光スキャナー、ミラーチップ、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置
【課題】可動板を互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】変位部41,51,61,71を駆動する駆動部810,820,830,840が、可動梁42,52,62,72の延長方向に変位部41,51,61,71から隔てて配置され、変位部41,51,61,71の内枠部411に固定される永久磁石811,821,831,841に近付けて配置することができる。このため、永久磁石811,821,831,841により駆動部810,820,830,840に発生させるトルクを高い状態にすることができる。同一のトルクを低い電流で発生させ、消費電力化を実現する光スキャナー1を得ることができる。
【解決手段】変位部41,51,61,71を駆動する駆動部810,820,830,840が、可動梁42,52,62,72の延長方向に変位部41,51,61,71から隔てて配置され、変位部41,51,61,71の内枠部411に固定される永久磁石811,821,831,841に近付けて配置することができる。このため、永久磁石811,821,831,841により駆動部810,820,830,840に発生させるトルクを高い状態にすることができる。同一のトルクを低い電流で発生させ、消費電力化を実現する光スキャナー1を得ることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、光スキャナー、ミラーチップ、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、レーザープリンター等にて光走査により描画を行うための光スキャナーとして、捩り振動子で構成されアクチュエーターを用いたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1には、一対の永久磁石が設けられた絶縁基板と、一対の永久磁石の間に位置するように絶縁基板に支持されたスキャナー本体とを有するアクチュエーターが開示されている。また、スキャナー本体は、枠状の支持部と、支持部の内側に設けられた枠状の外側可動板と、外側可動板の内側に設けられた内側可動板(ミラー)とを有している。また、外側可動板は、X軸方向に延長する一対の第1トーションバーを介して支持部に連結されており、内側可動板は、X軸方向と直交するY軸方向に延長する第2トーションバーを介して外側可動板に連結している。また、外側可動板および内側可動板には、それぞれコイルが設けられている。
【0003】
このような構成のアクチュエーターでは、通電により各コイルから発生する磁界と一対の永久磁石間に発生する磁界とを作用させることにより、外側可動板が内側可動板とともに第1トーションバーを中心軸としてX軸まわりに回動し、内側可動板が第2トーションバーを中心軸としてY軸まわりに回動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開2005−181395号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
このように、特許文献1のアクチュエーターでは、内側可動板をX軸まわりに回動させる機構と、Y軸まわりに回動させる機構とが異なっている。そのため、内側可動板をX軸およびY軸まわりに等しい条件で回動させることができない。また、特許文献1のアクチュエーターでは、外側可動板に設けられたコイルから発生する磁場と、内側可動板に設けられたコイルから発生する磁場とが干渉し、内側可動板をX軸およびY軸のそれぞれの軸まわりに独立して回動させることができない。したがって、特許文献1のアクチュエーターでは、内側可動板をX軸およびY軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができないという問題がある。
【0006】
本発明の目的は、可動板を互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができ、可動板と回動する軸との偏りを押さえ、正確な画像を実現することができる光スキャナーおよび画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものである。以下の形態または適用例により実現することが可能である。
【0008】
[適用例1]本適用例にかかる光スキャナーは、光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される固定部と、前記変位部に形成される内枠部と、前記内枠部に固定される永久磁石とを備え、前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを要旨とする。
【0009】
これにより、互いに直交する2つの軸のうちの一方の軸回りの可動部の回動と、他方の軸回りの可動部の回動とを独立して行うことができる。そのため、可動部を互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸回りに安定して回動させることのできる光スキャナーを提供することができる。さらに、これによれば、変位部を駆動する駆動部が、可動梁の延長方向に変位部から隔てて配置され、変位部の内枠部に固定される永久磁石に近付けて配置することができる。このため、永久磁石により駆動部に発生させるトルクを高い状態にすることができる。トルクは磁界に比例し、コイルにより発生する磁界は電流に比例するので、同一のトルクを発生させることは、駆動部が永久磁石に近付けて配置されることにより、低い電流で可能となる。そして、消費電力は電流の2乗に比例するので、変位部を駆動する駆動部の消費電力を低くすることができ、消費電力化を実現し安定に駆動する2軸駆動の光スキャナーを得ることができる。
【0010】
[適用例2]上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、前記内枠部は、前記可動梁の延長方向へ開口していることが好ましい。
【0011】
これによれば、内枠部が可動梁の延長方向へ開口しているため、駆動部と永久磁石との間に内枠部が無いので、駆動部を永久磁石にさらに近付けて配置でき、さらなる消費電力化を実現する光スキャナーを得ることができる。
【0012】
[適用例3]本適用例にかかるミラーチップは、光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される固定部と、前記変位部に形成される内枠部と、前記内枠部に固定される永久磁石と、前記可動部、前記可動梁、前記変位部、前記駆動梁、および前記固定部を取り囲んで形成される支持部と、前記固定部と前記支持部とを連結する分離部とを備え、前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを要旨とする。
【0013】
これによれば、ミラーチップは、固定部が駆動梁だけでなく、支持部および分離部により連結されているので、固定部が駆動梁だけに連結されている場合と比べて剛性が高いので、ミラーチップを保持して、固定部を基台に配置して、固定部と基台とを接合させる際などにおいて、ミラーチップを破損させることなく、上述のように、保持して、配置して、接合されることが可能となる。すなわち、互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸回りに安定して回動させることのできる可動部を備える光スキャナーを、高い歩留まりで製造できるミラーチップを提供することができる。
【0014】
[適用例4]上記適用例にかかるミラーチップにおいて、前記分離部は、前記固定部と前記支持部とが部分的に連結されていることが好ましい。
【0015】
これによれば、分離部が固定部と支持部とが部分的に連結されて構成されるため、分離部の強度を他の部分に比べて選択的に弱くすることができる。従って、より確実に分離部において固定部と支持部とを分離することが可能となる。
【0016】
[適用例5]上記適用例にかかるミラーチップにおいて、前記分離部は、前記固定部および前記支持部の厚さよりも小さい厚さを有することが好ましい。
【0017】
これによれば、分離部が固定部および支持部よりも小さい厚みで構成されるため、分離部の強度を他の部分に比べて選択的に弱くすることができる。従って、分離部において固定部と支持部とをより確実に分離することが可能となる。
【0018】
[適用例6]本適用例にかかる光スキャナーの製造方法は、光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される固定部と、前記固定部を固定する基台とを備え、前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有する光スキャナーの製造方法であって、前記光反射部材、前記支持部材、前記可動部、前記可動梁、前記変位部、前記駆動梁、および前記固定部を取り囲んで形成される支持部と、前記固定部と前記支持部とを連結する分離部とを備え、前記固定部を前記基台に固定する固定工程と、前記分離部において前記固定部と前記支持部とを分離する分離工程とを備えることを要旨とする。
【0019】
これによれば、固定部が駆動梁だけでなく、支持部および分離部により連結されているので、固定部が駆動梁だけに連結された場合と比べて剛性を高くすることができる。そのため、支持部および固定部を保持して、固定部を基台に配置して、固定部と基台とを接合させる際などにおいて、支持部ならびに支持部に取り囲まれた光反射部材、支持部材、可動部、可動梁、変位部、駆動梁、および固定部を破損させることなく、上述のように、保持して、配置して、接合されることが可能となる。すなわち、互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸回りに安定して回動させることのできる可動部を備える光スキャナーを、高い歩留まりで製造できる。
【0020】
[適用例7]本適用例にかかる画像形成装置は、光源と、前記光源からの光を走査する光スキャナーとを備え、前記光スキャナーは、光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される固定部と、前記変位部に形成される内枠部と、前記内枠部に固定される永久磁石とを備え、前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを要旨とする。
【0021】
これによれば、上述と同様の効果を奏することが可能な画像形成装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】第1実施形態にかかる光スキャナーを示す概略平面図。
【図2】第1実施形態にかかる光スキャナーの断面図。
【図3】第1実施形態にかかる光スキャナーが有する連結部の斜視図。
【図4】第1実施形態にかかる光スキャナーが有する変位手段を説明する図。
【図5】第1実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図6】第1実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図7】第1実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図8】第1実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図9】第1実施形態にかかる光スキャナーの変位部の内枠部に関する変形例を示す概略平面図。
【図10】第2実施形態にかかるミラーチップを示す概略平面図。
【図11】第3実施形態にかかる光スキャナーの製造方法を示すフローチャート。
【図12】第3実施形態にかかる光スキャナーの製造方法を示す概略工程図。
【図13】第3実施形態にかかる光スキャナーの製造方法を示す概略工程図。
【図14】第4実施形態にかかるプロジェクターを示す概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、本発明の光スキャナーおよび画像形成装置の好適な実施形態の一例について説明する。
【0024】
以下では、説明の便宜上、図中の左側を「左」、右側を「右」と言い、図中の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、図1に示すように互いに直交する3軸を、X軸、Y軸およびZ軸とし、非駆動状態の可動部の面と、X軸およびY軸で形成される面とが一致し(平行であり)、可動部の厚さ方向とZ軸とが一致する。また、以下では、X軸に平行な方向を「X軸方向」と言い、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」と言い、Z軸方向に平行な方向を「Z軸方向」と言う。
【0025】
<第1実施形態>
第1実施形態の光スキャナー1について説明する。
図1および図2に示す光スキャナー1は、可動部2、可動部2に支持される光反射部材20、可動部2に連結する4つの連結部4,5,6,7と、連結部4,5,6,7を連結する固定部13とで構成された振動基板11と、振動基板11を支持する基台12と、可動部2を変位させる変位手段8とを有している。以下、光スキャナー1の各構成について順次詳細に説明する。ここで、図2(a)は、図1のA−A断面図であり、図2(b)は、図1のC−C断面図である。
【0026】
(1−1.振動基板11)
第1実施形態では、振動基板11(すなわち、可動部2、4つの固定部13、および4つの連結部4,5,6,7)は、SOI基板の不要部位をドライエッチングおよびウェットエッチング等の各種エッチング法により除去することにより一体的に形成されている。
【0027】
4つの固定部13は、それぞれ連結部4,5(5,6および6,7および4,7)に連結され、4つの固定部13と4つの連結部4,5,6,7とにより、可動部2の周囲を囲むように設けられている。4つの固定部13のXY平面視形状は、矩形で図示したが、これに限定されず、例えば三角形、正方形等の多角形、円形または楕円形等であってもよい。また、4つの固定部13の形状は、それぞれ同一の大きさおよび同一の形状で図示したが、これに限るものではなく、適宜形状を決定することができる。
可動部2は、平板状をなしている。そして、可動部2には、支持部材23を備えた光反射部材20が配置されている。光反射部材20は平板状をなし、光反射部材20の一方の面(基台12と反対側の面)21には、光反射性を有する光反射部22が形成されている。そして、支持部材23が接着剤などにより可動部2に固定されることで、光反射部材20は、可動部2に支持される。光反射部22は、例えば、面21上に金、銀、アルミニウム等の金属膜などを蒸着等により形成することにより得られる。
【0028】
なお、第1実施形態では、可動部2のXY平面視形状は、円形であるが、可動部2のXY平面視形状としては、特に限定されず、例えば三角形、長方形、正方形等の多角形、楕円形等であってもよい。
また、反射部22は、可動部2の基台12と反対側の面に直接設けられていてもよい。
このような可動部2は、4つの連結部4,5,6,7によって固定部13に連結されている。4つの連結部4,5,6,7は、可動部2のXY平面視にて、可動部2の周方向に沿って等間隔、すなわち90度間隔で配置されている。
【0029】
そして、4つの連結部4,5,6,7のうち、連結部4,6は、可動部2を介してX軸方向に対向しかつ可動部2に対して対称的に形成されており、連結部5,7は、可動部2を介してY軸方向に対向しかつ可動部2に対して対称的に形成されている。このような連結部4,5,6,7によって可動部2を支持することにより、可動部2を安定した状態で支持することができる。
【0030】
4つの連結部4,5,6,7は、互いに同様の構成をなしている。
具体的には、連結部(第1の連結部)4は、変位部41と、可動梁42と、一対の駆動梁43とを有している。可動梁42は、変位部41と可動部2とを連結している。駆動梁43は、変位部41と固定部13とを連結している。
そして、連結部(第3の連結部)5は、変位部51と、可動梁52と、一対の駆動梁53とを有している。可動梁52は、変位部51と可動部2とを連結している。駆動梁53は、変位部51と固定部13とを連結している。
また、連結部(第2の連結部)6は、変位部61と、可動梁62と、一対の駆動梁63とを有している。可動梁62は、変位部61と可動部2とを連結している。駆動梁63は、変位部61と固定部13とを連結している。
同様に、連結部(第4の連結部)7は、変位部71と、可動梁72と、一対の駆動梁73とを有している。可動梁72は、変位部71と可動部2とを連結している。駆動梁73は、変位部71と固定部13とを連結している。
なお、前記「同様の構成」とは、連結部を構成する要素が共通しているということである。したがって、外形形状については一致している必要はない。
各連結部4,5,6,7をこのような構成とすることにより、連結部の構成が簡単となるとともに、可動部2の回動中心軸X1,Y1まわりの回動等をスムーズに行うことができる。
【0031】
以下、連結部4,5,6,7について具体的に説明するが、連結部4,5,6,7の構成は、互いに同様であるため、連結部4について代表して説明し、他の連結部5,6,7については、その説明を省略する。なお、連結部5,7は、可動部2のXY平面視にて、連結部4に対して90度回転した状態で配置されている。そのため、連結部5,7については、下記の連結部4の説明中の「Y軸方向」を「X軸方向」とし、「X軸方向」を「Y軸方向」とすることで説明することもできる。
【0032】
図3に示すように、一対の駆動梁43は、変位部41を介してY軸方向に対向配置されており、変位部41を両持ち支持している。また、一対の駆動梁43は、それぞれ、Y軸方向に延長する棒状をなしている。また、一対の駆動梁43は、駆動梁43の中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。このような一対の駆動梁43は、同軸的に設けられており、この軸(以下、「回動中心軸Y2」とも言う)を中心として、一対の駆動梁43が捩じり変形するとともに変位部41が回動する。
【0033】
変位部41は、可動部2に対してX軸方向に離間して設けられている。また、変位部41は、前述したように一対の駆動梁43によって両持ち支持されている。このような変位部41には内枠部411が形成されている。この内枠部411は、変位部41の光反射面20に平行な面の法線方向に沿って変位部41を貫通する貫通孔によって形成されているとも言える。そして、この内枠部411に永久磁石811が挿通、固定されている。永久磁石811は、例えば、嵌合(圧入)や、接着剤によって、変位部41に固定されている。
【0034】
なお、変位部41の平面視形状としては、特に限定されず、例えば、三角形や正方形や五角形以上の多角形であってもよいし、円形であってもよい。
このような変位部41は、可動梁42によって可動部2と連結している。可動梁42は、全体的にX軸方向に延長するように設けられている。このような可動梁42は、変位部41と可動部2との間に設けられた屈曲部421と、可動部側可動梁422と、変位部側可動梁423とを有している。可動部側可動梁422は、屈曲部421と可動部2とを連結し、変位部側可動梁423は、屈曲部421と変位部41とを連結している。
可動部側可動梁422および変位部側可動梁423は、それぞれ、X軸方向に延長する棒状をなしている。また、可動部側可動梁422および変位部側可動梁423は、同軸的に設けられている。
【0035】
これら2つの軸部のうちの変位部側可動梁423は、光スキャナー1の駆動時に大きな変形が起こらない硬さに設定されているのが好ましく、実質的に変形しない硬さに設定されているのがより好ましい。これに対して可動部側可動梁422は、その中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。このように、可動梁42が実質的に変形しない硬い部分およびその先端側に位置する捩じり変形可能な部位を有することにより、可動部2をX軸およびY軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができる。なお、前記「変形しない」とは、Z軸方向への屈曲または湾曲および中心軸まわりの捩じり変形が実質的に起きないことを言う。
このような可動部側可動梁422および変位部側可動梁423は、屈曲部421を介して連結している。屈曲部421は、可動梁42が屈曲変形する際の節となる機能と、可動部側可動梁422の捩じり変形により発生するトルクを緩和(吸収)し、前記トルクが変位部側可動梁423に伝わるのを防止または抑制する機能とを有している。
【0036】
図3に示すように、屈曲部421は、一対の変形部4211,4212と、これらの間に設けられた非変形部4213と、変形部4211を非変形部4213に接続する一対の接続部4214と、変形部4212を非変形部4213に接続する一対の接続部4215とを有している。
非変形部4213は、Y軸方向に延長する棒状をなしている。このような非変形部4213は、光スキャナー1の駆動時に実質的に変形しない硬さに設定されている。これにより、非変形部4213の回動中心軸Y4を中心に可動梁42を屈曲させることができ、屈曲部421に節としての機能を確実に発揮させることができ、光スキャナー1を安定して駆動させることができる。
【0037】
このような非変形部4213に対して対称的に一対の変形部4211,4212が配置されている。変形部4211,4212は、それぞれ、Y軸方向に延長する棒状をなしている。また、変形部4211,4212は、互いにX軸方向に離間して並設されている。このような変形部4211,4212は、それぞれ、その中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。
【0038】
可動部2側に位置する変形部4211は、その長手方向のほぼ中央にて可動部側可動梁422の一端と連結しているとともに、その両端部にて一対の接続部4214を介して非変形部4213に連結している。同様に、変位部41側に位置する変形部4212は、その長手方向のほぼ中央にて変位部側可動梁423の一端と連結しているとともに、その両端部にて一対の接続部4215を介して非変形部4213に連結している。
【0039】
一対の接続部4214の一方の接続部は、変形部4211および非変形部4213の一端部同士を連結し、他方の接続部は、変形部4211および非変形部4213の他端部同士を連結している。また、一対の接続部4215の一方の接続部は、変形部4212および非変形部4213の一端部同士を連結し、他方の接続部は、変形部4212および非変形部4213の他端部同士を連結している。
このような各接続部4214,4215は、X軸方向に延長する棒状をなしている。また、各接続部4214,4215は、Z軸方向に湾曲可能でかつその中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。
以上、振動基板11の構成について具体的に説明した。
【0040】
前述したように、このような構成の振動基板11は、SOI基板から一体的に形成されている。これにより、振動基板11の形成が容易となる。具体的には、前述したように、振動基板11には、積極的に変形させる部位と、変形させない(変形させたくない)部位とが混在している。一方、SOI基板は、第1のSi層と、SiO2層と、第2のSi層とがこの順に積層した基板である。そこで、変形させない部位を前記3つの層の全てで構成するとともに、積極的に変形させる部位を第2のSi層のみで構成することにより、すなわち、SOI基板の厚さを異ならせることにより、変形させる部位と変形させない部位が混在する振動基板11を簡単に形成することができる。なお、積極的に変形させる部位は、第2のSi層とSiO2層の2層で構成されていてもよい。
【0041】
前記「変形させる部位」には、駆動梁43,53,63,73、可動部側可動梁422,522,622,722、変形部4211,4212,5211,5212,6211,6212,7211,7212および接続部4214,4215,5214,5215,6214,6215,7214,7215が含まれる。
一方、前記「変形させない部位」には、可動部2、固定部13、変位部41,51,61,71、変位部側可動梁423,523,623,723および非変形部4213,5213,6213,7213が含まれる。
【0042】
(1−2.基台12)
図2(a)に示す図1のA−A断面図のように、基台12は、平板状の基部121と、基部121の4隅に設けられた基板保持部122とを有している。このような基台12は、図2(b)に示す図1のC−C断面図のように、枠部122にて振動基板11の固定部13の下面と接合されている。これにより、基台12によって振動基板11が支持される。このような基台12は、例えば、パイレックス(登録商標)、テンパックスなどのガラスやシリコンあるいはアルミニウムを主材料として構成されている。なお、基台12と固定部13の接合方法としては、特に限定されず、例えば接着剤を用いて接合してもよく、陽極接合等の各種接合方法を用いてもよい。また、基台12は、4隅に基板保持部122を有するとしたが、これに限定されず、基板保持部122は、振動基板11の固定部13の位置に対応して基部121上に設けられていればよい。
【0043】
(1−3.変位手段8)
図1に示すように、変位手段8は、第1の変位手段81と、第2の変位手段82と、第3の変位手段83と、第4の変位手段84とを有している。
第1の変位手段81は、永久磁石811、コイル812が巻き付けられた駆動部810、および電源813を有している。第2の変位手段82は、永久磁石821、コイル822が巻き付けられた駆動部820、および電源823を有している。第3の変位手段83は、永久磁石831、コイル832が巻き付けられた駆動部830、および電源833を有している。第4の変位手段84は、永久磁石841、コイル842が巻き付けられた駆動部840、および電源843を有している。
【0044】
そして、第1の変位手段81は、連結部4に対応して設けられており、第2の変位手段82は、連結部5に対応して設けられており、第3の変位手段83は、連結部6に対応して設けられており、第4の変位手段84は、連結部7に対応して設けられている。
このような構成によれば、変位手段8の構成が簡単となる。また、変位手段8を電磁駆動とすることにより、比較的大きな力を発生させることができ、可動部2をより確実に回動させることができる。また、各連結部4,5,6,7に1つの変位手段8(81,82,83,84)が設けられているため、各連結部4,5,6,7を独立して変形させることができる。そのため、可動部2を様々な態様で変位させることができる。
【0045】
以下、第1の変位手段81、第2の変位手段82、第3の変位手段83および第4の変位手段84について説明するが、これらはそれぞれ同様の構成であるため、以下では、第1の変位手段81について代表して説明し、第2の変位手段82、第3の変位手段83および第4の変位手段84については、その説明を省略する。なお、第2の変位手段82および第4の変位手段84は、可動部2の平面視にて、第1の変位手段81に対して90度回転した状態で配置されている。そのため、第2の変位手段82および第4の変位手段84については、下記の第1の変位手段81の説明中の「Y軸方向」を「X軸方向」とし、「X軸方向」を「Y軸方向」とすることで説明することもできる。
【0046】
図3および図4に示すように、永久磁石811は、棒状をなしており、その長手方向に磁化している。すなわち、永久磁石811は、その長手方向の一端側がS極となっており、他端側がN極となっている。このような永久磁石811は、変位部41に形成された内枠部411に挿通されており、長手方向のほぼ中央で変位部41に固定されている。そして、永久磁石811が、変位部41の上下に同じ長さだけ突出し、かつ変位部41(回動中心軸Y2)を介してS極とN極が対向する。これにより、可動部2を安定して変位させることができる。
【0047】
また、永久磁石811は、その長手方向が変位部41の面方向に直交するように設けられている。また、永久磁石811は、その中心軸が回動中心軸Y2と交わるように設けられている。
このような永久磁石811としては、特に限定されず、例えば、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石などの、硬磁性体を着磁したものを好適に用いることができる。
【0048】
なお、第1実施形態では、永久磁石811は、棒状をなしているが、永久磁石の形状としては、特に限定されず、例えば、板状または円柱状をなしていてもよい。この場合には、永久磁石811を面方向に磁化し、その面方向がX軸方向と直交するように変位部41に固定すればよい。これにより、永久磁石811のX軸方向長さを短くすることができるため、変位部41の回動に伴って発生する慣性モーメントを抑えることができる。
【0049】
コイル812は、永久磁石811に作用する磁界を発生する。このようなコイル812は、振動基板11の外側近傍に、X軸方向にて永久磁石811と対向するように配置されている。また、コイル812は、X軸方向の磁界を発生させることができるように、すなわち、コイル812の永久磁石811側がN極となりその反対側がS極となる状態と、コイル812の永久磁石811側がS極となりその反対側がN極となる状態とを発生させることができるように設けられている。
【0050】
第1実施形態の光スキャナー1は、振動基板11の外側に基台12と固定的に設けられた駆動部810(820,830,840)にコイル固定部85を有しており、このコイル固定部85が有するX軸方向に延長する突出部851にコイル812が巻き付けられている。このような構成とすることにより、コイル812を振動基板11に対して固定でき、かつ、簡単に前述のような磁界を発生させることができる。また、突出部851を鉄などの軟磁性体で構成することにより、突出部851をコイル812の磁心として用いることができ、前述のような磁界をより効率的に発生させることもできる。
【0051】
電源813は、コイル812に電気的に接続されている。そして、電源813からコイル812に所望の電圧を印加することにより、コイル812から前述したような磁界を発生させることができる。第1実施形態では、電源813は、交番電圧および直流電圧を選択して印加できるようになっている。また、交番電圧を印加する際には、その強さ、周波数を変更できるようになっており、さらにオフセット電圧(直流電圧)を重畳させることもできるようになっている。
【0052】
(2.光スキャナー1の作動)
次いで、光スキャナー1の作動について説明する。
上述のような構成の光スキャナー1では、可動部2を回動させるパターンと、可動部2を振動させるパターンと、可動部2を所定位置で静止させるパターンとを選択することができるようになっている。このように、光スキャナー1が種々のパターンで駆動することができるのは、各連結部4,5,6,7の可動梁42,52,62,72を屈曲変形させることにより得られる効果である。
以下、これら3つのパターンについて順次説明する。なお、以下では、説明の便宜上、永久磁石811,821,831,841が全てN極を上側にして配置された構成について代表して説明する。
【0053】
(2−1.回動)
<Y軸まわりの回動>
図5に基づいて、可動部2のY軸まわりの回動について説明する。なお、図5は、図1中A−A線断面図に対応する断面図である。
まず、コイル812の永久磁石811側がN極、コイル832の永久磁石831側がS極となる第1の状態と、コイル812の永久磁石811側がS極、コイル832の永久磁石831側がN極となる第2の状態とが交互にかつ周期的に切り替わるように、電源813,833からコイル812,832に交番電圧を印加する。電源813,833からコイル812,832に印加される交番電圧は、互いに同じ波形(強さおよび周波数が同じ)であるのが好ましい。
【0054】
図5(a)に示す第1の状態では、永久磁石811のS極がコイル812に引き付けられるとともにN極がコイル812から遠ざかって傾斜するため、一対の駆動梁43を捩じり変形させつつ、変位部41がその上面を可動部2側に向けるように回動中心軸Y2まわりに傾斜する。これとともに、永久磁石831のN極がコイル832に引き付けられるとともにS極がコイル832から遠ざかって傾斜するため、一対の駆動梁63を捩じり変形させつつ、変位部61がその下面を可動部2側に向けるように回動中心軸Y3まわりに傾斜する。すなわち、変位部41,61がともに図5(a)中時計回りに傾斜する。
【0055】
この変位部41,61の傾斜とともに、変位部側可動梁423が可動部2側の端を下側に向けるように傾斜し、変位部側可動梁623が可動部2側の端を上側に向けるように傾斜する。これにより、変位部側可動梁423,623の可動部2側の端同士がZ軸方向にずれた状態となる。
そして、変位部側可動梁423,623の可動部2側の端同士がZ軸方向にずれることによって、変形部4211,4212,6211,6212をその中心軸まわりに捩じり変形させるとともに各接続部4214,4215,6214,6215を湾曲変形させながら、可動部側可動梁422,622および可動部2が一体的に図5(a)中反時計回りに傾斜する。
【0056】
このように、第1の状態では、連結部4の可動梁42がその途中にある屈曲部421で下側に凸のV字状に屈曲変形(第1の変形)するとともに、連結部6の可動梁62がその途中にある屈曲部621で上側に凸のV字状に屈曲変形(第2の変形)することにより、回動中心軸Y1を中心として、可動部2が図5(a)中反時計回りに傾斜する。
【0057】
一方、図5(b)に示す第2の状態では、前述した第1の状態と逆の変形が起こる。すなわち、第2の状態では、連結部4の可動梁42が屈曲部421で上側に凸のV字状に屈曲変形(第2の変形)するとともに、連結部6の可動梁62が屈曲部621で下側に凸のV字状に屈曲変形(第1の変形)する。これにより、回動中心軸Y1を中心として、可動部2が図5(b)中時計回りに傾斜する。
【0058】
このような第1の状態と、第2の状態とを交互にかつ周期的に切り替えることによって、可動部2を回動中心軸Y1まわりに回動させることができる。なお、可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動は、連結部5,7が有する可動部側可動梁522,722がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容される。
なお、コイル812,832に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部2および連結部4,5,6,7で構成される振動基板11の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー1を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー1のより安定した駆動が可能となる。
【0059】
<X軸まわりの回動>
次いで、図6に基づいて、可動部2のX軸まわりの回動について説明する。なお、図6は、図1中B−B線断面図に対応する断面図である。
まず、コイル822の永久磁石821側がN極、コイル842の永久磁石841側がS極となる第1の状態と、コイル822の永久磁石821側がS極、コイル842の永久磁石841側がN極となる第2の状態とが交互にかつ周期的に切り替わるように、電源823,843からコイル822,842に交番電圧を印加する。電源823,843からコイル822,842に印加される交番電圧は、互いに同じ波形であるのが好ましい。
【0060】
前述した可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動と同様に、図6(a)に示す第1の状態では、連結部5の可動梁52がその途中にある屈曲部521で下側に凸のV字状に屈曲変形(第1の変形)するとともに、連結部7の可動梁72がその途中にある屈曲部721で上側に凸のV字状に屈曲変形(第2の変形)することにより、回動中心軸X1を中心として、可動部2が図6(a)中反時計回りに傾斜する。
【0061】
一方、図6(b)に示す第2の状態では、前述した第1の状態と逆の変形が起こる。すなわち、第2の状態では、連結部5の可動梁52が屈曲部521で上側に凸のV字状に屈曲変形(第2の変形)するとともに、連結部7の可動梁72が屈曲部721で下側に凸のV字状に屈曲変形(第1の変形)することにより、回動中心軸X1を中心として、可動部2が図6(b)中時計回りに傾斜する。
このような第1の状態と、第2の状態とを交互にかつ周期的に切り替えることによって、可動部2を回動中心軸X1まわりに回動させることができる。なお、可動部2の回動中心軸X1まわりの回動は、連結部4,6が有する可動部側可動梁422,622がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。
【0062】
なお、コイル822,842に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部2および連結部4,5,6,7で構成される振動基板11の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー1を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー1のより安定した駆動が可能となる。
【0063】
<X軸およびY軸のそれぞれの軸まわりの回動>
前述したようなX軸まわりの回動と、Y軸まわりの回動とを同時に行うことにより、可動部2を回動中心軸Y1および回動中心軸X1のそれぞれの軸まわりに2次元的に回動させることができる。前述したように、可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動は、可動部側可動梁522,722がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容され、可動部2の回動中心軸X1まわりの回動は、可動部側可動梁422,622がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。
【0064】
前述したX軸まわりの回動、Y軸まわりの回動およびこれら2軸まわりの回動では、コイル812,822,832,842に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部2および連結部4,5,6,7で構成される振動基板11の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー1を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー1のより安定した駆動が可能となる。
【0065】
また、可動部2を回動中心軸Y1まわりに回動させるためにコイル812,832に印加する交番電圧の周波数と、可動部2を回動中心軸X1まわりに回動させるためにコイル822,842に印加する交番電圧の周波数とは等しくてもよいし異なっていてもよい。例えば、可動部2を回動中心軸X1よりも回動中心軸Y1まわりに速く回動させたい場合には、コイル812,832に印加する交番電圧の周波数を、コイル822,842に印加する交番電圧の周波数よりも高く設定すればよい。
【0066】
また、コイル812,832に印加する交番電圧の強さと、コイル822,842に印加する交番電圧の強さは、等しくても異なっていてもよい。例えば、可動部2を回動中心軸X1よりも回動中心軸Y1まわりに大きく回動させたい場合には、コイル812,832に印加する交番電圧の強さを、コイル822,842に印加する交番電圧の強さよりも強くすればよい。
【0067】
上記では、コイル812,822,832,842に交番電圧を印加する駆動方法について説明したが、次のような駆動方法によっても可動部2を回動させることができる。すなわち、電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に印加される交番電圧に(+)または(−)のオフセット電圧(直流電圧)を重畳してもよい。言い換えれば、永久磁石811,821,831,841のN極がコイル812,822,832,842に引き付けられる強さ(以下、単に「N極引き付け強さ」とも言う)と、永久磁石811,821,831,841のS極がコイル812,822,832,842に引き付けられる強さ(以下、単に「S極引き付け強さ」とも言う)とを異ならせてもよい。
【0068】
以下、具体的に説明するが、前述したような、N極引き付け強さおよびS極引き付け強さが等しい状態を「通常状態」と言う。
コイル812,822,832,842のS極引き付け強さがN極引き付け強さよりも大きい場合には、通常状態と比較して、図1中A−A断面から見た変位部41,51,61,71の可動部側の端部における回動の上死点および下死点(回動方向が切り替わる点)が下側に移動する。その結果、図7に示すように、可動部2の回動中心軸X1,Y1が通常状態に比べて下側に移動する。逆に、コイル812,822,832,842のS極引き付け強さがN極引き付け強さよりも弱い場合には、通常状態と比較して、図1中A−A断面から見た変位部41,51,61,71の可動部側の端部における回動の上死点および下死点がそれぞれ上側に移動するため、可動部2の回動中心軸X1,Y1が通常状態に比べて上側に移動する。
【0069】
このように、電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に印加される交番電圧にオフセット電圧を重畳することにより、可動部2の回動中心軸X1,Y1をZ軸方向にずらすことができる。これにより、例えば、光スキャナー1がプロジェクター等の画像形成装置に組み込まれている場合に、画像形成装置を組み立てた後でも、光源から出射される光の可動部2までの光路長を調整することができる。すなわち、画像形成装置の組み立て時には、光源と可動部2との位置決めを精密に行うが、仮にこれらの位置が設定値に対してずれてしまった場合でも、組み立て後に、光源と可動部2との位置を補正することができる。
【0070】
(2−2.振動)
まず、コイル812,822,832,842の永久磁石811,821,831,841側がそれぞれN極となる第1の状態と、コイル812,822,832,842の永久磁石811,821,831,841側がそれぞれS極となる第2の状態とが、交互にかつ周期的に切り替わるように、電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に交番電圧を印加する。電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に印加される交番電圧は、互いに同じ波形であるのが好ましい。
【0071】
図8(a)に示す第1の状態では、前述した回動の場合と同様にして、変位部41,51,61,71は、それぞれ、その上面を可動部2側に向けるように回動中心軸Y2,X2,Y3,X3まわりに傾斜する。このような変位部41,51,61,71の傾斜に伴って、変位部側可動梁423,523,623,723は、それぞれ、可動部2側の端が下側を向くように傾斜する。これにより、可動梁42,52,62,72が屈曲部421,521,621,721で屈曲しながら、可動部側可動梁422,522,622,722および可動部2が一体的にかつ可動部2の姿勢(すなわち面方向)を一定に保ちつつ下側に移動する。
【0072】
一方、図8(b)に示す第2の状態では、変位部41,51,61,71は、それぞれ、その下面を可動部2側に向けるように回動中心軸Y2,X2,Y3,X3まわりに傾斜する。このような変位部41,51,61,71の傾斜に伴って、変位部側可動梁423,523,623,723は、それぞれ、可動部2側の端が上側を向くように傾斜する。これにより、可動梁42,52,62,72が屈曲部421,521,621,721で屈曲しながら、可動部側可動梁422,522,622,722および可動部2が一体的にかつ可動部2の姿勢を一定に保ちつつ上側に移動する。
【0073】
このような第1の状態と、第2の状態とを交互に切り替えることによって、可動部2をその姿勢を保ちつつ、すなわち光反射部22の表面をX−Y平面と平行に保ちつつ、Z軸方向に振動させることができる。
なお、コイル812,822,832,842に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部2および連結部4,5,6,7で構成される振動基板11の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と等しいのが好ましい。すなわち、光スキャナー1を共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー1のより安定した駆動が可能となる。
このような振動パターンでも、前述した回動パターンと同様に、コイル812,822,832,842に印加する交番電圧にオフセット電圧を重畳させることにより、自然状態からZ軸方向にシフトして可動部2を振動させることができる。
【0074】
(2−3.静止パターン)
例えば、コイル812,822,832,842の永久磁石811,821,831,841側がそれぞれN極となる状態となるように電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に直流電圧を印加する。電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に印加される直流電圧は、互いに同じ強さであるのが好ましい。このような電圧をコイル812,822,832,842に印加すると図8(a)に示すような状態で可動部2が静止する。
【0075】
逆に、コイル812,822,832,842の永久磁石811,821,831,841側がそれぞれS極となる状態となるように電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に直流電圧を印加すると、図8(b)に示すような状態で可動部2が静止する。
このように、可動部2を自然状態とは異なる位置に維持することができる。このような駆動によれば、例えば光反射部22で反射した光の光路を自然状態のときに対してずらすことができるため、例えば、光スキャナー1を光スイッチとして利用するときに特に有効である。
【0076】
また、例えば、光スキャナー1がプロジェクター等の画像形成装置に組み込まれている場合に、光源から異常なレーザーが出射されるなどの理由から、レーザーの装置外部への出射を停止しなければならない場合に、可動部2を自然状態とは異なる位置(レーザーの光路と交わらない位置)に退避させることにより、光反射部22によるレーザーの反射を防止する。これにより、装置外部へのレーザーの出射を防止することができる。また、可動部2を変位させることにより光反射部22で反射されたレーザーの光路を変更することにより、装置外部へのレーザーの出射を防止してもよい。これにより、このような問題を解決するための安全機構を別途組み込まなくてもよくなり、画像形成装置の製造工程が簡易化されるとともに、製造コストを削減することができる。
【0077】
このような可動部2の静止駆動を応用し、コイル812,822,832,842に印加する直流電圧の強さを互いに異ならせることにより、可動部2を自然状態に対して傾けた状態で維持することもできる。また、コイル812,822,832,842に印加する直流電圧の強さを、それぞれ独立して、かつ経時的に変化させることにより、可動部2を連続的または段階的に不規則に変位させることもできる。このような駆動方法は、例えば、光反射部22で反射した光をベクタースキャンする時に特に有効である。
以上、光スキャナー1の駆動について詳細に説明した。
【0078】
このような光スキャナー1では、可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動と回動中心軸X1まわりの回動とを同じ機構で行うことができる。また、光スキャナー1では、可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動と回動中心軸X1まわりの回動とを独立して行うことができる。すなわち、光スキャナー1では、回動中心軸Y1の回動が回動中心軸X1まわりの回動に影響を受けず、逆に、回動中心軸X1の回動も回動中心軸Y1まわりの回動に影響を受ない。そのため、光スキャナー1によれば、回動中心軸Y1および回動中心軸X1のそれぞれの軸まわりに可動部2を安定して回動させることができる。
【0079】
また、前述したように、光スキャナー1では、可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動は、可動部側可動梁522,722がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容され、可動部2の回動中心軸X1まわりの回動は、可動部側可動梁422,622がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。このように、各連結部4,5,6,7が中心軸まわりに捩じり変形可能な可動部側可動梁422,522,622,722を有しているため、可動部2を回動中心軸Y1,X1のそれぞれの軸まわりにスムーズに回動させることができる。
【0080】
さらには、光スキャナー1では、可動部側可動梁422,522,622,722が直接、可動部2に接続されているため、よりスムーズに、可動部2を回動中心軸Y1,X1のそれぞれの軸まわりに回動させることができたり、Z軸方向へ振動させたりすることができる。
また、光スキャナー1では、連結部4において、前述のように捩じり変形する可動部側可動梁422と変形させたくない変位部側可動梁423との間に屈曲部421を設けている。そのため、前述の捩じり変形により生じた応力は、屈曲部421の変形部4211,4212や接続部4214,4215が変形することにより吸収・緩和され、変位部側可動梁423に伝わらない。すなわち、屈曲部421を設けることにより、可動部2の回動中に変位部側可動梁423がその中心軸まわりに捩じり変形してしまうのを確実に防止することができる。このことは、連結部4以外の他の連結部5,6,7についても同様である。そのため、可動部2を回動中心軸Y1,X1のそれぞれの軸まわりにスムーズに回動させることができる。
【0081】
さらには、各変位部側可動梁423,523,623,723の破壊が効果的に防止される。すなわち、棒状の部材において、自然状態からZ軸方向の応力が加わったときの破壊強度よりも、中心軸まわりの捩じり変形が生じている状態からZ軸方向の応力が加わったときの破壊強度の方が低いことが技術的に明らかになっている。そのため、上述のように、屈曲部421,521,621,721を設け、変位部側可動梁423,523,623,723に捩じり変形を生じさせないことにより、変位部側可動梁423,523,623,723の破壊を効果的に防止することができる。
【0082】
また、連結部4において、変位部側可動梁423が実質的に変形しないため、変位部41の回動によって生じる応力を効率よく可動部2の回動に用いることができる。このことは連結部5,6,7についても同様である。そのため、可動部2を大きい回動角度でしかも省電力で回動させることができたり、大きい振幅でZ軸方向に振動させたりすることができる。
【0083】
また、連結部4において、屈曲部421が非変形部4213を有しているため、この非変形部4213を軸にして可動梁42を屈曲させることができる。このことは、連結部5,6,7についても同様である。そのため、各連結部4,5,6,7の可動梁42,52,62,72を簡単かつ確実に屈曲させることができ、可動部2を安定して回動、振動させることができる。
【0084】
また、連結部4において、屈曲部421が可動部側可動梁422と連結する変形部4211と、変位部側可動梁423と連結する変形部4212とを有し、可動梁42の屈曲時に、変形部4211,4212がその中心軸まわりに捩じり変形することにより、屈曲により発生する応力を効果的に緩和している。このことは、連結部5,6,7についても同様である。そのため、各連結部4,5,6,7の可動梁42,52,62,72を確実に屈曲させることができるとともに、可動梁42,52,62,72の破壊を防止することができる。すなわち、光スキャナー1を安定して駆動することができる。
【0085】
また、連結部4において、屈曲部421が一対の変形部4211,4212を有しているため、次のような効果も発揮することができる。すなわち、例えば、通電によりコイル812から発生する熱や光反射部22に照射される光によって生じる熱等による可動部側可動梁422および変位部側可動梁423の熱膨張を、変形部4211,4212が変形することにより許容することができる。このことは、連結部5,6,7についても同様である。そのため、光スキャナー1は、振動基板11に応力が残留してしまうのを防止または抑制することができ、温度によらずに所望の振動特性を発揮することができる。
【0086】
本実施形態によれば、変位部41,51,61,71を駆動する駆動部810,820,830,840が、可動梁42,52,62,72の延長方向に変位部41,51,61,71から隔てて配置され、変位部41,51,61,71の内枠部411に固定される永久磁石811,821,831,841に近付けて配置することができる。従来の構成であれば、変位部41,51,61,71と駆動部810,820,830,840との間の、4つの固定部13は、それぞれ連結部4,5(5,6および6,7および4,7)に連結されるとともに、支持部が固定部13に連結されている。この支持部は、駆動部810,820,830,840と、変位部41,51,61,71との間に配置される。このため、その支持部を構成しない本実施形態の光スキャナー1は、駆動部810,820,830,840を、永久磁石811,821,831,841に近付けて配置することができる。
このため、永久磁石811,821,831,841により駆動部810,820,830,840に発生させるトルクを高い状態にすることができる。トルクは磁界に比例し、コイルにより発生する磁界は電流に比例するので、同一のトルクを発生させることは、駆動部810,820,830,840が永久磁石811,821,831,841に近付けて配置されることにより、低い電流で可能となる。そして、消費電力Wは、W=I2×R(Wは消費電力、Iは電流、Rは抵抗を示す)であらわされるように、電流の2乗に比例するので、変位部41,51,61,71を駆動する駆動部810,820,830,840の消費電力を低くすることができ、消費電力化を実現する光スキャナー1を得ることができる。たとえば、駆動部810,820,830,840と永久磁石811,821,831,841との距離を、従来に比べて1/4にすると、同一トルクを発生させるために、従来比1/4の電流、および従来比1/16の消費電力で、光スキャナー1を安定して駆動させることができる。
【0087】
以下、第1実施形態における変位部41の内枠部411に関する変形例を記載する。
【0088】
(変形例1)
図9(a)に示すように、変位部41の内枠部411は、可動梁42の延長方向へ開口している。すなわち、変位部41と可動梁42とが連結される面と反対側の面(コイル812が設けられる側)へ開口しているとも言える。
【0089】
(変形例2)
図9(b)に示すように、変位部41の内枠部411は、可動梁42の延長方向へ開口している。すなわち、変位部41と可動梁42とが連結される面と反対側の面(コイル812が設けられる側)へ開口しているとも言える。
【0090】
変形例1および2によれば、内枠部411が可動梁42の延長方向へ開口しているため、駆動部810と永久磁石811との間に変位部41を構成する部材が無いので、駆動部810を永久磁石811にさらに近付けて配置でき、同様に、駆動部820,830,840を永久磁石821,831,841にさらに近付けて配置できる。これにより、さらなる消費電力化を実現する光スキャナー1を得ることができる。
【0091】
また、永久磁石811(821,831,841)のXY平面視形状としては、図1および図3と同様に図9に実線で矩形と図示したが、特に限定されず、破線で図示する円形であってもよい。または、永久磁石811(821,831,841)のXY平面視形状としては、三角形や正方形や五角形以上の多角形であってもよく、楕円形などであってもよい。
【0092】
<第2実施形態>
第2実施形態のミラーチップ10について、図10を参照して説明する。
第2実施形態のミラーチップ10は、第1実施形態の光スキャナー1の振動基板11を備えた構成である。このため、同様の構成については、同一の符号を付与し、構成の説明を省略する。
【0093】
図10に示すように、ミラーチップ10は、支持部3と、分離部14と、振動基板11とを有している。
【0094】
支持部3は、振動基板11を取り囲んで形成されている。言い換えると、支持部3は、可動部2、可動梁42,52,62,72、変位部41,51,61,71、駆動梁43,53,63,73、および固定部13を取り囲んで形成されている。
そして、支持部3は、分離部14により固定部13と連結されている。本実施形態において、分離部14は支持部3と固定部13との間を部分的に連結している。すなわち、分離部14は、支持部3や固定部13に対して構造的な強度が弱く形成されている。このため、分離部14において支持部3と固定部13とを確実に分離することが可能である。分離部14は、支持部3や固定部13に対して構造的な強度が弱く構成されていればよく、上記の構成に限定されない。例えば、支持部3や固定部13の厚みによりも分離部14の厚みを小さく形成してもよい。
なお、支持部3は、固定部13の外側に形成され、分離部14を介して固定部13の間を接続していればよく、上記の形に限定されるものではない。
【0095】
本実施形態によれば、ミラーチップ10は、支持部3および分離部14により固定部13が連結されて振動基板11が連結されているので、固定部13が駆動梁43,53,63,73だけに連結された振動基板11の場合と比べて剛性を高くすることができる。そのため、ミラーチップ10を保持して、振動基板11の固定部13を基台12の枠部122に配置して、振動基板11と基台12とを接合させる際などにおいて、振動基板11を破損させることなく、上述のように、保持して、配置して、接合されることが可能となる。
【0096】
<第3実施形態>
第3実施形態の光スキャナー1の製造方法について、図11〜図13を参照して説明する。
第3実施形態の光スキャナー1の製造方法は、第2実施形態のミラーチップ10を用いて、第1実施形態の光スキャナーを製造する方法である。このため同様の構成については、同一の符号を付与し、構成の説明を省略する。図11は第3実施形態にかかる光スキャナー1の製造方法を示すフローチャートである。図12および図13は、第3実施形態にかかる光スキャナー1の製造方法を示す概略工程図である。
【0097】
まず、固定工程(S101)を実施する。
図12(a)に示すように、ミラーチップ10を保持部材(図示省略)などにより保持し、基台12の枠部122と向き合わせる。
そして、図12(b)に示すように、ミラーチップ10の固定部13を、基台12の枠部122に配置する。そして、接着剤または陽極接合等の各種接合方法を用いて、固定部13を枠部122に固定する。これにより、ミラーチップ10は基台12に固定される。そして、基台12によって振動基板11が支持される。
【0098】
次に、分離工程(S102)を実施する。
図13(c)に示すように、保持治具91および分離治具92を矢印の方向に移動させ、保持治具91により固定部13を押し付け、分離治具92により支持部3および分離部14を押し付ける。ここで、分離部14は、保持治具91または分離治具92により押し付けられていてもよく、いずれにも押し付けられないとしてもよく、適宜選択することができる。また、保持治具91および分離治具92を矢印の方向に移動させるとしたが、これに限るものではなく、固定部13、つまり基台12を矢印の方向と逆の方向に移動させるとしてもよく、または保持治具91および分離治具92を矢印の方向に移動させるとともに、基台12を矢印の方向と逆の方向に移動させるとしてもよい。
引き続き、図13(d)に示すように、分離治具92を矢印の方向に移動させ、分離部14を破壊させて折り取ることで、基台12に固定されたミラーチップ10から、支持部3を分離する。これにより、振動基板11が基台12によって支持された光スキャナー1を得る(図2参照)。
【0099】
ここで、図12および図13において、ミラーチップ10に永久磁石821(811,831,841)を固定しているとして図示したが、これに限るものではなく、分離工程(S102)の後に永久磁石821(811,831,841)を固定するとしてもよい。
【0100】
本実施形態によれば、ミラーチップ10は、固定部13が駆動梁43,53,63,73だけでなく、支持部3および分離部14により固定部が連結されて振動基板11が連結されているので、固定部13が駆動梁43,53,63,73だけに連結された振動基板11の場合と比べて剛性を高くすることができる。そのため、ミラーチップ10を保持して、振動基板11を基台12の枠部122に配置して、振動基板11と基台12とを接合させる際などにおいて、振動基板11を破損させることなく、上述のように、保持して、配置して、接合されることが可能となる。
【0101】
そして、支持部3を分離部14において折り取るので、振動基板11に支持部3を備えている従来の構成に比べて、XY平面視にて小型化させた光スキャナー1を得ることができる。さらには、第1実施形態と同様に、消費電力化を実現する光スキャナー1を得ることができる。
【0102】
<第4実施形態>
第4実施形態の画像形成装置について、図14を参照して説明する。
第4実施形態の画像形成装置は、第1実施形態の光スキャナー1を備えている。このため、同様の構成および製造方法については、同一の符号を付与し、構成および製造方法などの説明を省略する。
【0103】
以上説明したような光スキャナー1は、例えば、プロジェクター、レーザープリンター、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。図14は、本発明の画像形成装置の概要を示す模式図である。図14には、画像形成装置としてのプロジェクター200が示されている。ここでは、スクリーン280の長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。プロジェクター200は、レーザーなどの光を出射する光源装置210と、複数のダイクロイックミラー220と、光スキャナー1とを有している。
【0104】
光源装置210は、赤色光を出射する赤色光源装置211と、青色光を出射する青色光源装置212と、緑色光を出射する緑色光源装置213とを備えている。各ダイクロイックミラー220は、赤色光源装置211、青色光源装置212、緑色光源装置213のそれぞれから出射された光を合成する光学素子である。このようなプロジェクター200は、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて、光源装置210から出射された光をダイクロイックミラー220で合成し、この合成された光が光スキャナー1によって2次元走査され、固定ミラー250を介してスクリーン280上にカラー画像を形成するよう構成されている。
【0105】
2次元走査の際、光スキャナー1の可動部2が、Y軸方向の軸まわりに回動し、可動部2の光反射部22で反射した光がスクリーン280の横方向に走査(主走査)される。一方、光スキャナー1の可動部2が、X軸方向の軸まわりに回動し、光反射部22で反射した光がスクリーン280の縦方向に走査(副走査)される。光スキャナー1による光の走査は、いわゆるラスタースキャンによって行ってもよいし、いわゆるベクタースキャンによって行ってもよい。特に、光スキャナー1においては、その構成上、ベクタースキャンに適しているため、ベクタースキャンによって光を走査するのが好ましい。
【0106】
光スキャナー1にとって好ましいベクタースキャンとは、光源装置210から出射された光を、スクリーン280に対し、該スクリーン280上の異なる2点を結ぶ線分を順次形成するように走査する手法である。すなわち、微少な直線を集合させることにより、スクリーン280に所望の画像を形成する手法である。光スキャナー1では、可動部2を、Y軸方向の軸まわりおよびX軸方向の軸まわりに、不規則に且つ連続的に変位させることが可能であるため、ベクタースキャンに特に適している。
【0107】
具体的に説明すれば、図14に示すような文字(aおよびb)をベクタースキャンにて描画する場合には、光源装置210から出射された光をそれぞれの文字を書くように走査する。この際、光スキャナー1が有する可動部2のX軸方向の軸まわりの姿勢(回動)とY軸方向の軸まわりの姿勢(回動)とをそれぞれ制御して、走査軌跡230に沿って不規則に光を走査することができ、aおよびbの文字を一筆書きのように描画することができる。このようなベクタースキャンによれば、ラスタースキャンのように、スクリーン280の全面に光を走査させなくてよいため、効率的に画像を描画することができる。なお、図14では、ダイクロイックミラー220で合成された光を光スキャナー1によって2次元的に走査した後、その光を固定ミラー250で反射させてからスクリーン280に画像を形成するように構成されているが、固定ミラー250を省略し、光スキャナー1によって2次元的に走査された光を直接スクリーン280に照射してもよい。
【0108】
本実施形態によれば、第1から第3実施形態と同様の効果を奏することが可能な画像形成装置としてのプロジェクター200を提供することができる。
【0109】
なお、上記課題の少なくとも一部を解決できる範囲での変形、改良などは前述の実施形態に含まれるものである。
【0110】
たとえば、図10に示した分離部14の配置、形状、および数量などは、ミラーチップ10の支持部3と固定部13との連結、および分離工程(S102)での分離部14における折り取りならびに分離部14における取り外しを考慮して、適宜決定することができる。
【0111】
また、内枠部411のXY平面視形状は、図1および図3に示した矩形に限定されず、例えば、三角形や正方形や五角形以上の多角形、または円形または楕円形であってもよく、適宜決定することができる。
【0112】
また、永久磁石811,821,831,841のXY平面視形状としては、図1および図3で矩形と図示したが、特に限定されず、例えば、三角形や正方形や五角形以上の多角形であってもよいし、図9に破線で図示する円形であってもよい。
【0113】
さらに、コイル固定部、変位手段、応力緩和部、振動基板、および可動板の構成および形状、ならびに振動基板を図示上下に反転して光反射部材を取り付けるなどは、前述の実施形態を限定するものではなく、適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【0114】
1…光スキャナー、2…可動部、3…支持部、4,5,6,7…連結部、8…変位手段、10…ミラーチップ、11…振動基板、12…基台、13…固定部、14…分離部、20…光反射部材、21…面、22…光反射部、23…支持部材、41,51,61,71…変位部、42,52,62,72…可動梁、43,53,63,73…駆動梁、81…第1の変位手段、82…第2の変位手段、83…第3の変位手段、84…第4の変位手段、85…コイル固定部、91…保持治具、92…分離治具、121…基部、122…基板保持部、200…プロジェクター、210…光源装置、211…赤色光源装置、212…青色光源装置、213…緑色光源装置、220…ダイクロイックミラー、230…走査軌跡、250…固定ミラー、280…スクリーン、411…内枠部、421,521,621,721…屈曲部、422,522,622,722…可動部側可動梁、423,523,623,723…変位部側可動梁、810,820,830,840…駆動部、811,821,831,841…永久磁石、812,822,832,842…コイル、813,823,833,843…電源、851…突出部、4211,4212,6211,6212…変形部、4213,5213,6213,7213…非変形部、4214,4215,5214,5215,6214,6215,7214,7215…接続部、X1,X2,X3,Y1,Y2,Y3,Y4…回動中心軸。
【技術分野】
【0001】
本発明は、光スキャナー、ミラーチップ、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、レーザープリンター等にて光走査により描画を行うための光スキャナーとして、捩り振動子で構成されアクチュエーターを用いたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1には、一対の永久磁石が設けられた絶縁基板と、一対の永久磁石の間に位置するように絶縁基板に支持されたスキャナー本体とを有するアクチュエーターが開示されている。また、スキャナー本体は、枠状の支持部と、支持部の内側に設けられた枠状の外側可動板と、外側可動板の内側に設けられた内側可動板(ミラー)とを有している。また、外側可動板は、X軸方向に延長する一対の第1トーションバーを介して支持部に連結されており、内側可動板は、X軸方向と直交するY軸方向に延長する第2トーションバーを介して外側可動板に連結している。また、外側可動板および内側可動板には、それぞれコイルが設けられている。
【0003】
このような構成のアクチュエーターでは、通電により各コイルから発生する磁界と一対の永久磁石間に発生する磁界とを作用させることにより、外側可動板が内側可動板とともに第1トーションバーを中心軸としてX軸まわりに回動し、内側可動板が第2トーションバーを中心軸としてY軸まわりに回動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開2005−181395号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
このように、特許文献1のアクチュエーターでは、内側可動板をX軸まわりに回動させる機構と、Y軸まわりに回動させる機構とが異なっている。そのため、内側可動板をX軸およびY軸まわりに等しい条件で回動させることができない。また、特許文献1のアクチュエーターでは、外側可動板に設けられたコイルから発生する磁場と、内側可動板に設けられたコイルから発生する磁場とが干渉し、内側可動板をX軸およびY軸のそれぞれの軸まわりに独立して回動させることができない。したがって、特許文献1のアクチュエーターでは、内側可動板をX軸およびY軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができないという問題がある。
【0006】
本発明の目的は、可動板を互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができ、可動板と回動する軸との偏りを押さえ、正確な画像を実現することができる光スキャナーおよび画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものである。以下の形態または適用例により実現することが可能である。
【0008】
[適用例1]本適用例にかかる光スキャナーは、光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される固定部と、前記変位部に形成される内枠部と、前記内枠部に固定される永久磁石とを備え、前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを要旨とする。
【0009】
これにより、互いに直交する2つの軸のうちの一方の軸回りの可動部の回動と、他方の軸回りの可動部の回動とを独立して行うことができる。そのため、可動部を互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸回りに安定して回動させることのできる光スキャナーを提供することができる。さらに、これによれば、変位部を駆動する駆動部が、可動梁の延長方向に変位部から隔てて配置され、変位部の内枠部に固定される永久磁石に近付けて配置することができる。このため、永久磁石により駆動部に発生させるトルクを高い状態にすることができる。トルクは磁界に比例し、コイルにより発生する磁界は電流に比例するので、同一のトルクを発生させることは、駆動部が永久磁石に近付けて配置されることにより、低い電流で可能となる。そして、消費電力は電流の2乗に比例するので、変位部を駆動する駆動部の消費電力を低くすることができ、消費電力化を実現し安定に駆動する2軸駆動の光スキャナーを得ることができる。
【0010】
[適用例2]上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、前記内枠部は、前記可動梁の延長方向へ開口していることが好ましい。
【0011】
これによれば、内枠部が可動梁の延長方向へ開口しているため、駆動部と永久磁石との間に内枠部が無いので、駆動部を永久磁石にさらに近付けて配置でき、さらなる消費電力化を実現する光スキャナーを得ることができる。
【0012】
[適用例3]本適用例にかかるミラーチップは、光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される固定部と、前記変位部に形成される内枠部と、前記内枠部に固定される永久磁石と、前記可動部、前記可動梁、前記変位部、前記駆動梁、および前記固定部を取り囲んで形成される支持部と、前記固定部と前記支持部とを連結する分離部とを備え、前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを要旨とする。
【0013】
これによれば、ミラーチップは、固定部が駆動梁だけでなく、支持部および分離部により連結されているので、固定部が駆動梁だけに連結されている場合と比べて剛性が高いので、ミラーチップを保持して、固定部を基台に配置して、固定部と基台とを接合させる際などにおいて、ミラーチップを破損させることなく、上述のように、保持して、配置して、接合されることが可能となる。すなわち、互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸回りに安定して回動させることのできる可動部を備える光スキャナーを、高い歩留まりで製造できるミラーチップを提供することができる。
【0014】
[適用例4]上記適用例にかかるミラーチップにおいて、前記分離部は、前記固定部と前記支持部とが部分的に連結されていることが好ましい。
【0015】
これによれば、分離部が固定部と支持部とが部分的に連結されて構成されるため、分離部の強度を他の部分に比べて選択的に弱くすることができる。従って、より確実に分離部において固定部と支持部とを分離することが可能となる。
【0016】
[適用例5]上記適用例にかかるミラーチップにおいて、前記分離部は、前記固定部および前記支持部の厚さよりも小さい厚さを有することが好ましい。
【0017】
これによれば、分離部が固定部および支持部よりも小さい厚みで構成されるため、分離部の強度を他の部分に比べて選択的に弱くすることができる。従って、分離部において固定部と支持部とをより確実に分離することが可能となる。
【0018】
[適用例6]本適用例にかかる光スキャナーの製造方法は、光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される固定部と、前記固定部を固定する基台とを備え、前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有する光スキャナーの製造方法であって、前記光反射部材、前記支持部材、前記可動部、前記可動梁、前記変位部、前記駆動梁、および前記固定部を取り囲んで形成される支持部と、前記固定部と前記支持部とを連結する分離部とを備え、前記固定部を前記基台に固定する固定工程と、前記分離部において前記固定部と前記支持部とを分離する分離工程とを備えることを要旨とする。
【0019】
これによれば、固定部が駆動梁だけでなく、支持部および分離部により連結されているので、固定部が駆動梁だけに連結された場合と比べて剛性を高くすることができる。そのため、支持部および固定部を保持して、固定部を基台に配置して、固定部と基台とを接合させる際などにおいて、支持部ならびに支持部に取り囲まれた光反射部材、支持部材、可動部、可動梁、変位部、駆動梁、および固定部を破損させることなく、上述のように、保持して、配置して、接合されることが可能となる。すなわち、互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸回りに安定して回動させることのできる可動部を備える光スキャナーを、高い歩留まりで製造できる。
【0020】
[適用例7]本適用例にかかる画像形成装置は、光源と、前記光源からの光を走査する光スキャナーとを備え、前記光スキャナーは、光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される固定部と、前記変位部に形成される内枠部と、前記内枠部に固定される永久磁石とを備え、前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを要旨とする。
【0021】
これによれば、上述と同様の効果を奏することが可能な画像形成装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】第1実施形態にかかる光スキャナーを示す概略平面図。
【図2】第1実施形態にかかる光スキャナーの断面図。
【図3】第1実施形態にかかる光スキャナーが有する連結部の斜視図。
【図4】第1実施形態にかかる光スキャナーが有する変位手段を説明する図。
【図5】第1実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図6】第1実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図7】第1実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図8】第1実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図9】第1実施形態にかかる光スキャナーの変位部の内枠部に関する変形例を示す概略平面図。
【図10】第2実施形態にかかるミラーチップを示す概略平面図。
【図11】第3実施形態にかかる光スキャナーの製造方法を示すフローチャート。
【図12】第3実施形態にかかる光スキャナーの製造方法を示す概略工程図。
【図13】第3実施形態にかかる光スキャナーの製造方法を示す概略工程図。
【図14】第4実施形態にかかるプロジェクターを示す概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、本発明の光スキャナーおよび画像形成装置の好適な実施形態の一例について説明する。
【0024】
以下では、説明の便宜上、図中の左側を「左」、右側を「右」と言い、図中の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、図1に示すように互いに直交する3軸を、X軸、Y軸およびZ軸とし、非駆動状態の可動部の面と、X軸およびY軸で形成される面とが一致し(平行であり)、可動部の厚さ方向とZ軸とが一致する。また、以下では、X軸に平行な方向を「X軸方向」と言い、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」と言い、Z軸方向に平行な方向を「Z軸方向」と言う。
【0025】
<第1実施形態>
第1実施形態の光スキャナー1について説明する。
図1および図2に示す光スキャナー1は、可動部2、可動部2に支持される光反射部材20、可動部2に連結する4つの連結部4,5,6,7と、連結部4,5,6,7を連結する固定部13とで構成された振動基板11と、振動基板11を支持する基台12と、可動部2を変位させる変位手段8とを有している。以下、光スキャナー1の各構成について順次詳細に説明する。ここで、図2(a)は、図1のA−A断面図であり、図2(b)は、図1のC−C断面図である。
【0026】
(1−1.振動基板11)
第1実施形態では、振動基板11(すなわち、可動部2、4つの固定部13、および4つの連結部4,5,6,7)は、SOI基板の不要部位をドライエッチングおよびウェットエッチング等の各種エッチング法により除去することにより一体的に形成されている。
【0027】
4つの固定部13は、それぞれ連結部4,5(5,6および6,7および4,7)に連結され、4つの固定部13と4つの連結部4,5,6,7とにより、可動部2の周囲を囲むように設けられている。4つの固定部13のXY平面視形状は、矩形で図示したが、これに限定されず、例えば三角形、正方形等の多角形、円形または楕円形等であってもよい。また、4つの固定部13の形状は、それぞれ同一の大きさおよび同一の形状で図示したが、これに限るものではなく、適宜形状を決定することができる。
可動部2は、平板状をなしている。そして、可動部2には、支持部材23を備えた光反射部材20が配置されている。光反射部材20は平板状をなし、光反射部材20の一方の面(基台12と反対側の面)21には、光反射性を有する光反射部22が形成されている。そして、支持部材23が接着剤などにより可動部2に固定されることで、光反射部材20は、可動部2に支持される。光反射部22は、例えば、面21上に金、銀、アルミニウム等の金属膜などを蒸着等により形成することにより得られる。
【0028】
なお、第1実施形態では、可動部2のXY平面視形状は、円形であるが、可動部2のXY平面視形状としては、特に限定されず、例えば三角形、長方形、正方形等の多角形、楕円形等であってもよい。
また、反射部22は、可動部2の基台12と反対側の面に直接設けられていてもよい。
このような可動部2は、4つの連結部4,5,6,7によって固定部13に連結されている。4つの連結部4,5,6,7は、可動部2のXY平面視にて、可動部2の周方向に沿って等間隔、すなわち90度間隔で配置されている。
【0029】
そして、4つの連結部4,5,6,7のうち、連結部4,6は、可動部2を介してX軸方向に対向しかつ可動部2に対して対称的に形成されており、連結部5,7は、可動部2を介してY軸方向に対向しかつ可動部2に対して対称的に形成されている。このような連結部4,5,6,7によって可動部2を支持することにより、可動部2を安定した状態で支持することができる。
【0030】
4つの連結部4,5,6,7は、互いに同様の構成をなしている。
具体的には、連結部(第1の連結部)4は、変位部41と、可動梁42と、一対の駆動梁43とを有している。可動梁42は、変位部41と可動部2とを連結している。駆動梁43は、変位部41と固定部13とを連結している。
そして、連結部(第3の連結部)5は、変位部51と、可動梁52と、一対の駆動梁53とを有している。可動梁52は、変位部51と可動部2とを連結している。駆動梁53は、変位部51と固定部13とを連結している。
また、連結部(第2の連結部)6は、変位部61と、可動梁62と、一対の駆動梁63とを有している。可動梁62は、変位部61と可動部2とを連結している。駆動梁63は、変位部61と固定部13とを連結している。
同様に、連結部(第4の連結部)7は、変位部71と、可動梁72と、一対の駆動梁73とを有している。可動梁72は、変位部71と可動部2とを連結している。駆動梁73は、変位部71と固定部13とを連結している。
なお、前記「同様の構成」とは、連結部を構成する要素が共通しているということである。したがって、外形形状については一致している必要はない。
各連結部4,5,6,7をこのような構成とすることにより、連結部の構成が簡単となるとともに、可動部2の回動中心軸X1,Y1まわりの回動等をスムーズに行うことができる。
【0031】
以下、連結部4,5,6,7について具体的に説明するが、連結部4,5,6,7の構成は、互いに同様であるため、連結部4について代表して説明し、他の連結部5,6,7については、その説明を省略する。なお、連結部5,7は、可動部2のXY平面視にて、連結部4に対して90度回転した状態で配置されている。そのため、連結部5,7については、下記の連結部4の説明中の「Y軸方向」を「X軸方向」とし、「X軸方向」を「Y軸方向」とすることで説明することもできる。
【0032】
図3に示すように、一対の駆動梁43は、変位部41を介してY軸方向に対向配置されており、変位部41を両持ち支持している。また、一対の駆動梁43は、それぞれ、Y軸方向に延長する棒状をなしている。また、一対の駆動梁43は、駆動梁43の中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。このような一対の駆動梁43は、同軸的に設けられており、この軸(以下、「回動中心軸Y2」とも言う)を中心として、一対の駆動梁43が捩じり変形するとともに変位部41が回動する。
【0033】
変位部41は、可動部2に対してX軸方向に離間して設けられている。また、変位部41は、前述したように一対の駆動梁43によって両持ち支持されている。このような変位部41には内枠部411が形成されている。この内枠部411は、変位部41の光反射面20に平行な面の法線方向に沿って変位部41を貫通する貫通孔によって形成されているとも言える。そして、この内枠部411に永久磁石811が挿通、固定されている。永久磁石811は、例えば、嵌合(圧入)や、接着剤によって、変位部41に固定されている。
【0034】
なお、変位部41の平面視形状としては、特に限定されず、例えば、三角形や正方形や五角形以上の多角形であってもよいし、円形であってもよい。
このような変位部41は、可動梁42によって可動部2と連結している。可動梁42は、全体的にX軸方向に延長するように設けられている。このような可動梁42は、変位部41と可動部2との間に設けられた屈曲部421と、可動部側可動梁422と、変位部側可動梁423とを有している。可動部側可動梁422は、屈曲部421と可動部2とを連結し、変位部側可動梁423は、屈曲部421と変位部41とを連結している。
可動部側可動梁422および変位部側可動梁423は、それぞれ、X軸方向に延長する棒状をなしている。また、可動部側可動梁422および変位部側可動梁423は、同軸的に設けられている。
【0035】
これら2つの軸部のうちの変位部側可動梁423は、光スキャナー1の駆動時に大きな変形が起こらない硬さに設定されているのが好ましく、実質的に変形しない硬さに設定されているのがより好ましい。これに対して可動部側可動梁422は、その中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。このように、可動梁42が実質的に変形しない硬い部分およびその先端側に位置する捩じり変形可能な部位を有することにより、可動部2をX軸およびY軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができる。なお、前記「変形しない」とは、Z軸方向への屈曲または湾曲および中心軸まわりの捩じり変形が実質的に起きないことを言う。
このような可動部側可動梁422および変位部側可動梁423は、屈曲部421を介して連結している。屈曲部421は、可動梁42が屈曲変形する際の節となる機能と、可動部側可動梁422の捩じり変形により発生するトルクを緩和(吸収)し、前記トルクが変位部側可動梁423に伝わるのを防止または抑制する機能とを有している。
【0036】
図3に示すように、屈曲部421は、一対の変形部4211,4212と、これらの間に設けられた非変形部4213と、変形部4211を非変形部4213に接続する一対の接続部4214と、変形部4212を非変形部4213に接続する一対の接続部4215とを有している。
非変形部4213は、Y軸方向に延長する棒状をなしている。このような非変形部4213は、光スキャナー1の駆動時に実質的に変形しない硬さに設定されている。これにより、非変形部4213の回動中心軸Y4を中心に可動梁42を屈曲させることができ、屈曲部421に節としての機能を確実に発揮させることができ、光スキャナー1を安定して駆動させることができる。
【0037】
このような非変形部4213に対して対称的に一対の変形部4211,4212が配置されている。変形部4211,4212は、それぞれ、Y軸方向に延長する棒状をなしている。また、変形部4211,4212は、互いにX軸方向に離間して並設されている。このような変形部4211,4212は、それぞれ、その中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。
【0038】
可動部2側に位置する変形部4211は、その長手方向のほぼ中央にて可動部側可動梁422の一端と連結しているとともに、その両端部にて一対の接続部4214を介して非変形部4213に連結している。同様に、変位部41側に位置する変形部4212は、その長手方向のほぼ中央にて変位部側可動梁423の一端と連結しているとともに、その両端部にて一対の接続部4215を介して非変形部4213に連結している。
【0039】
一対の接続部4214の一方の接続部は、変形部4211および非変形部4213の一端部同士を連結し、他方の接続部は、変形部4211および非変形部4213の他端部同士を連結している。また、一対の接続部4215の一方の接続部は、変形部4212および非変形部4213の一端部同士を連結し、他方の接続部は、変形部4212および非変形部4213の他端部同士を連結している。
このような各接続部4214,4215は、X軸方向に延長する棒状をなしている。また、各接続部4214,4215は、Z軸方向に湾曲可能でかつその中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。
以上、振動基板11の構成について具体的に説明した。
【0040】
前述したように、このような構成の振動基板11は、SOI基板から一体的に形成されている。これにより、振動基板11の形成が容易となる。具体的には、前述したように、振動基板11には、積極的に変形させる部位と、変形させない(変形させたくない)部位とが混在している。一方、SOI基板は、第1のSi層と、SiO2層と、第2のSi層とがこの順に積層した基板である。そこで、変形させない部位を前記3つの層の全てで構成するとともに、積極的に変形させる部位を第2のSi層のみで構成することにより、すなわち、SOI基板の厚さを異ならせることにより、変形させる部位と変形させない部位が混在する振動基板11を簡単に形成することができる。なお、積極的に変形させる部位は、第2のSi層とSiO2層の2層で構成されていてもよい。
【0041】
前記「変形させる部位」には、駆動梁43,53,63,73、可動部側可動梁422,522,622,722、変形部4211,4212,5211,5212,6211,6212,7211,7212および接続部4214,4215,5214,5215,6214,6215,7214,7215が含まれる。
一方、前記「変形させない部位」には、可動部2、固定部13、変位部41,51,61,71、変位部側可動梁423,523,623,723および非変形部4213,5213,6213,7213が含まれる。
【0042】
(1−2.基台12)
図2(a)に示す図1のA−A断面図のように、基台12は、平板状の基部121と、基部121の4隅に設けられた基板保持部122とを有している。このような基台12は、図2(b)に示す図1のC−C断面図のように、枠部122にて振動基板11の固定部13の下面と接合されている。これにより、基台12によって振動基板11が支持される。このような基台12は、例えば、パイレックス(登録商標)、テンパックスなどのガラスやシリコンあるいはアルミニウムを主材料として構成されている。なお、基台12と固定部13の接合方法としては、特に限定されず、例えば接着剤を用いて接合してもよく、陽極接合等の各種接合方法を用いてもよい。また、基台12は、4隅に基板保持部122を有するとしたが、これに限定されず、基板保持部122は、振動基板11の固定部13の位置に対応して基部121上に設けられていればよい。
【0043】
(1−3.変位手段8)
図1に示すように、変位手段8は、第1の変位手段81と、第2の変位手段82と、第3の変位手段83と、第4の変位手段84とを有している。
第1の変位手段81は、永久磁石811、コイル812が巻き付けられた駆動部810、および電源813を有している。第2の変位手段82は、永久磁石821、コイル822が巻き付けられた駆動部820、および電源823を有している。第3の変位手段83は、永久磁石831、コイル832が巻き付けられた駆動部830、および電源833を有している。第4の変位手段84は、永久磁石841、コイル842が巻き付けられた駆動部840、および電源843を有している。
【0044】
そして、第1の変位手段81は、連結部4に対応して設けられており、第2の変位手段82は、連結部5に対応して設けられており、第3の変位手段83は、連結部6に対応して設けられており、第4の変位手段84は、連結部7に対応して設けられている。
このような構成によれば、変位手段8の構成が簡単となる。また、変位手段8を電磁駆動とすることにより、比較的大きな力を発生させることができ、可動部2をより確実に回動させることができる。また、各連結部4,5,6,7に1つの変位手段8(81,82,83,84)が設けられているため、各連結部4,5,6,7を独立して変形させることができる。そのため、可動部2を様々な態様で変位させることができる。
【0045】
以下、第1の変位手段81、第2の変位手段82、第3の変位手段83および第4の変位手段84について説明するが、これらはそれぞれ同様の構成であるため、以下では、第1の変位手段81について代表して説明し、第2の変位手段82、第3の変位手段83および第4の変位手段84については、その説明を省略する。なお、第2の変位手段82および第4の変位手段84は、可動部2の平面視にて、第1の変位手段81に対して90度回転した状態で配置されている。そのため、第2の変位手段82および第4の変位手段84については、下記の第1の変位手段81の説明中の「Y軸方向」を「X軸方向」とし、「X軸方向」を「Y軸方向」とすることで説明することもできる。
【0046】
図3および図4に示すように、永久磁石811は、棒状をなしており、その長手方向に磁化している。すなわち、永久磁石811は、その長手方向の一端側がS極となっており、他端側がN極となっている。このような永久磁石811は、変位部41に形成された内枠部411に挿通されており、長手方向のほぼ中央で変位部41に固定されている。そして、永久磁石811が、変位部41の上下に同じ長さだけ突出し、かつ変位部41(回動中心軸Y2)を介してS極とN極が対向する。これにより、可動部2を安定して変位させることができる。
【0047】
また、永久磁石811は、その長手方向が変位部41の面方向に直交するように設けられている。また、永久磁石811は、その中心軸が回動中心軸Y2と交わるように設けられている。
このような永久磁石811としては、特に限定されず、例えば、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石などの、硬磁性体を着磁したものを好適に用いることができる。
【0048】
なお、第1実施形態では、永久磁石811は、棒状をなしているが、永久磁石の形状としては、特に限定されず、例えば、板状または円柱状をなしていてもよい。この場合には、永久磁石811を面方向に磁化し、その面方向がX軸方向と直交するように変位部41に固定すればよい。これにより、永久磁石811のX軸方向長さを短くすることができるため、変位部41の回動に伴って発生する慣性モーメントを抑えることができる。
【0049】
コイル812は、永久磁石811に作用する磁界を発生する。このようなコイル812は、振動基板11の外側近傍に、X軸方向にて永久磁石811と対向するように配置されている。また、コイル812は、X軸方向の磁界を発生させることができるように、すなわち、コイル812の永久磁石811側がN極となりその反対側がS極となる状態と、コイル812の永久磁石811側がS極となりその反対側がN極となる状態とを発生させることができるように設けられている。
【0050】
第1実施形態の光スキャナー1は、振動基板11の外側に基台12と固定的に設けられた駆動部810(820,830,840)にコイル固定部85を有しており、このコイル固定部85が有するX軸方向に延長する突出部851にコイル812が巻き付けられている。このような構成とすることにより、コイル812を振動基板11に対して固定でき、かつ、簡単に前述のような磁界を発生させることができる。また、突出部851を鉄などの軟磁性体で構成することにより、突出部851をコイル812の磁心として用いることができ、前述のような磁界をより効率的に発生させることもできる。
【0051】
電源813は、コイル812に電気的に接続されている。そして、電源813からコイル812に所望の電圧を印加することにより、コイル812から前述したような磁界を発生させることができる。第1実施形態では、電源813は、交番電圧および直流電圧を選択して印加できるようになっている。また、交番電圧を印加する際には、その強さ、周波数を変更できるようになっており、さらにオフセット電圧(直流電圧)を重畳させることもできるようになっている。
【0052】
(2.光スキャナー1の作動)
次いで、光スキャナー1の作動について説明する。
上述のような構成の光スキャナー1では、可動部2を回動させるパターンと、可動部2を振動させるパターンと、可動部2を所定位置で静止させるパターンとを選択することができるようになっている。このように、光スキャナー1が種々のパターンで駆動することができるのは、各連結部4,5,6,7の可動梁42,52,62,72を屈曲変形させることにより得られる効果である。
以下、これら3つのパターンについて順次説明する。なお、以下では、説明の便宜上、永久磁石811,821,831,841が全てN極を上側にして配置された構成について代表して説明する。
【0053】
(2−1.回動)
<Y軸まわりの回動>
図5に基づいて、可動部2のY軸まわりの回動について説明する。なお、図5は、図1中A−A線断面図に対応する断面図である。
まず、コイル812の永久磁石811側がN極、コイル832の永久磁石831側がS極となる第1の状態と、コイル812の永久磁石811側がS極、コイル832の永久磁石831側がN極となる第2の状態とが交互にかつ周期的に切り替わるように、電源813,833からコイル812,832に交番電圧を印加する。電源813,833からコイル812,832に印加される交番電圧は、互いに同じ波形(強さおよび周波数が同じ)であるのが好ましい。
【0054】
図5(a)に示す第1の状態では、永久磁石811のS極がコイル812に引き付けられるとともにN極がコイル812から遠ざかって傾斜するため、一対の駆動梁43を捩じり変形させつつ、変位部41がその上面を可動部2側に向けるように回動中心軸Y2まわりに傾斜する。これとともに、永久磁石831のN極がコイル832に引き付けられるとともにS極がコイル832から遠ざかって傾斜するため、一対の駆動梁63を捩じり変形させつつ、変位部61がその下面を可動部2側に向けるように回動中心軸Y3まわりに傾斜する。すなわち、変位部41,61がともに図5(a)中時計回りに傾斜する。
【0055】
この変位部41,61の傾斜とともに、変位部側可動梁423が可動部2側の端を下側に向けるように傾斜し、変位部側可動梁623が可動部2側の端を上側に向けるように傾斜する。これにより、変位部側可動梁423,623の可動部2側の端同士がZ軸方向にずれた状態となる。
そして、変位部側可動梁423,623の可動部2側の端同士がZ軸方向にずれることによって、変形部4211,4212,6211,6212をその中心軸まわりに捩じり変形させるとともに各接続部4214,4215,6214,6215を湾曲変形させながら、可動部側可動梁422,622および可動部2が一体的に図5(a)中反時計回りに傾斜する。
【0056】
このように、第1の状態では、連結部4の可動梁42がその途中にある屈曲部421で下側に凸のV字状に屈曲変形(第1の変形)するとともに、連結部6の可動梁62がその途中にある屈曲部621で上側に凸のV字状に屈曲変形(第2の変形)することにより、回動中心軸Y1を中心として、可動部2が図5(a)中反時計回りに傾斜する。
【0057】
一方、図5(b)に示す第2の状態では、前述した第1の状態と逆の変形が起こる。すなわち、第2の状態では、連結部4の可動梁42が屈曲部421で上側に凸のV字状に屈曲変形(第2の変形)するとともに、連結部6の可動梁62が屈曲部621で下側に凸のV字状に屈曲変形(第1の変形)する。これにより、回動中心軸Y1を中心として、可動部2が図5(b)中時計回りに傾斜する。
【0058】
このような第1の状態と、第2の状態とを交互にかつ周期的に切り替えることによって、可動部2を回動中心軸Y1まわりに回動させることができる。なお、可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動は、連結部5,7が有する可動部側可動梁522,722がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容される。
なお、コイル812,832に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部2および連結部4,5,6,7で構成される振動基板11の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー1を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー1のより安定した駆動が可能となる。
【0059】
<X軸まわりの回動>
次いで、図6に基づいて、可動部2のX軸まわりの回動について説明する。なお、図6は、図1中B−B線断面図に対応する断面図である。
まず、コイル822の永久磁石821側がN極、コイル842の永久磁石841側がS極となる第1の状態と、コイル822の永久磁石821側がS極、コイル842の永久磁石841側がN極となる第2の状態とが交互にかつ周期的に切り替わるように、電源823,843からコイル822,842に交番電圧を印加する。電源823,843からコイル822,842に印加される交番電圧は、互いに同じ波形であるのが好ましい。
【0060】
前述した可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動と同様に、図6(a)に示す第1の状態では、連結部5の可動梁52がその途中にある屈曲部521で下側に凸のV字状に屈曲変形(第1の変形)するとともに、連結部7の可動梁72がその途中にある屈曲部721で上側に凸のV字状に屈曲変形(第2の変形)することにより、回動中心軸X1を中心として、可動部2が図6(a)中反時計回りに傾斜する。
【0061】
一方、図6(b)に示す第2の状態では、前述した第1の状態と逆の変形が起こる。すなわち、第2の状態では、連結部5の可動梁52が屈曲部521で上側に凸のV字状に屈曲変形(第2の変形)するとともに、連結部7の可動梁72が屈曲部721で下側に凸のV字状に屈曲変形(第1の変形)することにより、回動中心軸X1を中心として、可動部2が図6(b)中時計回りに傾斜する。
このような第1の状態と、第2の状態とを交互にかつ周期的に切り替えることによって、可動部2を回動中心軸X1まわりに回動させることができる。なお、可動部2の回動中心軸X1まわりの回動は、連結部4,6が有する可動部側可動梁422,622がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。
【0062】
なお、コイル822,842に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部2および連結部4,5,6,7で構成される振動基板11の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー1を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー1のより安定した駆動が可能となる。
【0063】
<X軸およびY軸のそれぞれの軸まわりの回動>
前述したようなX軸まわりの回動と、Y軸まわりの回動とを同時に行うことにより、可動部2を回動中心軸Y1および回動中心軸X1のそれぞれの軸まわりに2次元的に回動させることができる。前述したように、可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動は、可動部側可動梁522,722がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容され、可動部2の回動中心軸X1まわりの回動は、可動部側可動梁422,622がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。
【0064】
前述したX軸まわりの回動、Y軸まわりの回動およびこれら2軸まわりの回動では、コイル812,822,832,842に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部2および連結部4,5,6,7で構成される振動基板11の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー1を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー1のより安定した駆動が可能となる。
【0065】
また、可動部2を回動中心軸Y1まわりに回動させるためにコイル812,832に印加する交番電圧の周波数と、可動部2を回動中心軸X1まわりに回動させるためにコイル822,842に印加する交番電圧の周波数とは等しくてもよいし異なっていてもよい。例えば、可動部2を回動中心軸X1よりも回動中心軸Y1まわりに速く回動させたい場合には、コイル812,832に印加する交番電圧の周波数を、コイル822,842に印加する交番電圧の周波数よりも高く設定すればよい。
【0066】
また、コイル812,832に印加する交番電圧の強さと、コイル822,842に印加する交番電圧の強さは、等しくても異なっていてもよい。例えば、可動部2を回動中心軸X1よりも回動中心軸Y1まわりに大きく回動させたい場合には、コイル812,832に印加する交番電圧の強さを、コイル822,842に印加する交番電圧の強さよりも強くすればよい。
【0067】
上記では、コイル812,822,832,842に交番電圧を印加する駆動方法について説明したが、次のような駆動方法によっても可動部2を回動させることができる。すなわち、電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に印加される交番電圧に(+)または(−)のオフセット電圧(直流電圧)を重畳してもよい。言い換えれば、永久磁石811,821,831,841のN極がコイル812,822,832,842に引き付けられる強さ(以下、単に「N極引き付け強さ」とも言う)と、永久磁石811,821,831,841のS極がコイル812,822,832,842に引き付けられる強さ(以下、単に「S極引き付け強さ」とも言う)とを異ならせてもよい。
【0068】
以下、具体的に説明するが、前述したような、N極引き付け強さおよびS極引き付け強さが等しい状態を「通常状態」と言う。
コイル812,822,832,842のS極引き付け強さがN極引き付け強さよりも大きい場合には、通常状態と比較して、図1中A−A断面から見た変位部41,51,61,71の可動部側の端部における回動の上死点および下死点(回動方向が切り替わる点)が下側に移動する。その結果、図7に示すように、可動部2の回動中心軸X1,Y1が通常状態に比べて下側に移動する。逆に、コイル812,822,832,842のS極引き付け強さがN極引き付け強さよりも弱い場合には、通常状態と比較して、図1中A−A断面から見た変位部41,51,61,71の可動部側の端部における回動の上死点および下死点がそれぞれ上側に移動するため、可動部2の回動中心軸X1,Y1が通常状態に比べて上側に移動する。
【0069】
このように、電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に印加される交番電圧にオフセット電圧を重畳することにより、可動部2の回動中心軸X1,Y1をZ軸方向にずらすことができる。これにより、例えば、光スキャナー1がプロジェクター等の画像形成装置に組み込まれている場合に、画像形成装置を組み立てた後でも、光源から出射される光の可動部2までの光路長を調整することができる。すなわち、画像形成装置の組み立て時には、光源と可動部2との位置決めを精密に行うが、仮にこれらの位置が設定値に対してずれてしまった場合でも、組み立て後に、光源と可動部2との位置を補正することができる。
【0070】
(2−2.振動)
まず、コイル812,822,832,842の永久磁石811,821,831,841側がそれぞれN極となる第1の状態と、コイル812,822,832,842の永久磁石811,821,831,841側がそれぞれS極となる第2の状態とが、交互にかつ周期的に切り替わるように、電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に交番電圧を印加する。電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に印加される交番電圧は、互いに同じ波形であるのが好ましい。
【0071】
図8(a)に示す第1の状態では、前述した回動の場合と同様にして、変位部41,51,61,71は、それぞれ、その上面を可動部2側に向けるように回動中心軸Y2,X2,Y3,X3まわりに傾斜する。このような変位部41,51,61,71の傾斜に伴って、変位部側可動梁423,523,623,723は、それぞれ、可動部2側の端が下側を向くように傾斜する。これにより、可動梁42,52,62,72が屈曲部421,521,621,721で屈曲しながら、可動部側可動梁422,522,622,722および可動部2が一体的にかつ可動部2の姿勢(すなわち面方向)を一定に保ちつつ下側に移動する。
【0072】
一方、図8(b)に示す第2の状態では、変位部41,51,61,71は、それぞれ、その下面を可動部2側に向けるように回動中心軸Y2,X2,Y3,X3まわりに傾斜する。このような変位部41,51,61,71の傾斜に伴って、変位部側可動梁423,523,623,723は、それぞれ、可動部2側の端が上側を向くように傾斜する。これにより、可動梁42,52,62,72が屈曲部421,521,621,721で屈曲しながら、可動部側可動梁422,522,622,722および可動部2が一体的にかつ可動部2の姿勢を一定に保ちつつ上側に移動する。
【0073】
このような第1の状態と、第2の状態とを交互に切り替えることによって、可動部2をその姿勢を保ちつつ、すなわち光反射部22の表面をX−Y平面と平行に保ちつつ、Z軸方向に振動させることができる。
なお、コイル812,822,832,842に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部2および連結部4,5,6,7で構成される振動基板11の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と等しいのが好ましい。すなわち、光スキャナー1を共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー1のより安定した駆動が可能となる。
このような振動パターンでも、前述した回動パターンと同様に、コイル812,822,832,842に印加する交番電圧にオフセット電圧を重畳させることにより、自然状態からZ軸方向にシフトして可動部2を振動させることができる。
【0074】
(2−3.静止パターン)
例えば、コイル812,822,832,842の永久磁石811,821,831,841側がそれぞれN極となる状態となるように電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に直流電圧を印加する。電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に印加される直流電圧は、互いに同じ強さであるのが好ましい。このような電圧をコイル812,822,832,842に印加すると図8(a)に示すような状態で可動部2が静止する。
【0075】
逆に、コイル812,822,832,842の永久磁石811,821,831,841側がそれぞれS極となる状態となるように電源813,823,833,843からコイル812,822,832,842に直流電圧を印加すると、図8(b)に示すような状態で可動部2が静止する。
このように、可動部2を自然状態とは異なる位置に維持することができる。このような駆動によれば、例えば光反射部22で反射した光の光路を自然状態のときに対してずらすことができるため、例えば、光スキャナー1を光スイッチとして利用するときに特に有効である。
【0076】
また、例えば、光スキャナー1がプロジェクター等の画像形成装置に組み込まれている場合に、光源から異常なレーザーが出射されるなどの理由から、レーザーの装置外部への出射を停止しなければならない場合に、可動部2を自然状態とは異なる位置(レーザーの光路と交わらない位置)に退避させることにより、光反射部22によるレーザーの反射を防止する。これにより、装置外部へのレーザーの出射を防止することができる。また、可動部2を変位させることにより光反射部22で反射されたレーザーの光路を変更することにより、装置外部へのレーザーの出射を防止してもよい。これにより、このような問題を解決するための安全機構を別途組み込まなくてもよくなり、画像形成装置の製造工程が簡易化されるとともに、製造コストを削減することができる。
【0077】
このような可動部2の静止駆動を応用し、コイル812,822,832,842に印加する直流電圧の強さを互いに異ならせることにより、可動部2を自然状態に対して傾けた状態で維持することもできる。また、コイル812,822,832,842に印加する直流電圧の強さを、それぞれ独立して、かつ経時的に変化させることにより、可動部2を連続的または段階的に不規則に変位させることもできる。このような駆動方法は、例えば、光反射部22で反射した光をベクタースキャンする時に特に有効である。
以上、光スキャナー1の駆動について詳細に説明した。
【0078】
このような光スキャナー1では、可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動と回動中心軸X1まわりの回動とを同じ機構で行うことができる。また、光スキャナー1では、可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動と回動中心軸X1まわりの回動とを独立して行うことができる。すなわち、光スキャナー1では、回動中心軸Y1の回動が回動中心軸X1まわりの回動に影響を受けず、逆に、回動中心軸X1の回動も回動中心軸Y1まわりの回動に影響を受ない。そのため、光スキャナー1によれば、回動中心軸Y1および回動中心軸X1のそれぞれの軸まわりに可動部2を安定して回動させることができる。
【0079】
また、前述したように、光スキャナー1では、可動部2の回動中心軸Y1まわりの回動は、可動部側可動梁522,722がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容され、可動部2の回動中心軸X1まわりの回動は、可動部側可動梁422,622がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。このように、各連結部4,5,6,7が中心軸まわりに捩じり変形可能な可動部側可動梁422,522,622,722を有しているため、可動部2を回動中心軸Y1,X1のそれぞれの軸まわりにスムーズに回動させることができる。
【0080】
さらには、光スキャナー1では、可動部側可動梁422,522,622,722が直接、可動部2に接続されているため、よりスムーズに、可動部2を回動中心軸Y1,X1のそれぞれの軸まわりに回動させることができたり、Z軸方向へ振動させたりすることができる。
また、光スキャナー1では、連結部4において、前述のように捩じり変形する可動部側可動梁422と変形させたくない変位部側可動梁423との間に屈曲部421を設けている。そのため、前述の捩じり変形により生じた応力は、屈曲部421の変形部4211,4212や接続部4214,4215が変形することにより吸収・緩和され、変位部側可動梁423に伝わらない。すなわち、屈曲部421を設けることにより、可動部2の回動中に変位部側可動梁423がその中心軸まわりに捩じり変形してしまうのを確実に防止することができる。このことは、連結部4以外の他の連結部5,6,7についても同様である。そのため、可動部2を回動中心軸Y1,X1のそれぞれの軸まわりにスムーズに回動させることができる。
【0081】
さらには、各変位部側可動梁423,523,623,723の破壊が効果的に防止される。すなわち、棒状の部材において、自然状態からZ軸方向の応力が加わったときの破壊強度よりも、中心軸まわりの捩じり変形が生じている状態からZ軸方向の応力が加わったときの破壊強度の方が低いことが技術的に明らかになっている。そのため、上述のように、屈曲部421,521,621,721を設け、変位部側可動梁423,523,623,723に捩じり変形を生じさせないことにより、変位部側可動梁423,523,623,723の破壊を効果的に防止することができる。
【0082】
また、連結部4において、変位部側可動梁423が実質的に変形しないため、変位部41の回動によって生じる応力を効率よく可動部2の回動に用いることができる。このことは連結部5,6,7についても同様である。そのため、可動部2を大きい回動角度でしかも省電力で回動させることができたり、大きい振幅でZ軸方向に振動させたりすることができる。
【0083】
また、連結部4において、屈曲部421が非変形部4213を有しているため、この非変形部4213を軸にして可動梁42を屈曲させることができる。このことは、連結部5,6,7についても同様である。そのため、各連結部4,5,6,7の可動梁42,52,62,72を簡単かつ確実に屈曲させることができ、可動部2を安定して回動、振動させることができる。
【0084】
また、連結部4において、屈曲部421が可動部側可動梁422と連結する変形部4211と、変位部側可動梁423と連結する変形部4212とを有し、可動梁42の屈曲時に、変形部4211,4212がその中心軸まわりに捩じり変形することにより、屈曲により発生する応力を効果的に緩和している。このことは、連結部5,6,7についても同様である。そのため、各連結部4,5,6,7の可動梁42,52,62,72を確実に屈曲させることができるとともに、可動梁42,52,62,72の破壊を防止することができる。すなわち、光スキャナー1を安定して駆動することができる。
【0085】
また、連結部4において、屈曲部421が一対の変形部4211,4212を有しているため、次のような効果も発揮することができる。すなわち、例えば、通電によりコイル812から発生する熱や光反射部22に照射される光によって生じる熱等による可動部側可動梁422および変位部側可動梁423の熱膨張を、変形部4211,4212が変形することにより許容することができる。このことは、連結部5,6,7についても同様である。そのため、光スキャナー1は、振動基板11に応力が残留してしまうのを防止または抑制することができ、温度によらずに所望の振動特性を発揮することができる。
【0086】
本実施形態によれば、変位部41,51,61,71を駆動する駆動部810,820,830,840が、可動梁42,52,62,72の延長方向に変位部41,51,61,71から隔てて配置され、変位部41,51,61,71の内枠部411に固定される永久磁石811,821,831,841に近付けて配置することができる。従来の構成であれば、変位部41,51,61,71と駆動部810,820,830,840との間の、4つの固定部13は、それぞれ連結部4,5(5,6および6,7および4,7)に連結されるとともに、支持部が固定部13に連結されている。この支持部は、駆動部810,820,830,840と、変位部41,51,61,71との間に配置される。このため、その支持部を構成しない本実施形態の光スキャナー1は、駆動部810,820,830,840を、永久磁石811,821,831,841に近付けて配置することができる。
このため、永久磁石811,821,831,841により駆動部810,820,830,840に発生させるトルクを高い状態にすることができる。トルクは磁界に比例し、コイルにより発生する磁界は電流に比例するので、同一のトルクを発生させることは、駆動部810,820,830,840が永久磁石811,821,831,841に近付けて配置されることにより、低い電流で可能となる。そして、消費電力Wは、W=I2×R(Wは消費電力、Iは電流、Rは抵抗を示す)であらわされるように、電流の2乗に比例するので、変位部41,51,61,71を駆動する駆動部810,820,830,840の消費電力を低くすることができ、消費電力化を実現する光スキャナー1を得ることができる。たとえば、駆動部810,820,830,840と永久磁石811,821,831,841との距離を、従来に比べて1/4にすると、同一トルクを発生させるために、従来比1/4の電流、および従来比1/16の消費電力で、光スキャナー1を安定して駆動させることができる。
【0087】
以下、第1実施形態における変位部41の内枠部411に関する変形例を記載する。
【0088】
(変形例1)
図9(a)に示すように、変位部41の内枠部411は、可動梁42の延長方向へ開口している。すなわち、変位部41と可動梁42とが連結される面と反対側の面(コイル812が設けられる側)へ開口しているとも言える。
【0089】
(変形例2)
図9(b)に示すように、変位部41の内枠部411は、可動梁42の延長方向へ開口している。すなわち、変位部41と可動梁42とが連結される面と反対側の面(コイル812が設けられる側)へ開口しているとも言える。
【0090】
変形例1および2によれば、内枠部411が可動梁42の延長方向へ開口しているため、駆動部810と永久磁石811との間に変位部41を構成する部材が無いので、駆動部810を永久磁石811にさらに近付けて配置でき、同様に、駆動部820,830,840を永久磁石821,831,841にさらに近付けて配置できる。これにより、さらなる消費電力化を実現する光スキャナー1を得ることができる。
【0091】
また、永久磁石811(821,831,841)のXY平面視形状としては、図1および図3と同様に図9に実線で矩形と図示したが、特に限定されず、破線で図示する円形であってもよい。または、永久磁石811(821,831,841)のXY平面視形状としては、三角形や正方形や五角形以上の多角形であってもよく、楕円形などであってもよい。
【0092】
<第2実施形態>
第2実施形態のミラーチップ10について、図10を参照して説明する。
第2実施形態のミラーチップ10は、第1実施形態の光スキャナー1の振動基板11を備えた構成である。このため、同様の構成については、同一の符号を付与し、構成の説明を省略する。
【0093】
図10に示すように、ミラーチップ10は、支持部3と、分離部14と、振動基板11とを有している。
【0094】
支持部3は、振動基板11を取り囲んで形成されている。言い換えると、支持部3は、可動部2、可動梁42,52,62,72、変位部41,51,61,71、駆動梁43,53,63,73、および固定部13を取り囲んで形成されている。
そして、支持部3は、分離部14により固定部13と連結されている。本実施形態において、分離部14は支持部3と固定部13との間を部分的に連結している。すなわち、分離部14は、支持部3や固定部13に対して構造的な強度が弱く形成されている。このため、分離部14において支持部3と固定部13とを確実に分離することが可能である。分離部14は、支持部3や固定部13に対して構造的な強度が弱く構成されていればよく、上記の構成に限定されない。例えば、支持部3や固定部13の厚みによりも分離部14の厚みを小さく形成してもよい。
なお、支持部3は、固定部13の外側に形成され、分離部14を介して固定部13の間を接続していればよく、上記の形に限定されるものではない。
【0095】
本実施形態によれば、ミラーチップ10は、支持部3および分離部14により固定部13が連結されて振動基板11が連結されているので、固定部13が駆動梁43,53,63,73だけに連結された振動基板11の場合と比べて剛性を高くすることができる。そのため、ミラーチップ10を保持して、振動基板11の固定部13を基台12の枠部122に配置して、振動基板11と基台12とを接合させる際などにおいて、振動基板11を破損させることなく、上述のように、保持して、配置して、接合されることが可能となる。
【0096】
<第3実施形態>
第3実施形態の光スキャナー1の製造方法について、図11〜図13を参照して説明する。
第3実施形態の光スキャナー1の製造方法は、第2実施形態のミラーチップ10を用いて、第1実施形態の光スキャナーを製造する方法である。このため同様の構成については、同一の符号を付与し、構成の説明を省略する。図11は第3実施形態にかかる光スキャナー1の製造方法を示すフローチャートである。図12および図13は、第3実施形態にかかる光スキャナー1の製造方法を示す概略工程図である。
【0097】
まず、固定工程(S101)を実施する。
図12(a)に示すように、ミラーチップ10を保持部材(図示省略)などにより保持し、基台12の枠部122と向き合わせる。
そして、図12(b)に示すように、ミラーチップ10の固定部13を、基台12の枠部122に配置する。そして、接着剤または陽極接合等の各種接合方法を用いて、固定部13を枠部122に固定する。これにより、ミラーチップ10は基台12に固定される。そして、基台12によって振動基板11が支持される。
【0098】
次に、分離工程(S102)を実施する。
図13(c)に示すように、保持治具91および分離治具92を矢印の方向に移動させ、保持治具91により固定部13を押し付け、分離治具92により支持部3および分離部14を押し付ける。ここで、分離部14は、保持治具91または分離治具92により押し付けられていてもよく、いずれにも押し付けられないとしてもよく、適宜選択することができる。また、保持治具91および分離治具92を矢印の方向に移動させるとしたが、これに限るものではなく、固定部13、つまり基台12を矢印の方向と逆の方向に移動させるとしてもよく、または保持治具91および分離治具92を矢印の方向に移動させるとともに、基台12を矢印の方向と逆の方向に移動させるとしてもよい。
引き続き、図13(d)に示すように、分離治具92を矢印の方向に移動させ、分離部14を破壊させて折り取ることで、基台12に固定されたミラーチップ10から、支持部3を分離する。これにより、振動基板11が基台12によって支持された光スキャナー1を得る(図2参照)。
【0099】
ここで、図12および図13において、ミラーチップ10に永久磁石821(811,831,841)を固定しているとして図示したが、これに限るものではなく、分離工程(S102)の後に永久磁石821(811,831,841)を固定するとしてもよい。
【0100】
本実施形態によれば、ミラーチップ10は、固定部13が駆動梁43,53,63,73だけでなく、支持部3および分離部14により固定部が連結されて振動基板11が連結されているので、固定部13が駆動梁43,53,63,73だけに連結された振動基板11の場合と比べて剛性を高くすることができる。そのため、ミラーチップ10を保持して、振動基板11を基台12の枠部122に配置して、振動基板11と基台12とを接合させる際などにおいて、振動基板11を破損させることなく、上述のように、保持して、配置して、接合されることが可能となる。
【0101】
そして、支持部3を分離部14において折り取るので、振動基板11に支持部3を備えている従来の構成に比べて、XY平面視にて小型化させた光スキャナー1を得ることができる。さらには、第1実施形態と同様に、消費電力化を実現する光スキャナー1を得ることができる。
【0102】
<第4実施形態>
第4実施形態の画像形成装置について、図14を参照して説明する。
第4実施形態の画像形成装置は、第1実施形態の光スキャナー1を備えている。このため、同様の構成および製造方法については、同一の符号を付与し、構成および製造方法などの説明を省略する。
【0103】
以上説明したような光スキャナー1は、例えば、プロジェクター、レーザープリンター、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。図14は、本発明の画像形成装置の概要を示す模式図である。図14には、画像形成装置としてのプロジェクター200が示されている。ここでは、スクリーン280の長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。プロジェクター200は、レーザーなどの光を出射する光源装置210と、複数のダイクロイックミラー220と、光スキャナー1とを有している。
【0104】
光源装置210は、赤色光を出射する赤色光源装置211と、青色光を出射する青色光源装置212と、緑色光を出射する緑色光源装置213とを備えている。各ダイクロイックミラー220は、赤色光源装置211、青色光源装置212、緑色光源装置213のそれぞれから出射された光を合成する光学素子である。このようなプロジェクター200は、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて、光源装置210から出射された光をダイクロイックミラー220で合成し、この合成された光が光スキャナー1によって2次元走査され、固定ミラー250を介してスクリーン280上にカラー画像を形成するよう構成されている。
【0105】
2次元走査の際、光スキャナー1の可動部2が、Y軸方向の軸まわりに回動し、可動部2の光反射部22で反射した光がスクリーン280の横方向に走査(主走査)される。一方、光スキャナー1の可動部2が、X軸方向の軸まわりに回動し、光反射部22で反射した光がスクリーン280の縦方向に走査(副走査)される。光スキャナー1による光の走査は、いわゆるラスタースキャンによって行ってもよいし、いわゆるベクタースキャンによって行ってもよい。特に、光スキャナー1においては、その構成上、ベクタースキャンに適しているため、ベクタースキャンによって光を走査するのが好ましい。
【0106】
光スキャナー1にとって好ましいベクタースキャンとは、光源装置210から出射された光を、スクリーン280に対し、該スクリーン280上の異なる2点を結ぶ線分を順次形成するように走査する手法である。すなわち、微少な直線を集合させることにより、スクリーン280に所望の画像を形成する手法である。光スキャナー1では、可動部2を、Y軸方向の軸まわりおよびX軸方向の軸まわりに、不規則に且つ連続的に変位させることが可能であるため、ベクタースキャンに特に適している。
【0107】
具体的に説明すれば、図14に示すような文字(aおよびb)をベクタースキャンにて描画する場合には、光源装置210から出射された光をそれぞれの文字を書くように走査する。この際、光スキャナー1が有する可動部2のX軸方向の軸まわりの姿勢(回動)とY軸方向の軸まわりの姿勢(回動)とをそれぞれ制御して、走査軌跡230に沿って不規則に光を走査することができ、aおよびbの文字を一筆書きのように描画することができる。このようなベクタースキャンによれば、ラスタースキャンのように、スクリーン280の全面に光を走査させなくてよいため、効率的に画像を描画することができる。なお、図14では、ダイクロイックミラー220で合成された光を光スキャナー1によって2次元的に走査した後、その光を固定ミラー250で反射させてからスクリーン280に画像を形成するように構成されているが、固定ミラー250を省略し、光スキャナー1によって2次元的に走査された光を直接スクリーン280に照射してもよい。
【0108】
本実施形態によれば、第1から第3実施形態と同様の効果を奏することが可能な画像形成装置としてのプロジェクター200を提供することができる。
【0109】
なお、上記課題の少なくとも一部を解決できる範囲での変形、改良などは前述の実施形態に含まれるものである。
【0110】
たとえば、図10に示した分離部14の配置、形状、および数量などは、ミラーチップ10の支持部3と固定部13との連結、および分離工程(S102)での分離部14における折り取りならびに分離部14における取り外しを考慮して、適宜決定することができる。
【0111】
また、内枠部411のXY平面視形状は、図1および図3に示した矩形に限定されず、例えば、三角形や正方形や五角形以上の多角形、または円形または楕円形であってもよく、適宜決定することができる。
【0112】
また、永久磁石811,821,831,841のXY平面視形状としては、図1および図3で矩形と図示したが、特に限定されず、例えば、三角形や正方形や五角形以上の多角形であってもよいし、図9に破線で図示する円形であってもよい。
【0113】
さらに、コイル固定部、変位手段、応力緩和部、振動基板、および可動板の構成および形状、ならびに振動基板を図示上下に反転して光反射部材を取り付けるなどは、前述の実施形態を限定するものではなく、適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【0114】
1…光スキャナー、2…可動部、3…支持部、4,5,6,7…連結部、8…変位手段、10…ミラーチップ、11…振動基板、12…基台、13…固定部、14…分離部、20…光反射部材、21…面、22…光反射部、23…支持部材、41,51,61,71…変位部、42,52,62,72…可動梁、43,53,63,73…駆動梁、81…第1の変位手段、82…第2の変位手段、83…第3の変位手段、84…第4の変位手段、85…コイル固定部、91…保持治具、92…分離治具、121…基部、122…基板保持部、200…プロジェクター、210…光源装置、211…赤色光源装置、212…青色光源装置、213…緑色光源装置、220…ダイクロイックミラー、230…走査軌跡、250…固定ミラー、280…スクリーン、411…内枠部、421,521,621,721…屈曲部、422,522,622,722…可動部側可動梁、423,523,623,723…変位部側可動梁、810,820,830,840…駆動部、811,821,831,841…永久磁石、812,822,832,842…コイル、813,823,833,843…電源、851…突出部、4211,4212,6211,6212…変形部、4213,5213,6213,7213…非変形部、4214,4215,5214,5215,6214,6215,7214,7215…接続部、X1,X2,X3,Y1,Y2,Y3,Y4…回動中心軸。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、
前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、
前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、
前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、
前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、
前記駆動梁が連結される固定部と、
前記変位部に形成される内枠部と、
前記内枠部に固定される永久磁石とを備え、
前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを特徴とする光スキャナー。
【請求項2】
請求項1に記載の光スキャナーにおいて、
前記内枠部は、前記可動梁の延長方向へ開口していることを特徴とする光スキャナー。
【請求項3】
光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、
前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、
前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、
前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、
前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、
前記駆動梁が連結される固定部と、
前記変位部に形成される内枠部と、
前記内枠部に固定される永久磁石と、
前記可動部、前記可動梁、前記変位部、前記駆動梁、および前記固定部を取り囲んで形成される支持部と、
前記固定部と前記支持部とを連結する分離部とを備え、
前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを特徴とするミラーチップ。
【請求項4】
請求項3に記載のミラーチップにおいて、
前記分離部は、前記固定部と前記支持部とが部分的に連結されていることを特徴とするミラーチップ。
【請求項5】
請求項3または4に記載のミラーチップにおいて、
前記分離部は、前記固定部および前記支持部の厚さよりも小さい厚さを有することを特徴とするミラーチップ。
【請求項6】
光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、
前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、
前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、
前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、
前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、
前記駆動梁が連結される固定部と、
前記固定部を固定する基台とを備え、
前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有する光スキャナーの製造方法であって、
前記光反射部材、前記支持部材、前記可動部、前記可動梁、前記変位部、前記駆動梁、および前記固定部を取り囲んで形成される支持部と、
前記固定部と前記支持部とを連結する分離部とを備え、
前記固定部を前記基台に固定する固定工程と、
前記分離部において前記固定部と前記支持部とを分離する分離工程とを備えることを特徴とする光スキャナーの製造方法。
【請求項7】
光源と、
前記光源からの光を走査する光スキャナーとを備え、
前記光スキャナーは、
光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、
前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、
前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、
前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、
前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、
前記駆動梁が連結される固定部と、
前記変位部に形成される内枠部と、
前記内枠部に固定される永久磁石とを備え、
前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項1】
光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、
前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、
前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、
前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、
前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、
前記駆動梁が連結される固定部と、
前記変位部に形成される内枠部と、
前記内枠部に固定される永久磁石とを備え、
前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを特徴とする光スキャナー。
【請求項2】
請求項1に記載の光スキャナーにおいて、
前記内枠部は、前記可動梁の延長方向へ開口していることを特徴とする光スキャナー。
【請求項3】
光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、
前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、
前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、
前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、
前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、
前記駆動梁が連結される固定部と、
前記変位部に形成される内枠部と、
前記内枠部に固定される永久磁石と、
前記可動部、前記可動梁、前記変位部、前記駆動梁、および前記固定部を取り囲んで形成される支持部と、
前記固定部と前記支持部とを連結する分離部とを備え、
前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを特徴とするミラーチップ。
【請求項4】
請求項3に記載のミラーチップにおいて、
前記分離部は、前記固定部と前記支持部とが部分的に連結されていることを特徴とするミラーチップ。
【請求項5】
請求項3または4に記載のミラーチップにおいて、
前記分離部は、前記固定部および前記支持部の厚さよりも小さい厚さを有することを特徴とするミラーチップ。
【請求項6】
光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、
前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、
前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、
前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、
前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、
前記駆動梁が連結される固定部と、
前記固定部を固定する基台とを備え、
前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有する光スキャナーの製造方法であって、
前記光反射部材、前記支持部材、前記可動部、前記可動梁、前記変位部、前記駆動梁、および前記固定部を取り囲んで形成される支持部と、
前記固定部と前記支持部とを連結する分離部とを備え、
前記固定部を前記基台に固定する固定工程と、
前記分離部において前記固定部と前記支持部とを分離する分離工程とを備えることを特徴とする光スキャナーの製造方法。
【請求項7】
光源と、
前記光源からの光を走査する光スキャナーとを備え、
前記光スキャナーは、
光反射面を有する光反射部材を備える可動部と、
前記可動部から前記光反射面に沿って延長され、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って90度間隔で設けられた4つの可動梁と、
前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、
前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記変位部を駆動する駆動部と、
前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する2つの駆動梁と、
前記駆動梁が連結される固定部と、
前記変位部に形成される内枠部と、
前記内枠部に固定される永久磁石とを備え、
前記可動梁は、前記光反射面の前記面方向と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを特徴とする画像形成装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【公開番号】特開2012−78738(P2012−78738A)
【公開日】平成24年4月19日(2012.4.19)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−226380(P2010−226380)
【出願日】平成22年10月6日(2010.10.6)
【出願人】(000002369)セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成24年4月19日(2012.4.19)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年10月6日(2010.10.6)
【出願人】(000002369)セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Fターム(参考)】
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