【課題】本発明は、捻れ梁部を支持する片持ち梁部の形状及び捻れ梁部の取付け位置を工夫することにより、より広い温度範囲に対して走査角度の安定した光走査装置を提供することを第１の目的とする。
【解決手段】本発明の光走査装置は、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラー部と、基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、捻れ梁部を支持する片持ち梁部の幅を基板の幅の１／６以下にすることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】光の照射に起因する温度上昇を抑制する。
【解決手段】本発明の光走査装置は、支持部と、光を反射するミラーが装着されるミラー装着部と、ミラー装着部の両端に互いに対向して形成され、ミラー装着部を支持部に対して回動可能に支持する一対のばね部と、ミラー装着部を回動駆動する駆動部と、を有し、一対のばね部の各々は、永久磁石が装着される、スリットが形成された板状の磁石装着部と、磁石装着部を支持部に対して回動可能に支持する第１のばねと、第１のばねと略同位置直線上に設けられ、ミラー装着部を磁石装着部に対して回動可能に支持する第２のばねと、を有し、駆動部は、ミラー装着部の回動軸に沿って永久磁石を囲むように配置されたヨークと、ヨークに巻き付けられ、導通によってヨークを励磁して、永久磁石に作用する磁場を発生させるコイルと、を有する。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加やコストアップを招くことなく、ＭＥＭＳミラー近傍の温度を求めて高い走査性能を得ることができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光ビームを出射するレーザーダイオード（ＬＤ）２５と、オートバイアスコントロール（ＡＢＣ）機能を備えるＬＤドライバと、前記レーザーダイオード２５から発せられる光ビームを偏向するＭＥＭＳミラー２６と、該ＭＥＭＳミラー２６によって偏向された光ビームを走査面上に結像させる走査レンズ２９，３０を備えた光走査装置１３において、ＬＤドライバによって前記レーザーダイオード２５に対する閾値電流を求め、求められた閾値電流に基づいて前記ＭＥＭＳミラー２６の駆動制御を行う。 （もっと読む）

【課題】低速走査素子の異常共振に起因する画像品質の劣化を簡易な構成で抑制することができる画像表示装置を提供する。
【解決手段】高速走査素子および低速走査素子を備えた画像表示装置は、高速スキャナコントローラ５１、低速スキャナコントローラ５２、およびＲＧＢレーザコントローラ５３を有する。低速スキャナコントローラ５２では、駆動元波形生成手段６１が生成した駆動元波形にノッチフィルタ処理を行って、駆動信号を生成する。重畳信号決定手段７１が決定した波形、電流振幅、および周波数に基づいて、高周波発生手段７３が温度調整信号を生成する。加算器７４が駆動信号と温度調整信号とを加算して、合成信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】より安定して可動部を振動させることができる共振反射装置、それを用いる光学式ガス分析装置、画像スキャナ、及び、共振反射装置の制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】固定部、一方の端部が固定部と連結したトーションバー、トーションバーの他方の端部と連結し、トーションバーとの連結部分を回転軸として固定部に対して回動する板状部材であり、少なくとも一方の面で光を反射する可動部、及び、交流電流が供給されることで可動部を回動させる駆動部を備える反射手段と、反射手段の可動部の温度を非接触で検出する温度検出手段と、温度検出手段で検出した可動部の温度に基づいて、駆動部に供給する交流電流に付加するバイアス電流の大きさを調整する制御手段と、を有することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】走査型画像表示装置の起動時の温度変化により高速走査素子の共振周波数が変化しても、確実かつ短時間で起動できる走査型画像表示装置を提供すること。
【解決手段】共振型の走査素子の周囲温度を取得する温度取得手段と、走査素子の振れ角が最大となる共振周波数を検索し、走査型画像表示装置の起動時の駆動周波数として決定する周波数決定手段と、走査型画像表示装置の前回駆動停止直前時の走査素子の駆動周波数及び走査素子の周囲温度、並びに共振周波数の温度特性データを記憶する記憶手段と、起動時に、前回駆動停止直前時の駆動周波数、前回駆動停止直前時の走査素子の周囲温度と当該起動時の走査素子の周囲温度との温度差、及び共振周波数の温度特性データに基づいて、周波数決定手段が共振周波数の検索を開始するための検索開始周波数となる駆動周波数を算出する検索開始周波数算出手段と、を備えた走査型画像表示装置とした。 （もっと読む）

【課題】ガルバノスキャナのミラーホルダの温度を簡便に監視してその過昇温を確実に防止し、ガルバノミラーの機能を安定に保つ。
【解決手段】このレーザ加工装置における温度監視部は、スキャナ匡体６０内でＸ軸ミラーホルダ７８_XおよびＹ軸ミラーホルダ７８_Yにそれぞれ近接してそれらの回転（首振り）運動に干渉しないように配置される棒状またはプローブ型のＸ軸サーマルインターロック部９０_XおよびＹ軸サーマルインターロック部９０_Yを備えている。Ｘ軸サーマルインターロック部９０_X（Ｙ軸サーマルインターロック部９０_Y）は、筒状のケーシングの内奥に感温素子としてサーマルスイッチを収容し、電気ケーブル９６_X（９６_Y）を介して内部のサーマルスイッチと外部の制御回路とを電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】光スキャナを一度製造した後に光スキャナの構造または剛性を変更するなどの手間をかけずに所望の共振周波数を得ることが可能な光スキャナを提供する。
【解決手段】駆動信号生成部４０から駆動部４に駆動信号が供給される（Ｓ１）。駆動部４に駆動信号が供給されると、電流供給部５０から磁界発生部５に電流が供給される（Ｓ２）。電流が供給されると、共振周波数決定部７４により共振周波数が決定される（Ｓ３）。共振周波数が決定されると、判断部７６により決定された共振周波数が所望の共振周波数と等しいか否かが判断される（Ｓ４）。決定された共振周波数が所望の共振周波数でないと判断されると（Ｓ４：Ｎｏ）、磁界発生部５に供給される電流の絶対値が所定の微小幅分、増大される（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】この発明は、ロータの外周面に沿った圧損の小さい冷媒流通路を構築し、永久磁石の温度上昇を抑えることができるガルバノスキャナを得る。
【解決手段】ガルバノスキャナ１は、シャフト４およびシャフト４に固着された永久磁石６を有するロータ５と、ロータ５を囲繞するように配設されたステータコア８、および一対の長辺を有する扁平な枠状に作製され、長辺をシャフト４の軸方向に平行として、周方向に並んで、ステータコア８の内周面に固着されたコイル９を有するステータ７と、備える。吸入穴１４と排出穴１５が、シャフト４の軸方向に離れて、コイル９の内周側に開口するようにステータコア８に形成され、冷媒が吸入穴１４からコイル９の内周側に流れ、ステータコア８の内周面と永久磁石９の外周面との間をシャフト４の軸方向に排出穴１５の下部まで流れ、排出穴１５から流出する冷媒流通路が構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で環境温度の変化に対応できる光走査装置を得る。
【解決手段】光ビームを反射させる反射面４を有する可動部６を梁１０，１２により振動可能に支持したスキャナ１と、可動部６の振幅角θを検出する状態検出部３６と、一定周波数の駆動信号をスキャナ１に出力する駆動制御部３０と、スキャナ１を加熱するヒータ２８とを有する。ヒータ２８を制御して、環境温度よりも高い温度にスキャナ１を加熱して振幅角θを変化させる。その際、検出される振幅角θが予め設定された目標振幅角θ0 となるまでスキャナ１を加熱し（Ｓ２１０，Ｓ２１５）、以後、ヒータ２８を制御して、検出される振幅角θに基づいて、振幅角θを目標振幅角θ0 近傍に制御する（Ｓ２２０〜Ｓ２３５）。 （もっと読む）

本発明は、リサジュー図形を観察フィールドへ投射する投射装置用の偏向システムに関する。偏光ユニットは、リサジュー図形を生じさせるために、少なくとも第１及び第２の偏向軸について光線を偏向させるように設計され、また、偏向軸に関する振動を生じさせるための偏向ユニットと、おおむね偏向ユニットの共振周波数に相当する、第１及び第２の作動周波数を有する、偏向ユニットのための作動信号を発生させる制御装置とを備え、前記偏向ユニットは、３．０００未満のＱ値を有し、前記制御装置は、振動の最大振幅が偏向ユニットの共振範囲内に留まるように、偏向ユニットの振動の測定された位相位置に応じて第１及び／又は第２の制御周波数を制御するように設計された、制御回路を備える。本発明は更に、このような偏向システムを備えた投射装置及び相当する偏向システムを作動させる方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 駆動コイルへの通電量を増やすことなく、可動部の大きな振幅を得ることができるとともに、可動部の揺動動作の微調整を行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部２と、固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持された可動部４と、可動部４に設置され可動部４を駆動するための渦巻き状に形成された第１駆動コイル５と、固定部２に設置された揺動用コイル６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】時間開口率を高くしつつ、画像の台形歪みを防止することができ、また、効率良く駆動することができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光走査装置１は、光出射部と、光走査部と、前記光走査部の作動を制御する制御手段とを備え、前記光走査部は、所定の大きさおよび所定の周波数の電圧信号または電流信号である駆動信号が供給されることにより、第１の方向に走査する反射面を共振駆動する走査機構を有し、前記制御手段は、前記第１の方向の走査を行うに際し、前記駆動信号の大きさおよび前記駆動信号の周波数をそれぞれ互いに異なるタイミングで変更する変更手段を有する。 （もっと読む）

【課題】時間開口率を高くしつつ、振れ角を確実に目標値にすることができ、画像の台形歪みを防止することができ、効率良く駆動することができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光走査装置１は、光出射部と、光走査部と、前記光走査部の作動を制御する制御手段とを備え、前記光走査部は、所定の大きさおよび所定の周波数の電圧信号または電流信号である駆動信号が供給されることにより、第１の方向に走査する反射面を共振駆動する走査機構を有し、前記制御手段は、前記第１の方向の走査を行うに際し、前記駆動信号の大きさおよび前記駆動信号の周波数をそれぞれ互いに異なるタイミングで変更する変更手段と、前記第１の方向に走査する反射面の回動中心軸を中心とする振れ角を減少させるブレーキ信号を前記駆動信号に重畳させるブレーキ信号重畳手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】光偏向器にミラーデバイスの温度を調整するための温度調整手段を配設することによってミラーデバイスの製造工程やパッケージへの組み込みに影響をあたえることを抑制できる光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、温度調整手段は、筺体本体に配設されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で固有振動数を調整できる光走査装置を得る。
【解決手段】振動する可動部４，６に設けたミラーにより光源２からの光ビームを反射するスキャナ１と、タイミング信号を生成するタイミング信号生成部３２と、タイミング信号に基づく共振周波数の駆動信号によりスキャナ１を制御して光ビームを反射し、往復走査させるスキャナ駆動制御部４０と、表示領域５２に表示する表示像に応じた表示像信号を生成する表示像生成部３５と、タイミング信号生成部３２により生成されたタイミング信号に基づいて表示像生成部３５からの表示像信号により光源２に出力する発光信号を生成する発光信号生成部３４とを備える。発光信号生成部３４は、更に、表示像生成部３５からの表示像信号以外のときに、温度上昇により可動部４，６の固有振動数を共振周波数に調整する発光信号を光源２に出力する。 （もっと読む）

【課題】温度の上昇に起因してレーザ光発生部の発光効率が低下するのを抑制することが可能なプロジェクタを提供する。
【解決手段】この携帯型プロジェクタ１（プロジェクタ）は、レーザ光を発する赤色・青色ＬＤ１２および緑色ＬＤ１３と、レーザ光を走査させることによって任意の投影領域２に映像を投影するスキャナーミラー１５と、レーザ光の走査区間３０のうちの予め設定された一部の走査区間（レーザ光停止区間４０ｂ）において赤色・青色ＬＤ１２および緑色ＬＤ１３に対する電流の供給を停止することによって、赤色・青色ＬＤ１２および緑色ＬＤ１３にレーザ光を発生させないように制御する制御部１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成としつつ、周囲温度が変化した場合であっても可動部の揺動角度を精度よく検出することのできるプレーナ型アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供する。
【解決手段】プレーナ型アクチュエータは、枠状の固定部の内側にトーションバーによって揺動可能に支持された可動部を有し、該可動部を揺動駆動される。プレーナ型アクチュエータは、固定部又はトーションバーに形成され、可動部の揺動角度に応じて出力値が変化するブリッジ回路２１を構成する複数のピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５と、を備える。そして、ブリッジ回路２１の四辺のうちのいずれか一辺２１ａには、可動部の揺動動作による応力の影響を受ける位置に形成されたピエゾ抵抗素子Ｒ１と、可動部の揺動動作による応力の影響を受けない位置に形成されたピエゾ抵抗素子Ｒ５と、が直列に接続されて配置されている。 （もっと読む）

【課題】可動部の共振周波数（振幅）を所定値に設定し、使用中にその設定から外れないように制御するミラーデバイス駆動制御装置を提供する。
【解決手段】ミラーデバイス１を駆動信号により駆動する駆動部２と、ミラーデバイス１の可動部の振幅および温度を検出し、検出に応じた検出信号を生成して出力する駆動状態検出部４と、可動部が所定範囲で振幅するように駆動信号の周波数の制御を行う制御部７と、制御部７の制御中に、可動部の周波数を変更する周波数変更部と、を備え、周波数変更部は、駆動状態検出部４の検出信号に基づいて可動部の振幅の周波数をうなり周波数ｆｂとして検出し、うなり周波数を検出したときのミラーデバイス１の駆動信号の周波数ｆと、うなり周波数ｆｂと、に基づいて所定の周波数ｆ１を求め、周波数ｆ１の駆動信号でミラーデバイス１を駆動させる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの表面金属膜に入射した光によって表面金属膜と平板部が加熱されて湾曲することを防止する。
【解決手段】一方の可撓ビーム１０ｂにｎ型の半導体７６ｄを配置し、他方の可撓ビーム１０ａにｐ型の半導体７６ａを配置する。ｎ型の半導体７６ｄとｐ型の半導体７６ａの間で通電すると、平板部８と基板４の間で熱が移送される。すなわちペルチェ素子９０が形成される。ペルチェ素子９０への通電方向によって平板部８と基板４の間での熱の移送方向が決定される。表面金属膜１６等が加熱されれば冷却し、冷却されれば加熱することができる。表面金属膜１６の温度を調整して表面金属膜１６と平板部８が湾曲することを防止できる。 （もっと読む）