに接続された一端の反対側の一端は、接続端子部２５８ｇに接続されている。
なお、熱伝導接続部２５８ｂと、熱伝導端子部２５８ｃと、熱伝導接続部２５８ｄと、熱伝導端子部２５８ｅと、熱伝導接続部２５８ｆとは、説明をわかり易くするために付した名称であり、熱伝導部材２５８において、上記した位置に在る部分が、それぞれ該当する名称の部分に相当する。
【００６１】
偏向器支持基板２３３には、一対の接続端子２３３ｂ，２３３ｂとそれぞれの接続端子２３３ｂに接続された熱伝導配線２３３ａとが形成されている。筺体本体２５２が、偏向器支持基板２３３に固定された状態で、筺体本体２５２の外底面２５７に配設された接続端子部２５８ａ及び接続端子部２５８ｇは、それぞれ接続端子２３３ｂに当接しており、接続端子部２５８ａ又は接続端子部２５８ｇと接続端子２３３ｂとは熱伝導可能に接続されている。熱伝導配線２３３ａは、偏向器支持基板２３３に配設された温度調整素子２３８に熱伝導可能に接続されている。
温度調整素子２３８は図示省略した電源に接続されており、温度調整素子２３８に接続された熱伝導配線２３３ａの温度を一定の温度に過熱又は冷却する。熱伝導配線２３３ａの温度を一定の温度に過熱又は冷却することで、接続端子２３３ｂと、接続端子部２５８ａ及び接続端子部２５８ｇと、を介して、熱伝導接続部２５８ｂと、熱伝導端子部２５８ｃと、熱伝導接続部２５８ｄと、熱伝導端子部２５８ｅと、熱伝導接続部２５８ｆと、が加熱又は冷却される。温度調整素子２３８としては、例えばペルチェ素子を用いることができる。温度調整素子２３８が加熱素子及び冷却素子に相当する。
【００６２】
上述した加熱コイル５８と同様に、熱伝導部材２５８の熱伝導端子部２５８ｃは、支持部２５６より上側の側壁２５２ａの内部における素子室２５４側に近い部分に配設されており、螺旋状に複数巻き素子室２５４を巻いている。素子室２５４における熱伝導端子部２５８ｃが周囲に在るあたりには、支持枠４４が位置している。また、熱伝導端子部２５８ｅは、支持部２５６の内部の上側に配設されており、支持部２５６の上面には、支持枠４４が支持されている。
熱伝導端子部２５８ｃと熱伝導端子部２５８ｅとを、加熱又は冷却して一定の温度に維持することで、熱伝導端子部２５８ｃが周囲に配置されており、熱伝導端子部２５８ｅの上側に位置する支持枠４４の温度を略一定に維持する。
熱伝導端子部２５８ｃと、熱伝導端子部２５８ｅとが、熱伝導端子及び温度調整手段に相当する。熱伝導配線２３３ａと、接続端子２３３ｂと、接続端子部２５８ａと、接続端子部２５８ｇとが、熱伝導配線に相当する。
【００６３】
光偏向素子４０を筺体本体２５２の素子室２５４に設置した後、封止蓋５１を筺体本体２５２の上面２５３に載せて、封止蓋５１と上面２５３とを接合することによって、素子室２５４は封止されている。封止蓋５１と上面２５３とは、例えば金属接合、共晶結合、又は陽極接合などによって接合する。また、例えば接合作業を減圧された雰囲気中で実施することによって、封止された素子室２５４は減圧状態になっている。
【００６４】
＜印刷装置＞
次に、投射型画像表示装置とは異なる、光偏向器を備える画像形成装置としての印刷装置について、図６及び図７を参照して説明する。本実施形態で説明する印刷装置１０１は、電子写真方式を採用する印刷装置である。図６は、印刷装置の全体構成を模式的に示す断面図である。図７は、印刷装置が備える露光ユニットの概略構成を示す説明図である。
【００６５】
印刷装置１０１は、露光・現像・転写・定着を含む一連の画像形成プロセスによって、トナーからなる画像を紙やＯＨＰシートなどの記録媒体に記録するものである。
図６に示すように、印刷装置１０１は、感光体１１１と、帯電ユニット１１２と、露光ユニット１１０と、現像ユニット１１４と、転写ユニット１１５と、クリーニングユニット１１６と、からなる画像形成ユニットを備えている。印刷を実施する際には、図６に矢印ａで示した方向に感光体１１１が回転する。帯電ユニット１１２と、露光ユニット１１０と、現像ユニット１１４と、転写ユニット１１５と、クリーニングユニット１１６とは、感光体１１１の回転方向に沿ってこの順番で、感光体１１１の周囲に配設されている。
印刷装置１０１は、また、紙などの記録媒体Ｐを収容する給紙トレイ１１７と、定着装置１１８とを備えている。給紙トレイ１１７は画像形成ユニットの一方の側（図６では、画像形成ユニットの図における下側）に配設されており、定着装置１１８は画像形成ユニットを挟んで給紙トレイ１１７の略反対側（図６では、画像形成ユニットの図における上側）に配設されている。
【００６６】
画像形成ユニットでは、帯電ユニット１１２によって、感光体１１１が帯電され、露光ユニット１１０によって潜像が形成され、現像ユニット１１４によってトナーで現像され、現像された画像が転写ユニット１１５に転写される。
より詳細には、まず、図示しないホストコンピューターからの指令により、感光体１１１、現像ユニット１１４に設けられた現像ローラー（図示省略）、及び転写ユニット１１５の中間転写ベルト１５１が回転を開始する。感光体１１１は、回転しながら、帯電ユニット１１２に対向する部分が帯電ユニット１１２により順次帯電される。
感光体１１１の帯電された領域は、感光体１１１の回転に伴って露光位置に至り、露光ユニット１１０によって、第１色目、例えばイエローＹの画像情報に応じた潜像が前記領域に形成される。
【００６７】
感光体１１１上に形成された潜像は、感光体１１１の回転に伴って、現像ユニット１１４に対向する現像位置に至り、イエロー現像のための現像装置、例えば現像装置１４４によってイエロートナーで現像される。イエロートナーで現像されることによって、感光体１１１上にイエロートナー像が形成される。
現像ユニット１１４は、軸１４６を軸に回転する保持体１４５と、現像装置１４１、現像装置１４２、現像装置１４３、及び現像装置１４４と、を備えている。現像装置１４１、現像装置１４２、現像装置１４３、及び現像装置１４４は、保持体１４５に保持されており、軸１４６のまわりに回転可能である。保持体１４５が回転して、例えばイエロートナーで現像する場合の現像装置１４４のように、現像する色に対応した現像装置１４１、現像装置１４２、現像装置１４３、又は現像装置１４４が、感光体１１１と対向する位置に位置される。
【００６８】
感光体１１１上に形成されたイエロートナー像などの像は、感光体１１１の回転に伴って、感光体１１１が転写ユニット１１５の一次転写ローラー１５２と対向している一次転写位置に至る。このとき、一次転写ローラー１５２には、トナーの帯電極性とは逆の極性の一次転写電圧（一次転写バイアス）が印加される。一次転写電圧が印加された一次転写ローラー１５２によって、感光体１１１上に形成されたイエロートナー像などの像が中間転写ベルト１５１に転写（一次転写）される。中間転写ベルト１５１は、駆動ローラー１５４を回転させることで一次転写ローラー１５２および従動ローラー１５３を従動回転させながら回転する。なお、この間、二次転写ローラー１５５は、中間転写ベルト１５１から離間している。
【００６９】
潜像の形成、現像、及び一次転写と同様の処理が、他の色（本実施形態では、第２色目、第３色目、及び第４色目）について繰り返して実行されることにより、各画像信号に対応した各色のトナー像が、中間転写ベルト１５１に重なり合って転写される。これにより、中間転写ベルト１５１上にはフルカラートナー像が形成される。
記録媒体Ｐは、給紙トレイ１１７から、給紙ローラー１７１及びレジローラー１７２によって、二次転写ローラー１５５と駆動ローラー１５４とが、中間転写ベルト１５１を間に挟んで対向している二次転写位置へ搬送される。
【００７０】
中間転写ベルト１５１上に形成されたフルカラートナー像は、中間転写ベルト１５１の回転に伴って二次転写位置に至る。このとき、二次転写ローラー１５５は中間転写ベルト１５１に押圧されるとともに二次転写電圧（二次転写バイアス）が印加されている。二次転写位置に至った記録媒体Ｐ及び中間転写ベルト１５１におけるフルカラートナー像が形成された部分は、二次転写ローラー１５５と駆動ローラー１５４とに挟まれて互いに凹圧され、二次転写電圧が印加された二次転写ローラー１５５によって、フルカラートナー像が記録媒体Ｐに転写（二次転写）される。
【００７１】
記録媒体Ｐに転写されたフルカラートナー像は、定着装置１１８によって加熱および加圧されて記録媒体Ｐに融着される。その後、片面プリントの場合には、記録媒体Ｐは、排紙ローラー対１７３によって露光ユニット１１０の外部へ排出される。
一方、感光体１１１は一次転写位置を経過した後に、クリーニングユニット１１６のクリーニングブレード１６１によって、その表面に付着しているトナーが掻き落とされ、次の潜像を形成するための帯電に備える。掻き落とされたトナーは、クリーニングユニット１１６内の残存トナー回収部に回収される。
【００７２】
両面プリントの場合には、定着装置１１８によって一方の面に定着処理された記録媒体Ｐを一旦排紙ローラー対１７３により挟持した後に、排紙ローラー対１７３を反転駆動するとともに、搬送ローラー１７４及び搬送ローラー１７６からなる搬送ローラー対を駆動して、当該記録媒体Ｐを搬送路１７５を通じて表裏反転して二次転写位置へ帰還させ、前述と同様の動作により、記録媒体Ｐの他方の面に画像を形成する。
【００７３】
印刷装置１０１が備える露光ユニット１１０は、図示省略したパーソナルコンピューターなどのホストコンピューターから画像情報及び画像形成指令を受け、一様に帯電された感光体１１１上に、レーザー光を選択的に照射することによって、画像情報に対応する静電的な潜像を形成する装置である。
図７に示すように、露光ユニット１１０は、光偏向器であるアクチュエーター１０３と、レーザー光源１２１と、コリメータレンズ１２２と、ｆθレンズ１２３とを備えている。アクチュエーター１０３は、回動軸Ｘ１まわりに回動可能な可動板２４１と、可動板２４１上に形成された反射鏡２４２とを有している。
【００７４】
露光ユニット１１０にあっては、レーザー光源１２１からコリメータレンズ１２２を介してアクチュエーター１０３の反射鏡２４２にレーザー光Ｌが照射される。照射されたレーザー光Ｌは、反射鏡２４２で反射されて、ｆθレンズ１２３を介して感光体１１１上に照射される。
その際、アクチュエーター１０３が駆動されて、可動板２４１が回動軸Ｘ１まわりに回動することにより、可動板２４１上に形成された反射鏡２４２で反射されたレーザー光Ｌは、感光体１１１の軸線方向に走査（主走査）される。同時に、感光体１１１が回転することにより、反射鏡２４２で反射されたレーザー光Ｌは、感光体１１１の周方向に走査（副走査）される。レーザー光Ｌが感光体１１１上を主走査方向及び副走査方向に走査されることによって、感光体１１１上に面状の画像が形成される。反射鏡２４２が、反射手段に相当する。
レーザー光源１２１から射出されるレーザー光Ｌの強度は、図示しないホストコンピューターから受けた画像情報に応じて変化する。感光体１１１に照射されるレーザー光Ｌの強度によって、照射された部分におけるトナー像の濃度が定まり、同じ部分における各色の濃度の組み合わせによって、当該部分の色調や濃度が定まる。
このようにして露光ユニット１１０は、感光体１１１上を選択的に露光して画像形成（描画）を行う。
【００７５】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）主走査偏向器３１は、加熱コイル５８を備えており、加熱コイル５８によって、光偏向素子４０を過熱することができる。光偏向素子４０を過熱することで光偏向素子４０の温度を略一定に維持して、光偏向素子４０の特性の中で温度に依存する特性を安定させることができる。
【００７６】
（２）主走査偏向器２３１は、素子筺体２５０に配設されており温度調整素子２３８に接続された熱伝導部材２５８を備えており、温度調整素子２３８によって、熱伝導部材２５８を介して、素子筺体２５０に配設されている光偏向素子４０を過熱又は冷却することができる。光偏向素子４０を過熱又は冷却することで光偏向素子４０の温度を略一定に維持して、光偏向素子４０の特性の中で温度に依存する特性を安定させることができる。
【００７７】
（３）加熱コイル５８及び熱伝導部材２５８は、筺体本体５２又は筺体本体２５２と一体に形成されている。光偏向素子４０は、加熱コイル５８又は熱伝導部材２５８とは全く別に製造できるため、筺体本体５２又は筺体本体２５２を造りこむことが光偏向素子４０の製造工程に影響を与えることをなくすることができる。
【００７８】
（４）加熱コイル５８及び熱伝導部材２５８は、筺体本体５２又は筺体本体２５２と一体に形成されており、光偏向素子４０を筺体本体５２又は筺体本体２５２に組み込む際は、加熱コイル５８の回路配線又は熱伝導部材２５８の熱伝導配線を引き回すことは不要である。これにより、筺体本体５２又は筺体本体２５２に光偏向素子４０を組み込んで、封止蓋５１で封止する際に、回路配線又は熱伝導配線を引き回すことに起因して、筺体本体５２又は筺体本体２５２と封止蓋５１との接合方法が制限を受けることを抑制することができる。
【００７９】
（５）筺体本体５２又は筺体本体２５２と封止蓋５１との接合は、金属接合、共晶結合、又は陽極接合などによって接合されている。これらの接合方法を用いることで、接合部を確実に接合して、素子室５４又は素子室２５４を、実質的に完全に雰囲気と隔絶させることができる。これにより、素子室５４又は素子室２５４を、負圧状態にして、負圧状態を維持することができる。
【００８０】
（６）加熱コイル５８のコイル部５８ｃ、及び熱伝導部材２５８の熱伝導端子部２５８ｃは、側壁５２ａ又は側壁２５２ａにおける支持枠４４に近接した部分に配設されている。これにより、支持枠４４を効率よく加熱又は冷却することができる。
【００８１】
（７）加熱コイル５８のコイル部５８ｅ、及び熱伝導部材２５８の熱伝導端子部２５８ｅは、支持枠４４を支持している支持部５６又は支持部２５６に配設されている。これにより、支持枠４４を効率よく加熱又は冷却することができる。
【００８２】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【００８３】
（変形例１）前記実施形態においては、加熱コイル５８は、側壁５２ａの内部における支持枠４４に対向する部分及び支持部５６の内部に配設されており、熱伝導部材２５８は、側壁２５２ａの内部における支持枠４４に対向する部分及び支持部２５６の内部に配設されていた。しかし、温度調整手段を、側壁における光偏向素子の支持枠に対向する位置と、光偏向素子を支持する支持部との両方に配設することは必須ではない。温度調整手段を、側壁における光偏向素子の支持枠に対向する位置と、光偏向素子を支持する支持部とのいずれか一方に配設する構成であってもよい。
【００８４】
（変形例２）前記実施形態においては、コイル端子５８ａとコイル端子５８ｇとは、筺体本体５２の外底面５７に配設されており、加熱コイル５８に接続する回路配線は、筺体本体５２における封止蓋５１と反対側から導出されている。接続端子部２５８ａと接続端子部２５８ｇとは、筺体本体２５２の外底面２５７に配設されており、熱伝導部材２５８に接続する熱伝導配線は、筺体本体２５２における封止蓋５１と反対側から導出されている。しかし、回路配線、又は熱伝導配線が筺体本体における蓋部材が配設された側と反対の外面から導出されることは必須ではない。回路配線及び熱伝導配線は、筺体本体の側面などから導出される構成であってもよい。
【００８５】
（変形例３）前記実施形態においては、光走査ユニット３は偏向器支持基板３３を備え、主走査偏向器３１は偏向器支持基板３３に固定されて支持されていた。主走査偏向器２３１は、偏向器支持基板２３３を備えており、素子筺体２５０が偏向器支持基板２３３に固定されて支持されていた。しかし、光偏向器が回路配線又は熱伝導配線が配設された配線基板を備えることも、配線基板に固定されることによって支持されることも必須ではない。光偏向器の支持装置はどのような構成であってもよい。回路配線及び熱伝導配線の引き回しは、どのような引き回し方であってもよい。
【００８６】
（変形例４）前記実施形態においては、副走査偏向器３２は、ガルバノミラーにより構成されていたが、副走査偏向器３２のように使用される光偏向器にも、主走査偏向器３１のような光偏向素子を用いた光偏向器を採用できる。
【００８７】
（変形例５）前記実施形態においては、筺体本体５２又は筺体本体２５２と封止蓋５１との接合は、金属接合、共晶結合、又は陽極接合などによって接合されていた。しかし、蓋部材と筺体本体とを金属接合、共晶結合、又は陽極接合などの接合方法を用いて接合することは必須ではない。半田を用いる接合や、接着剤を用いた接着などの接合方法を用いた接合であってもよい。
【００８８】
（変形例６）前記実施形態においては、支持枠４４は、略方形の板の内側に支持枠開口４５が形成された額縁状の形状を有していたが、支持枠４４などの支持枠が額縁状の形状であることは必須ではない。弾性支持梁を支持することができる充分な強度を実現できれば、支持枠の形状はどのような形状であってもよい。
【符号の説明】
【００８９】
１…投射型画像表示装置、３…光走査ユニット、２１…レーザー光源、２２…ダイクロイックプリズム、３１…主走査偏向器、３２…副走査偏向器、３３…偏向器支持基板、３６…駆動装置、３７…磁石、３８…駆動コイル、４０…光偏向素子、４１…可動板、４２…反射鏡、４３…弾性支持梁、４４…支持枠、４８…副走査反射鏡、５０…素子筺体、５１…封止蓋、５２…筺体本体、５２ａ…側壁、５３…上面、５４…素子室、５６…支持部、５７…外底面、５８…加熱コイル、５８ａ…コイル端子、５８ｃ…コイル部、５８ｅ…コイル部、５８ｇ…コイル端子、１０１…印刷装置、１０３…アクチュエーター、１２１…レーザー光源、２３１…主走査偏向器、２３３…偏向器支持基板、２３３ａ…熱伝導配線、２３３ｂ…接続端子、２３８…温度調整素子、２４１…可動板、２４２…反射鏡、２５０…素子筺体、２５２…筺体本体、２５２ａ…側壁、２５３…上面、２５４…素子室、２５６…支持部、２５７…外底面、２５８…熱伝導部材、２５８ａ…接続端子部、２５８ｃ…熱伝導端子部、２５８ｅ…熱伝導端子部、２５８ｇ…接続端子部。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光偏向素子を備える光偏向器、光偏向器が備える光偏向素子の温度調整方法、光偏向素子を備える光偏向器の製造方法、及び光偏向器を備える画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、反射面を回動させることによって、光源から反射面に入射する光束を偏向させて、当該偏向光によって画像形成面上を走査することで画像形成面に画像を形成する光偏向器が知られている。高解像度の画像を形成するためには、より高い周波数で反射面を回動させることが必要である。ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）の技術を応用して製作されたミラーデバイスは、従来から用いられているポリゴンミラーやガルバノミラーでは実現が困難な高い周波数で駆動させることが可能である。このミラーデバイスは、反射面が形成又は取り付けられた可動板と、弾性を有する捻り梁と、駆動源とを備え、捻り梁を軸にして反射面を往復回動させることによって、光源から反射面に入射する光束を偏向させる光偏向器である。
このようなミラーデバイスでは、回動角を充分に大きくするために、駆動周波数を構造体の共振周波数にあわせることが行われている。共振周波数は、可動板の慣性モーメントや捻り梁のねじり弾性係数などの特性によって定まる。
【０００３】
ねじり弾性係数などの特性は、温度に依存して変動するため、光偏向器の温度を一定に保つことによって、共振周波数を一定に保つことで、駆動周波数を安定させて良好な画像を形成することが行われている。特許文献１には、ねじり梁に近接した発熱部を設けて、ねじり梁の温度を一定に維持する振動ミラー、振動ミラーの振れ角制御方法、光書込装置及び画像形成装置が開示されている。特許文献２には、駆動源を構成するコイルを熱源として用いて弾性支持部（捻り梁に相当）を含む振動系の温度を調整する、搖動体装置、光偏向器、及びその制御方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−６９７３１号公報
【特許文献２】特開２００７−１７１９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１や特許文献２に開示された装置においては、可動板を含むミラーデバイスに発熱部材を作りこむ必要があるため、ＭＥＭＳの技術を応用したミラーデバイスの製造工程に加えて、発熱部材を作りこむ工程を実施する必要がある。このため、発熱部材を含むミラーデバイスの作りこみが困難であるという課題があった。
また、ミラーデバイスをパッケージに組み込む際に発熱部材に接続された配線を一緒に組み込むことが必要であり、パッケージにおけるミラーデバイスが組み込まれた空間を封止する蓋部材をパッケージ本体に固定する際に、蓋部材をパッケージ本体に固定しながら配線の引き回し及び固定を実施する必要があった。配線の引き回し及び固定を一緒に実施するために、蓋部材をパッケージ本体に固定するために採用できる方法が制限されてしまうことによって、必ずしも適切な固定方法を採用することができないという課題があった。最適な方法を採れないことに起因して、ミラーデバイスが組み込まれた空間を密封できない可能性があった。ミラーデバイスが組み込まれた空間を密閉できると、当該空間を負圧にすることで、可動板が受ける抵抗を軽減して、より小さい力で可動板を効率よく回動させることができる。ミラーデバイスを高速で駆動するためには、小さい力で可動板を効率よく回動させることができることは、重要な要件である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、前記光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、前記温度調整手段は、前記筺体本体に配設されていることを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる光偏向器によれば、温度調整手段によって光偏向素子の温度を調整することで、光偏向素子の温度を略一定に保つことができる。光偏向素子の温度を一定に保つことによって、光偏向素子の固有の共振周波数が温度変化によって変動することを抑制することができる。光偏向素子の駆動周波数を規定する要因のひとつである共振周波数の変動を抑制することで、光偏向素子の駆動周波数を安定させることができる。
温度調整手段が筺体本体に配設されていることによって、温度調整手段を製造する工程は、光偏向素子を製造する工程とは関わりなく実施することができる。これにより、温度調整手段を光偏向素子と一体に形成することに起因して光偏向素子の製造工程が困難になることを防止して、容易に製造することができる。
温度調整手段が筺体本体に配設されていることによって、光偏向素子を筺体本体に組み込む前に、温度調整手段を筺体本体に、予め組み込んで、温度調整手段に接続されている配線の引き回し及び固定を予め実施しておくことができる。これにより、光偏向素子を筺体本体に組み込む際に、並行して温度調整手段を筺体本体に組み込むことが不要であり、素子室を封止する際に、略並行して温度調整手段の配線の引き回し及び固定を実施することが不要である。素子室を封止する際に、略並行して温度調整手段の配線の引き回し及び固定を実施することに起因して、素子室を封止する方法が制限されることがなく、適切な封止方法を採用することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる光偏向器は、前記筺体本体が、前記素子室内に形成されており、前記支持枠を支持することによって前記光偏向素子を支持する支持部を有し、前記温度調整手段は、前記支持部に配設されていることが好ましい。
【００１０】
この光偏向器によれば、温度調整手段は支持枠を支持する支持部に配設されている。これにより、温度調整手段によって支持部の温度を効率よく調整することができ、支持部の温度を調整することで、支持部に支持された支持枠の温度を効率よく調整することができる。支持枠の温度を効率よく調整することで、支持枠に接続された弾性支持梁の温度を効率よく調整することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる光偏向器は、前記筺体本体が、前記素子室を構成する側壁を有し、前記温度調整手段は、前記側壁における、前記素子室内に固定された前記光偏向素子の前記支持枠に対向する位置に配設されていることが好ましい。
【００１２】
この光偏向器によれば、温度調整手段は、側壁における光偏向素子の支持枠に対向する位置に配設されている。これにより、温度調整手段によって温度調整手段が配設された側壁の部分に対向する位置に配設されている支持枠の温度を効率よく調整することができる。支持枠の温度を効率よく調整することで、支持枠に接続された弾性支持梁の温度を効率よく調整することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる光偏向器は、前記温度調整手段が、加熱用コイルであることが好ましい。
【００１４】
この光偏向器によれば、加熱用コイルによって光偏向素子を加熱して、所望の温度にすることができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる光偏向器は、前記温度調整手段が、冷却素子又は加熱素子に接続された熱伝導端子であることが好ましい。
【００１６】
この光偏向器によれば、冷却素子又は加熱素子によって熱伝導端子を冷却又は加熱することで、光偏向素子を加熱又は冷却して所望の温度に調整するために適切な温度に、熱伝導端子の温度を調整することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる光偏向器は、前記素子筺体が、前記反射面に入射する光束及び前記反射面によって反射された光束が透過する窓部を有し前記素子室を封止する蓋部材を備え、前記加熱用コイルと電源とを接続する回路配線、及び前記冷却素子又は前記加熱素子と前記熱伝導端子とを接続する熱伝導配線は、前記筺体本体における前記蓋部材が配設された側と反対の外面から導出されていることが好ましい。
【００１８】
この光偏向器によれば、回路配線及び熱伝導配線は、蓋部材が配設された側と反対の外面から導出されている。これにより、光偏向素子を筺体本体に組み込む際に、回路配線又は熱伝導配線の引き回し及び固定を実施することが不要である。素子室を封止する際に、温度調整手段の配線の引き回し及び固定を実施することに起因して、素子室を封止する方法が制限されることがなく、適切な封止方法を採用することができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる光偏向器は、前記筺体本体が、前記回路配線を構成する回路配線、又は前記熱伝導配線を構成する熱伝導配線の一部分が配設された配線基板に、前記外面を当接又は臨ませて固定されていることが好ましい。
【００２０】
この光偏向器によれば、配線基板に当接する又は臨む位置にある外面から導出された回路配線又は熱伝導配線を、配線基板に形成された回路配線又は熱伝導配線に容易に接続することができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる光偏向器は、前記蓋部材と前記筺体本体とが、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合されていることが好ましい。
【００２２】
この光偏向器によれば、蓋部材と筺体本体とは、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合されることで、接合面の全面が確実に接合されている。これにより、素子室を確実に雰囲気と隔絶させることができる。このため、例えば素子室を負圧にして、可動板が回動する際の抵抗を低減することができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例にかかる光偏向素子の温度調整方法は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、を備える光偏向器における光偏向素子の温度調整方法であって、前記筺体本体に配設されている温度調整手段によって、前記光偏向素子の温度を調整することを特徴とする。
【００２４】
本適用例にかかる光偏向素子の温度調整方法によれば、温度調整手段によって光偏向素子の温度を調整することで、光偏向素子の温度を略一定に保つことができる。光偏向素子の温度を一定に保つことによって、光偏向素子の固有の共振周波数が温度変化によって変動することを抑制することができる。光偏向素子の駆動周波数を規定する要因のひとつである共振周波数の変動を抑制することで、光偏向素子の駆動周波数を安定させることができる。
温度調整手段が筺体本体に配設されていることによって、温度調整手段を製造する工程は、光偏向素子を製造する工程とは関わりなく実施することができる。これにより、温度調整手段を光偏向素子と一体に形成することに起因して光偏向素子の製造工程が困難になることを防止して、容易に製造することができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかる光偏向素子の温度調整方法は、前記筺体本体が、前記素子室内に形成されており、前記支持枠を支持することによって前記光偏向素子を支持する支持部を有し、前記温度調整手段は、前記支持部に配設されていることが好ましい。
【００２６】
この光偏向素子の温度調整方法によれば、温度調整手段は支持枠を支持する支持部に配設されている。これにより、温度調整手段によって支持部の温度を効率よく調整することができ、支持部の温度を調整することで、支持部に支持された支持枠の温度を効率よく調整することができる。支持枠の温度を効率よく調整することで、支持枠に接続された弾性支持梁の温度を効率よく調整することができる。
【００２７】
［適用例１１］本適用例にかかる光偏向器の製造方法は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、前記光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備える光偏向器の製造方法であって、前記光偏向素子を形成する光偏向素子形成工程と、前記筺体本体を形成すると共に、前記筺体本体に前記温度調整手段を配設する筺体本体形成工程と、前記素子室に前記光偏向素子を組み込む、光偏向素子組み込み工程と、前記素子室を封止する蓋部材を前記筺体本体に接合する蓋部材接合工程と、を有することを特徴とする。
【００２８】
本適用例にかかる光偏向器の製造方法によれば、筺体本体形成工程において筺体本体に配設された温度調整手段によって光偏向素子の温度を調整することで、光偏向素子の温度を略一定に保つことができる。光偏向素子の温度を一定に保つことによって、光偏向素子の固有の共振周波数が温度変化によって変動することを抑制することができる。光偏向素子の駆動周波数を規定する要因のひとつである共振周波数の変動を抑制することで、光偏向素子の駆動周波数を安定させることができる。
光偏向素子形成工程は、筺体本体形成工程において温度調整手段が筺体本体に配設されることによって、温度調整手段を製造する工程や温度調整手段を配設する工程とは関わりなく実施することができる。これにより、温度調整手段を光偏向素子と一体に形成することに起因して光偏向素子の製造工程が困難になることを防止して、容易に製造することができる。
光偏向素子組み込み工程は、筺体本体形成工程において温度調整手段が筺体本体に配設されることによって、並行して温度調整手段を筺体本体に組み込むことを不要にすることができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかる光偏向器の製造方法は、前記温度調整手段が、接続配線を介して前記温度調整手段を駆動する温度調整手段駆動源と接続されており、前記筺体本体形成工程において、前記筺体本体における前記蓋部材が配設される側と反対の外面から、前記接続配線を導出することが好ましい。
【００３０】
この光偏向器の製造方法によれば、筺体本体形成工程において、回路配線及び熱伝導配線は、蓋部材が配設された側と反対の外面から導出されている。これにより、蓋部材接合工程では、素子室を封止する際に、略並行して温度調整手段の配線の引き回し及び固定を実施することを不要にすることができる。素子室を封止する際に、略並行して温度調整手段の配線の引き回し及び固定を実施することに起因して、素子室を封止する方法が制限されることがなく、適切な封止方法を採用することができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかる光偏向器の製造方法は、前記蓋部材接合工程において、前記蓋部材と前記筺体本体とを、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合することが好ましい。
【００３２】
この光偏向器の製造方法によれば、蓋部材と筺体本体とを、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合することで、接合面の全面を確実に接合することができる。これにより、素子室を確実に雰囲気と隔絶させることができるため、例えば素子室を負圧にして、可動板が回動する際の抵抗を低減することができる。
【００３３】
［適用例１４］本適用例にかかる画像形成装置は、光源と、上記した適用例に記載の光偏向器と、を備え、前記光源から射出された光束を前記光偏向器によって偏向させることで画像を形成することを特徴とする。
【００３４】
本適用例にかかる画像形成装置によれば、温度を適切に調整することによって安定した稼働を実現できる光偏向素子を備える光偏向器を備えることによって、品質の高い画像を安定して形成することができる。
温度調整手段が筺体本体に配設されていることによって容易に製造することができる光偏向器を備えることで、容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】投射型画像表示装置の主要な構成要素を示す説明図。
【図２】（ａ）は、光偏向素子の形状を示す平面図。（ｂ）は、（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面図。
【図３】（ａ）は、素子筺体の筺体本体の外形形状及び筺体本体と一体に形成された加熱コイルを示す上面側から見た平面図。（ｂ）は、素子筺体の筺体本体及び封止蓋の断面形状及び加熱コイルを示す断面図。（ｃ）は、素子筺体の筺体本体の外形形状及び加熱コイルを示す、（ａ）とは反対側から見た平面図。
【図４】（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図。（ｂ）は、主走査偏向器の断面図。（ｃ）は、可動板が回動した状態を示す断面図。（ｄ）は、可動板が回動した状態を示す断面図。
【図５】（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図。（ｂ）は、主走査偏向器の断面図。
【図６】印刷装置の全体構成を模式的に示す断面図。
【図７】印刷装置が備える露光ユニットの概略構成を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置の一実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、光偏向器を備える画像形成装置としての投射型画像表示装置を例にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３７】
＜投射型画像表示装置＞
最初に、投射型画像表示装置１について、図１を参照して説明する。図１は、投射型画像表示装置の主要な構成要素を示す説明図である。
図１に示すように、投射型画像表示装置１は、光束ＬをスクリーンＳの横方向（主走査方向）及び縦方向（副走査方向）に２次元的に走査することにより、スクリーンＳ上に画像を形成（描画）する装置である。
【００３８】
投射型画像表示装置１は、光源ユニット２と、光走査ユニット３と、図示省略した表示装置制御部と、を備えている。光源ユニット２から光束Ｌが射出され、当該光束Ｌが光走査ユニット３によって２次元的に走査されてスクリーンＳに投射されて、スクリーンＳ上に画像が形成される。
なお、スクリーンＳは、投射型画像表示装置１に一体に備えられたものであっても別体であってもよい。また、スクリーンＳの表面側（光Ｌの照射側）で画像を視認するように構成してもよいし、スクリーンＳの裏面側（光Ｌの照射側とは反対側）から画像を視認するように構成してもよい。
【００３９】
光源ユニット２は、レーザー光源２１と、ダイクロイックプリズム２２とを備えている。レーザー光源２１は、３色の光のいずれかを射出する、レーザー光源２１Ｒ、レーザー光源２１Ｇ、又はレーザー光源２１Ｂである。レーザー光源２１Ｒは赤色の光束ＬＲを射出し、レーザー光源２１Ｇは緑色の光束ＬＧを射出し、レーザー光源２１Ｂは青色の光束ＬＢを射出する。
【００４０】
ダイクロイックプリズム２２は、３色の光のいずれかを選択的に反射する、ダイクロイックプリズム２２Ｒ、ダイクロイックプリズム２２Ｇ、又はダイクロイックプリズム２２Ｂである。ダイクロイックプリズム２２Ｒは、赤色光を選択的に反射する反射部を備えている。レーザー光源２１Ｒから射出された赤色の光束ＬＲは、ダイクロイックプリズム２２Ｒに入射し、反射部で反射されてダイクロイックプリズム２２Ｇに向けて射出される。当該光束を、光束Ｌ１と表記する。
【００４１】
ダイクロイックプリズム２２Ｇは、緑色光を選択的に反射する反射部を備えている。レーザー光源２１Ｇから射出された緑色の光束ＬＧは、ダイクロイックプリズム２２Ｇに入射し、反射部で反射されてダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｒからダイクロイックプリズム２２Ｇに向けて射出された光束Ｌ１は、ダイクロイックプリズム２２Ｇの反射部を透過して、ダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｇは、光束ＬＧを反射し、光束Ｌ１を透過させることで、光束ＬＧと光束Ｌ１とが合成された光束Ｌ２を、ダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出する。
【００４２】
ダイクロイックプリズム２２Ｂは、青色光を選択的に反射する反射部を備えている。レーザー光源２１Ｂから射出された青色の光束ＬＢは、ダイクロイックプリズム２２Ｂに入射し、反射部で反射されて射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｇからダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出された光束Ｌ２は、ダイクロイックプリズム２２Ｂの反射部を透過して、射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｂは、光束ＬＢを反射し、光束Ｌ２を透過させることで、光束ＬＢと光束Ｌ２とが合成された光束Ｌを、射出する。光束Ｌは、３色の光束ＬＲと、光束ＬＧと、光束ＬＢとが合成された光束である。
【００４３】
光走査ユニット３は、主走査偏向器３１と、副走査偏向器３２と、偏向器支持基板３３（図４参照）と、固定反射鏡３４とを備えている。
主走査偏向器３１は、光偏向素子４０を備えており、光偏向素子４０は、回動軸Ｘを回動軸として回動する可動板４１に固定された反射鏡４２を備えている。
光源ユニット２のダイクロイックプリズム２２Ｂから射出された光束Ｌは、反射鏡４２によって反射されて、回動軸Ｘの軸方向に略直角な主走査方向に走査される。主走査偏向器３１が、光偏向器に相当する。
【００４４】
副走査偏向器３２は、例えば、ガルバノミラーにより構成されており、主走査方向に略平行な回動軸Ｙを回動軸として回動する副走査反射鏡４８を備えている。
主走査偏向器３１の反射鏡４２によって反射された光束Ｌは、副走査反射鏡４８によって反射されて、主走査方向に略直角な副走査方向に走査される。
副走査反射鏡４８によって反射された光束Ｌは、固定反射鏡３４で反射されて、スクリーンＳに照射される。主走査偏向器３１による主走査方向の走査と、副走査偏向器３２による副走査方向の走査とによって、スクリーンＳ上に、２次元の画像が形成される。
【００４５】
＜光偏向素子＞
次に、主走査偏向器３１が備える光偏向素子４０について、図２を参照して説明する。図２は、光偏向素子の形状を示す図である。図２（ａ）は、光偏向素子の形状を示す平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面図である。
図２に示すように、光偏向素子４０は、可動板４１と、反射鏡４２と、一対の弾性支持梁４３，４３と、支持枠４４と、を備えている。可動板４１と弾性支持梁４３と支持枠４４とは、例えばシリコン基板をエッチングして形成され、一体に形成されている。
可動板４１の形状は、円形の平板である。反射鏡４２は、平板形状の可動板４１の一面に、配設されている。反射鏡４２は、例えばアルミニウムの薄膜であり、平滑に仕上げられたシリコンの面に、例えばスパッタリングによって形成される。
【００４６】
弾性支持梁４３は、略四角柱の形状を有している。一対の弾性支持梁４３，４３は、それぞれの弾性支持梁４３の一端が、可動板４１の側面における円形平板形状の中心に関して略対称の位置において接続されており、それぞれの中心軸が一直線となる方向に延在している。中心軸は、四角柱形状の長手方向に延在し、幅方向及び厚さ方向の中心位置に位置しており、図２（ａ）に示した回動軸Ｘと一致している。
支持枠４４は、略方形の板の内側に開口４４ａが形成された額縁状の形状を有している。可動板４１（反射鏡４２）と一対の弾性支持梁４３，４３とは、開口４４ａに配設されている。弾性支持梁４３の可動板４１と接続された一端の反対側の一端が、額縁形状の対向する２辺の略中央にそれぞれ接続されている。
一対の弾性支持梁４３，４３が回動軸Ｘを中心にして捩れることによって、可動板４１（反射鏡４２）は、回動軸Ｘを中心にして回動する。主走査偏向器３１が投射型画像表示装置１に組み込まれた状態で、図２（ａ）に示した回動軸Ｘは、図１に示した回動軸Ｘと同じものである。反射鏡４２が、反射手段に相当する。
【００４７】
＜素子筺体＞
次に、主走査偏向器３１が備える素子筺体５０について、図３を参照して説明する。図３は、素子筺体の外形形状及び素子筺体と一体に形成された加熱コイルを示す図である。図３（ａ）は、素子筺体の筺体本体の外形形状及び筺体本体と一体に形成された加熱コイルを示す上面側から見た平面図であり、図３（ｂ）は、素子筺体の筺体本体及び封止蓋の断面形状及び加熱コイルを示す断面図であり、図３（ｃ）は、素子筺体の筺体本体の外形形状及び加熱コイルを示す、図３（ａ）とは反対側から見た平面図である。筺体本体の内部を明示するために、図３（ａ）は、封止蓋５１がない状態を示している。断面図において断面より手前の物は表示されないが、図３（ｂ）における加熱コイル５８は、断面より手前の部分を二点鎖線で示している。
【００４８】
図３に示すように、素子筺体５０は、筺体本体５２及び封止蓋５１を備えている。筺体本体５２は、略直方体を有し、上面５３において外面に開口する素子室５４が形成されている。筺体本体５２の外面における上面５３の反対側の外面を外底面５７と表記する。上述したように、図３（ａ）は上面５３側から見た平面図であり、図３（ｃ）は外底面５７側から見た平面図である。本実施形態の主走査偏向器３１では、上面５３側を上側と表記し、外底面５７側を下側と表記する。外底面５７には、駆動装置３６（図４参照）の駆動コイル３８（図４参照）を配設するための外底面凹部５７ａが形成されている。
【００４９】
筺体本体５２の素子室５４を囲む部分を、側壁５２ａと表記する。素子室５４における底面と側壁５２ａとの角部には、素子室５４側に膨出した支持部５６が形成されている。底面と支持部５６とに囲まれた素子室５４の部分を、素子室凹部５４ａと表記する。素子室凹部５４ａは、略直方体形状の空間である。素子室５４の平面形状は、支持枠４４の外形形状と相似形であって、支持枠４４の外形形状より僅かに大きくなっており、光偏向素子４０を素子室５４内に配置することができる。素子室５４内に配置された光偏向素子４０は、支持枠４４が支持部５６に当接して支持される（図４参照）。素子室凹部５４ａの平面形状は、光偏向素子４０の開口４４ａの平面形状と略相似形状であり、支持部５６は、可動板４１や弾性支持梁４３に接触することなく、支持枠４４を支持する。
封止蓋５１を上面５３に載せて、封止蓋５１と上面５３とを接合することによって、素子室５４は封止される。反射鏡４２に入射する光束は、封止蓋５１を透過して入射し、反射鏡４２によって反射された光束は、封止蓋５１を透過して主走査偏向器３１から射出される。封止蓋５１が、蓋部材に相当する。
【００５０】
筺体本体５２には、加熱コイル５８が一体に形成されている。加熱コイル５８は、コイル端子５８ａと、コイル接続部５８ｂと、コイル部５８ｃと、コイル接続部５８ｄと、コイル部５８ｅと、コイル接続部５８ｆと、コイル端子５８ｇと、を有し、これらの各部分がこの順番で接続されて一体になっている。
コイル端子５８ａとコイル端子５８ｇとは、略長方形形状の平板な端子であって、外底面５７に配設されている。コイル部５８ｃは、支持部５６より上側の側壁５２ａの内部における素子室５４側に近い部分に配設されており、螺旋状に複数巻き（図３では約２巻き）、素子室５４を巻いている。コイル部５８ｅは、支持部５６の内部の上側に配設されており、渦巻き状に複数巻き（図３では約２巻き）、巻いている。コイル接続部５８ｂの一端は、コイル端子５８ａに接続されており、コイル接続部５８ｂのもう一端は、コイル部５８ｃの一端に接続されている。コイル部５８ｃにおけるコイル接続部５８ｂに接続された一端の反対側の一端は、コイル接続部５８ｄの一端に接続されている。コイル接続部５８ｄにおけるコイル部５８ｃに接続された一端の反対側の一端は、コイル部５８ｅの一端に接続されている。コイル部５８ｅにおけるコイル接続部５８ｄに接続された一端の反対側の一端は、コイル接続部５８ｆの一端に接続されている。コイル接続部５８ｆにおけるコイル部５８ｅに接続された一端の反対側の一端は、コイル端子５８ｇに接続されている。なお、コイル接続部５８ｂと、コイル部５８ｃと、コイル接続部５８ｄと、コイル部５８ｅと、コイル接続部５８ｆとは、説明をわかり易くするために付した名称であり、加熱コイル５８において、上記した位置に在る部分が、それぞれ該当する名称の部分に相当する。
コイル端子５８ａとコイル端子５８ｇとを電源に接続して通電することで、コイル接続部５８ｂと、コイル部５８ｃと、コイル接続部５８ｄと、コイル部５８ｅと、コイル接続部５８ｆと、が発熱する。これらの発熱する部分の中で、コイル部５８ｃと、コイル部５８ｅとが、加熱用コイル及び温度調整手段に相当する。コイル端子５８ａとコイル端子５８ｇとが、回路配線に相当する。
【００５１】
筺体本体５２は、例えば低温焼成のセラミックスで形成する。セラミックス材料の膜を形成し、焼結することを繰り返し、積層させることによって、筺体本体５２を形成する。筺体本体５２を形成する途中の段階で、セラミックス膜の上に加熱コイル５８を構成する膜を形成し、加熱コイル５８を構成する膜の上にさらにセラミックス膜を積層することによって、加熱コイル５８が一体に形成された筺体本体５２を形成する。
加熱コイル５８を形成する工程を含む筺体本体５２を形成する工程が、筺体本体を形成すると共に、筺体本体に温度調整手段を配設する筺体本体形成工程に相当する。
【００５２】
＜主走査偏向器＞
次に、主走査偏向器３１について、図４を参照して説明する。図４は、主走査偏向器の構成を示す図である。図４（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図であり、図４（ｂ）は、主走査偏向器の断面図であり、図４（ｃ）及び図４（ｄ）は、可動板が回動した状態を示す断面図である。断面図において断面より手前の物は表示されないが、図４（ｂ），（ｃ），（ｄ）における加熱コイル５８は、断面より手前の部分を二点鎖線で示している。
図４に示すように、主走査偏向器３１は、光偏向素子４０と、素子筺体５０と、駆動装置３６と、加熱コイル５８とを備えている。主走査偏向器３１は、素子筺体５０の筺体本体５２が、偏向器支持基板３３に固定されることで、偏向器支持基板３３に支持されている。
【００５３】
光偏向素子４０は、支持枠４４が素子筺体５０の筺体本体５２における支持部５６に固定されることによって、筺体本体５２に固定されている。光偏向素子４０の可動板４１と反射鏡４２と一対の弾性支持梁４３，４３とは、筺体本体５２における素子室凹部５４ａの部分に位置しており、可動板４１及び可動板４１と一体に形成された反射鏡４２は回動可能である。
可動板４１における反射鏡４２が配設された反対側の面には、駆動装置３６の磁石３７が固定されている。筺体本体５２の外底面凹部５７ａには、駆動装置３６の駆動コイル３８が固定されている。駆動コイル３８は、筺体本体５２の底部を介して可動板４１と略対向する位置に配設されている。
【００５４】
周期的に変化する電流（交流）が駆動コイル３８に供給されることにより、駆動コイル３８は上方（可動板４１側）に向く磁界と、下方に向く磁界とを交互に発生させる。この磁界により、駆動コイル３８に対し磁石３７の両端（主走査偏向器３１においては、回動軸Ｘから遠い位置に位置する両端）に位置する一対の磁極のうち一方の磁極が接近し他方の磁極が離間するような力が磁石３７に作用する。磁石３７が固定された可動板４１は一対の弾性支持梁４３，４３が捩れ変形することによって回動可能であって、図４（ｃ）及び図４（ｄ）に示すように、回動軸Ｘ回りに回動させられる。
【００５５】
上述したように、加熱コイル５８のコイル部５８ｃは、支持部５６より上側の側壁５２ａの内部における素子室５４側に近い部分に配設されており、螺旋状に複数巻き素子室５４を巻いている。素子室５４におけるコイル部５８ｃが周囲に在るあたりには、支持枠４４が位置している。また、コイル部５８ｅは、支持部５６の内部の上側に配設されており、支持部５６の上面には、支持枠４４が支持されている。
【００５６】
光偏向素子４０を筺体本体５２の素子室５４に設置した後、封止蓋５１を筺体本体５２の上面５３に載せて、封止蓋５１と上面５３とを接合することによって、素子室５４は封止されている。封止蓋５１と上面５３とは、例えば金属接合、共晶結合、又は陽極接合などによって接合する。また、例えば接合作業を減圧された雰囲気中で実施することによって、封止された素子室５４は減圧状態になっている。
【００５７】
偏向器支持基板３３には、一対の接続端子３３ｂ，３３ｂとそれぞれの接続端子３３ｂに接続された回路配線３３ａとが形成されている。筺体本体５２が、偏向器支持基板３３に固定された状態で、筺体本体５２の外底面５７に配設されたコイル端子５８ａ及びコイル端子５８ｇは、それぞれ接続端子３３ｂに当接しており、コイル端子５８ａ又はコイル端子５８ｇと接続端子３３ｂとは電気的に接続されている。回路配線３３ａは図示省略した電源に接続されており、回路配線３３ａ及び接続端子３３ｂを介して、電源から加熱コイル５８に電力が供給される。回路配線３３ａ及び接続端子３３ｂが、回路配線に相当する。偏向器支持基板３３が、配線基板に相当する。
図示省略したが、駆動コイル３８と駆動装置３６の制御装置や電源とを電気的に接続する接続配線も、偏向器支持基板３３に形成することができる。
加熱コイル５８に供給する電力を制御することによって、加熱コイル５８の温度を略一定に維持することで、加熱コイル５８のコイル部５８ｃが周囲に配置されており、コイル部５８ｅの上側に位置する支持枠４４の温度を略一定に維持する。
【００５８】
＜他の主走査偏向器＞
次に、主走査偏向器３１とは一部の構成が異なる主走査偏向器２３１について、図５を参照して説明する。図５は、主走査偏向器の構成を示す図である。図５（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図であり、図５（ｂ）は、主走査偏向器の断面図である。断面図において断面より手前の物は表示されないが、図５（ｂ）における熱伝導部材２５８は、断面より手前の部分を二点鎖線で示している。
図５に示すように、主走査偏向器２３１は、光偏向素子４０と、素子筺体２５０と、駆動装置３６と、熱伝導部材２５８と、偏向器支持基板２３３と、温度調整素子２３８と、を備えている。
【００５９】
光偏向素子４０は、主走査偏向器３１が備える光偏向素子４０と実質的に同じものである。駆動装置３６は、主走査偏向器３１が備える駆動装置３６と実質的に同じものである。素子筺体２５０は、筺体本体２５２及び封止蓋５１を備えている。封止蓋５１は、主走査偏向器３１の筺体本体５２が備える封止蓋５１と実質的に同じものである。筺体本体２５２の形状は、素子筺体５０が備える筺体本体５２と実質的に同じ形状である。筺体本体２５２は、筺体本体５２が有する素子室５４と支持部５６と上面５３と外底面５７と外底面凹部５７ａと側壁５２ａと実質的に同じ形状を有する、素子室２５４と支持部２５６と上面２５３と外底面２５７と外底面凹部２５７ａと側壁２５２ａとを有している。
光偏向素子４０及び駆動装置３６は、主走査偏向器３１における光偏向素子４０又は駆動装置３６と同様に、筺体本体２５２に固定されている。
【００６０】
筺体本体２５２には、熱伝導部材２５８が一体に形成されている。熱伝導部材２５８は、接続端子部２５８ａと、熱伝導接続部２５８ｂと、熱伝導端子部２５８ｃと、熱伝導接続部２５８ｄと、熱伝導端子部２５８ｅと、熱伝導接続部２５８ｆと、接続端子部２５８ｇと、を有し、これらの各部分がこの順番で接続されて一体になっている。
接続端子部２５８ａと接続端子部２５８ｇとは、略長方形形状の平板な端子であって、筺体本体２５２の外底面２５７に配設されている。熱伝導端子部２５８ｃは、支持部２５６より上側の側壁２５２ａの内部における素子室２５４側に近い部分に配設されており、螺旋状に複数巻き、素子室２５４を巻いて配設されている。熱伝導端子部２５８ｅは、支持部２５６の内部の上側に配設されており、渦巻き状に複数巻き（図５では約２巻き）、巻いている。熱伝導接続部２５８ｂの一端は、接続端子部２５８ａに接続されており、熱伝導接続部２５８ｂのもう一端は、熱伝導端子部２５８ｃの一端に接続されている。熱伝導端子部２５８ｃにおける熱伝導接続部２５８ｂに接続された一端の反対側の一端は、熱伝導接続部２５８ｄの一端に接続されている。熱伝導接続部２５８ｄにおける熱伝導端子部２５８ｃに接続された一端の反対側の一端は、熱伝導端子部２５８ｅの一端に接続されている。熱伝導端子部２５８ｅにおける熱伝導接続部２５８ｄに接続された一端の反対側の一端は、熱伝導接続部２５８ｆの一端に接続されている。熱伝導接続部２５８ｆにおける熱伝導端子部２５８ｅに接続された一端の反対側の一端は、接続端子部２５８ｇに接続されている。
なお、熱伝導接続部２５８ｂと、熱伝導端子部２５８ｃと、熱伝導接続部２５８ｄと、熱伝導端子部２５８ｅと、熱伝導接続部２５８ｆとは、説明をわかり易くするために付した名称であり、熱伝導部材２５８において、上記した位置に在る部分が、それぞれ該当する名称の部分に相当する。
【００６１】
偏向器支持基板２３３には、一対の接続端子２３３ｂ，２３３ｂとそれぞれの接続端子２３３ｂに接続された熱伝導配線２３３ａとが形成されている。筺体本体２５２が、偏向器支持基板２３３に固定された状態で、筺体本体２５２の外底面２５７に配設された接続端子部２５８ａ及び接続端子部２５８ｇは、それぞれ接続端子２３３ｂに当接しており、接続端子部２５８ａ又は接続端子部２５８ｇと接続端子２３３ｂとは熱伝導可能に接続されている。熱伝導配線２３３ａは、偏向器支持基板２３３に配設された温度調整素子２３８に熱伝導可能に接続されている。
温度調整素子２３８は図示省略した電源に接続されており、温度調整素子２３８に接続された熱伝導配線２３３ａの温度を一定の温度に過熱又は冷却する。熱伝導配線２３３ａの温度を一定の温度に過熱又は冷却することで、接続端子２３３ｂと、接続端子部２５８ａ及び接続端子部２５８ｇと、を介して、熱伝導接続部２５８ｂと、熱伝導端子部２５８ｃと、熱伝導接続部２５８ｄと、熱伝導端子部２５８ｅと、熱伝導接続部２５８ｆと、が加熱又は冷却される。温度調整素子２３８としては、例えばペルチェ素子を用いることができる。温度調整素子２３８が加熱素子及び冷却素子に相当する。
【００６２】
上述した加熱コイル５８と同様に、熱伝導部材２５８の熱伝導端子部２５８ｃは、支持部２５６より上側の側壁２５２ａの内部における素子室２５４側に近い部分に配設されており、螺旋状に複数巻き素子室２５４を巻いている。素子室２５４における熱伝導端子部２５８ｃが周囲に在るあたりには、支持枠４４が位置している。また、熱伝導端子部２５８ｅは、支持部２５６の内部の上側に配設されており、支持部２５６の上面には、支持枠４４が支持されている。
熱伝導端子部２５８ｃと熱伝導端子部２５８ｅとを、加熱又は冷却して一定の温度に維持することで、熱伝導端子部２５８ｃが周囲に配置されており、熱伝導端子部２５８ｅの上側に位置する支持枠４４の温度を略一定に維持する。
熱伝導端子部２５８ｃと、熱伝導端子部２５８ｅとが、熱伝導端子及び温度調整手段に相当する。熱伝導配線２３３ａと、接続端子２３３ｂと、接続端子部２５８ａと、接続端子部２５８ｇとが、熱伝導配線に相当する。
【００６３】
光偏向素子４０を筺体本体２５２の素子室２５４に設置した後、封止蓋５１を筺体本体２５２の上面２５３に載せて、封止蓋５１と上面２５３とを接合することによって、素子室２５４は封止されている。封止蓋５１と上面２５３とは、例えば金属接合、共晶結合、又は陽極接合などによって接合する。また、例えば接合作業を減圧された雰囲気中で実施することによって、封止された素子室２５４は減圧状態になっている。
【００６４】
＜印刷装置＞
次に、投射型画像表示装置とは異なる、光偏向器を備える画像形成装置としての印刷装置について、図６及び図７を参照して説明する。本実施形態で説明する印刷装置１０１は、電子写真方式を採用する印刷装置である。図６は、印刷装置の全体構成を模式的に示す断面図である。図７は、印刷装置が備える露光ユニットの概略構成を示す説明図である。
【００６５】
印刷装置１０１は、露光・現像・転写・定着を含む一連の画像形成プロセスによって、トナーからなる画像を紙やＯＨＰシートなどの記録媒体に記録するものである。
図６に示すように、印刷装置１０１は、感光体１１１と、帯電ユニット１１２と、露光ユニット１１０と、現像ユニット１１４と、転写ユニット１１５と、クリーニングユニット１１６と、からなる画像形成ユニットを備えている。印刷を実施する際には、図６に矢印ａで示した方向に感光体１１１が回転する。帯電ユニット１１２と、露光ユニット１１０と、現像ユニット１１４と、転写ユニット１１５と、クリーニングユニット１１６とは、感光体１１１の回転方向に沿ってこの順番で、感光体１１１の周囲に配設されている。
印刷装置１０１は、また、紙などの記録媒体Ｐを収容する給紙トレイ１１７と、定着装置１１８とを備えている。給紙トレイ１１７は画像形成ユニットの一方の側（図６では、画像形成ユニットの図における下側）に配設されており、定着装置１１８は画像形成ユニットを挟んで給紙トレイ１１７の略反対側（図６では、画像形成ユニットの図における上側）に配設されている。
【００６６】
画像形成ユニットでは、帯電ユニット１１２によって、感光体１１１が帯電され、露光ユニット１１０によって潜像が形成され、現像ユニット１１４によってトナーで現像され、現像された画像が転写ユニット１１５に転写される。
より詳細には、まず、図示しないホストコンピューターからの指令により、感光体１１１、現像ユニット１１４に設けられた現像ローラー（図示省略）、及び転写ユニット１１５の中間転写ベルト１５１が回転を開始する。感光体１１１は、回転しながら、帯電ユニット１１２に対向する部分が帯電ユニット１１２により順次帯電される。
感光体１１１の帯電された領域は、感光体１１１の回転に伴って露光位置に至り、露光ユニット１１０によって、第１色目、例えばイエローＹの画像情報に応じた潜像が前記領域に形成される。
【００６７】
感光体１１１上に形成された潜像は、感光体１１１の回転に伴って、現像ユニット１１４に対向する現像位置に至り、イエロー現像のための現像装置、例えば現像装置１４４によってイエロートナーで現像される。イエロートナーで現像されることによって、感光体１１１上にイエロートナー像が形成される。
現像ユニット１１４は、軸１４６を軸に回転する保持体１４５と、現像装置１４１、現像装置１４２、現像装置１４３、及び現像装置１４４と、を備えている。現像装置１４１、現像装置１４２、現像装置１４３、及び現像装置１４４は、保持体１４５に保持されており、軸１４６のまわりに回転可能である。保持体１４５が回転して、例えばイエロートナーで現像する場合の現像装置１４４のように、現像する色に対応した現像装置１４１、現像装置１４２、現像装置１４３、又は現像装置１４４が、感光体１１１と対向する位置に位置される。
【００６８】
感光体１１１上に形成されたイエロートナー像などの像は、感光体１１１の回転に伴って、感光体１１１が転写ユニット１１５の一次転写ローラー１５２と対向している一次転写位置に至る。このとき、一次転写ローラー１５２には、トナーの帯電極性とは逆の極性の一次転写電圧（一次転写バイアス）が印加される。一次転写電圧が印加された一次転写ローラー１５２によって、感光体１１１上に形成されたイエロートナー像などの像が中間転写ベルト１５１に転写（一次転写）される。中間転写ベルト１５１は、駆動ローラー１５４を回転させることで一次転写ローラー１５２および従動ローラー１５３を従動回転させながら回転する。なお、この間、二次転写ローラー１５５は、中間転写ベルト１５１から離間している。
【００６９】
潜像の形成、現像、及び一次転写と同様の処理が、他の色（本実施形態では、第２色目、第３色目、及び第４色目）について繰り返して実行されることにより、各画像信号に対応した各色のトナー像が、中間転写ベルト１５１に重なり合って転写される。これにより、中間転写ベルト１５１上にはフルカラートナー像が形成される。
記録媒体Ｐは、給紙トレイ１１７から、給紙ローラー１７１及びレジローラー１７２によって、二次転写ローラー１５５と駆動ローラー１５４とが、中間転写ベルト１５１を間に挟んで対向している二次転写位置へ搬送される。
【００７０】
中間転写ベルト１５１上に形成されたフルカラートナー像は、中間転写ベルト１５１の回転に伴って二次転写位置に至る。このとき、二次転写ローラー１５５は中間転写ベルト１５１に押圧されるとともに二次転写電圧（二次転写バイアス）が印加されている。二次転写位置に至った記録媒体Ｐ及び中間転写ベルト１５１におけるフルカラートナー像が形成された部分は、二次転写ローラー１５５と駆動ローラー１５４とに挟まれて互いに凹圧され、二次転写電圧が印加された二次転写ローラー１５５によって、フルカラートナー像が記録媒体Ｐに転写（二次転写）される。
【００７１】
記録媒体Ｐに転写されたフルカラートナー像は、定着装置１１８によって加熱および加圧されて記録媒体Ｐに融着される。その後、片面プリントの場合には、記録媒体Ｐは、排紙ローラー対１７３によって露光ユニット１１０の外部へ排出される。
一方、感光体１１１は一次転写位置を経過した後に、クリーニングユニット１１６のクリーニングブレード１６１によって、その表面に付着しているトナーが掻き落とされ、次の潜像を形成するための帯電に備える。掻き落とされたトナーは、クリーニングユニット１１６内の残存トナー回収部に回収される。
【００７２】
両面プリントの場合には、定着装置１１８によって一方の面に定着処理された記録媒体Ｐを一旦排紙ローラー対１７３により挟持した後に、排紙ローラー対１７３を反転駆動するとともに、搬送ローラー１７４及び搬送ローラー１７６からなる搬送ローラー対を駆動して、当該記録媒体Ｐを搬送路１７５を通じて表裏反転して二次転写位置へ帰還させ、前述と同様の動作により、記録媒体Ｐの他方の面に画像を形成する。
【００７３】
印刷装置１０１が備える露光ユニット１１０は、図示省略したパーソナルコンピューターなどのホストコンピューターから画像情報及び画像形成指令を受け、一様に帯電された感光体１１１上に、レーザー光を選択的に照射することによって、画像情報に対応する静電的な潜像を形成する装置である。
図７に示すように、露光ユニット１１０は、光偏向器であるアクチュエーター１０３と、レーザー光源１２１と、コリメータレンズ１２２と、ｆθレンズ１２３とを備えている。アクチュエーター１０３は、回動軸Ｘ１まわりに回動可能な可動板２４１と、可動板２４１上に形成された反射鏡２４２とを有している。
【００７４】
露光ユニット１１０にあっては、レーザー光源１２１からコリメータレンズ１２２を介してアクチュエーター１０３の反射鏡２４２にレーザー光Ｌが照射される。照射されたレーザー光Ｌは、反射鏡２４２で反射されて、ｆθレンズ１２３を介して感光体１１１上に照射される。
その際、アクチュエーター１０３が駆動されて、可動板２４１が回動軸Ｘ１まわりに回動することにより、可動板２４１上に形成された反射鏡２４２で反射されたレーザー光Ｌは、感光体１１１の軸線方向に走査（主走査）される。同時に、感光体１１１が回転することにより、反射鏡２４２で反射されたレーザー光Ｌは、感光体１１１の周方向に走査（副走査）される。レーザー光Ｌが感光体１１１上を主走査方向及び副走査方向に走査されることによって、感光体１１１上に面状の画像が形成される。反射鏡２４２が、反射手段に相当する。
レーザー光源１２１から射出されるレーザー光Ｌの強度は、図示しないホストコンピューターから受けた画像情報に応じて変化する。感光体１１１に照射されるレーザー光Ｌの強度によって、照射された部分におけるトナー像の濃度が定まり、同じ部分における各色の濃度の組み合わせによって、当該部分の色調や濃度が定まる。
このようにして露光ユニット１１０は、感光体１１１上を選択的に露光して画像形成（描画）を行う。
【００７５】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）主走査偏向器３１は、加熱コイル５８を備えており、加熱コイル５８によって、光偏向素子４０を過熱することができる。光偏向素子４０を過熱することで光偏向素子４０の温度を略一定に維持して、光偏向素子４０の特性の中で温度に依存する特性を安定させることができる。
【００７６】
（２）主走査偏向器２３１は、素子筺体２５０に配設されており温度調整素子２３８に接続された熱伝導部材２５８を備えており、温度調整素子２３８によって、熱伝導部材２５８を介して、素子筺体２５０に配設されている光偏向素子４０を過熱又は冷却することができる。光偏向素子４０を過熱又は冷却することで光偏向素子４０の温度を略一定に維持して、光偏向素子４０の特性の中で温度に依存する特性を安定させることができる。
【００７７】
（３）加熱コイル５８及び熱伝導部材２５８は、筺体本体５２又は筺体本体２５２と一体に形成されている。光偏向素子４０は、加熱コイル５８又は熱伝導部材２５８とは全く別に製造できるため、筺体本体５２又は筺体本体２５２を造りこむことが光偏向素子４０の製造工程に影響を与えることをなくすることができる。
【００７８】
（４）加熱コイル５８及び熱伝導部材２５８は、筺体本体５２又は筺体本体２５２と一体に形成されており、光偏向素子４０を筺体本体５２又は筺体本体２５２に組み込む際は、加熱コイル５８の回路配線又は熱伝導部材２５８の熱伝導配線を引き回すことは不要である。これにより、筺体本体５２又は筺体本体２５２に光偏向素子４０を組み込んで、封止蓋５１で封止する際に、回路配線又は熱伝導配線を引き回すことに起因して、筺体本体５２又は筺体本体２５２と封止蓋５１との接合方法が制限を受けることを抑制することができる。
【００７９】
（５）筺体本体５２又は筺体本体２５２と封止蓋５１との接合は、金属接合、共晶結合、又は陽極接合などによって接合されている。これらの接合方法を用いることで、接合部を確実に接合して、素子室５４又は素子室２５４を、実質的に完全に雰囲気と隔絶させることができる。これにより、素子室５４又は素子室２５４を、負圧状態にして、負圧状態を維持することができる。
【００８０】
（６）加熱コイル５８のコイル部５８ｃ、及び熱伝導部材２５８の熱伝導端子部２５８ｃは、側壁５２ａ又は側壁２５２ａにおける支持枠４４に近接した部分に配設されている。これにより、支持枠４４を効率よく加熱又は冷却することができる。
【００８１】
（７）加熱コイル５８のコイル部５８ｅ、及び熱伝導部材２５８の熱伝導端子部２５８ｅは、支持枠４４を支持している支持部５６又は支持部２５６に配設されている。これにより、支持枠４４を効率よく加熱又は冷却することができる。
【００８２】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【００８３】
（変形例１）前記実施形態においては、加熱コイル５８は、側壁５２ａの内部における支持枠４４に対向する部分及び支持部５６の内部に配設されており、熱伝導部材２５８は、側壁２５２ａの内部における支持枠４４に対向する部分及び支持部２５６の内部に配設されていた。しかし、温度調整手段を、側壁における光偏向素子の支持枠に対向する位置と、光偏向素子を支持する支持部との両方に配設することは必須ではない。温度調整手段を、側壁における光偏向素子の支持枠に対向する位置と、光偏向素子を支持する支持部とのいずれか一方に配設する構成であってもよい。
【００８４】
（変形例２）前記実施形態においては、コイル端子５８ａとコイル端子５８ｇとは、筺体本体５２の外底面５７に配設されており、加熱コイル５８に接続する回路配線は、筺体本体５２における封止蓋５１と反対側から導出されている。接続端子部２５８ａと接続端子部２５８ｇとは、筺体本体２５２の外底面２５７に配設されており、熱伝導部材２５８に接続する熱伝導配線は、筺体本体２５２における封止蓋５１と反対側から導出されている。しかし、回路配線、又は熱伝導配線が筺体本体における蓋部材が配設された側と反対の外面から導出されることは必須ではない。回路配線及び熱伝導配線は、筺体本体の側面などから導出される構成であってもよい。
【００８５】
（変形例３）前記実施形態においては、光走査ユニット３は偏向器支持基板３３を備え、主走査偏向器３１は偏向器支持基板３３に固定されて支持されていた。主走査偏向器２３１は、偏向器支持基板２３３を備えており、素子筺体２５０が偏向器支持基板２３３に固定されて支持されていた。しかし、光偏向器が回路配線又は熱伝導配線が配設された配線基板を備えることも、配線基板に固定されることによって支持されることも必須ではない。光偏向器の支持装置はどのような構成であってもよい。回路配線及び熱伝導配線の引き回しは、どのような引き回し方であってもよい。
【００８６】
（変形例４）前記実施形態においては、副走査偏向器３２は、ガルバノミラーにより構成されていたが、副走査偏向器３２のように使用される光偏向器にも、主走査偏向器３１のような光偏向素子を用いた光偏向器を採用できる。
【００８７】
（変形例５）前記実施形態においては、筺体本体５２又は筺体本体２５２と封止蓋５１との接合は、金属接合、共晶結合、又は陽極接合などによって接合されていた。しかし、蓋部材と筺体本体とを金属接合、共晶結合、又は陽極接合などの接合方法を用いて接合することは必須ではない。半田を用いる接合や、接着剤を用いた接着などの接合方法を用いた接合であってもよい。
【００８８】
（変形例６）前記実施形態においては、支持枠４４は、略方形の板の内側に支持枠開口４５が形成された額縁状の形状を有していたが、支持枠４４などの支持枠が額縁状の形状であることは必須ではない。弾性支持梁を支持することができる充分な強度を実現できれば、支持枠の形状はどのような形状であってもよい。
【符号の説明】
【００８９】
１…投射型画像表示装置、３…光走査ユニット、２１…レーザー光源、２２…ダイクロイックプリズム、３１…主走査偏向器、３２…副走査偏向器、３３…偏向器支持基板、３６…駆動装置、３７…磁石、３８…駆動コイル、４０…光偏向素子、４１…可動板、４２…反射鏡、４３…弾性支持梁、４４…支持枠、４８…副走査反射鏡、５０…素子筺体、５１…封止蓋、５２…筺体本体、５２ａ…側壁、５３…上面、５４…素子室、５６…支持部、５７…外底面、５８…加熱コイル、５８ａ…コイル端子、５８ｃ…コイル部、５８ｅ…コイル部、５８ｇ…コイル端子、１０１…印刷装置、１０３…アクチュエーター、１２１…レーザー光源、２３１…主走査偏向器、２３３…偏向器支持基板、２３３ａ…熱伝導配線、２３３ｂ…接続端子、２３８…温度調整素子、２４１…可動板、２４２…反射鏡、２５０…素子筺体、２５２…筺体本体、２５２ａ…側壁、２５３…上面、２５４…素子室、２５６…支持部、２５７…外底面、２５８…熱伝導部材、２５８ａ…接続端子部、２５８ｃ…熱伝導端子部、２５８ｅ…熱伝導端子部、２５８ｇ…接続端子部。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、
前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、
前記光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、
前記温度調整手段は、前記筺体本体に配設されていることを特徴とする光偏向器。
【請求項２】
前記筺体本体は、前記素子室内に形成されており、前記支持枠を支持することによって前記光偏向素子を支持する支持部を有し、前記温度調整手段は、前記支持部に配設されていることを特徴とする、請求項１に記載の光偏向器。
【請求項３】
前記筺体本体は、前記素子室を構成する側壁を有し、
前記温度調整手段は、前記側壁における、前記素子室内に固定された前記光偏向素子の前記支持枠に対向する位置に配設されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光偏向器。
【請求項４】
前記温度調整手段は、加熱用コイルであることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項５】
前記温度調整手段は、冷却素子又は加熱素子に接続された熱伝導端子であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項６】
前記素子筺体は、前記反射面に入射する光束及び前記反射面によって反射された光束が透過する窓部を有し前記素子室を封止する蓋部材を備え、
前記加熱用コイルと電源とを接続する回路配線、及び前記冷却素子又は前記加熱素子と前記熱伝導端子とを接続する熱伝導配線は、前記筺体本体における前記蓋部材が配設された側と反対の外面から導出されていることを特徴とする、請求項４または５に記載の光偏向器。
【請求項７】
前記筺体本体は、前記回路配線を構成する回路配線、又は前記熱伝導配線を構成する熱伝導配線の一部分が配設された配線基板に、前記外面を当接又は臨ませて固定されていることを特徴とする、請求項６に記載の光偏向器。
【請求項８】
前記蓋部材と前記筺体本体とは、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合されていることを特徴とする、請求項６又は７に記載の光偏向器。
【請求項９】
光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、を備える光偏向器における光偏向素子の温度調整方法であって、
前記筺体本体に配設されている温度調整手段によって、前記光偏向素子の温度を調整することを特徴とする光偏向素子の温度調整方法。
【請求項１０】
前記筺体本体は、前記素子室内に形成されており、前記支持枠を支持することによって前記光偏向素子を支持する支持部を有し、前記温度調整手段は、前記支持部に配設されていることを特徴とする、請求項９に記載の光偏向素子の温度調整方法。
【請求項１１】
光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、前記光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備える光偏向器の製造方法であって、
前記光偏向素子を形成する光偏向素子形成工程と、
前記筺体本体を形成すると共に、前記筺体本体に前記温度調整手段を配設する筺体本体形成工程と、
前記素子室に前記光偏向素子を組み込む、光偏向素子組み込み工程と、
前記素子室を封止する蓋部材を前記筺体本体に接合する蓋部材接合工程と、を有することを特徴とする光偏向器の製造方法。
【請求項１２】
前記温度調整手段は、接続配線を介して前記温度調整手段を駆動する温度調整手段駆動源と接続されており、
前記筺体本体形成工程において、前記筺体本体における前記蓋部材が配設される側と反対の外面から、前記接続配線を導出することを特徴とする、請求項１１に記載の光偏向器の製造方法。
【請求項１３】
前記蓋部材接合工程において、前記蓋部材と前記筺体本体とを、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合することを特徴とする、請求項１１又は１２に記載の光偏向器の製造方法。
【請求項１４】
光源と、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の光偏向器と、を備え、
前記光源から射出された光束を前記光偏向器によって偏向させることで画像を形成することを特徴とする画像形成装置。
【請求項１】
光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、
前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、
前記光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、
前記温度調整手段は、前記筺体本体に配設されていることを特徴とする光偏向器。
【請求項２】
前記筺体本体は、前記素子室内に形成されており、前記支持枠を支持することによって前記光偏向素子を支持する支持部を有し、前記温度調整手段は、前記支持部に配設されていることを特徴とする、請求項１に記載の光偏向器。
【請求項３】
前記筺体本体は、前記素子室を構成する側壁を有し、
前記温度調整手段は、前記側壁における、前記素子室内に固定された前記光偏向素子の前記支持枠に対向する位置に配設されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光偏向器。
【請求項４】
前記温度調整手段は、加熱用コイルであることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項５】
前記温度調整手段は、冷却素子又は加熱素子に接続された熱伝導端子であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項６】
前記素子筺体は、前記反射面に入射する光束及び前記反射面によって反射された光束が透過する窓部を有し前記素子室を封止する蓋部材を備え、
前記加熱用コイルと電源とを接続する回路配線、及び前記冷却素子又は前記加熱素子と前記熱伝導端子とを接続する熱伝導配線は、前記筺体本体における前記蓋部材が配設された側と反対の外面から導出されていることを特徴とする、請求項４または５に記載の光偏向器。
【請求項７】
前記筺体本体は、前記回路配線を構成する回路配線、又は前記熱伝導配線を構成する熱伝導配線の一部分が配設された配線基板に、前記外面を当接又は臨ませて固定されていることを特徴とする、請求項６に記載の光偏向器。
【請求項８】
前記蓋部材と前記筺体本体とは、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合されていることを特徴とする、請求項６又は７に記載の光偏向器。
【請求項９】
光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、を備える光偏向器における光偏向素子の温度調整方法であって、
前記筺体本体に配設されている温度調整手段によって、前記光偏向素子の温度を調整することを特徴とする光偏向素子の温度調整方法。
【請求項１０】
前記筺体本体は、前記素子室内に形成されており、前記支持枠を支持することによって前記光偏向素子を支持する支持部を有し、前記温度調整手段は、前記支持部に配設されていることを特徴とする、請求項９に記載の光偏向素子の温度調整方法。
【請求項１１】
光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、前記光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備える光偏向器の製造方法であって、
前記光偏向素子を形成する光偏向素子形成工程と、
前記筺体本体を形成すると共に、前記筺体本体に前記温度調整手段を配設する筺体本体形成工程と、
前記素子室に前記光偏向素子を組み込む、光偏向素子組み込み工程と、
前記素子室を封止する蓋部材を前記筺体本体に接合する蓋部材接合工程と、を有することを特徴とする光偏向器の製造方法。
【請求項１２】
前記温度調整手段は、接続配線を介して前記温度調整手段を駆動する温度調整手段駆動源と接続されており、
前記筺体本体形成工程において、前記筺体本体における前記蓋部材が配設される側と反対の外面から、前記接続配線を導出することを特徴とする、請求項１１に記載の光偏向器の製造方法。
【請求項１３】
前記蓋部材接合工程において、前記蓋部材と前記筺体本体とを、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合することを特徴とする、請求項１１又は１２に記載の光偏向器の製造方法。
【請求項１４】
光源と、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の光偏向器と、を備え、
前記光源から射出された光束を前記光偏向器によって偏向させることで画像を形成することを特徴とする画像形成装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−６９８６０（Ｐ２０１１−６９８６０Ａ）
【公開日】平成２３年４月７日（２０１１．４．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２１８６２０（Ｐ２００９−２１８６２０）
【出願日】平成２１年９月２４日（２００９．９．２４）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年４月７日（２０１１．４．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年９月２４日（２００９．９．２４）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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