【課題】構造体において発生する不要な周波数の振動を低減することができる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、構造体２、圧電素子５、基台４、および突出部４４を備える。構造体２は、ミラー部２１、一対の捩れ梁部２２、および本体部２３を有する。ミラー部２１は、揺動軸Ｏを中心として揺動可能に支持される。一対の捩れ梁部２２は、ミラー部２１を揺動可能に支持する。本体部２３には、一対の捩れ梁部２２の各々のうち、ミラー部２１に接続する端部とは反対側の端部が接続される。圧電素子５は、本体部２３の一方の板面に接合され、ミラー部２１を共振揺動させるための振動力を発生させる。突出部４４は、基台４から突出し、本体部２３のうち圧電素子５が接合される板面の反対側の板面に固定される。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器Ａ１は、反射面を有するミラー部１と、トーションバー２ａ、２ｂに一端が連結され他端が支持部１０に連結されて支持された圧電アクチュエータ８ａ、８ｂとを備え、圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することでトーションバーを介してミラー部を回転駆動する。ミラー部１と支持部１０との間の空隙に設けられる衝撃緩和部９ａ、９ｂは、支持部１０のトーションバーと直交する方向のミラー部１と対向する部分に、弾性を有する感光性の高分子材料をフォトリソグラフィ処理によりパターニング加工して形成される。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーでではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレート５８に連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互に連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第２の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して直交するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して傾斜するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】加工精度を維持しつつ寿命を延ばすことのできるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】このレーザ加工装置は、レーザ光源からのレーザ光を反射するガルバノミラー２２，２３と、これらが取り付けられた軸部２４ａ，２５ａを回動させることによりガルバノミラー２２，２３を回動させるガルバノモータ２４，２５とを備えている。そして、ガルバノミラー２２，２３を回動させることで、レーザ光Ｌを走査する。ここでは、ガルバノミラー２２，２３の使用頻度を、レーザ光Ｌの加工可能領域Ａに対して設定されたＸ軸方向及びＹ軸方向の座標系の設定位置毎に積算し、各設定位置のうち、隣り合う設定位置のそれぞれの使用頻度の積算値に所定値を超える差が生じているか否かを判断する。そして、所定値を超える差が生じている場合には、同使用頻度の積算値に差が生じている設定位置の区間でガルバノミラー２２，２３を回動させる。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において、温度変化による走査特性の変化を自律的に抑制する。
【解決手段】光ビームを反射させる反射面を有する光反射部１３と、光反射部１３を捻り振動させるための回転軸となる弾性連結部１６ａ，１６ｂとを備え、上記回転軸を中心にして光反射部１３を振動させることにより、上記反射面により反射された光ビームを走査する光走査装置において、熱アクチュエータ機構を備える。熱アクチュエータ機構は、例えば弾性連結部１６ａ，１６ｂと一体に構成され、熱膨張率が互いに異なる２種類の材料の部材が積層されてなる構造を有し、自身の収縮または膨張により、弾性連結部１６ａ，１６ｂに関して温度変化に伴うバネ定数の変化を相殺する形状に変化させることで、温度変化に伴う共振周波数の変化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において温度変化による走査特性の変化を抑制する
【解決手段】光を反射させる反射面を有するミラー３１と、ミラー３１を捻り振動させるための回転軸ｋとなる弾性連結部１６ａ，１６ｂを備え、回転軸ｋを中心にしてミラー３１を揺動させて光を走査する。そしてミラー支持枠３２と熱アクチュエータ３３が、ミラー３１と弾性連結部１６ａ，１６ｂとを連結するとともに、温度が高くなるほどミラー３１の回転軸ｋ周りの慣性モーメントが低くなるようにミラー３１を変位させる。なお、ミラー３１の慣性モーメントを変化させるために、ミラー３１の反射面は、円以外の形状（図では楕円形状）を有し、熱アクチュエータ３３は、反射面に垂直な回転軸を中心にミラー３１を回転させる。 （もっと読む）

【課題】駆動時間に依存して共振周波数が低下することを防止可能な光スキャナと、その光スキャナの製造方法とを提供すること。
【解決手段】第１軸線を中心として揺動可能な揺動部分と、揺動部分の両側に連結される一対の捩れ梁部分と、一対の捩れ梁部分の他端に連結される本体部分と、を有する平板状の構造体と、揺動部分を揺動可能に構成される駆動部と、構造体と別体に形成され、入射した光を反射する反射面を有し、揺動部分の一方の面に固定されるミラー部と、を備える光スキャナである。揺動部分は、揺動部分と一対の捩れ梁部分との接続位置に設けられ、揺動部分から第１軸線に沿って延出し、構造体を含む面に平行且つ第１軸線に沿う方向に交差する第２方向の長さが、一対の捩れ梁部分よりも大きく構成され、ミラー部と揺動部分との固定位置における応力を緩和する応力緩和構造を含む。 （もっと読む）

【課題】光源からの出力エネルギーを増大させても、反射鏡の構造に弊害が生じるのを防止でき、その駆動条件に悪影響が及ぶのを防止できるようにする。
【解決手段】ミラー駆動制御部７は、第１LUT保持部１９から微小ミラー１の温度変化に係わる過去の履歴データを読み出す。読み出した過去の履歴データに基づき、現時点での微小ミラー１の温度を推定する。推定した微小ミラー１の温度を、現時点での微小ミラー１の温度P tempとする。P tempによって、微小ミラー１の水平（H）方向の振動（揺動）条件、垂直（V）方向の振動（揺動）条件が変更される。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の共振周波数を調整することなく、ミラー部を傾向して光を走査するスキャナー性能が高いレベルで安定する光走査装置の製造方法および性能調整方法を提供する。
【解決手段】固定枠４と、該固定枠に連結され、電気機械変換部と弾性変形部とが一体化された駆動部５と、該駆動部５と軸部８を介して連結され主に第一方向に傾動可能な可動枠６と、該可動枠６とトーションバー７を介して連結され第一方向と直交する第二方向に主に傾向するミラー部３と、を備える光走査装置２とし、駆動部５の共振周波数を、組み付けたミラー部３のミラー部共振周波数に応じた所定の駆動部共振周波数に調整する光走査装置の製造方法および性能調整方法とした。 （もっと読む）

【課題】光スキャナの走査精度を向上させることが可能な光走査装置を提供する。
【解決手段】この画像投影装置１００（光走査装置）は、水平方向の共振モードを２つ有する光スキャナ１０と、この光スキャナ１０を駆動する駆動装置とを備えている。駆動装置は、２つの共振モードのいずれか一方を選択して、選択した共振モードで光スキャナ１０を水平方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラースキャナの構造及び製造方法に係り、共振周波数の精度良い調整を行うことにある。
【解決手段】ミラースキャナ１０は、フレーム１２と、光源からの光を反射するミラー部１４と、フレーム１２とミラー部１４とを連結して該ミラー部１４を該フレーム１２に対して支持するトーションバー１６ａ，１６ｂと、トーションバー１６ａ，１６ｂに平行に設けられてフレーム１２とミラー部１４とを連結する複数本の溶断可能なバーからなる棒部材１８ａ，１８ｂと、を設ける。 （もっと読む）

【課題】リサージュ描画を行う投影型表示装置において、走査線ができるだけ緻密な軌跡を描くように駆動周波数を設定し、高い解像度が得られる光走査装置を提供する。光源からの光束をリサージュ描画する際、駆動周波数によって軌跡が粗になったり、軌跡が経時変化したりするため動画を表示する際に解像度が低下する。
【解決手段】光束を射出する光源と、前記光束を第一の周波数ｆ_Ｈ及び第二の周波数ｆ_Ｌで略直交する二軸方向に走査する走査手段とを備えた光走査装置であって、前記走査手段は、前記第一の周波数ｆ_Ｈ及び前記第二の周波数ｆ_Ｌを所定の数式を用いて演算し、前記演算された第一の周波数ｆ_Ｈ及び第二の周波数ｆ_Ｌで前記光束を走査する。 （もっと読む）

【課題】製造コストが小さく、信頼性が高い光走査装置を提供する。
【解決手段】走査部１１は、２軸方向に揺動することにより光を走査する。梁部１２は、走査部１１が第１の方向の揺動可能なように、走査部１１を支持する。可動支持部１５は、梁部１２を支持する。駆動部１４は、走査部１１を第１の方向に揺動させるように駆動する。ワイヤ１７は、可動支持部１５が第１の方向と直交する第２の方向の揺動可能なように、一端側において可動支持部１５を支持し、駆動部１４と電気的に接続する。導電性材料３１は、ワイヤ１７の一端側と可動支持部１５とを固定する。固定支持部２１は、ワイヤ１７の他端側においてワイヤ１７を支持する。 （もっと読む）

【課題】光源からの光束をリサージュ描画する際、駆動周波数によって軌跡が粗になったり、軌跡が経時変化したりするため動画を表示する際に解像度が低下する。
【解決手段】リサージュ描画を行う投影型表示装置において、走査線ができるだけ緻密な軌跡を描くように駆動周波数を設定し、高い解像度が得られる光走査装置を提供するため光束を射出する光源と、前記光束を第一、第二の周波数で略直交する二軸方向に走査する走査手段と、からなり、前記第一の周波数をｆ_H、第二の周波数をｆ_Lとしたとき、これらｆ_Hおよびｆ_Lを複数の数式を用いて決定することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】揺動部の慣性モーメント或いは重心位置の調整を比較的大きな範囲で比較的高速に行うことが可能な光偏向器などの揺動体装置、その製造方法を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、揺動部と弾性支持部305、306と支持体301とを備え、揺動部が弾性支持部により揺動軸304回りに揺動可能に支持されている。揺動部は、該揺動部の質量を調整するための突出部303、321を持つ可動子302、320で構成されている。突出部は可動子から揺動軸と平行な方向に突出しており、突出方向の何れの個所でも切断可能に形成されている。突出部の揺動軸を法線とする断面積は、揺動軸方向に一定である。
【選択図】図10
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【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなし、連結部２３、２４の回動中心軸に垂直な断面は、可動部２１の第１の面から前記第１の面に対向する第２の面側に向けて幅が漸増する形状をなす。 （もっと読む）

【課題】圧電体の残留応力に起因する初期たわみによる初期変位の影響を無くすことができ、かつ、純粋な厚み方向変位（ｚ方向並進運動）を実現する。
【解決手段】長手方向の中央部が支持される第１アクチュエータ（12）と、長手方向の両端部が第１アクチュエータ（12）の長手方向の両端部に連結される第２アクチュエータ（14）と備える。第１アクチュエータ（12）は、第１圧電駆動部（12A）の駆動によって撓んで変形し、両端部が厚み方向に変位する。第２アクチュエータ（14）は第２圧電駆動部（14A）の駆動によって第1アクチュエータと逆方向に撓んで変形し、長手方向の中央部が厚み方向に変位する。また、同様の構成のアクチュエータ群（101、102）を複数組連結する構成により、さらにz方向変位を増大させることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーを備える金属基板の反りが低減された走査デバイス、及びその走査デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】金属基板を構成する材料の融点未満の第１温度において、金属基板を構成する材料の熱膨張率と金属基板に形成される薄膜の材料の熱膨張率との大小関係に応じて、室温において測定された金属基板の反り量に応じた膜厚の薄膜が金属基板の凹面または凸面に形成され、薄膜が形成された金属基板が室温に降温されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つの軸の回りのミラーの回転角を推定することができる走査型ミラーデバイスを提供する。
【解決手段】少なくとも１つの軸の回りに回転可能に取り付けられているマイクロシステム走査型ミラー２と、光ビーム１３を発する光源１４及び位置検出器１９、２５、２６を有する検出モジュール３とを有する走査型ミラーデバイスであって、検出モジュール３は、後方からミラー７上に光ビーム１３を誘導し、その結果、光ビーム１３は、マイクロシステム走査型ミラー２の背面で、位置検出器１９、２５、２６に反射され、位置検出器１９、２５、２６は、反射された光線ビーム２０の位置を測定し、測定された位置から、少なくとも１つの軸の回りのミラー７の回転角を推定する。 （もっと読む）