【課題】磁石の剥離を防止することができ、磁路を設けることで磁石に作用する磁界の磁束密度を高くすることができ、可動部を第１の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の軸部材１３ａ、１３ｂと、可動板１１に設けられ、両極が第１の軸を挟んで配置された永久磁石２０と、可動板１１と永久磁石２０との間に介在して可動板１１と永久磁石２０とを接合し、半田で構成された半田層２１と、可動板１１と半田層２１との間に介在し、可動板１１よりも半田の濡れ性が高く、軟磁性体を含む下地層２２とを備え、可動板１１の平面視で、下地層２２は、永久磁石２０を包含し、下地層２２の少なくとも一部が永久磁石２０から突出している。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第２の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して直交するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して傾斜するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、駆動の際、可動板に撓みが生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａ、２０ｂと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａ、２０ｂは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して傾斜するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して直交するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二軸周りに揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二軸周りの揺動を精度良く検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、第１圧電アクチュエータ３１及び第２圧電アクチュエータ５１の駆動で二軸周りに揺動する反射面２ａと、当該揺動を検知する第１検知部７１ｙ及び第２検知部７１ｘを有する第１支持部４とを備える。第２圧電アクチュエータ５１には、第１圧電アクチュエータ３１に導通する第１駆動配線Ｗｙと、第２圧電アクチュエータ５１に導通する第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知部７１ｙに導通する第１検知配線Ｗｍｙと、第２検知部７１ｘに導通する第２検知配線Ｗｍｘと、第１接地線Ｗｇｙとが並行に配置される。第１接地線Ｗｇｙは、第１駆動配線Ｗｙ及び第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知配線Ｗｍｙ及び第２検知配線Ｗｍｘとの間に配置される。 （もっと読む）

【課題】テレビにおいて、リモコンが無くてもリモコン操作を可能にする。
【解決手段】テレビ（映像表示装置１）にMEMSを用いた画像投写装置（投射部２）と、前記画像投写装置の投写方向を制御する回転手段と、テレビ前面の視聴者の動作を撮像する撮像手段（センサ部３）と、を備え、前記撮像手段によりテレビ視聴者の動作を検知して、前記画像投写装置によりリモコン画像を投写し、視聴者のリモコン画像に対する動作を撮像して、操作指示を判別して当該テレビを制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】MEMSと半導体レーザ光源を用いた小型投射プロジェクタを複数台重ねて使用する場合の画質劣化を低減する。
【解決手段】複数の光源と、前記複数の光源を駆動する複数の光源駆動手段と、前記光源からの出射光を反射し対象物に投射する反射ミラーと、前記反射ミラーを駆動するミラー駆動手段と、入力映像信号を信号処理する画像処理手段と、前記複数の光源を異なる光軸で反射ミラーに入射し異なる投射領域に投影し且つこれをまとめることで一つの入力映像信号の画像を表示させる画像表示装置において、複数の投射画像が光学的に重なり合う領域に対応する画像は１つの光源からの出射光となるように前記画像処理手段が制御を行う構成とする。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費の小さいマイクロミラー用の制御装置および制御方法を提供する。
【解決手段】第１の傾斜軸を中心にするマイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する第１の周波数（ｆ_ｈ）の第１の制御信号（Ｓ４）を形成するステップと、前記第１の傾斜軸に対して垂直の第２の傾斜軸を中心にする前記マイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する、前記第１の周波数（ｆ_ｈ）よりも低い第２の周波数（ｆ_ｖ）の第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を形成するステップと、前記第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を、当該第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を前記第１の周波数によりバイナリ変調することにより変調するステップと、前記マイクロミラー（２０）の力入力素子（２１、２２、２３、２４）を、前記変調された第２の制御信号（Ｓ５）と前記第１の制御信号（Ｓ４）とで制御するステップと、を有するマイクロミラー（２０）の制御方法。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二次元方向に揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二次元方向の揺動を検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、反射面２ａを有するミラー部２を支持する第１支持部４と、ミラー部２を第１支持部４に対して第１軸Ｙ周りに揺動させる第１圧電アクチュエータ３１，３２と、第１支持部４を支持する第２支持部６と、第１支持部４を第２支持部６に対して第２軸Ｘ周りに揺動させる第２圧電アクチュエータ５１，５２とを備える。第１支持部４上には、第１圧電アクチュエータ３１，３２の圧電駆動により伝達される第１振動を検知する第１検知部７１ｙ，７２ｙと、第２圧電アクチュエータ５１，５２の圧電駆動により伝達される第２振動を検知する第２検知部７１ｘ，７２ｘとが配置される。 （もっと読む）

【課題】 反射面を揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の揺動を検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、反射部２を支持する第１支持部４と、これを支持する第２支持部６と、一端が第１支持部４に、他端が第２支持部６にそれぞれ連結され、圧電駆動により第１支持部４を第２支持部６に対して第２軸Ｘ周りに揺動させる第２圧電アクチュエータ５１，５２とを備える。第２圧電アクチュエータ５１，５２の圧電駆動により、第２支持部６に伝達される振動を検知する検知部７１，７２が第２支持部６に配置される。 （もっと読む）

【課題】揺動部の慣性モーメント或いは重心位置の調整を比較的大きな範囲で比較的高速に行うことが可能な光偏向器などの揺動体装置、その製造方法を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、揺動部と弾性支持部305、306と支持体301とを備え、揺動部が弾性支持部により揺動軸304回りに揺動可能に支持されている。揺動部は、該揺動部の質量を調整するための突出部303、321を持つ可動子302、320で構成されている。突出部は可動子から揺動軸と平行な方向に突出しており、突出方向の何れの個所でも切断可能に形成されている。突出部の揺動軸を法線とする断面積は、揺動軸方向に一定である。
【選択図】図10
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【課題】ミラー部の偏向角を直線的に変化させ得る期間が短くなりすぎないようにしつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）と、奇数番目の圧電カンチレバー３（奇数）とのいずれか一方を圧電駆動する駆動電圧は、ノコギリ波状の２つの電圧信号を、所定の位相差だけ位相をずらした状態で合成することにより得られる波形の電圧信号である。圧電カンチレバー３（偶数）及び圧電カンチレバー３（奇数）の他方を圧電駆動する駆動電圧は一方を圧電駆動する駆動電圧の逆位相の波形とされる。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を揺動駆動するための圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーをノコギリ波状の駆動電圧により圧電駆動しつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動する第１駆動電圧と、奇数数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動する第２駆動電圧とを逆位相のノコギリ波状の電圧とする。第１駆動電圧と第２駆動電圧との間の位相差が、ミラー部１の高周波振動が発生するのを抑制するように設定される。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角を直線的に変化させ得る期間が短くなりすぎないようにしつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）と、奇数番目の圧電カンチレバー３（奇数）とのいずれか一方を圧電駆動する駆動電圧は、周波数が異なる正弦波Ｓａ，Ｓｂのそれぞれの半周期分の波形を連接して構成される。圧電カンチレバー３（偶数）及び圧電カンチレバー３（奇数）の他方を圧電駆動する駆動電圧は一方を圧電駆動する駆動電圧の逆位相の波形とされる。 （もっと読む）

【課題】ミラーを高精度に駆動でき、高精細の画像を表示できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】ミラー２１０は、ホルダ２５０とカバー２５１により気密状態に保持されているので、空気抵抗が大きく、ミラー面積が大きいことも相まって、リンギングを抑制して精度良い低周波の非共振駆動を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトでありながら、組み立てコストを増大させることなく、高精細の画像を表示できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】組み立て時等において、ＭＥＭＳミラーの手前に設けたハーフミラーから反射したレーザビームを入射した検出器ＰＤからの信号に基づいて、スポットの相対位置ズレを検出する。例えばラスター走査の末端では、画像を表示しないので、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のレーザビームを順々に照射して、スポットの位置ズレを検出器ＰＤで検出する。検出された位置ズレは、ソフト又はハード的に補正される。 （もっと読む）

【課題】振動素子の組み立てを簡易化しつつ、部品の位置決め精度を向上させる。
【解決手段】振動素子は、金属合金からなるトーションバー、該トーションバーの先端部に設けられている揺動体及び該揺動体を振動させる素子駆動部を備え、前記素子駆動部は、前記揺動体内に配置される、前記揺動体を駆動させるための磁石を少なくとも含み、前記揺動体には切欠が形成されており、前記トーションバーの先端部と前記磁石は、前記揺動体の前記切欠を基準として位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】斜め投射時に発生する投影画像の歪みを、実用的な制御負荷にて補正可能な画像投影装置を提供すること。
【解決手段】画像データを記憶するフレームメモリ５８と、レーザー発振器６０と、レーザー光を反射する１つ以上の反射光学素子５３３と、レーザー光の包絡線が所定形状となるよう反射光学素子を振動させる偏向方向可変手段５３と、反射光学素子の角度からレーザー光の照射位置を三角関数を用いずに求める多項式の係数情報が記憶された係数情報記憶手段６３と、係数情報に演算を施して求めた係数及び角度を多項式に適用することで、レーザー光の照射位置を演算する照射位置演算手段６２と、照射位置に対応するフレームメモリのアドレスを演算するアドレス演算手段６４と、アドレスの画素情報を読み出すメモリ制御手段１００と、画素情報に応じた輝度でレーザー光を照射するレーザー駆動手段５９と、を有する画像投影装置２００を提供する。 （もっと読む）

【課題】第２光走査素子の駆動周波数の変化に応じて、第１光走査素子の第１駆動信号の駆動周波数を生成するための１次処理信号を決定することができる駆動信号発生器及びそれを備えた光走査装置並びに画像表示装置を提供する。
【解決手段】第１光走査素子の反射ミラーを非共振モードで強制的に駆動させる第１駆動信号を生成する第１駆動手段と、第１光走査素子の走査方向と交差する方向に光を走査する第２光走査素子を駆動する第２駆動信号を生成する第２駆動手段と、を備えた駆動信号発生器において、第２駆動信号の駆動周波数に応じて、鋸波信号にローパスフィルタ処理を施した複数の１次処理信号のデータを予め記憶する記憶手段と、第２駆動信号の駆動周波数の変化に応じて、記憶手段に記憶された複数の１次処理信号から、ノッチフィルタ処理を行うための１次処理信号を選択する１次処理信号選択手段を備えた。 （もっと読む）