【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第一反射膜５５１及び第三反射膜５５３を有する第一基板５１と、第一反射膜５５１に第一ギャップＧ１を介して対向する第二反射膜５５２を有する第二基板５２と、第三反射膜５５３に第二ギャップＧ２を介して対向する第四反射膜５５４を有する第三基板５３と、第一ギャップＧ１を変更する静電アクチュエーター５６とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ａｒ０を有し、第一及び第二反射膜５５１，５５２により構成される波長可変干渉部５７の複数の測定対象波長域のうちいずれか１つは、第三及び第四反射膜５５３，５５４により構成される波長固定干渉部５８の複数の透過可能波長域のうちのいずれか１つと重なる。 （もっと読む）

【課題】共振器長を短くすることができると共に、出力光へのＡＳＥ光の混入を抑制してＳＮ比を向上させることができ、
製作時に反射膜が剥がれることを抑制して、正確な形状の反射膜の形成が可能となる波長掃引光源装置及び該光源装置を備える光断層画像撮像装置を提供する。
【解決手段】部分反射ミラーと走査ミラーとによる共振器によって、走査ミラーで選択された波長の光がレーザー発振されるように構成された波長掃引光源装置であって、
前記走査ミラーは、円盤形状の基板上に該円盤形状の円周に沿って等間隔に形成された等幅のスリット状のミラーによって構成され、
前記スリット状のミラーは、前記円盤形状の基板上に成膜された反射膜上における遮光膜の前記ミラーとなる部分を除去することにより形成されている。 （もっと読む）

【課題】性能の劣化を生じることなく、走査光の走査量を正確に測定することが可能であり、かつ小型で安価な光走査装置を提供する。
【解決手段】複数の光学素子１と、該光学素子を保持するホルダ２と、ホルダ２を光学素子１の光軸に垂直な方向に移動可能に支持する支持手段３，４，５，６と、ホルダ２を光学素子１の光軸に垂直な方向に移動させる駆動手段と、発光素子とを備え、前記発光素子からの光が光学素子１を透過し、光学素子１を移動させることにより、透過光を走査して照射する光走査装置において、
支持手段が、複数の山と谷を有する波板状に形成されたバネ構造体であり、
山と谷の高さ方向が、ホルダ２の光学素子１を搭載した面と平行になるように配置された第１のバネ構造体３，５と、垂直になるように配置された第２のバネ構造体４，６とからなることを特徴とする光走査装置である。 （もっと読む）

【課題】レーザダイオードの制御を煩雑にすることなく、被投射面に投射される画像の明度を装置本体の周囲の明るさに応じて適正化できるプロジェクタ装置を提供する。
【解決手段】 プロジェクタ装置１０は、３つのレーザダイオードＬＤ１〜ＬＤ３から射出され偏向反射器２０で偏向された光をスクリーンＳの被投射面に投射して画像を表示する装置本体１１と、該装置本体１１の周囲の明るさを検出する照度センサ１６と、該照度センサ１６からの検出情報に基づいて、前記光の光路上にフィルタ部材２２の一部を位置させて前記光の強度を変更可能な光強度可変装置１８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第２の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して直交するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して傾斜するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、駆動の際、可動板に撓みが生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａ、２０ｂと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａ、２０ｂは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して傾斜するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して直交するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１は、照射された光を反射するミラー部２と、ミラー部２を囲うように間隙３を有して配置されたジンバル部４と、ジンバル部４を囲うように間隙５を有して配置されたフレーム部６と、ミラー部２とジンバル部４とを接続する一対の第１トーションバー部７ａ，７ｂと、ジンバル部４とフレーム部６とを接続する一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂと、を備え、一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂは、所定の材料から構成された第３トーションバー部８ａ〜８ｄと、所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第４トーションバー部９ａ，９ｂと、をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１及び可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、複数の固定部分電極５４３を備え、可動電極５４２は、複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３及び可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、同一面積を有し、重心点が可動部５２１の中心点Ｏを中心とする仮想円Ｐ上で等角度間隔に配置され、電圧印加用部分電極間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板に設けられた第１，第２電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２電極と対向する第３，第４電極７２，７４とを有する。第２電極６４は第１スリットを有し、第１電極に接続された第１配線は第１スリットが形成された領域を経て第１基板の外周領域に延在する。 （もっと読む）

【課題】駆動開口と固定開口がどれだけずれているかを検出することができる構造を提供する。
【解決手段】遮光膜１２は、表示領域に複数の固定開口を有する。遮光膜１２は、周辺領域では、周辺領域のシャッタ４０の一部との重複を避けるように形成されたダミー開口２４を有する。ダミー開口２４の縁は、固定開口の規則性を以て周辺領域に配置すると仮想した固定開口の縁の一部からなるエッジを含む。表示領域のシャッタ４０は、第１位置Ｐ１で駆動開口４２と固定開口が連通して光を通過させ、第２位置Ｐ２で駆動開口４２と固定開口がずれるように配置されて光を遮断する。複数のシャッタ４０が第２位置Ｐ２にあるとき、周辺領域の駆動開口４２とエッジとの距離ｄと、表示領域の駆動開口４２と固定開口の縁の一部との距離Ｄとが相間関係を有する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源ユニットにおいて、簡易な構成で、複数の波長を連続的に切り替えながらＱスイッチパルス発振を得る。
【解決手段】レーザ光源ユニット１３は、相互に異なる複数の波長のパルスレーザ光を出射する。フラッシュランプ５２は、レーザロッド５１に励起光を照射する。一対のミラー５３、５４は、レーザロッド５１を挟んで対向する。一対のミラー５３、５４により、光共振器が構成される。波長選択手段５６は、光共振器内で共振する光の波長を、レーザ光源ユニット１３が出射すべき複数の波長のうちの何れかに制御する。駆動手段５７は、光共振器がＱスイッチパルス発振するように波長選択手段５６を駆動する。 （もっと読む）

【課題】ノイズを含まず分光精度が高い光学フィルターデバイスを提供する。
【解決手段】光の反射特性および透過特性を有する一対の第１反射膜２５が設けられ、第１反射膜２５間のギャップ寸法を変位させることができる第１波長可変干渉フィルター２０と、光の反射特性および透過特性を有する一対の第２反射膜３５が設けられ、第２反射膜３５間のギャップ寸法を変位させることができる第２波長可変干渉フィルター３０と、を備え、第１波長可変干渉フィルター２０と同じ光軸上に、第２波長可変干渉フィルター３０が配置され、第１反射膜２５は誘電体多層膜、第２反射膜３５は金属膜で形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなす。 （もっと読む）

【課題】基板の撓みを抑制可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４を有する固定基板５１と、可動反射膜５５を有する可動基板５２と、固定基板５１及び可動基板５２を接合する接合部５３と、を具備し、可動基板５２は、可動部５２１と、保持部５２２と、基板外周部５２５と、を備え、保持部５２２は、均一厚み寸法の平坦部５２２Ａと、平坦部５２２Ａの外周側に設けられ、基板外周部５２５に向かうに従って厚み寸法が増大する曲面部５２２Ｂと、を備え、接合部５３は、固定基板５１及び可動基板５２の互いに対向する面のうち、各基板外周縁に沿った外周領域に設けられ、かつ、接合部５３の内周縁５３Ａが、曲面部５２２Ｂの外周縁５２２Ｅよりも内側に設けられた。 （もっと読む）

【課題】迅速に安定状態に移行可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、固定基板５１に接合された可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２に設けられ固定反射膜５４に反射膜間ギャップＧ１を介して対向する可動反射膜５５と、可動基板５２を固定基板５１側に撓ませて反射膜間ギャップＧ１のギャップ量を変化させる静電アクチュエーター５６と、を具備し、固定基板５１及び可動基板５２の間には、反射膜間ギャップＧ１のギャップ量が小さくなった際に、固定反射膜５４及び可動反射膜５５の間の空気が逃げる解放空間５７が設けられ、可動基板５２のバネ定数をｋ_ｖとし、反射膜間ギャップＧ１に存在する空気のバネ定数をｋ_ａｉｒとした場合に、ｋ_ｖ≧２０×ｋ_ａｉｒの関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】光学素子の性能を向上させる。
【解決手段】光学素子１は、内部に空間８が形成された容器２を有する。容器２には、容器２の内部の空間８を第１の空間９と第２の空間１０とに仕切る、光が透過可能な膜部材３が設けられている。第１の空間９には、第１の媒質５が充填されている。第２の空間１０には、第１の媒質５の屈折率と異なる屈折率を有する第２の媒質６が充填されている。また、光学素子１は、第１の空間９と第２の空間１０との間で、差圧を発生させる差圧発生部７を有する。差圧発生部７が発生させた差圧により膜部材３を撓ませることで、膜部材３を透過する光の焦点距離が変更可能である。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成でありながら正確に動作可能な光学素子を提供する。
【解決手段】第１および第２の基板と、第１の基板の内面に第１の方向において隣り合うように立設し、かつ、第１の方向と異なる第２の方向へ延在する複数の壁部と、第１の基板の、隣り合う一対の壁部に挟まれた領域に設けられた第１および第２の貫通孔と、壁部の壁面に、互いの一部が対向するように設けられた第１および第２の電極と、第１および第２の電極をそれぞれ覆う絶縁膜と、第２の基板の内面に設けられた第３の電極と、第１の基板と第３の電極との間に封入され、互いに異なる屈折率を有する極性液体および無極性液体とを備える。第１および第２の電極は、それぞれ、第１の基板の外面に設けられた第１および第２の引出線と第１および第２の貫通孔を通じて接続されている。 （もっと読む）