【課題】低コストで破損しにくい光走査装置およびこれを使用する画像記録装置の提供。
【解決手段】梁部材２０の表面には歪ゲージ回路３４が半導体プロセスによって形成されており、梁部材２０（トーションバースプリング）の歪により生じる電圧をモニターすることができる。光偏向器１２の偏向反射ミラーは梁部材２０を介して支持体２８にリジッドで支持されており、偏向反射ミラーが揺動する際は梁部材２０が変形することでスプリングとして働いている。この変形度合、つまり梁部材２０の歪み量を検出し、この値が一定の値を超えた場合は弾性変形の限界と判断し、駆動を停止するように制御すれば梁部材２０の破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 可動部をＯＮからＯＦＦ、ＯＦＦからＯＮさせるときのタイミングの差異を小さくし、可動部変位の速度および精度を低電圧で向上させる。
【解決手段】 弾性変位可能に支持され少なくとも一部に可動電極２８を有する可動部２７と、この可動部２７に対峙して配置された固定電極３５ａ、３５ｂとを有し、可動電極２８と固定電極３５ａ、３５ｂに印加する電圧に応じた静電気力によって可動部２７を変位させる微小薄膜可動素子１００であって、可動部２７に少なくとも変位動作の直前で振動を負荷する振動負荷手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】光スキャナパッケージを提供する。
【解決手段】入射ビームをスキャニングするものであって、スキャニングミラー（１１２）及びスキャニングミラー（１１２）を作動させるコーム電極構造体（１１４）を備える光スキャナ素子（１１０）と、光スキャナ素子（１１０）を受容するパッケージ容器（１２０）と、パッケージ容器（１２０）上に設置されてパッケージ容器（１２０）を密閉するものであって、光スキャナ素子（１１０）から入射されるスキャンビームをスクリーン部（Ｓ）に反射させる反射ミラー（１４０）と、
反射ミラー（１４０）を一の面に備えて、スキャンビームの経路を入射ビームから派生するノイズビームの経路と分離させるパッケージウィンドウ（１３０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 光源から発せられた光ビームを走査できるように、ミラーが回転可能に設けられる駆動ミラーにおいて、ミラー速度を高速にし、ミラーの振れ角を増大しても装置耐久性の要求を満足できる駆動ミラーを提供する。また、そのような駆動ミラーを備える光走査光学装置及び画像表示装置を提供する。
【解決手段】 駆動ミラー２２は、ミラー部２４と、ミラー部２４を保持する梁２５と、梁２５を支える固定枠２６と、梁２５を回転するために設けられた腕部２７ａ〜２７ｄと、腕部２７ａ〜２７ｄに設けられる圧電膜２８とで構成される。なお、腕部２７ａと腕部２７ｂ、及び腕部２７ｃと腕部２７ｄは、それぞれ一対で駆動腕２９ａ、２９ｂを構成する。圧電体２８に電圧が印加されると圧電体２８の伸縮と伴に駆動腕２９ａ、２９ｂが変位し、梁２５に回転力が発生される。 （もっと読む）

【課題】 駆動コイルによる磁界と静磁界発生手段による静磁界の相互作用で可動部を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータのより一層の小型・軽量化及び組付け作業性の容易化を図る。
【解決手段】 枠状の支持部１１と、可動部１３と、支持部１１の枠内に可動部１３を軸支する一対のトーションバー１２，１２とを半導体基板で一体形成し、可動部１３に駆動コイル１４と反射ミラー１５を設け、支持部１１に、可動部１３を囲むよう枠状のヨーク１６を設け、ヨーク１６内側の支持部１６領域に、可動部１３のトーションバー１２，１２と平行な両対辺部の駆動コイル１４部分に静磁界を作用させる一対の薄膜磁石１７，１７を、ヨーク１６と接するよう可動部１３を挟んで対向して設ける構成とした。 （もっと読む）

駆動コイルと第１のフィードバックコイルとの間のクロストークは、この駆動コイルの付近に第２のフィードバックコイルを配置すること、ならびに該フィードバックコイルによって生成されたフィードバック信号を処理することによってクロストークを除去することにより、除去される。第２のフィードバックコイルは、第１のフィードバックコイルと同程度のクロストークによって劣化されている。駆動コイルは、画像投影装置または電気光学的読取り機において用いられるスキャンミラーを振動させるために用いられ得る。
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【課題】本発明は、ミラー部を支持する捻れ梁部を有する基板に圧電体、磁歪体又は永久磁石体を配置し、基板の板波を利用してミラーに捻れ振動を生じさせることにより、簡単な構造で効率的にミラーに捻れ振動を発生することができる光走査装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の光走査装置は、基板に捻れ梁部を形成し、該捻れ梁部により支持されたミラー部を揺動させてなる光走査装置において、前記基板の一部に圧電体、磁歪体又は永久磁石体を固定あるいは形成し、該圧電体、磁歪体又は永久磁石体に電圧あるいは磁界を印加して基板に誘起される板波を利用して捻れ梁部に支持されたミラー部を励振させることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 マイクロマシニング製造技術で製造でき、斜面に光偏向子を配置しても電極取出しが容易な光偏向素子，光偏向装置を提供する。
【解決手段】 シリコンウェハー９−１上に柔軟な樹脂９−２を被覆した素材９の一方に光偏向子部２を形成し他方に電極部３を形成した光偏向素子であって、前記光偏向子部と電極部との間はシリコンウェハー部分８がなく屈曲可能な光偏向素子により前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ノイズの原因になる副反射光がスクリーンに向わないように、光分離構造が改善され、チップスケールで小型化された光スキャナパッケージを提供すること。
【解決手段】入射する光Ｌを走査するものであって、ミラー部２２、前記ミラー部２２を駆動させるコーム電極構造体２５及びベース基板２１を備えた光スキャナ素子２９と、前記ミラー部２２を保護するためのものであって、前記ミラー部２２周囲の前記ベース基板２１の上面に封着される支持部３４、及び前記支持部３４の上部に形成され、前記ベース基板２１の上面に対して傾斜して配置された第１透光面３１ａ及び第２透光面３１ｂを含む透光部３１を有するカバーガラス３９とを備える光スキャナパッケージ２０。 （もっと読む）

例えば逆反射照明システムに対する、比較的小型の射出モールドされたスキャンモータを提供するための方法と装置が開示される。例示的なスキャンモータは、射出モールドされた柔軟性のあるスプリングによって共に結合された静止基板および動的基板を含むスプリングモジュールを備える。一実施形態においては、スプリングは、液体射出モールドされ得る。スキャンモータはまた、磁石と、静止基板および／または動的基板を越えて延びる反射要素とを備える。
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【課題】簡単な構成で制御も容易なマイクロミラー駆動方式の光偏向器及びこれを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器２０は、支持基板１と、該支持基板１に弾性体２を介して揺動自在に支持された可動板７を有している。捻り軸中心Ｎを境にして、図中左側には固定電極３と可動電極４が設けられ、右側には可動電極５と固定電極６が設けられている。可動電極５と固定電極６は可動板７を揺動可能な揺動手段２１を構成し、可動電極５と固定電極６は可動板７の揺動を検知可能な揺動検知手段を構成している。 （もっと読む）

【課題】十分な設計自由度を得ることができ、かつ可動板の変位角度を正確に検出できる偏向器を提供すること。
【解決手段】ミラー１０１と、ベースフレーム１０７と、ベースフレーム１０７に対してミラー１０１を揺動可能に支持する一対のトーションバー１０５ａ、１０５ｂと、ミラー１０１に設けられた駆動コイル１０２と、駆動コイル１０２に作用する磁束を生成する永久磁石１０８ａ、１０８ｂと、ミラー１０１の揺動角を電気特性の変化として出力する静電容量センサ２３０ａ、２３０ｂと、駆動コイル１０２の二端のうち第一端と静電容量センサ２３０ａ、２３０ｂの電気端子の一端とをミラー１０１上で電気的に接続する接続部２２０と、接続部２２０からトーションバー１０５ａ、１０５ｂを通してベースフレーム１０７へ至る第一の配線１１１とを有する。 （もっと読む）

光走査装置は、フレーム上のヒンジによって支持された走査素子を、早い走査速度および最小限の電力消費で振動させるために、慣性ドライブによって直接動かされるフレームまたはベースプレートを含む。慣性ドライブは、フレームおよびベースプレートのうちの１つを直接動かすように働き、慣性によって、間接的に走査素子を振動させて、入射光を走査するように作用する。走査素子は低い質量を有する。走査素子に取り付けられたり、または接続されたりするいかなる永久磁石、または電磁気コイル、または電極、または同様の重さがないので、走査素子は、１ｋＨｚよりも高い、好ましくは約２０ｋＨｚ以上の高い走査速度で自由に動かされる。
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光学素子の支持装置は、光学素子を保持するコイルホルダと、前記コイルホルダを薄板状のバネで少なくとも一方向に変位可能に支持する固定部とを備えた光学素子の支持装置において、バネの一方の端部側部材２３ｄがコイルホルダに可動部側端部の突出部を露出させ延在部をインサートさせた状態でプラスチック・インサート成型され、バネの他方の固定部側端部が固定部に固定部側端部の突出部を露出させ延在部をインサートされた状態でプラスチック・インサート成型されてなるものである。
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【課題】 大偏向角の揺動体の共振周波数を高精度に調整する。
【解決手段】 可動板があるねじれ角のタイミングで加工レーザ発振器から加工レーザ光を照射し、該可動板の一部を除去することで該揺動体の共振周波数を調節する揺動体の調整方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 MEMSミラースキャナにおいて、ポリゴンミラースキャナと同等以上の高速スキャニングを実現でき、例えば、レーザープリンタ用途で高精度スキャニングを実現することを目的とし、特にスキャニングミラー自体の形状、寸法などの最適化を図った構成のMEMSミラースキャナの提供。
【解決手段】 入射角が浅く(小さく)なるほどかかる光経路の範囲を大きくする必要があり、光の入射角度が出射対象表面の直交方向に対して25°〜90°の範囲で、スキャニングミラーの揺動軸方向長さbと揺動軸に直交する方向長さaの比がa≧b,a:b=(1.0〜2.0):1) または(a<b,a:b=1:(1.001〜2)が必要であり、ミラー周辺の空間を入射側が小さく、出射側が大きくし、光透過窓は当該ミラーに対して入出射側で非対称の形状とすることで、高精度化と小型化が達成できる。 （もっと読む）

【課題】 MEMSミラースキャナにおいて、ポリゴンミラースキャナと同等以上の高速スキャニングを実現でき、例えば、レーザープリンタ用途で高精度スキャニングを実現することを目的とし、特にスキャニングミラー自体の形状、寸法などの最適化を図った構成のMEMSミラースキャナの提供。
【解決手段】 入射角が浅く(小さく)なるほどかかる光経路の範囲を大きくする必要があり、光の入射角度が出射対象表面の直交方向に対して25°〜90°の範囲で、スキャニングミラーの揺動軸方向長さYと揺動軸に直交する方向長さXの比が1:1.1〜1:1.9が必要であり、ミラー周辺の空間を入射側が小さく、出射側が大きくし、光透過窓は当該ミラーに対して入出射側で非対称の形状とすることで、高精度化と小型化が達成できる。 （もっと読む）

【課題】ミラーと周辺部材とが干渉し難い構造とすることができ、ミラーの傾き角度を容易に大きくできるガルバノミラーを提供する。
【解決手段】少なくともミラー３を有する可動部２と、可動部２を第１の軸Ｙおよび第１の軸Ｙとほぼ直交する第２の軸Ｘの回りに傾き可能に支持する支持手段６と、可動部２を第１の軸Ｙ回りに傾ける第１の駆動手段（８，２７，２８）と、可動部２を第２の軸Ｘ回りに傾ける第２の駆動手投（７，２７，２８）とを有するガルバノミラー１において、支持手段６は可動部２の回転中心Ｇ近傍に配置し、第１の駆動手段（８，２７，２８）および第２の駆動手段（７，２７，２８）は、可動部２の回転中心Ｇに対して、第１の軸Ｙの延在方向に配置する。 （もっと読む）

本発明は、圧電セラミック材料製の第一層（１）および第二層（２）と、圧電セラミックに印加された少なくとも一の電圧に応じてミラーの少なくとも一つの曲率を変化させる少なくとも一個の電極とを含んでなるバイモルフミラーに関する。本発明のミラーは、第一（１）および第二（２）の層が、半剛性の梁を形成する、ガラスまたはシリカ等の材料からなる中央コア（５）により分離されていることを特徴とする。
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【課題】レーザーシステムにおける偏向装置のためのミラー、その製造方法およびレーザーシステムのための偏向装置を提供する。
【解決手段】レーザー加工システムにおけるガルボ偏向装置（３，４）のミラー（４２）は、ダイヤモンド素材から造られるミラー基板（１０）を有する。また上記ミラー基板は、小さいダイヤモンド部分を接合してもよい。
このダイヤモンドから造られるミラー基板（１０）は剛性が高く、従来型ミラー基板（３２）と比較して剛性が高く、かつ厚み（ｄ２）が小さく、従って、レーザーシステムにおける加工速度を高めることができる。 （もっと読む）