【課題】ＭＥＭＳミラーの必要径を最小限に抑えることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】レーザー光源２５と、レーザー光源２５から出射される光ビームＬを偏向するＭＥＭＳミラーと、ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームＬ１を感光ドラム（被走査面）２ａ上に結像させる走査レンズ３０，３１と、レーザー光源２５から出射してＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームＬ２を検知するＢＤセンサ（光検知素子）３２を備えた光走査装置１３において、ＭＥＭＳミラーからＢＤセンサ３２に向かう光路Ａをレーザー光源２５からＭＥＭＳミラーに向かう光路Ｂと走査領域Ｒで囲まれる領域外に配置するとともに、走査領域Ｒに対して光路Ｂと同側に配置し、光路Ａが設けられた側を書出側として感光ドラム（被走査面）２ａを片側走査するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】１つのドライブ回路で圧電型と電磁型のどちらでも対応することのできるアクチュエータ駆動システムを提供する。
【解決手段】電磁型アクチュエータを駆動させるための電磁型制御信号を出力する前置回路３０と、この前置回路３０から出力される電磁型制御信号によって前記電磁型アクチュエータを駆動させるドライブ回路２０とを備えたアクチュエータ駆動システムであって、前置回路３０は、圧電型アクチュエータを駆動させるための圧電型制御信号に基づいてドライブ回路２０を動作させて、ドライブ回路２０から圧電型アクチュエータを駆動させる圧電型駆動電圧を出力させる。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において、温度変化による走査特性の変化を自律的に抑制する。
【解決手段】光ビームを反射させる反射面を有する光反射部１３と、光反射部１３を捻り振動させるための回転軸となる弾性連結部１６ａ，１６ｂとを備え、上記回転軸を中心にして光反射部１３を振動させることにより、上記反射面により反射された光ビームを走査する光走査装置において、熱アクチュエータ機構を備える。熱アクチュエータ機構は、例えば弾性連結部１６ａ，１６ｂと一体に構成され、熱膨張率が互いに異なる２種類の材料の部材が積層されてなる構造を有し、自身の収縮または膨張により、弾性連結部１６ａ，１６ｂに関して温度変化に伴うバネ定数の変化を相殺する形状に変化させることで、温度変化に伴う共振周波数の変化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】冷媒通過による潤滑不良やグリース漏れを生じることなく永久磁石の温度上昇を抑制することができるようにする。
【解決手段】永久磁石１２を保持する回転軸１１の一方にミラー１００が、他方にエンコーダ板１７がそれぞれ取り付けられた回転子２０と、自身の内部空間に前記回転子を回転可能に収納した固定子３０と、を備え、回転子２０が所定の角度範囲内で微小回転するガルバノスキャナ１において、回転軸１１の軸方向に設けられた中空部２と、中空部２に配置され、エンコーダ板１７側の端部から供給される回収不要の冷媒を中空部２内に噴射するノズル６０と、噴射された冷媒が回転子２０内を通過し、回転子２０の端部側から排出される冷却経路４０，４１，４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動板２１と、可動板２１に連結し、かつ可動板２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、可動板２１の板面上に設けられた永久磁石４１と、永久磁石４１に作用する磁界を発生させて可動板２１を回動させるコイル４２とを有し、可動板２１は、可動板２１の板厚方向からの平面視にて十字状をなす。 （もっと読む）

【課題】光を反射する可動板の最大振れ角を変更しても、当該最大振れ角の検出精度を維持できる光走査装置を提供する。
【解決手段】光走査装置１は、板状体で構成され一方の面に設けられ表示光ＬＬ”を反射する光反射部３１１ｅを有し回動中心軸Ｊ１回りに回動し最大振れ角の大きさが可変である可動板３１１ａと、可動板３１１ａが最大振れ角で回動していることを検出する回動検出手段２と、を備えている。回動検出手段２は、光反射部３１１ｅに向かってレーザー光ＳＳを照射する光源２１と、光源２１からのレーザー光ＳＳが光反射部３１１ｅで反射した反射光を受ける受光部２２と、可動板３１１ａの最大振れ角に応じて光源２１の位置を変更する変位駆動部とを有している。 （もっと読む）

【課題】画像センサ等の撮影領域を少ない消費電力で照明できる照明装置を提供する。
【解決手段】光ビームを出射する光源２、ＣＣＤカメラ１１の撮影領域Ａに対して光源１から出射された光ビームを反射しその反射光ビームを２次元走査するガルバノミラー４と、ガルバノミラー４による撮影領域Ａの走査周期とＣＣＤカメラ１１の画像データを取込む画像取込み部１２の画像の取込みタイミングとを同期させる同期制御部６とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】装置のコンパクト化を図るとともに、優れた画像表示特性を発揮できるディスプレイ装置を提供すること。
【解決手段】ディスプレイ装置１は、ケーシング２と、ケーシング２に支持され、ケーシング２の外側へ向けて凸の湾曲凸面となる状態をとり得るとともに、湾曲凸面の曲率を変更することのでる投影面３１を備えるスクリーン３と、投影面３１の曲率を変更する曲率変更手段４とを備える。具体的には、スクリーン３は、投影面３１が略平面をなす第１の状態と、投影面３１が略球面をなす第２の状態と、投影面３１が第２の状態よりも曲率の大きい略球面をなす第３の状態とをとり得ることができる。 （もっと読む）

【課題】光反射領域を確保しながら可動板の回動時の慣性モーメントを低減するとともに、可動板の寸法精度を簡単に優れたものとすることができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１を備える可動板２１と、支持部２２と、可動板２１を支持部２２に対して回動可能に連結する１対の連結部２３、２４とを有し、可動板２１は、可動板２１の回動中心軸（軸線Ｘ）に対して垂直な方向で両側へ突出する１対の突出部２１５、２１６と、軸線Ｘに対して平行な方向で両側に突出する１対の突出部２１３、２１４とを有する十字状をなし、突出部２１３〜２１６の突出長さが最適化されている。 （もっと読む）

【課題】第１及び第２の偏向素子を近づけて配置することができ、全体を小型化した走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡１０は、光源２０と、対物レンズ３６と、走査ユニット３３と、を有する。この走査ユニット３３は、第１〜第３の偏向素子３３ａから３３ｃを有し、光源２０側から入射した照明光を第１の偏向素子３３ａ及び第２の偏向素子３３ｂで反射して、この照明光により試料面５０上を所定方向に走査するように第１及び第２の偏向素子３３ａ，３３ｂが配置されるとともに、第１及び第２の偏向素子３３ａ，３３ｂによる照明光の回転中心が、第１の偏向素子３３ａよりも光源２０側、若しくは、第２の偏向素子３３ｂよりも試料面５０側に位置するように、第１及び第２の偏向素子３３ａ，３３ｂが回転し、さらに、この回転中心に反射面が位置し、試料面５０上を所定の方向と略直交する方向に走査するように第３の偏向素子３３ｂが配置される。 （もっと読む）

【課題】正常なアクチュエータ動作を行うことができる。
【解決手段】固定枠１１の枠内には、可動部材１２と、蛇行して配置され、捻り変形可能に可動部材１２の両端を支持するトーションバースプリング１３とが設けられている。各トーションバースプリングは、可動部材１２との取付箇所で可動部材１２の回転の軸線に直交する幅を分割し、その各幅の長い幅に沿った方向に蛇行して配置されている。可動部材１２と各弾性支持部材１３との各取付箇所は、可動部材１２の回転の軸線を通る中心点Ｘに対し点対称となる対の取付箇所である。これらの取付箇所Ａ、Ａ’は可動部材１２の中心点を通り各取付箇所Ａ、Ａ’を結ぶ仮想線が可動部材１２の回転の軸線に対して所定の角度を有するように設定する。 （もっと読む）

【課題】トーションバー部分に余計なダメージを与えることなくアクチュエータの立上げ動作を円滑に行えるアクチュエータ駆動制御装置を提供する。
【解決手段】電源ＯＮにより所定電流値の初期駆動電流を、その周波数を掃引して駆動コイルに供給し、振れ角センサの検出出力に基づいて可動部の振れ角が最大となる周波数を設定し（Ｓ１〜Ｓ３）、設定した可動部振れ角が最大となる周波数が可動部の共振周波数と一致するか否かを判定し、一致するよう駆動電流周波数を調整しながら振れ角センサの検出出力に基づいて可動部の振れ角が目標値になるよう駆動コイルに供給する駆動電流値を制御する（Ｓ４〜Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡便で、製造コストを小さくでき、解像度の低下を抑制する光走査素子を提供する。
【解決手段】アーム部１３ａ，１３ｂは、光を反射する平板状のミラー部１１と同じ水平位置に設けられ、梁部１２ａ，１２ｂを支持し、駆動されることによりミラー部１１を第１の方向に揺動させる。フレーム部１５は、ミラー部１１と異なる水平位置に設けられたそれぞれ一対のワイヤ固定部１７ａ〜１７ｆを有し、アーム部１１を支持する。サスペンションワイヤ１８ａ〜１８ｆは、ワイヤ固定部１７ａ〜１７ｆにおいて、フレーム部１５が第１の方向と直交する第２の方向の揺動可能なように、フレーム部１５を支持する。圧電膜１４ａ〜１４ｄは、アーム部１３ａ，１３ｂに設けられ、変位することによりアーム部１３ａ，１３ｂを駆動して、ミラー部１１を第１の方向に揺動させる。 （もっと読む）

【課題】 振動アクチュエータの小型化と生産性とを両立させる。
【解決手段】 振動アクチュエータにおいて、１本のねじり棒バネ３０により、ミラー３と永久磁石４３を固定した可動子であるフレーム４２を、基板に対して回転可能に片持ち支持する。ねじり棒バネ３０は、可動子の回転軸に垂直な方向の断面形状は、少なくとも、長手方向が第１の方向である第１の部分と、長手方向が上記第１の方向と平行でない第２の方向である第２の部分とを有する形状、例えばＨ字型とする。また、永久磁石４３と対向させて、コイル４５とヨーク４６とを備えたステータ４１を配置する。配線４７を介してコイル４５に所定のパルスを通電することにより、永久磁石４３に力を加え、ねじり棒バネ３０をねじって上記可動子を所定の回転角で往復回転駆動することができる。 （もっと読む）

【課題】 温度変化によるスキャナの角度誤差を抑制することにより、高精度のレーザー加工を行うことができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザー加工用のＸＹスキャナが、モータ軸１００を回動させる駆動モータ１０と、レーザー光を反射させる反射ミラー２０、及び、モータ軸１００に取り付けられるマウンタ係合部２１Ｂを有するミラーモジュールと、モータ軸１００を挟んでミラーマウンタ２１と対向するように配置され、モータ軸１００に取り付けられるミラー固定部材２２とを備え、マウンタ係合部２１Ｂ及びミラー固定部材２２は、モータ軸１００との接触面を減らすための非接触領域がモータ軸１００を挟んで両側に存在する状態で、モータ軸１００を挟持する。 （もっと読む）

【課題】ミラーを高精度に駆動でき、高精細の画像を表示できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】ミラー２１０は、ホルダ２５０とカバー２５１により気密状態に保持されているので、空気抵抗が大きく、ミラー面積が大きいことも相まって、リンギングを抑制して精度良い低周波の非共振駆動を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、消費電力の増加、偏向角や走査性能の低下を招くことのないマイクロスキャナを提供する。
【解決手段】接続部５が、主軸部３又はアクチュエータ４の少なくとも一方と第１伝達部５３（５４）を介して接続されるトーションバー５１を有するとともに、主軸部３とアクチュエータ４との間に第２伝達部５２で連結される部分を有しているマイクロスキャナＯＳ。 （もっと読む）

【課題】走査ミラーの共振周波数を短時間で容易に計測して駆動周波数を設定することができる光走査装置、および共振周波数設定方法を提供する。
【解決手段】ヘッドマウントディスプレイは、起動時点において設定された起動用共振周波数を駆動周波数として、垂直走査駆動部による垂直走査ミラーの揺動動作を起動する（Ｓ２）。次いで、垂直走査ミラーの駆動周波数を線形領域へ向けて一方向に順次変化させていく（Ｓ３）。垂直走査ミラーの振れ角が増加から減少へ変化すると（Ｓ５：ＹＥＳ）、駆動周波数の増減方向を切り替える（Ｓ１１）。ヘッドマウントディスプレイは、垂直走査ミラーの振れ角が最大となる駆動周波数を、垂直走査ミラーの共振周波数として計測する（Ｓ１３：ＹＥＳ、Ｓ２１）。計測した共振周波数を、その後の垂直走査ミラーの駆動周波数に設定する（Ｓ２２）。 （もっと読む）

【課題】トルク定数と慣性モーメントの比を向上させ、駆動に必要な電流を小さくして駆動時の消費電力の低減を図る。
【解決手段】回転中心となる軸１０と該軸周りに配置され該軸の円周方向に複数極に分極された永久磁石１１で構成される回転子と、該回転子の外側に空隙を介して配置されたコイル１３とヨーク１４とアウターケース１５とで構成される固定子とを有し、回転子が所定の角度範囲内で揺動するガルバノスキャナ１において、永久磁石１１には回転軸方向の溝５０を周方向に隣り合う永久磁石１１の磁極に跨って形成し、当該永久磁石１１は分割線６０によって１極あたり２個以上に分割した。 （もっと読む）