【課題】一対のトーションバネにより支持されたミラー基板を、そのトーションバネを捻り回転軸として振動させる光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】フレーム部材に、一対の弾性部材によりミラー基板が支持され、前記弾性部材を捻り回転軸として前記ミラー基板が往復振動可能な光走査装置であって、前記弾性部材は、前記フレーム部材との結合端の近傍で一対の連結部材により前記フレーム部材と連結され、前記連結部材は、前記ミラー基板の駆動用トルクを生じさせる圧電素子が設けられ、前記ミラー基板は、前記回転軸から外側に向けて、各領域の曲げ剛性が、振動によって作用する曲げモーメントに応じて設定され、さらに、前記弾性部材との結合両端側にスリットが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】組み立て時の応力や、組立後の水分や温度変化よるミラー姿勢の変化を可及的に低減し、ミラー揺動軸の初期姿勢精度を向上させる。
【解決手段】 表面は反射面となっており共振振動により揺動する可動子を有するプレート部材と、可動子を共振駆動するアクチュエータと、プレート部材とアクチュエータを保持するホルダと、を備えた光偏向装置であって、前記プレート部材は金属支持部材を介してホルダに保持される構成で、プレート部材と前記金属支持部材がろう接によって一体的に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミラー部材をトーションバーを介して往復運動させる光偏光器においてミラーの駆動力を高め、同一駆動力を発揮できる圧電素子の印加電圧を低減して絶縁破壊に、より強い装置を得る。
【解決手段】フレーム部１０内で一対のトーションバー１２により支持されるミラー部１１と、連結部１３を介してトーションバー１２と連結され、表面に有した、圧電素子１６に電圧が印加されて変形することで、ミラー部１１がトーションバー１２を回転軸として往復共振運動するためのトルクを生じさせる一対のカンチレバー１５と、を備え、各連結部１３は、フレーム部１０の内壁に設けた連結弾性部１４によってフレーム部１０に接続するようにした。そして連結弾性体１４の設計を最適化して共振振幅を向上させた。 （もっと読む）

【課題】プレート部材の形状やサイズ寸法によらずに、工程上安定した組立を可能にし、衝撃などが加わっても高品位な画像品質を提供可能とする。
【解決手段】少なくとも１つは表面がビームを反射する反射面となっており共振振動により揺動する複数の可動子を備えたプレート部材と、前記可動子を駆動するアクチュエータ部と、これらを一体に保持するホルダとを備えた光偏向装置において、前記ホルダが前記プレート部材と接する面、或いはその近傍で前記プレート部材と対向する面には、固定作業に使用する貫通穴を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、可動板の重量を増やすことなく、反射面の歪みを抑制できる。
【解決手段】 本発明の光走査装置は、入射光を反射させる反射面を有する可動板と、該可動板を回動可能に軸支するトーション梁と、該トーション梁にねじり方向の駆動力を作用させる駆動部とを具備し、少なくとも、可動板とトーション梁の接続部分付近にリブを形成する。 （もっと読む）

【課題】大きなミラー変位量を得るとともに、ミラー変位量の安定性が良い光スキャナ及びその光スキャナを用いた画像表示装置を提供すること。
【解決手段】切欠き１２２が、外枠部１１４の、外枠部１１４と一対の梁部１１３ｂとが連結された連結位置の周囲に設けられる。固定用突起１２３が、一対の梁部１１３ｂの夫々から揺動軸線ＡｏＲ１に平行に伸びる延長線の間で、切欠き１２２に設けられる。切欠き１２２と固定用突起１２３とが設けられることによって、大きなミラー変位量と良いミラー変位量の安定性との両立を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】光学ミラーを固定するときに生じる反射面の歪みを防止し、レーザ光の集光性能の低下や照射位置の位置ずれが発生することを防止する光学ミラー装置および光学ミラーの固定方法を提供する。
【解決手段】光学ミラー装置５０は、入射されたレーザを照射位置へ反射する反射面３１、３２を備えた光学ミラー３０と、反射面に連なって対をなす側面部３３に向かい合う保持部を有するとともに光学ミラーが載置される保持部材４０と、側面部と保持部との間に設けられるとともに対をなす側面部を互いに離れる方向に引っ張りつつ光学ミラーを保持部材に固定する接着剤と、保持部材に連結されるとともに回転駆動される駆動軸７１を備えるモータ７０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】共振周波数に振幅依存性を持つ振動ミラーを用いた光走査装置において、振幅制御性が良く性能の安定した装置を提供する。
【解決手段】振動ミラー１０が共振周波数に振幅依存性を持った光走査装置において、振動ミラー１０の駆動周波数を、振動ミラーの所定の目標振幅の２分の１の振幅における共振周波数以上の周波数に設定し、振幅に関係なく設定した周波数で駆動する。あるいは、前記駆動周波数を、使用環境温度範囲内で前記振動ミラー素子の所定の振幅の２分の１の振幅における共振周波数のうち、最も高い周波数以上の周波数に設定する。 （もっと読む）

【課題】 性能を低下させず、かつ動的変形問題を解決できる両面ミラーを採用したＭＥＭＳミラー、ミラースキャナー、光走査ユニット及び光走査ユニットを採用した画像形成装置を提供する。
【解決手段】 ＭＥＭＳミラーは、一つまたは複数のミラー面を備える少なくとも２つの表面を持つミラー部、及びミラー部から延びて形成されて磁石を支持する磁石フレーム部とを備える稼動部と、稼動部の両側それぞれに離隔して形成された第１及び第２固定部材と、稼動部を弾性支持するものであって、稼動部と第１及び第２固定部材とをそれぞれ連結する第１及び第２弾性部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ミラーサイズを大きくせずに入射系ピッチを広げることが可能な構成で、製造コストを低減しつつ、複数のビームを精度よく偏向走査することが可能な光学走査装置及びそれを備える画像形成装置を提供する。
【解決手段】ビームを射出する半導体レーザ４１と、ビームをそれぞれのビームに対応して設けられた感光体３２の表面に偏向する光偏向ユニット１と、光偏向ユニット１において偏向されたビームを感光体３２の表面に結像するレンズ４４と、を備える光学走査装置において、光偏向ユニット１は、偏向子３ｕ、３ｄと、駆動子４ｕ、４ｄと、固定部１２と、を有し、偏向子３ｕ、３ｄ、駆動子４ｕ、４ｄ、及び固定部１２がねじりバネ５ｕ、６ｕ、６ｄ、５ｄによって直列に連結され、駆動子４ｕ、４ｄが揺動することに伴って偏向子３ｕ、３ｄが揺動し、偏向子３ｕ、３ｄと駆動子４ｕ、４ｄは、固定部１２を挟んで両側に固定部１２に対して対称となる配列でかつ、それぞれの揺動軸が一直線上にくるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】投影型表示装置において、解像度の高い画像を表示可能にし、且つ、製造コストを低くする。
【解決手段】投影型表示装置１は、制御回路の制御に基づき、光源から入射された光線を２軸型の偏向器により偏向させて、投影面上に水平方向及び垂直方向にそれぞれ第１走査周波数ｆＨ、第２走査周波数ｆＶで２次元的に走査する。各走査周波数は、ｆＨがｆＶの倍数ではなく、且つ、２×ｆＨがｆＶの倍数となるように設定されており、垂直方向に一往復走査するとき光線の走査経路が重ならないように構成されている。光線は、垂直方向に一往復走査する間に１つの表示フレームの画像データを表示するように、且つ、光線の走査方向に応じて行毎に走査部分のデータに対応するように光源から変調される。これにより、実効的な走査線の数を増加させて画像を表示することができる。 （もっと読む）

【課題】高速駆動が可能でかつミラー面の動撓みを低減可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備え、ミラーにダイヤモンドライクカーボン膜を形成したことを特徴とするマイクロミラーデバイスが提供される。 （もっと読む）

【課題】ミラー表面の平滑性を向上させたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイスは、トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備える。ミラーは、母材と、母材の表面粗さを平滑化するための平滑化層と、平滑化層の上に形成された反射面とを備える。 （もっと読む）

【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型光スキャナを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナは、可動部と電極部１２０とから構成される。電極部１２０が設けられる層の下、つまり可動部と対向する面の裏と対向する位置に、配線層９００が設けられる。配線層９００には、Ｘ正配線９７１、Ｘ負配線、Ｙ正配線９８１、及びＹ負配線９８２が設けられる。Ｘ正配線９７１は、Ｘ正電極７０１の裏まで延び、Ｘ正接続ビア７１１によりＸ正電極７０１と電気的に接続される。Ｘ負配線も同様にしてＸ負接続ビア７１２によりＸ負電極７０２と電気的に接続される。Ｙ正配線９８１は、Ｙ正配線接続部８１１の裏まで延び、Ｙ正接続ビア８１３によりＹ正配線接続部８１１と電気的に接続される。Ｙ負配線９８２も同様にしてＹ負接続ビア８１４によりＹ負配線接続部８１２と電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】ミラーデバイスと支持基板の位置がずれないように正確に接合することが可能な光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光反射部２１３を備えた質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２４，２５と、質量部２１を回動可能に支持部２４，２５に連結する、弾性部を備えた連結部２２，２３とが形成された基体２に凹部６１ａ，６１ｂが形成され、基体２と接合し、基体２を支持する支持基板３に凹部６１ａ，６１ｂにはまる凸部６３が形成されている。凸部６３は半田合金をボール状に配置することにより形成されている。凹部６１ａの表面には金属膜６２が形成され、凹部６１ａの金属膜６２と凸部６３を半田接合することにより、凹部６１ａと凸部６３は固定される。一方、凸部６３は凹部６１ｂにはめ込まれるが固定はされない。 （もっと読む）

【課題】駆動の際のギャップ量の変動が抑えられたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０と中間スペーサー１５０と複数の接合部材１７０とを有している。中間スペーサー１５０は、チップ１１０と基板１３０とに接して配置されており、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間隔を一定に維持している。中間スペーサー１５０は複数の貫通孔１５４を有し、接合部材１７０は貫通孔１５４の中にそれぞれ配置され、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを電気的に接続しているとともに機械的に接合している。中間スペーサー１５０はこれを貫通する複数の吸引孔１５６を有し、電極基板１３０はこれを貫通する複数の吸引孔１３４，１３６を有している。吸引孔１３６と吸引孔１５６は互いに空間的につながっている。 （もっと読む）

【課題】振動子の共振周波数を簡易な回路構成により計測しかつ調整することができるようにしたアクチュエータを提供する。
【解決手段】可動板(13)と、支持部(11)と、可動板を上記支持部に振動可能に支持するトーションバー(14)と、トーションバーに形成される角度検出センサ(20)と、可動板を振動させる駆動手段(30)と、可動板とトーションバーで構成される振動子(13,14)の共振周波数を調整する共振周波数調整手段(30)と、を備え、角度検出センサ(20)は、バイアス電流(I_B)の供給を受けてトーションバーのねじれに応じた電圧を発生するピエゾ抵抗(21)を含み、共振周波数調整手段は、振動子に設定すべき共振周波数に対応してピエゾ抵抗に供給されるバイアス電流のレベルを調整する可変電流源(34)を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は二軸駆動の光学反射素子において、振動の周波数比を大きくすることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１と支持部２で連結された音叉形振動子３と、この音叉形振動子３と支持部５で連結され、音叉形振動子３およびミラー部１の外周を囲う枠体６と、この枠体６を介して対向し、この枠体６とそれぞれ支持部７で連結される対の音叉形振動子８と、これらの音叉形振動子８とそれぞれ支持部１０で連結された支持体１１とを備え、音叉形振動子３の回転軸１８と音叉形振動子５の回転軸１７とは垂直な関係であって、音叉形振動子８のアーム１４、１５の先端には、それぞれ外側へ突出する突起部１６Ａ、１６Ｂが形成されているものとした。これにより本発明は、二軸駆動の光学反射素子において、振動の周波数比を大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体発光素子の光源特性の変化に応じた光量補正の精度を向上する技術を提供する。
【解決手段】光源装置１００は、入力値ＤＲに応じて赤外光ＬＲｉを射出する半導体レーザ素子３１Ｒと、赤外光ＬＲｉを非線形光学効果によって可視光であるレーザ光ＬＲに変換する波長変換素子３２と、レーザ光ＬＲの光量を測定する光量測定部として光電変換素子９０及びＩ／Ｖ変換器９１と、光量測定部が出力する電圧信号ＶＬＲｉを赤外光ＬＲｉの光量に相当する信号Ｄｐｄに変換するためのアナログ平方根回路９９と、入力値ＤＲと信号Ｄｐｄとを用いて半導体レーザ素子３１Ｒの発光量を補正する光量補正回路９３とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を抑制可能な光学走査装置及びこれを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザユニット１と、レーザユニット１からの光束を主走査方向に偏向走査する偏向装置５と、偏向装置５により偏向走査される走査光束Ｌ２を感光体ドラムに結像する走査レンズ４とを有し、レーザユニット１を走査レンズ４の光軸方向に配置して、レーザユニット１からの光束を偏向装置５に対して正面斜入射させる光学走査装置において、レーザユニット１からの光束Ｌを副走査方向において走査光束Ｌ２側へ内面反射させ、更に１回内面反射させて偏向装置５へ光束Ｌを入射させる多角形プリズム３を有し、偏向装置５により偏向走査された後の走査光束Ｌ２は、副走査方向においてレーザユニット１に当たらない位置を通過し、レーザユニット１を境にして偏向装置５側とは反対側に出射する。 （もっと読む）