【課題】 圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器Ａ１は、反射面を有するミラー部１と、トーションバー２ａ、２ｂに一端が連結され他端が支持部１０に連結されて支持された圧電アクチュエータ８ａ、８ｂとを備え、圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することでトーションバーを介してミラー部を回転駆動する。ミラー部１と支持部１０との間の空隙に設けられる衝撃緩和部９ａ、９ｂは、支持部１０のトーションバーと直交する方向のミラー部１と対向する部分に、弾性を有する感光性の高分子材料をフォトリソグラフィ処理によりパターニング加工して形成される。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図り、製造にかかる手間を低減しつつ、磁石の剥離を防止することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす磁石２０と、可動板１１との接触を防止する空間２３を形成するように枠状部材１４と磁石２０との間に介在して枠状部材１４と磁石２０とを接合し、半田で構成された第１の半田層２１ａおよび第２の半田層２１ｂと、第１の下地層２２ａおよび第２の下地層２２ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、捻れ梁部を支持する片持ち梁部の形状及び捻れ梁部の取付け位置を工夫することにより、より広い温度範囲に対して走査角度の安定した光走査装置を提供することを第１の目的とする。
【解決手段】本発明の光走査装置は、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラー部と、基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、捻れ梁部を支持する片持ち梁部の幅を基板の幅の１／６以下にすることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーでではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレート５８に連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互に連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１は、照射された光を反射するミラー部２と、ミラー部２を囲うように間隙３を有して配置されたジンバル部４と、ジンバル部４を囲うように間隙５を有して配置されたフレーム部６と、ミラー部２とジンバル部４とを接続する一対の第１トーションバー部７ａ，７ｂと、ジンバル部４とフレーム部６とを接続する一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂと、を備え、一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂは、所定の材料から構成された第３トーションバー部８ａ〜８ｄと、所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第４トーションバー部９ａ，９ｂと、をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成において、光反射面の静的なたわみを低減することができるアクチュエーター、光スキャナー、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】静的なたわみを低減することができるアクチュエーターは、揺動軸まわりに揺動可能な可動部、前記可動部から延出する連結部、および連結部を支持する支持部、を含む基体と、光反射面を有する光反射部、および前記光反射部から延出し前記可動部に固定される固定部、を含むミラー保持体と、前記可動部に設けられるコイルと、前記コイルに作用する磁界を発生する磁石とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなす。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラー部に加わる応力を緩和し、破損や材料疲労を低減させることができる光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ミラー反射面１０を有するミラー部４０〜４３を両側からトーションバー５０により支持し、該トーションバー５０を軸Ｘとして揺動させ、前記ミラー反射面１０で反射する光を走査させる光走査装置であって、
前記ミラー部４０〜４３は、前記ミラー反射面１０の中心を通り前記軸Ｘと垂直な垂直軸Ｙと前記ミラー反射面１０の端部との交点と前記トーションバー５０との間に前記トーションバー５０のねじれ運動により発生する応力を緩和する応力緩和領域２０、２２〜２４を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】非共振周波数で駆動する静電駆動型ミラーデバイスにおいて、振れ角を大きくする。
【解決手段】２軸ミラーデバイスにおいて、第二の可動フレーム８を動かすアクチュエータ１３が、第一と第二の２つのアクチュエータ９，１３から構成されており、可動フレームの回転角がゼロである状態からは第一のアクチュエータ９で第二の可動フレーム８を回転させはじめ、特定の回転角までいったところで第二のアクチュエータ１３で第二の可動フレームを回転させることで非共振駆動でも大きな振れ角を得る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラースキャナの構造及び製造方法に係り、共振周波数の精度良い調整を行うことにある。
【解決手段】ミラースキャナ１０は、フレーム１２と、光源からの光を反射するミラー部１４と、フレーム１２とミラー部１４とを連結して該ミラー部１４を該フレーム１２に対して支持するトーションバー１６ａ，１６ｂと、トーションバー１６ａ，１６ｂに平行に設けられてフレーム１２とミラー部１４とを連結する複数本の溶断可能なバーからなる棒部材１８ａ，１８ｂと、を設ける。 （もっと読む）

【課題】駆動部の共振周波数がばらついても変動部をスキャンさせる。
【解決手段】光スキャナＯＳは、所定方向に揺動可能な可動部２と、電圧の印加により変形し、互いに協働して可動部２を揺動させる複数の駆動部４とを備える。可動部２の共振周波数fsmと、駆動部４の共振周波数fsuとはfsm < fsuを満たす。 （もっと読む）

【課題】複数のプロジェクタから映像を投影した際に、投影映像の重なりを検出するための投影映像を用意することなく、事前のキャリブレーションが不要で、高輝度又は高品質な映像を投影できる、使い勝手に優れた映像投影システムを提供する。
【解決手段】映像補正部ＩＳが、重なり検出部ＯＳの検出結果に基づいて、重なり領域ＯＲに可視光映像が投影されるように、可視光映像を縮小すると共に、投影位置を移動する。その後、可視光投影部ＰＪ１が補正された可視光映像を投影する。これにより、４つのプロジェクタＰＪＴ１〜ＰＪＴ４からの同一の可視光映像が、最大重なり領域ＯＲに重ねて投影されるため、照度が高い映像を投影できる。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなし、連結部２３、２４の回動中心軸に垂直な断面は、可動部２１の第１の面から前記第１の面に対向する第２の面側に向けて幅が漸増する形状をなす。 （もっと読む）

【課題】ミラーを備える金属基板の反りが低減された走査デバイス、及びその走査デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】金属基板を構成する材料の融点未満の第１温度において、金属基板を構成する材料の熱膨張率と金属基板に形成される薄膜の材料の熱膨張率との大小関係に応じて、室温において測定された金属基板の反り量に応じた膜厚の薄膜が金属基板の凹面または凸面に形成され、薄膜が形成された金属基板が室温に降温されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 照射光の照射距離の相違に起因して生じる照射むらを抑制可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器Ａ１は、光源からの光を反射するミラー部１の中心において直交する第１軸線ｘ２と第２軸線ｘ１のうち、第１軸線ｘ２周りの第１角度範囲でミラー部１を往復回動させる第２の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂと、第２軸線ｘ１周りの第２角度範囲でミラー部１を往復回動させる第１の圧電アクチュエータ４０ａ，４０ｂとを備える。第２の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、ミラー部１の回動速度を、往復回動の往動では漸増し、復動では漸減することで、遠方の照射地域の水平方向走査線の密度を増大する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を揺動駆動するための圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーをノコギリ波状の駆動電圧により圧電駆動しつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動する第１駆動電圧と、奇数数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動する第２駆動電圧とを逆位相のノコギリ波状の電圧とする。第１駆動電圧と第２駆動電圧との間の位相差が、ミラー部１の高周波振動が発生するのを抑制するように設定される。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角を直線的に変化させ得る期間が短くなりすぎないようにしつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）と、奇数番目の圧電カンチレバー３（奇数）とのいずれか一方を圧電駆動する駆動電圧は、周波数が異なる正弦波Ｓａ，Ｓｂのそれぞれの半周期分の波形を連接して構成される。圧電カンチレバー３（偶数）及び圧電カンチレバー３（奇数）の他方を圧電駆動する駆動電圧は一方を圧電駆動する駆動電圧の逆位相の波形とされる。 （もっと読む）

【課題】 振動アクチュエータの小型化と生産性とを両立させる。
【解決手段】 振動アクチュエータにおいて、１本のねじり棒バネ３０により、ミラー３と永久磁石４３を固定した可動子であるフレーム４２を、基板に対して回転可能に片持ち支持する。ねじり棒バネ３０は、可動子の回転軸に垂直な方向の断面形状は、少なくとも、長手方向が第１の方向である第１の部分と、長手方向が上記第１の方向と平行でない第２の方向である第２の部分とを有する形状、例えばＨ字型とする。また、永久磁石４３と対向させて、コイル４５とヨーク４６とを備えたステータ４１を配置する。配線４７を介してコイル４５に所定のパルスを通電することにより、永久磁石４３に力を加え、ねじり棒バネ３０をねじって上記可動子を所定の回転角で往復回転駆動することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の光偏向器においては、駆動電圧をフルに駆動用圧電アクチュエータに印加することによって行っているので、所定の駆動力を得るには、駆動用圧電アクチュエータを大型化しなければならず、消費電力を小さくさせる。
【解決手段】ミラー２は矩形反射面を有し、支持体１の空洞部１ａ内に位置する。１対のトーションバー３、４はミラーを揺動可能に支持する。トーションバーの支持体側に作用する駆動用圧電アクチュエータ５、６、７、８を設け、トーションバーのミラー側に作用する駆動兼検出用圧電アクチュエータ９、１０、１１、１２を設ける。制御ユニットＵ２は駆動兼検出用圧電アクチュエータの検出電圧Vの振幅に応じて駆動用圧電アクチュエータの駆動電圧及び駆動兼検出用圧電アクチュエータの駆動電圧を制御する。 （もっと読む）