【課題】 振動アクチュエータの小型化と生産性とを両立させる。
【解決手段】 振動アクチュエータにおいて、１本のねじり棒バネ３０により、ミラー３と永久磁石４３を固定した可動子であるフレーム４２を、基板に対して回転可能に片持ち支持する。ねじり棒バネ３０は、可動子の回転軸に垂直な方向の断面形状は、少なくとも、長手方向が第１の方向である第１の部分と、長手方向が上記第１の方向と平行でない第２の方向である第２の部分とを有する形状、例えばＨ字型とする。また、永久磁石４３と対向させて、コイル４５とヨーク４６とを備えたステータ４１を配置する。配線４７を介してコイル４５に所定のパルスを通電することにより、永久磁石４３に力を加え、ねじり棒バネ３０をねじって上記可動子を所定の回転角で往復回転駆動することができる。 （もっと読む）

【課題】封止基板の接合での気密封止パッケージで発生する内部応力による振動デバイスの共振周波数の変化やばらつきを低減し、安定した特性の機能素子パッケージを提供するものである。
【解決手段】第１の材料基板に対し、支持フレーム２０、梁３３及び振動部３０を含む複数の機能素子１０と、各支持フレーム２０を連結する連結部と、を有する機能素子ウエハを形成し、第２の材料基板に対し機能素子ウエハにおける機能素子１０に対応する凹部を形成し、第３の材料基板に対し、機能素子ウエハを、剛性の低い部材を介して接合し、機能素子ウエハにおける連結部を除去し、第３の材料基板の機能素子ウエハを接合した側の主面に、第２の材料基板の凹部を形成した側の主面を、機能素子が、凹部内に封止されるように接合し、第１の材料基板、第２の材料基板及び第３の材料基板の接合体にダイシングを行う。 （もっと読む）

【課題】揺動体が固定されるトーションバーの真直度が悪いと、揺動体を効率よく揺動させることができない。
【解決手段】一端がベース２０に固定されたトーションバー２３と、ベース２０から突出するトーションバー２３の一端から離れてトーションバー２３に固定された光反射面２１を有する揺動体２２と、この揺動体２２をトーションバー２３の長手方向軸線Ａを中心として揺動させる素子駆動部１８とを備えた本発明による振動素子１７は、ベース２０に対するトーションバー２３の一端の取り付け中心Ｏを通り、かつトーションバー２３の長手方向に沿って一直線に延在する理想揺動軸線ＡRと揺動体の重心Ｇとを含む仮想平面に対して揺動体２２の光反射面２１が直交状態にあり、トーションバー２３および／または揺動体２２に固定される重心位置補正部材２４の重心が仮想平面内にあって揺動体２２の重心Ｇよりも理想揺動軸線ＡR側に位置している。 （もっと読む）

【課題】作業者の作業精度に影響されることなく、可動部の揺動角度を高精度に校正する。
【解決手段】光を２次元走査する光走査部２と、光走査部２を駆動する駆動部３と、光ビームを投光する光源部４と、物体からの反射光を受光する受光部５と、投光及び受光タイミングに基づき物体までの距離を計測する測距部６と、投光タイミングと、入射光線ベクトルと、光走査部の２軸回りの各揺動振幅とを含む変換パラメータを用いて測距部６からの距離データを点群データに変換するデータ変換部７と、基準特徴度データと実測特徴度データとの誤差が閾値以内であるか否かを判定する判定部８と、誤差が閾値より大きい場合、各揺動振幅の実際の値を決定する第１及び第２駆動信号の電流値の少なくとも一方を、判定部８により誤差が閾値以内であると判定されるまで、変更設定可能な設定変更部９と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】光走査装置を構成する構造体を台座に溶接固定するときに、ミラー部の鏡面に汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる光走査装置の製造方法及び光走査装置を提供する。
【解決手段】光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置の製造方法であって、金属製の板材から平板状の前記構造体を形成する構造体形成工程と、前記構造体形成工程で形成された前記構造体に前記駆動部を形成する駆動部形成工程と、前記鏡面とは反対側の面側から、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体を前記台座に溶接する溶接工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】変位部４１，５１，６１，７１を駆動する駆動部８１０，８２０，８３０，８４０が、可動梁４２，５２，６２，７２の延長方向に変位部４１，５１，６１，７１から隔てて配置され、変位部４１，５１，６１，７１の内枠部４１１に固定される永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１に近付けて配置することができる。このため、永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１により駆動部８１０，８２０，８３０，８４０に発生させるトルクを高い状態にすることができる。同一のトルクを低い電流で発生させ、消費電力化を実現する光スキャナー１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも、少ない駆動力で、かつ大きな偏向角度が得られる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器１は、空隙を有して対向する第１及び第２支持部２ａ，２ｂを備えた支持体２と、空隙に配置され、第１支持部２ａに一端３ａが固定されて他端３ｂが自由端の第１アーム部３と、空隙に第１アーム部３とは離間して配置され、第２支持部２ｂに一端４ａが固定されて他端４ｂが自由端の第２アーム部４と、第１アーム部３と第２アーム部４との間に配置されたミラー部５と、ミラー部５と第１アーム部３の他端３ｂとを接続する第１トーションバー部６と、ミラー部５と第２アーム部４の他端４ｂとを接続する第２トーションバー部７とを備える。第１及び第２トーションバー部６，７は、ミラー部５の重心Ｃ５に対して点対称に配置されており、ミラー部５の回転軸Ｇ５からの距離Ｄ６，Ｄ７が互いに等しい。 （もっと読む）

【課題】消費電力の増加、偏向角や走査性能の低下を招くことなく、振動や衝撃による故障、破損を抑制できるマイクロスキャナを提供する。
【解決手段】可動部２と、可動部２を囲む固定枠１と、可動部２を揺動可能に支持する主軸部３と、可動部２又は主軸部３に変位を与える変位部４とを有し、変位部４のＺ方向の変位を規制する規制部６０を備えているマイクロスキャナＯＳ。 （もっと読む）

【課題】製造誤差などが生じた場合であっても、共振周波数ばらつきを抑制することが可能な光スキャナと、この光スキャナを備えた画像投影装置とを提供すること。
【解決手段】揺動軸線を中心として所定の共振周波数で揺動するミラー部と、ミラー部を両持支持する梁部と、梁部の端部が連結される外縁部と、ミラー部を揺動する駆動源と、ミラー部と外縁部との間で梁部ミラー部及び外縁部から離間する質量体と、質量体と梁部とを連結する連結部と、を有する光スキャナである。質量体は、梁部において、揺動軸線に直交する方向の幅が所定幅変化した場合に生じる梁部の剛性変化に起因する共振周波数の変動を、質量体が所定幅変化することで生じる慣性モーメント変化によって抑制する。 （もっと読む）

【課題】小型で駆動効率がよく、大振幅が得られ、さらに動的変形が低減でき、温度上昇による共振周波数の変動の低減が可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】固定ベース５０、光反射面を有するミラー部１０、該ミラー部１０を内部枠部材２０を介して揺動可能に支持する一対の弾性支持部材３０ａ，３０ｂ、及び一対の駆動梁４０ａ，４０ｂを備え、該一対の駆動梁４０ａ，４０ｂは、ミラー部１０と内部枠部材２０と一対の弾性支持部材３０ａ，３０ｂを固定ベース４０に対して片持ち支持する。内部枠部材２０とミラー部１０は、該ミラー部１０の中心に対して放射状に配置した複数の連結部材２２で接続し、且つ、一対の弾性支持部材３０ａ，３０ｂと内部枠部材２０の接続点の延長線上には連結部材２２を配置しないようにする。 （もっと読む）

【課題】光反射面（全反射ミラー）を安定して自在に回動させるための制御が容易である、光スキャナーを提供する。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射面３ａを有する反射板３と、反射板３を支持する支持部材４１と、支持部材４１を介して反射板３を保持する可動部２と、可動部２から光反射面３ａと平行にそれぞれ延出し、中間部分に屈曲部７，８を有する一対の可動梁５，６と、可動梁５，６に直結し可動梁５，６を介して可動部２へ変位を付与する変位部２１，３１を有し、可動梁５，６の延出方向の端部にそれぞれ設けられた第１駆動装置２０，３０と、変位部２１，３１から延出し、光反射面３ａと平行し且つ可動梁５，６の延出方向と直交している一対の駆動梁９，１０と、駆動梁９，１０を固定するための支持枠１５と、可動部２へ、第１駆動装置２０，３０とは異なる変位を、直接付与する第２駆動装置４０と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの駆動初期から低ジッタ動作を行う定常時まで安定した動作を低コストで実現することができる光走査装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】光センサ５１から出力されるセンサ信号を可変平滑化回路５２に入力し、振動ミラー２１の駆動初期においては低周波成分のみを通過させて比較器５３に入力する一方で、低ジッタ動作を行う定常時には、可変平滑化回路５２の特性を切り替えて高周波成分も通過させて比較器５３に入力する。 （もっと読む）

【課題】量産時の歩留まりを向上させるとともに、容易に共振周波数を調整することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、ミラー部１１と、ミラー部１１を振動可能に支持するトーションバー１２ａおよび１２ｂと、トーションバー１２ａおよび１２ｂを介してミラー部１１を共振振動させる可動部１３ａ、１３ｂおよび圧電素子２０ａ〜２０ｄとを備え、ミラー部１１の外周部近傍には、ミラー部１１の質量を調整するための微粒子がミラー部１１の表面に付着することにより形成された質量調整部１１ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】接着剤層の厚みのばらつきを防止して、光走査装置の性能を向上することができる光走査装置及び光走査装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】金属構造体２０の反りと、圧電素子３０の反り向きが同じ方向に反った状態で導電性接着剤２３により接着され、金線１０により配線が行われる。この状態で、金属構造体２０の凹面側の面２１が光学反射面となっている。金属構造体２０の反りと圧電素子３０の反りの向きを合わせて接着するので、導電性接着剤２３の層の厚みを均一にすることができるので、光走査装置の性能を向上することができる。また、金属構造体２０の凹面側の面２１を光学反射面とすることにより、凸面側の面２２を光学反射面とする場合に比較して反射光を収束することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動効率を向上させつつ、放電による電極間の短絡を防止することができる圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ３９は、接着層５０を備え、接着層５０は、振動板１４の両面のうち片側の面１４ａと第１の電極４３の面４３ｂとの間の領域に設けられ、片側の面１４ａと反対側の面４３ｂとを接着する導電性接着層５１と、第１の電極４３の側面４３ｅ全面と圧電体４１の側面４１ｅとを覆うように設けられ、片側の面１４ａと圧電体４１の側面４１ｅとを接着する絶縁性接着層５２と、を有し、片側の面１４ａからの絶縁性接着層５２の高さＢｉｚは、片側の面１４ａと反対側の面４３ｂとの間の導電性接着層５２の厚みＢｃｚと第１の電極４３の厚みＰｅ１ｚとを足した長さ以上に設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミアンダ形振動部を用いた光学反射素子において、ミラー部の振れ角を拡大することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、光学反射素子１において、固定枠体２と、この固定枠体２の内側の対向部分にそれぞれの外端が支持された一対の低速ミアンダ形振動部３と、この低速ミアンダ形振動部３のそれぞれの内端で支持した可動枠体４と、この可動枠体４の内側の低速ミアンダ形振動部３の振動軸と直交した対向部分に、それぞれの内端が支持された一対の高速ミアンダ形振動部５と、この高速ミアンダ形振動部５のそれぞれの内端を支持したミラー部６とを備え、高速ミアンダ形振動部５の湾曲部７の曲率をそれぞれ内端側から外端側へ向かうにつれて小さくした。 （もっと読む）

【課題】共振型のＭＥＭＳデバイスの共振周波数を好適に設定することが可能なＭＥＭＳデバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ミラーを支持して共振状態で揺動させる構造体と、構造体に接着される台座とを有するＭＥＭＳデバイスの製造方法であって、測定工程と、補正量決定工程と、接着条件決定工程と、接着工程とを含む。測定工程では、構造体の寸法が測定される。補正量決定工程では、測定工程で測定された構造体の寸法から、測定工程で測定対象であった一の構造体を有するＭＥＭＳデバイスの共振周波数を、基準とする共振周波数にするまたは近似させるための補正量が決定される。接着条件決定工程では、補正量決定工程で決定された補正量から、一の構造体と台座とを接着するための接着条件が決定される。接着工程では、接着条件決定工程で決定された接着条件で、一の構造体と台座とが接着される。 （もっと読む）

【課題】偏向ミラーの共振周波数を切り替え可能とし、かつ小形化も図ることができる光偏向器を提供する。
【解決手段】各第１のねじり梁部材３ａ，３ｂを往復振動させることで、光源からの光ビームを偏向する偏向ミラー４を有するミラー基板２と、ミラー基板２を保持する外枠部材５と、両外側がフレーム部材７に固定保持されるとともに両内側が外枠部材５の両側に接合された各第２のねじり梁部材６ａ，６ｂを備え、外力発生手段８からの可振による偏向ミラー４の往復振動時に、外枠部材５の慣性と第２のねじり梁部材６ａ，６ｂのねじり剛性で概ね定まる第１の共振周波数が、偏向ミラー４の慣性と第１のねじり梁部材３ａ，３ｂのねじり剛性で概ね定まる第２の共振周波数の略１／２となるように、偏向ミラー４と第１、第２の各ねじり梁部材３ａ，３ｂ、６ａ，６ｂの各形状寸法を設定した。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を基材上に塗布された接着剤上に押し当てて接着させる際に、圧電素子の破損を防止することができる製造方法を提供する。
【解決手段】チクソトロピー性を有する接着剤２でセラミックス製の圧電素子３を基材１に接着させる圧電素子接着方法において、基材１表面に接着剤２を塗布する塗布工程と、圧電素子３を、吸着穴８１ａが形成された吸引ヘッドで吸着し、塗布された接着剤２上に載置する仮置き工程と、圧電素子３を、押圧面８２ａが平面の押圧ヘッド８２で押圧する押圧工程と、接着剤２を硬化させる硬化工程とからなることを特徴とする。これにより、平面の押圧面８２ａで押圧される圧電素子３には過大な応力が作用することないので、圧電素子３の破損を防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】気密封止光偏向器パッケージを有する画像表示装置における往復走査の同期方式はパッケージ外に設けた光ビーム検出器の検出信号に基づいて行っていたために、有効光ビームへの影響が大きく、装置が大型化する。
【解決手段】封止ガラス１は中央に光学透過窓１１を有し、その周辺に遮光カバー１２ａが形成された遮光部１２を有する。光偏向器２をセラミック実装基板３のキャビティ３ａ内に配置し、セラミック実装基板３のキャビティ３ａを封止ガラス１によって気密封止してある。有機薄膜フォトセンサ４ａ、４ｂはパッケージ内部にあって、光偏向器２のマイクロミラー２１から反射される走査光ビームが通過する光学透過窓１１の極近傍に設けられている。 （もっと読む）