光走査装置の製造方法及び光走査装置
【課題】光走査装置を構成する構造体を台座に溶接固定するときに、ミラー部の鏡面に汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる光走査装置の製造方法及び光走査装置を提供する。
【解決手段】光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置の製造方法であって、金属製の板材から平板状の前記構造体を形成する構造体形成工程と、前記構造体形成工程で形成された前記構造体に前記駆動部を形成する駆動部形成工程と、前記鏡面とは反対側の面側から、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体を前記台座に溶接する溶接工程とを有することを特徴とする。
【解決手段】光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置の製造方法であって、金属製の板材から平板状の前記構造体を形成する構造体形成工程と、前記構造体形成工程で形成された前記構造体に前記駆動部を形成する駆動部形成工程と、前記鏡面とは反対側の面側から、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体を前記台座に溶接する溶接工程とを有することを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置の製造方法及び光走査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザー光等の光ビームを走査する光走査装置は、バーコードリーダ、レーザープリンタ、ヘッドマウントディスプレイ等の光学機器、あるいは赤外線カメラ等入力デバイスの光取り入れ装置として用いられている。このような光走査装置として、例えば、ミラー部を支持する捩れ梁部を有する基板に圧電体を配置して、ミラー部に捩れ振動を発生する光走査装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２９３１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このような光走査装置を構成する基板は、台座に固定されて使用される。基板が金属製の板材から形成される場合、基板を溶接により台座に固定するが、溶接のときに発生する金属粉等などの飛散物によりミラー部の鏡面に汚れが付着すると、光走査装置の機能が低下するおそれがある。
【０００５】
本発明は、光走査装置を構成する構造体を台座に溶接固定するときに、ミラー部の鏡面に溶接により発生する金属粉等の汚れが付着して、光走査装置の機能が低下するのを防止することができる光走査装置の製造方法及び光走査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、第１発明の光走査装置の製造方法は、光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置の製造方法であって、金属製の板材から平板状の前記構造体を形成する構造体形成工程と、前記構造体形成工程で形成された前記構造体に前記駆動部を形成する駆動部形成工程と、前記鏡面とは反対側の面側から、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体を前記台座に溶接する溶接工程とを有することを特徴とする。
【０００７】
第２発明の光走査装置の製造方法は、上記第１発明の構成に加えて、前記金属製の板材の表面を研磨することにより前記鏡面を形成する鏡面形成工程を備え、前記構造体形成工程は、前記鏡面形成工程により前記鏡面が形成された前記板材から前記構造体を形成することを特徴とする。
【０００８】
第３発明の光走査装置の製造方法は、上記第１発明の構成に加えて、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体において、前記ミラー部の表面に、鏡面を有する薄片部材を貼り付けることにより前記鏡面を形成する鏡面貼付工程を備え、前記溶接工程は、前記鏡面貼付工程により貼り付けられた前記鏡面とは反対側の面側から、前記構造体を前記台座に溶接することを特徴とする。
【０００９】
第４発明の光走査装置の製造方法は、上記第１発明ないし第３発明のいずれかの構成に加えて、前記ミラー部は前記駆動部に対して前記構造体の一側に設けられ、前記固定部は前記駆動部に対して前記構造体の他側に設けられることを特徴とする。
【００１０】
第５発明の光走査装置は、光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置であって、前記構造体は金属製の平板状の板材であって、前記鏡面が形成された面と反対の面側から前記構造体を前記台座に溶接して固定する固定部を有することを特徴とする。
【００１１】
第６発明の光走査装置は、上記第５発明に加えて、前記ミラー部は前記駆動部に対して前記構造体の一側に設けられ、前記固定部は前記駆動部に対して前記構造体の他側に設けられることを特徴とする。
【００１２】
第７発明の光走査装置は、光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備えると共に金属製の平板状の板材からなる構造体と、前記構造体を溶接により固定する台座とを有する光走査装置であって、前記構造体が前記台座に固定された場合に、前記鏡面と前記台座が前記構造体に対して同じ面側に配置されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
第１発明の光走査装置の製造方法によれば、ミラー部の鏡面とは反対側の面側から、駆動部形成工程により駆動部が形成された構造体を台座に溶接する溶接工程を有するため、溶接により発生する金属粉などの飛散物がミラー部の鏡面に付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる。
【００１４】
第２発明の光走査装置の製造方法によれば、第１発明の効果に加え、ミラー部の鏡面が研磨により形成される鏡面形成工程を有する場合に、ミラー部の鏡面に溶接により発生する金属粉などの飛散物が付着して光走査装置の機能が低下するのを確実に防止することができる。
【００１５】
第３発明の光走査装置の製造方法によれば、第１発明に加え、鏡面を有する薄片部材をミラー部に貼り付ける鏡面貼付工程を有する場合に、ミラー部の鏡面に溶接により発生する飛散物が付着して光走査装置の機能が低下するのを確実に防止することができる。また、駆動部形成工程の後に薄片部材が貼り付けられるので、駆動部を形成する際の影響により、ミラー部に貼り付けた薄片部材が剥がれたりすることを防止できる。
【００１６】
第４発明の光走査装置の製造方法によれば、第１発明ないし第３発明のいずれかに加え、ミラー部は駆動部に対して構造体の一側に設けられ、固定部は駆動部に対して構造体の他側に設けられるため、ミラー部と固定部が離間される。そのため、溶接により発生する飛散物が、ミラー部の鏡面に付着して光走査装置の機能が低下するのをより確実に防止することができる。
【００１７】
第５発明の光走査装置によれば、ミラー部の鏡面が形成された面と反対の面側から構造体を台座に溶接して固定する固定部を有するため、ミラー部の鏡面に溶接により発生する汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる。
【００１８】
第６発明の光走査装置によれば、第５発明に加え、ミラー部は駆動部に対して構造体の一側に設けられ、固定部は駆動部に対して構造体の他側に設けられるため、ミラー部と固定部が離間される。これにより、ミラー部の鏡面に溶接により発生する汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのをより確実に防止することができる。
【００１９】
第７発明の光走査装置によれば、構造体が台座に固定された場合に、鏡面と台座が構造体に対して同じ面側に配置されるため、ミラー部の鏡面に溶接により発生する汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態の光走査装置の一面側平面図である。
【図２】実施形態の光走査装置の他面側平面図である。
【図３】図２の光走査装置を３−３線で切断した断面図である。
【図４】実施形態の光走査装置の製造工程を示すフローチャートである。
【図５】変形例の光走査装置の一面側平面図である。
【図６】変形例の光走査装置の他面側平面図である。
【図７】図６の光走査装置を７−７線で切断した断面図である。
【図８】変形例の光走査装置の製造工程を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（光走査装置について）
以下に図面を参照しつつ、本発明の好ましい光走査装置の実施形態について図１ないし図３を用いて説明する。図１及び図２に示すように、本発明の光走査装置１０は略長方形形状である構造体１１と台座３０とを有する。構造体１１は、固定部１５にレーザー溶接を行って台座３０に固定される。以下、光走査装置１０を構成する各構成部材について説明する。
【００２２】
構造体１１は、ステンレスやチタンなどの金属製の板材から形成される。構造体１１は、図１のＸ軸方向に長い略長方形の平板状である。構造体１１の厚さは約３０〜５００μｍである。構造体１１には、金属製の板材をエッチング加工やプレス加工等の除去加工することにより、板部１９、ミラー部１２、梁部１３、開口部１６，１６が形成される。なお、構造体１１の中央部には長方形状の開口部１６，１６が梁部１３に対して対称に２箇所形成される。
【００２３】
ミラー部１２は、レーザー光等の光を反射する後述の鏡面１２１を有している（図２、３参照）。また、ミラー部１２は図１及び図２のＹ軸方向に形成された梁部１３に支持されて、開口部１６，１６の中央に配置される。ミラー部１２は揺動される際の中心軸である揺動軸Ｌ１に対して、線対称になるように設けられる。ミラー部１２は本実施形態では長方形状に形成されているが、形状は特に限定されず、円形、楕円形、菱形、多角形等であってもよい。
【００２４】
また、ミラー部１２は、図３において、後述の第一駆動部２０Ａ、第２駆動部２０Ｂを挟んで、固定部１５とは反対側に配置されている。具体的には、ミラー部１２は第一駆動部２０Ａに対して、Ｘ軸正側（図３の右側）に配置され、固定部１５は第一駆動部２０Ａに対して、Ｘ軸負側（図３の左側）に配置される。また、ミラー部１２は第２駆動部２０Ｂに対して、Ｘ軸負側（図３の左側）に配置され、固定部１５は第二駆動部２０Ｂに対して、Ｘ軸正側（図３の右側）に配置される。
【００２５】
このように、ミラー部１２と固定部１５が第一駆動部２０Ａ及び第２駆動部２０Ｂのそれぞれに対して、反対側に配置されて離間されることで、溶接により固定部１５を形成するときに発生する金属製の飛散物等の汚れが鏡面１２１に付着しにくくなる。そのため、光走査装置１０の機能低下を防止することができる。
【００２６】
鏡面１２１は、図３に示すように、固定部１５が形成された構造体１１の一面側１７（Ｚ軸正側）とは反対の他面側１８（Ｚ軸負側）に形成される。鏡面１２１は、表面に鏡面を有するアルミニウムや銀などの金属薄膜が設けられた透明誘電体１２５が、ミラー部１２のＺ方向負側の表面に熱硬化などにより接着されて形成されてもよい。透明誘電体１２５としては、ダイヤモンドやサファイヤなどがあげられる。なお、表面に鏡面を有する透明誘電体１２５が本発明の薄片部材である。
【００２７】
加えて、鏡面１２１は後述の変形例のように、金属製の板材の表面を研磨した後、板材を加工して構造体１１を形成することにより、構造体１１の他面側１８に鏡面１２１が形成されてもよい。その他に、アルミや銀などの金属薄膜が、スパッタリングや蒸着などによって、ミラー部１２の表面にコーティングされてもよい。
【００２８】
梁部１３は、図１及び図２に示すように、ミラー部１２のＹ軸方向の両端側部から延出して形成され、ミラー部１２の揺動軸Ｌ１を含むように形成される。
【００２９】
第一駆動部２０Ａ及び第二駆動部２０Ｂは、図２及び図３のように、構造体１１の板部１９の他面側１８にミラー部１２に対して対称的に１つずつ設けられる。本実施形態では構造体１１に第一駆動部２０Ａ及び第２駆動部２０Ｂが設けられているが、後述の変形例のように、駆動部は１つだけ形成されてもよい。なお、第一駆動部２０Ａ及び第二駆動部２０Ｂは、説明のために区別しているが、構成としては同じ構成であるため、以下第一駆動部２０Ａについて説明する。
【００３０】
第一駆動部２０Ａは、圧電素子により構成され、例えば熱硬化性のエポキシ系、アクリル系、シリコン系等の合成樹脂材料で形成された導電性を有する導電性接着剤によって構造体１１に接着される。
【００３１】
第一駆動部２０Ａの上下面は、それぞれ全面に渡って金や白金等が積層されて、図示しない上部電極と下部電極が形成されている。第一駆動部２０Ａの上部電極と下部電極との間に交番電圧を印加することによって、構造体１１に揺動軸Ｌ１を軸とする定在的な波を発生させ、ミラー部１２を揺動軸Ｌ１回りに揺動させることができる。
【００３２】
固定部１５は、図１のように、構造体１１を台座３０に固定するために、構造体１１の一面側１７の４隅に形成される。本実施形態では後述のように、固定部１５はレーザー溶接により形成され、固定部１５により構造体１１が台座３０に固定される。構造体１１は台座３０に固定されると、図３に示されるように、鏡面１２１と台座３０が構造体１１に対してＺ軸負側の同じ面側（他面側１８）に配置され、鏡面１２１の反対側（一面側１７）からレーザー溶接される。このように配置されることで、固定部１５を形成するときにレーザー溶接により発生する金属製の飛散物等の汚れが、鏡面１２１に付着しにくくなり光走査装置の機能低下を防止することができる。
【００３３】
（光走査装置の製造方法）
次に、図４を用いて本実施形態の光走査装置の製造方法について説明する。
【００３４】
ステップＳ１０１において、構造体１１が形成される。具体的には、まず、金属製の板材が構造体１０の外形と等しい大きさに分割される。そして、ミラー部１２、梁部１３、板部１９に対応する位置に、マスキングのためのレジスト膜が形成される。ウェットエッチングによって構造体１１が形成された後に、レジスト膜が除去される。なお、構造体１１の外形に比して十分大きな板材に複数の構造体１１の外形が形成された後に、個々の複数の構造体１１に分割されてもよい。
【００３５】
ステップＳ１０２は、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂを構造体１１に接着するための接着剤が、構造体１１に塗布される。具体的には、水平に置かれた構造体１１の図２の他面側１８表面に、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂに対応する位置の２箇所に、ディスペンサなどによって接着剤が塗布される。接着剤としては、例えば、エポキシ系、アクリル系、シリコン系等の合成樹脂材料に銀フィラーなどの導電材を含有する導電性接着剤が用いられる。導電性接着剤の塗布後、ステップＳ１０３が実行される。
【００３６】
次に、ステップＳ１０３は、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂが、ステップＳ１０２にて塗布された導電性接着剤の上に設置される。第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂとして、あらかじめ圧電素子の両面に電極層を備えたバルクの圧電材料が用いられる。先ず、平面状のプレートに複数のエア吸引用の孔を有する吸着ヘッドによって、第一駆動部２０Ａが吸着される。そして、吸着された第一駆動部２０Ａが、図２の直線Ｌ２上に圧電材料の中心位置２１が位置するようにして、導電性接着剤の上に設置される。他方の第二駆動部２０Ｂも同様に、構造体１１に接着される。
【００３７】
そして、ステップＳ１０４は、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂそれぞれと構造体１１とを接着する導電性接着剤が硬化される。具体的には、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂが設置された構造体１１が、１００〜２００℃の雰囲気に保たれた加熱炉内に３０〜６０分間装入される。これにより、導電性接着剤は熱硬化される。導電性接着剤の硬化後、ステップＳ１０５が実行される。
【００３８】
ステップＳ１０５は、ステップＳ１０１で形成したミラー部１２の表面であって、構造体１１の他面側１８に、鏡面が形成された透明誘電体１２５が貼り付けられる。なお、透明誘電体１２５にはあらかじめアルミや銀などの金属薄膜が接着剤により貼り付けて鏡面が形成されている。
【００３９】
ステップＳ１０６は、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂと構造体１１とに対して、ワイヤボンディングによって信号線が接続される。この信号線は、非図示の交流電源に接続される。構造体１１と第一駆動部２０Ａ、第二駆動部２０Ｂとは導電性接着剤によって接着されているので、この信号線を介して第一駆動部２０Ａ、第二駆動部２０Ｂと構造体１１との間に電圧が印加されることによって、第一駆動部２０Ａ、第二駆動部２０ＢのＺ方向に電位差が生じる。
【００４０】
ステップＳ１０７は、構造体１１の両端側を台座３０上に載置して、図１の一面側１７からレーザー溶接により固定する。即ち、図３の矢印Ａ方向であって、ミラー部１２に鏡面１２１が貼り付けられた側（他面側１８）とは反対側（一面側１７）から、台座３０に対して構造体１１の４隅にレーザー溶接を行う。本実施形態では、構造体１１の４隅に固定部１５が形成されて、台座３０に固定されている（図１、３参照）。なお、スポット溶接などにより、構造体１１が台座３０に固定されてもよい。以上で、光走査装置１０の製造工程が終了する。
【００４１】
以上説明した本実施形態の光走査装置の製造方法によれば、ステップＳ１０７の溶接固定工程でミラー部１２に鏡面１２１が貼り付けられた側（他面側１８）とは反対側からレーザー溶接を行う。そのため、溶接による金属製の飛散物が空気中へ分散しても、溶接を行う側（一面側１７）とは反対側（他面側１８）に鏡面１２１が備えられているので、鏡面１２１に飛散物が付着することを防止することができる。即ち、レーザー溶接により生じる金属製の飛散物等の汚れが鏡面１２１に付着することにより、光走査装置１０の機能が低下することを防止することができる。
【００４２】
また、本実施形態では、ステップＳ１０５の鏡面貼り付け工程をステップＳ１０４の駆動部２０を熱硬化する工程の後に行う。仮に、熱硬化の前に鏡面１２１をミラー部１２に貼り付けると、ステップＳ１０４で熱を加えることによって構造体１１に歪が生じるおそれがあり、この影響でミラー部１２に貼り付けた鏡面１２１が剥がれたりするのを防ぐことができる。
【００４３】
上述した光走査装置１０の製造方法において、ステップＳ１０１の金属製の板材にエッチング加工を行う工程が本発明の構造体形成工程に該当し、ステップＳ１０２の接着剤を構造体１１に塗布する工程と、ステップＳ１０３の構造体１１に圧電素子を設置する工程と、その後にステップＳ１０４で接着剤を熱硬化させる工程が本発明の駆動部形成工程に該当し、ステップＳ１０５で鏡面を有する透明誘電体をミラー部１２に貼り付ける工程が本発明の鏡面貼付工程に該当し、ステップＳ１０７で構造体１１を台座３０にレーザー溶接で固定する工程が本発明の溶接工程に該当する。
【００４４】
（光走査装置の変形例）
次に、図５ないし図７を用いて、本発明における変形例の光走査装置１０Ａを説明する。なお、図１ないし図３と同じ符号の構成は同様の構成を示すものとしてその説明を省略する。
【００４５】
構造体１１Ａは、上述の構造体１１と同様に、金属製の板材をエッチング加工やプレス加工等の除去加工することにより、板部１９、ミラー部１２Ａ、梁部１３、開口部１６，１６が形成される。構造体１１Ａでは、図５のＸ軸方向の負側に、開口部１６，１６、ミラー部１２Ａ、梁部１３が形成されている。板部１９は構造体１１Ａにおいて、図５のＸ軸正側にのみ設けられており、上述の構造体１１よりも構造体１１ＡのＸ軸方向の長さが短く形成されている。
【００４６】
ミラー部１２Ａは、図７において、第一駆動部２０Ａに対して、固定部１５とはＸ軸方向の反対側に配置され、上述した実施形態同様にミラー部１２Ａと固定部１５が離間して配置される。具体的には、ミラー部１２Ａは第一駆動部２０Ａに対して、Ｘ軸負側（図７の左側）に配置され、固定部１５は、第一駆動部２０Ａに対して、Ｘ軸正側（図７の右側）に配置される。
【００４７】
また、ミラー部１２Ａは、鏡面１２１にかえて、図６の鏡面１２１Ａを有している点が上述のミラー部１２と異なる。金属製の板材の表面を研磨して鏡面を形成した後、板材を加工して構造体１１Ａを作製することにより、構造体１１Ａの他面側１８に鏡面が形成される。すなわち、鏡面１２１Ａは、図６のＹ軸方向に形成された梁部１３に支持されたミラー部１２Ａの他面側１８に形成される。
【００４８】
第一駆動部２０Ａは、図６のように、構造体１１Ａの板部１９の他面側１８にミラー部１２Ａに対してＸ軸方向正側（図６の右側）に設けられる。上述の実施形態とは異なり、構造体１１Ａに第一駆動部２０Ａが１つ備えられる。
【００４９】
固定部１５は、図５及び図７のように、構造体１１Ａを台座３０に固定するために、構造体１１Ａの一面側１７のＸ軸正側の端部に４個所、図７の矢印Ａ方向からレーザー溶接を行って形成される。図５では固定部１５は構造体１１ＡのＸ軸正側端部に４箇所形成されているが、固定部１５の数や位置は特に限定されず、構造体１１Ａをレーザー溶接で台座３０に固定できればよい。すなわち、上述の実施形態では、構造体１１Ａは固定部１５により台座３０に両持ち支持されていたが、本変形例では、構造体１１Ａは固定部１５により台座３０に片持ち支持される。
【００５０】
（変形例の光走査装置の製造方法）
次に、変形例の光走査装置１０Ａの製造方法について図８を用いて説明する。なお、図４と同じ符号の工程は、同様の工程内容であるのでその説明を省略する。図８では、図４と異なり、ステップＳ１００の表面研磨工程が追加され、ステップＳ１０５の鏡面貼り付け工程が省略される点が異なる。
【００５１】
ステップＳ１００において、金属製の板材の片面側の表面を研磨して鏡面が形成される。また、鍍金加工等により鏡面が形成される。
【００５２】
ステップＳ１０１では、上述のように金属製の板材にエッチング加工を行って構造体１１Ａが形成される。このとき、ミラー部１２Ａを含めた構造体１１Ａの片側表面である他面側１８に鏡面が形成されている。
【００５３】
ステップＳ１０２は、第一駆動部２０Ａを構造体１１Ａに接着するための接着剤が、構造体１１Ａに塗布される。このとき、構造体１１Ａの鏡面が形成された表面側に接着剤が塗布される。ここで、接着剤が塗布される表面側が図６の他面側１８である。構造体１１Ａの他面側１８の板部１９表面に接着剤が塗布された後、ステップＳ１０３以降の処理が実行される。
【００５４】
ステップＳ１０７は、図５の構造体１１ＡのＸ軸正側端部を台座３０上に載置して、図５の一面側１７からレーザー溶接により固定する。即ち、ミラー部１２Ａの鏡面１２１Ａが形成された側である他面側１８とは反対側であって、図７の矢印Ａ方向の一面側１７からレーザー溶接を行う。以上で、本変形例の光走査装置１０Ａの製造工程が終了する。
【００５５】
以上説明した変形例の光走査装置１０Ａの製造方法によれば、ステップＳ１０７の溶接固定工程でミラー部１２Ａの鏡面１２１Ａが形成された側である他面側１８とは反対側の一面側１７からレーザー溶接を行う。そのため、溶接により発生した金属製の飛散物等の汚れが空気中へ飛散しても、鏡面１２１Ａにその汚れが付着することを防止することができる。即ち、レーザー溶接により生じる汚れが鏡面１２１Ａに付着することにより、光走査装置１０Ａの機能が低下することを防止することができる。
【００５６】
上述した光走査装置１０Ａの製造方法において、ステップＳ１００の金属製の板材の表面を研磨する工程が本発明の鏡面形成工程に該当する。
【００５７】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加えてもよい。
【符号の説明】
【００５８】
１０，１０Ａ 光走査装置
１１，１１Ａ 構造体
１２，１２Ａ ミラー部
１５ 固定部
１７ 一面側
１８ 他面側
２０Ａ，２０Ｂ 第一駆動部、第二駆動部
３０ 台座
１２１，１２１Ａ 鏡面
１２５ 薄片部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置の製造方法及び光走査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザー光等の光ビームを走査する光走査装置は、バーコードリーダ、レーザープリンタ、ヘッドマウントディスプレイ等の光学機器、あるいは赤外線カメラ等入力デバイスの光取り入れ装置として用いられている。このような光走査装置として、例えば、ミラー部を支持する捩れ梁部を有する基板に圧電体を配置して、ミラー部に捩れ振動を発生する光走査装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２９３１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このような光走査装置を構成する基板は、台座に固定されて使用される。基板が金属製の板材から形成される場合、基板を溶接により台座に固定するが、溶接のときに発生する金属粉等などの飛散物によりミラー部の鏡面に汚れが付着すると、光走査装置の機能が低下するおそれがある。
【０００５】
本発明は、光走査装置を構成する構造体を台座に溶接固定するときに、ミラー部の鏡面に溶接により発生する金属粉等の汚れが付着して、光走査装置の機能が低下するのを防止することができる光走査装置の製造方法及び光走査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、第１発明の光走査装置の製造方法は、光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置の製造方法であって、金属製の板材から平板状の前記構造体を形成する構造体形成工程と、前記構造体形成工程で形成された前記構造体に前記駆動部を形成する駆動部形成工程と、前記鏡面とは反対側の面側から、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体を前記台座に溶接する溶接工程とを有することを特徴とする。
【０００７】
第２発明の光走査装置の製造方法は、上記第１発明の構成に加えて、前記金属製の板材の表面を研磨することにより前記鏡面を形成する鏡面形成工程を備え、前記構造体形成工程は、前記鏡面形成工程により前記鏡面が形成された前記板材から前記構造体を形成することを特徴とする。
【０００８】
第３発明の光走査装置の製造方法は、上記第１発明の構成に加えて、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体において、前記ミラー部の表面に、鏡面を有する薄片部材を貼り付けることにより前記鏡面を形成する鏡面貼付工程を備え、前記溶接工程は、前記鏡面貼付工程により貼り付けられた前記鏡面とは反対側の面側から、前記構造体を前記台座に溶接することを特徴とする。
【０００９】
第４発明の光走査装置の製造方法は、上記第１発明ないし第３発明のいずれかの構成に加えて、前記ミラー部は前記駆動部に対して前記構造体の一側に設けられ、前記固定部は前記駆動部に対して前記構造体の他側に設けられることを特徴とする。
【００１０】
第５発明の光走査装置は、光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置であって、前記構造体は金属製の平板状の板材であって、前記鏡面が形成された面と反対の面側から前記構造体を前記台座に溶接して固定する固定部を有することを特徴とする。
【００１１】
第６発明の光走査装置は、上記第５発明に加えて、前記ミラー部は前記駆動部に対して前記構造体の一側に設けられ、前記固定部は前記駆動部に対して前記構造体の他側に設けられることを特徴とする。
【００１２】
第７発明の光走査装置は、光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備えると共に金属製の平板状の板材からなる構造体と、前記構造体を溶接により固定する台座とを有する光走査装置であって、前記構造体が前記台座に固定された場合に、前記鏡面と前記台座が前記構造体に対して同じ面側に配置されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
第１発明の光走査装置の製造方法によれば、ミラー部の鏡面とは反対側の面側から、駆動部形成工程により駆動部が形成された構造体を台座に溶接する溶接工程を有するため、溶接により発生する金属粉などの飛散物がミラー部の鏡面に付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる。
【００１４】
第２発明の光走査装置の製造方法によれば、第１発明の効果に加え、ミラー部の鏡面が研磨により形成される鏡面形成工程を有する場合に、ミラー部の鏡面に溶接により発生する金属粉などの飛散物が付着して光走査装置の機能が低下するのを確実に防止することができる。
【００１５】
第３発明の光走査装置の製造方法によれば、第１発明に加え、鏡面を有する薄片部材をミラー部に貼り付ける鏡面貼付工程を有する場合に、ミラー部の鏡面に溶接により発生する飛散物が付着して光走査装置の機能が低下するのを確実に防止することができる。また、駆動部形成工程の後に薄片部材が貼り付けられるので、駆動部を形成する際の影響により、ミラー部に貼り付けた薄片部材が剥がれたりすることを防止できる。
【００１６】
第４発明の光走査装置の製造方法によれば、第１発明ないし第３発明のいずれかに加え、ミラー部は駆動部に対して構造体の一側に設けられ、固定部は駆動部に対して構造体の他側に設けられるため、ミラー部と固定部が離間される。そのため、溶接により発生する飛散物が、ミラー部の鏡面に付着して光走査装置の機能が低下するのをより確実に防止することができる。
【００１７】
第５発明の光走査装置によれば、ミラー部の鏡面が形成された面と反対の面側から構造体を台座に溶接して固定する固定部を有するため、ミラー部の鏡面に溶接により発生する汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる。
【００１８】
第６発明の光走査装置によれば、第５発明に加え、ミラー部は駆動部に対して構造体の一側に設けられ、固定部は駆動部に対して構造体の他側に設けられるため、ミラー部と固定部が離間される。これにより、ミラー部の鏡面に溶接により発生する汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのをより確実に防止することができる。
【００１９】
第７発明の光走査装置によれば、構造体が台座に固定された場合に、鏡面と台座が構造体に対して同じ面側に配置されるため、ミラー部の鏡面に溶接により発生する汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態の光走査装置の一面側平面図である。
【図２】実施形態の光走査装置の他面側平面図である。
【図３】図２の光走査装置を３−３線で切断した断面図である。
【図４】実施形態の光走査装置の製造工程を示すフローチャートである。
【図５】変形例の光走査装置の一面側平面図である。
【図６】変形例の光走査装置の他面側平面図である。
【図７】図６の光走査装置を７−７線で切断した断面図である。
【図８】変形例の光走査装置の製造工程を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（光走査装置について）
以下に図面を参照しつつ、本発明の好ましい光走査装置の実施形態について図１ないし図３を用いて説明する。図１及び図２に示すように、本発明の光走査装置１０は略長方形形状である構造体１１と台座３０とを有する。構造体１１は、固定部１５にレーザー溶接を行って台座３０に固定される。以下、光走査装置１０を構成する各構成部材について説明する。
【００２２】
構造体１１は、ステンレスやチタンなどの金属製の板材から形成される。構造体１１は、図１のＸ軸方向に長い略長方形の平板状である。構造体１１の厚さは約３０〜５００μｍである。構造体１１には、金属製の板材をエッチング加工やプレス加工等の除去加工することにより、板部１９、ミラー部１２、梁部１３、開口部１６，１６が形成される。なお、構造体１１の中央部には長方形状の開口部１６，１６が梁部１３に対して対称に２箇所形成される。
【００２３】
ミラー部１２は、レーザー光等の光を反射する後述の鏡面１２１を有している（図２、３参照）。また、ミラー部１２は図１及び図２のＹ軸方向に形成された梁部１３に支持されて、開口部１６，１６の中央に配置される。ミラー部１２は揺動される際の中心軸である揺動軸Ｌ１に対して、線対称になるように設けられる。ミラー部１２は本実施形態では長方形状に形成されているが、形状は特に限定されず、円形、楕円形、菱形、多角形等であってもよい。
【００２４】
また、ミラー部１２は、図３において、後述の第一駆動部２０Ａ、第２駆動部２０Ｂを挟んで、固定部１５とは反対側に配置されている。具体的には、ミラー部１２は第一駆動部２０Ａに対して、Ｘ軸正側（図３の右側）に配置され、固定部１５は第一駆動部２０Ａに対して、Ｘ軸負側（図３の左側）に配置される。また、ミラー部１２は第２駆動部２０Ｂに対して、Ｘ軸負側（図３の左側）に配置され、固定部１５は第二駆動部２０Ｂに対して、Ｘ軸正側（図３の右側）に配置される。
【００２５】
このように、ミラー部１２と固定部１５が第一駆動部２０Ａ及び第２駆動部２０Ｂのそれぞれに対して、反対側に配置されて離間されることで、溶接により固定部１５を形成するときに発生する金属製の飛散物等の汚れが鏡面１２１に付着しにくくなる。そのため、光走査装置１０の機能低下を防止することができる。
【００２６】
鏡面１２１は、図３に示すように、固定部１５が形成された構造体１１の一面側１７（Ｚ軸正側）とは反対の他面側１８（Ｚ軸負側）に形成される。鏡面１２１は、表面に鏡面を有するアルミニウムや銀などの金属薄膜が設けられた透明誘電体１２５が、ミラー部１２のＺ方向負側の表面に熱硬化などにより接着されて形成されてもよい。透明誘電体１２５としては、ダイヤモンドやサファイヤなどがあげられる。なお、表面に鏡面を有する透明誘電体１２５が本発明の薄片部材である。
【００２７】
加えて、鏡面１２１は後述の変形例のように、金属製の板材の表面を研磨した後、板材を加工して構造体１１を形成することにより、構造体１１の他面側１８に鏡面１２１が形成されてもよい。その他に、アルミや銀などの金属薄膜が、スパッタリングや蒸着などによって、ミラー部１２の表面にコーティングされてもよい。
【００２８】
梁部１３は、図１及び図２に示すように、ミラー部１２のＹ軸方向の両端側部から延出して形成され、ミラー部１２の揺動軸Ｌ１を含むように形成される。
【００２９】
第一駆動部２０Ａ及び第二駆動部２０Ｂは、図２及び図３のように、構造体１１の板部１９の他面側１８にミラー部１２に対して対称的に１つずつ設けられる。本実施形態では構造体１１に第一駆動部２０Ａ及び第２駆動部２０Ｂが設けられているが、後述の変形例のように、駆動部は１つだけ形成されてもよい。なお、第一駆動部２０Ａ及び第二駆動部２０Ｂは、説明のために区別しているが、構成としては同じ構成であるため、以下第一駆動部２０Ａについて説明する。
【００３０】
第一駆動部２０Ａは、圧電素子により構成され、例えば熱硬化性のエポキシ系、アクリル系、シリコン系等の合成樹脂材料で形成された導電性を有する導電性接着剤によって構造体１１に接着される。
【００３１】
第一駆動部２０Ａの上下面は、それぞれ全面に渡って金や白金等が積層されて、図示しない上部電極と下部電極が形成されている。第一駆動部２０Ａの上部電極と下部電極との間に交番電圧を印加することによって、構造体１１に揺動軸Ｌ１を軸とする定在的な波を発生させ、ミラー部１２を揺動軸Ｌ１回りに揺動させることができる。
【００３２】
固定部１５は、図１のように、構造体１１を台座３０に固定するために、構造体１１の一面側１７の４隅に形成される。本実施形態では後述のように、固定部１５はレーザー溶接により形成され、固定部１５により構造体１１が台座３０に固定される。構造体１１は台座３０に固定されると、図３に示されるように、鏡面１２１と台座３０が構造体１１に対してＺ軸負側の同じ面側（他面側１８）に配置され、鏡面１２１の反対側（一面側１７）からレーザー溶接される。このように配置されることで、固定部１５を形成するときにレーザー溶接により発生する金属製の飛散物等の汚れが、鏡面１２１に付着しにくくなり光走査装置の機能低下を防止することができる。
【００３３】
（光走査装置の製造方法）
次に、図４を用いて本実施形態の光走査装置の製造方法について説明する。
【００３４】
ステップＳ１０１において、構造体１１が形成される。具体的には、まず、金属製の板材が構造体１０の外形と等しい大きさに分割される。そして、ミラー部１２、梁部１３、板部１９に対応する位置に、マスキングのためのレジスト膜が形成される。ウェットエッチングによって構造体１１が形成された後に、レジスト膜が除去される。なお、構造体１１の外形に比して十分大きな板材に複数の構造体１１の外形が形成された後に、個々の複数の構造体１１に分割されてもよい。
【００３５】
ステップＳ１０２は、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂを構造体１１に接着するための接着剤が、構造体１１に塗布される。具体的には、水平に置かれた構造体１１の図２の他面側１８表面に、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂに対応する位置の２箇所に、ディスペンサなどによって接着剤が塗布される。接着剤としては、例えば、エポキシ系、アクリル系、シリコン系等の合成樹脂材料に銀フィラーなどの導電材を含有する導電性接着剤が用いられる。導電性接着剤の塗布後、ステップＳ１０３が実行される。
【００３６】
次に、ステップＳ１０３は、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂが、ステップＳ１０２にて塗布された導電性接着剤の上に設置される。第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂとして、あらかじめ圧電素子の両面に電極層を備えたバルクの圧電材料が用いられる。先ず、平面状のプレートに複数のエア吸引用の孔を有する吸着ヘッドによって、第一駆動部２０Ａが吸着される。そして、吸着された第一駆動部２０Ａが、図２の直線Ｌ２上に圧電材料の中心位置２１が位置するようにして、導電性接着剤の上に設置される。他方の第二駆動部２０Ｂも同様に、構造体１１に接着される。
【００３７】
そして、ステップＳ１０４は、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂそれぞれと構造体１１とを接着する導電性接着剤が硬化される。具体的には、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂが設置された構造体１１が、１００〜２００℃の雰囲気に保たれた加熱炉内に３０〜６０分間装入される。これにより、導電性接着剤は熱硬化される。導電性接着剤の硬化後、ステップＳ１０５が実行される。
【００３８】
ステップＳ１０５は、ステップＳ１０１で形成したミラー部１２の表面であって、構造体１１の他面側１８に、鏡面が形成された透明誘電体１２５が貼り付けられる。なお、透明誘電体１２５にはあらかじめアルミや銀などの金属薄膜が接着剤により貼り付けて鏡面が形成されている。
【００３９】
ステップＳ１０６は、第一駆動部２０Ａと第二駆動部２０Ｂと構造体１１とに対して、ワイヤボンディングによって信号線が接続される。この信号線は、非図示の交流電源に接続される。構造体１１と第一駆動部２０Ａ、第二駆動部２０Ｂとは導電性接着剤によって接着されているので、この信号線を介して第一駆動部２０Ａ、第二駆動部２０Ｂと構造体１１との間に電圧が印加されることによって、第一駆動部２０Ａ、第二駆動部２０ＢのＺ方向に電位差が生じる。
【００４０】
ステップＳ１０７は、構造体１１の両端側を台座３０上に載置して、図１の一面側１７からレーザー溶接により固定する。即ち、図３の矢印Ａ方向であって、ミラー部１２に鏡面１２１が貼り付けられた側（他面側１８）とは反対側（一面側１７）から、台座３０に対して構造体１１の４隅にレーザー溶接を行う。本実施形態では、構造体１１の４隅に固定部１５が形成されて、台座３０に固定されている（図１、３参照）。なお、スポット溶接などにより、構造体１１が台座３０に固定されてもよい。以上で、光走査装置１０の製造工程が終了する。
【００４１】
以上説明した本実施形態の光走査装置の製造方法によれば、ステップＳ１０７の溶接固定工程でミラー部１２に鏡面１２１が貼り付けられた側（他面側１８）とは反対側からレーザー溶接を行う。そのため、溶接による金属製の飛散物が空気中へ分散しても、溶接を行う側（一面側１７）とは反対側（他面側１８）に鏡面１２１が備えられているので、鏡面１２１に飛散物が付着することを防止することができる。即ち、レーザー溶接により生じる金属製の飛散物等の汚れが鏡面１２１に付着することにより、光走査装置１０の機能が低下することを防止することができる。
【００４２】
また、本実施形態では、ステップＳ１０５の鏡面貼り付け工程をステップＳ１０４の駆動部２０を熱硬化する工程の後に行う。仮に、熱硬化の前に鏡面１２１をミラー部１２に貼り付けると、ステップＳ１０４で熱を加えることによって構造体１１に歪が生じるおそれがあり、この影響でミラー部１２に貼り付けた鏡面１２１が剥がれたりするのを防ぐことができる。
【００４３】
上述した光走査装置１０の製造方法において、ステップＳ１０１の金属製の板材にエッチング加工を行う工程が本発明の構造体形成工程に該当し、ステップＳ１０２の接着剤を構造体１１に塗布する工程と、ステップＳ１０３の構造体１１に圧電素子を設置する工程と、その後にステップＳ１０４で接着剤を熱硬化させる工程が本発明の駆動部形成工程に該当し、ステップＳ１０５で鏡面を有する透明誘電体をミラー部１２に貼り付ける工程が本発明の鏡面貼付工程に該当し、ステップＳ１０７で構造体１１を台座３０にレーザー溶接で固定する工程が本発明の溶接工程に該当する。
【００４４】
（光走査装置の変形例）
次に、図５ないし図７を用いて、本発明における変形例の光走査装置１０Ａを説明する。なお、図１ないし図３と同じ符号の構成は同様の構成を示すものとしてその説明を省略する。
【００４５】
構造体１１Ａは、上述の構造体１１と同様に、金属製の板材をエッチング加工やプレス加工等の除去加工することにより、板部１９、ミラー部１２Ａ、梁部１３、開口部１６，１６が形成される。構造体１１Ａでは、図５のＸ軸方向の負側に、開口部１６，１６、ミラー部１２Ａ、梁部１３が形成されている。板部１９は構造体１１Ａにおいて、図５のＸ軸正側にのみ設けられており、上述の構造体１１よりも構造体１１ＡのＸ軸方向の長さが短く形成されている。
【００４６】
ミラー部１２Ａは、図７において、第一駆動部２０Ａに対して、固定部１５とはＸ軸方向の反対側に配置され、上述した実施形態同様にミラー部１２Ａと固定部１５が離間して配置される。具体的には、ミラー部１２Ａは第一駆動部２０Ａに対して、Ｘ軸負側（図７の左側）に配置され、固定部１５は、第一駆動部２０Ａに対して、Ｘ軸正側（図７の右側）に配置される。
【００４７】
また、ミラー部１２Ａは、鏡面１２１にかえて、図６の鏡面１２１Ａを有している点が上述のミラー部１２と異なる。金属製の板材の表面を研磨して鏡面を形成した後、板材を加工して構造体１１Ａを作製することにより、構造体１１Ａの他面側１８に鏡面が形成される。すなわち、鏡面１２１Ａは、図６のＹ軸方向に形成された梁部１３に支持されたミラー部１２Ａの他面側１８に形成される。
【００４８】
第一駆動部２０Ａは、図６のように、構造体１１Ａの板部１９の他面側１８にミラー部１２Ａに対してＸ軸方向正側（図６の右側）に設けられる。上述の実施形態とは異なり、構造体１１Ａに第一駆動部２０Ａが１つ備えられる。
【００４９】
固定部１５は、図５及び図７のように、構造体１１Ａを台座３０に固定するために、構造体１１Ａの一面側１７のＸ軸正側の端部に４個所、図７の矢印Ａ方向からレーザー溶接を行って形成される。図５では固定部１５は構造体１１ＡのＸ軸正側端部に４箇所形成されているが、固定部１５の数や位置は特に限定されず、構造体１１Ａをレーザー溶接で台座３０に固定できればよい。すなわち、上述の実施形態では、構造体１１Ａは固定部１５により台座３０に両持ち支持されていたが、本変形例では、構造体１１Ａは固定部１５により台座３０に片持ち支持される。
【００５０】
（変形例の光走査装置の製造方法）
次に、変形例の光走査装置１０Ａの製造方法について図８を用いて説明する。なお、図４と同じ符号の工程は、同様の工程内容であるのでその説明を省略する。図８では、図４と異なり、ステップＳ１００の表面研磨工程が追加され、ステップＳ１０５の鏡面貼り付け工程が省略される点が異なる。
【００５１】
ステップＳ１００において、金属製の板材の片面側の表面を研磨して鏡面が形成される。また、鍍金加工等により鏡面が形成される。
【００５２】
ステップＳ１０１では、上述のように金属製の板材にエッチング加工を行って構造体１１Ａが形成される。このとき、ミラー部１２Ａを含めた構造体１１Ａの片側表面である他面側１８に鏡面が形成されている。
【００５３】
ステップＳ１０２は、第一駆動部２０Ａを構造体１１Ａに接着するための接着剤が、構造体１１Ａに塗布される。このとき、構造体１１Ａの鏡面が形成された表面側に接着剤が塗布される。ここで、接着剤が塗布される表面側が図６の他面側１８である。構造体１１Ａの他面側１８の板部１９表面に接着剤が塗布された後、ステップＳ１０３以降の処理が実行される。
【００５４】
ステップＳ１０７は、図５の構造体１１ＡのＸ軸正側端部を台座３０上に載置して、図５の一面側１７からレーザー溶接により固定する。即ち、ミラー部１２Ａの鏡面１２１Ａが形成された側である他面側１８とは反対側であって、図７の矢印Ａ方向の一面側１７からレーザー溶接を行う。以上で、本変形例の光走査装置１０Ａの製造工程が終了する。
【００５５】
以上説明した変形例の光走査装置１０Ａの製造方法によれば、ステップＳ１０７の溶接固定工程でミラー部１２Ａの鏡面１２１Ａが形成された側である他面側１８とは反対側の一面側１７からレーザー溶接を行う。そのため、溶接により発生した金属製の飛散物等の汚れが空気中へ飛散しても、鏡面１２１Ａにその汚れが付着することを防止することができる。即ち、レーザー溶接により生じる汚れが鏡面１２１Ａに付着することにより、光走査装置１０Ａの機能が低下することを防止することができる。
【００５６】
上述した光走査装置１０Ａの製造方法において、ステップＳ１００の金属製の板材の表面を研磨する工程が本発明の鏡面形成工程に該当する。
【００５７】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加えてもよい。
【符号の説明】
【００５８】
１０，１０Ａ 光走査装置
１１，１１Ａ 構造体
１２，１２Ａ ミラー部
１５ 固定部
１７ 一面側
１８ 他面側
２０Ａ，２０Ｂ 第一駆動部、第二駆動部
３０ 台座
１２１，１２１Ａ 鏡面
１２５ 薄片部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置の製造方法であって、
金属製の板材から平板状の前記構造体を形成する構造体形成工程と、
前記構造体形成工程で形成された前記構造体に前記駆動部を形成する駆動部形成工程と、
前記鏡面とは反対側の面側から、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体を前記台座に溶接する溶接工程とを有することを特徴とする光走査装置の製造方法。
【請求項２】
前記金属製の板材の表面を研磨することにより前記鏡面を形成する鏡面形成工程を備え、
前記構造体形成工程は、前記鏡面形成工程により前記鏡面が形成された前記板材から前記構造体を形成することを特徴とする請求項１に記載の光走査装置の製造方法。
【請求項３】
前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体において、前記ミラー部の表面に、鏡面を有する薄片部材を貼り付けることにより前記鏡面を形成する鏡面貼付工程を備え、
前記溶接工程は、前記鏡面貼付工程により貼り付けられた前記鏡面とは反対側の面側から、前記構造体を前記台座に溶接することを特徴とする請求項１に記載の光走査装置の製造方法。
【請求項４】
前記ミラー部は前記駆動部に対して前記構造体の一側に設けられ、前記固定部は前記駆動部に対して前記構造体の他側に設けられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の光走査装置の製造方法。
【請求項５】
光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置であって、
前記構造体は金属製の平板状の板材であって、前記鏡面が形成された面と反対の面側から前記構造体を前記台座に溶接して固定する固定部を有することを特徴とする光走査装置。
【請求項６】
前記ミラー部は前記駆動部に対して前記構造体の一側に設けられ、前記固定部は前記駆動部に対して前記構造体の他側に設けられることを特徴とする請求項５に記載の光走査装置。
【請求項７】
光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備えると共に金属製の平板状の板材からなる構造体と、
前記構造体を溶接により固定する台座とを有する光走査装置であって、
前記構造体が前記台座に固定された場合に、前記鏡面と前記台座が前記構造体に対して同じ面側に配置されることを特徴とする光走査装置。
【請求項１】
光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置の製造方法であって、
金属製の板材から平板状の前記構造体を形成する構造体形成工程と、
前記構造体形成工程で形成された前記構造体に前記駆動部を形成する駆動部形成工程と、
前記鏡面とは反対側の面側から、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体を前記台座に溶接する溶接工程とを有することを特徴とする光走査装置の製造方法。
【請求項２】
前記金属製の板材の表面を研磨することにより前記鏡面を形成する鏡面形成工程を備え、
前記構造体形成工程は、前記鏡面形成工程により前記鏡面が形成された前記板材から前記構造体を形成することを特徴とする請求項１に記載の光走査装置の製造方法。
【請求項３】
前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体において、前記ミラー部の表面に、鏡面を有する薄片部材を貼り付けることにより前記鏡面を形成する鏡面貼付工程を備え、
前記溶接工程は、前記鏡面貼付工程により貼り付けられた前記鏡面とは反対側の面側から、前記構造体を前記台座に溶接することを特徴とする請求項１に記載の光走査装置の製造方法。
【請求項４】
前記ミラー部は前記駆動部に対して前記構造体の一側に設けられ、前記固定部は前記駆動部に対して前記構造体の他側に設けられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の光走査装置の製造方法。
【請求項５】
光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置であって、
前記構造体は金属製の平板状の板材であって、前記鏡面が形成された面と反対の面側から前記構造体を前記台座に溶接して固定する固定部を有することを特徴とする光走査装置。
【請求項６】
前記ミラー部は前記駆動部に対して前記構造体の一側に設けられ、前記固定部は前記駆動部に対して前記構造体の他側に設けられることを特徴とする請求項５に記載の光走査装置。
【請求項７】
光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備えると共に金属製の平板状の板材からなる構造体と、
前記構造体を溶接により固定する台座とを有する光走査装置であって、
前記構造体が前記台座に固定された場合に、前記鏡面と前記台座が前記構造体に対して同じ面側に配置されることを特徴とする光走査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−１２３０８７（Ｐ２０１２−１２３０８７Ａ）
【公開日】平成２４年６月２８日（２０１２．６．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２７２３６４（Ｐ２０１０−２７２３６４）
【出願日】平成２２年１２月７日（２０１０．１２．７）
【出願人】（０００００５２６７）ブラザー工業株式会社 (13,856)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年６月２８日（２０１２．６．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１２月７日（２０１０．１２．７）
【出願人】（０００００５２６７）ブラザー工業株式会社 (13,856)
【Ｆターム（参考）】
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