【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】金属材料からなる板材をプレス加工することにより、梁３をねじり回転軸として往復振動する、金属材料からなる振動子が成形される。次いで、当該振動子にミラーが固定される。そして、梁３の支持端部を一部除去する形状加工により梁３のばね剛性を変更し、共振周波数が調整される。ここで、梁３の支持端部とは、振動子と一体に成形された枠体２と梁３との接続部および上記ミラーを支持する支持部と梁３との接続部の双方を指す。これにより、振動ミラーの共振周波数を容易に調整することができる。また、必要に応じて、上記支持部が備える共振周波数調整片の一部または全部を除去することにより慣性モーメントを変更し、共振周波数を粗調整してもよい。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーおよび当該振動ミラーを使用したレーザスキャニングユニットを提供する。
【解決手段】梁をねじり回転軸として往復振動する、プレス加工により成形された金属材料からなる振動子と、当該振動子に支持されたミラー５とを備える振動ミラーにおいて、振動子が、同一プレス方向のプレス加工により成形された、ミラー５を支持する支持部４を備える。支持部４のプレス加工方向の上流側の面には、当該面外に一部が突出する状態でミラー５が支持される。また、支持部４のプレス加工方向の下流側の面内には、永久磁石６が配置される。これにより、プレス加工によるバリの有無に関わらず、ミラーと永久磁石とを常に同一の状態で支持部に固定することができる。 （もっと読む）

【課題】印加電圧の極性による変位量の差を低減し、良好な誘電特性を有する圧電素子、およびこれを製造する方法、さらに、これを用いた圧電応用デバイスを提供する。
【解決手段】基板６と、この基板６上に配置された金属層７と、この金属層７上に配置された誘電体膜８と、この誘電体膜８上に接着層９を介して配置された誘電体膜１０と、この誘電体膜１０上に配置された金属層１１を備え、誘電体膜８、１０は、接着層９との接合面に近づくにつれて結晶の配向性が高くなるものとした。これにより、圧電素子全体としては、印加電圧の極性による電圧−変位特性の差が低減できる。 （もっと読む）

【課題】揺動板の駆動部を含む周辺部に損傷を与えず、精度良く揺動板の質量を調整することができ、揺動体装置を製造することが可能となる揺動体装置の製造方法等を提供する。
【解決手段】揺動板を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置の製造方法であって、
前記揺動板として、該揺動板に延設部を形成し、該延設部の一部をレーザー光の照射により切断することによって該揺動板の質量を調整する延設部による周波数調整工程と、
前記揺動板を固定基盤に固定する揺動体部組立工程と、
前記揺動板を駆動させる駆動部を固定基盤に固定する駆動部組立工程と、
を有し、少なくとも、前記各工程中における前記駆動部組立工程を、前記延設部による周波数調整工程の後に実施する。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れるとともに、所望の振動特性を有するアクチュエータを提供すること、かかるアクチュエータを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、枠状をなす支持部２９と、この枠状をなす支持部２９の内側に設けられた光反射部２２１を有する可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持するように支持部２９と可動板２２とを連結する２組の連結部２０、２１とを有し、連結部２０は一対の弾性部材２５、２６を有し、連結部２１は一対の弾性部材２７、２８を有するものであって、弾性部材２５〜２８上には接合膜３を介して圧電素子５１〜５４が接合されている。この接合膜３は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】接合膜を介して接合される部材の構成材料によらず、気密性に優れた閉空間にデバイスを収納してなる封止型デバイスを効率よく製造可能な封止型デバイスの製造方法、およびかかる封止型デバイスの製造方法により製造された信頼性の高い封止型デバイスを提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、２自由度振動系を有する基体２と、支持体３、４とを有している。そして、基体（第２の構造体）２と支持体（基材）３とが接合膜８１を介して、基体２と支持体（基材）４とが接合膜８２を介してそれぞれ接合されている。この各接合膜８１、８２は、シロキサン結合を含むランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものであり、これらのエネルギーを付与したことにより、脱離基がＳｉ骨格から脱離し、各接合膜８１、８２に発現した接着性によって基体２と支持体３および基体２と支持体４が接合されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るとともに設計自由度を向上させつつ、プロジェクタ等の画像形成装置用の光スキャナに適した光走査を実現することができる光学デバイスおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】各第１の軸部材２３、２４の捩れ変形を伴って駆動部材２２を第１の軸線Ｘまわりに回動させることにより、可動板２５を第１の軸線Ｘまわりに回動させるとともに、各第２の軸部材２６、２７の捩れ変形を伴って可動板２５を第２の軸線Ｙまわりに回動させる光学デバイス１において、各第１の軸部材２３、２４は、駆動部材２２の構成材料と異なり、かつ、各第２の軸部材２６、２７の構成材料よりも剛性の低い材料で構成されるとともに、駆動部材２２に対し接合膜を介して接合されており、接合膜は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、該Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含む。 （もっと読む）

【課題】可動板の撓みを抑制し、所望の回動特性を発揮することのできるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、可動板２１を回動可能に支持する支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の連結部２３、２４とを有し、１対の連結部２３、２４を捩り変形させつつ可動板２１を回動させるよう構成されている。さらに、アクチュエータ１は、可動板２１の回動により発生する慣性力を相殺して可動板２１の撓みを抑制する撓み抑制手段５を有している。 （もっと読む）

【課題】従来のレーザ光用光学ミラーにおいては、Ａｕ膜もしくはＡｇ膜あるいはＡｕ膜もしくはＡｇ膜の上にさらに増反射膜もしくは表面保護膜が形成されていたが、Ａｕ膜もしくはＡｇ膜はレーザ光用光学ミラーを凹面形状に変形させるため好ましくなく、また、増反射膜にて凸面形状に変形させた構成ではレーザ耐力を低下させるという問題があった。
【解決手段】基材層と、基材層の上に形成され基材層を凸面形状に変形させる応力調整膜と、この応力調整膜基材の上に形成された反射膜を有するミラー基板を用い、レーザ耐力を低下させることなく、基材層の変形を抑制したレーザ光用光学ミラーを実現する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、装置の小型化および低コスト化を図るとともに、スクリーンの形状に影響を受けずに優れた画像表示特性を発揮できる画像表示装置を提供すること。
【解決手段】画像表示装置１は、光を走査する光走査手段５と、光走査手段５によって光が走査される光走査面３２を有するスクリーン３とを有している。光走査手段５は、光を出射する光源ユニット（光出射部）５４と、光源ユニット５４から出射した光を反射する光反射部５３１ｅを備えた可動板５３１ａが回動可能に設けられたアクチュエータ５３と、アクチュエータ５３を回動中心軸Ｊと平行な線分に対して直交するＺ軸まわりに回転可能に支持する回転体５１とを有している。画像表示装置１は、回転体５１を回転させつつ可動板５３１ａを回動させることにより、光反射部５３１ｅで反射したレーザ光を光走査面３２に２次元的に走査するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】偏向面の汚れや歪みを予防しつつ、共振周波数の調整を確実に行うこと。
【解決手段】レーザビームを偏向する偏向面５０を有する偏向子２と、偏向子２を駆動するための駆動子３と、偏向子２と駆動子３とを連続的且つ一体的に接続するねじりバネ６、７と、が形成されるプレート部材１を有する光偏向装置２１において、駆動子３は棒状部材５を有し、棒状部材５は、偏向子２の偏向面５０と平行な平面内において駆動子３の外形から突出していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の軽量化を実現しつつも当該ミラー部の実用上必要な強度や剛性を確保する。
【解決手段】光源からの光を走査光として反射するミラー部を備え、当該ミラー部の中央部の膜厚が当該ミラー部の周辺部の膜厚よりも薄くなるよう形成されたマイクロミラー装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】光走査装置に使用される圧電素子に水分が浸入して、電極が劣化することを防止する保護層を、製造工程を増加させないで形成する。
【解決手段】揺動可能な反射部１を備える可動部と、可動部を保持する固定部５と、可動部の一部と固定部５の一部に跨って設置される圧電素子７と、固定部５が設置される筐体９とを備える光走査装置２５の製造方法において、圧電素子７に保護層１７を形成する保護層形成工程と、固定部５を筐体９に接着する接着工程とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を調整するに当たり、可動部の質量を調整するための質量調整剤を、精度良く可動部に付加することが可能となる揺動体装置及びその製造方法、該揺動体装置を用いた光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動部を備え、該可動部を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置であって、
前記可動部は、該可動部の質量を調整する質量調整剤を付加する付加領域を備えると共に、該付加領域の表面は周辺よりも前記質量調整剤とのぬれ性が高く構成され、
前記付加領域への質量調整剤の付加によって、前記可動部の共振周波数が調整可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を精度良く調整することが可能となる揺動体装置及びその製造方法、該揺動体装置を用いた光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持体に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された揺動体を備え、該揺動体を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置であって、
前記揺動体は、該揺動体の質量を調整する質量調整体を付設する側壁を有し、該側壁への前記質量調整体の付設によって、前記揺動体の共振周波数が調整可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】プレーナ型電磁アクチュエータの製造コストを上昇させることなく、可動板の大型化を可能にする電磁アクチュエータ構造を提供する。
【解決手段】可動板１０を、駆動コイル４を形成したフレキシブルシート１１、剛体の回動板１２及びミラー板１３で構成し、回動板１２中心部の第１の溝部１２ａにトーションバー３の中央部３ｂを貼り付け、トーションバー３の軸部３ｃを回動板１２の第２の溝部１２ｂ内で浮遊状態とする。回動板１２の上面にミラー板１３を組付け、駆動コイル４を形成したフレキシブルシート１１を回動板１２の下面に貼り付けて可動板１０を組み立てる。これにより、可動板１０の中心部にトーションバー３が連結し、可動板１０の下側にトーションバー３を潜り込ませるようにした。 （もっと読む）

【課題】共振特性の調整幅が比較的大きく、温度変化等による共振特性の変動を十分に抑えることが可能なＭＥＭＳデバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス１は、上層基板２と下層基板３とを具備し、上層基板２は、可動電極２８を有する揺動部２Ａと、固定電極２９を有する固定部２Ｂ、２Ｃとを有し、揺動部２Ａは、固定電極２９と可動電極２８との間に交流電圧が印加されることによって揺動する。下層基板３は、揺動部２Ａの所定範囲内での揺動を妨げないように揺動部２Ａの下方に形成された凹部３１を備え、凹部３１を区画する揺動軸ｘと直交する方向の内側壁面３２に、補助電極層４が形成されている。補助電極層４が形成される内側壁面３２は、可動電極２８と固定電極２９とが略同一平面上に位置するとき、可動電極２８に対する最短距離が凹部３１を区画する内底壁面３３との最短距離よりも短くされている。 （もっと読む）

【課題】極めて効率的に共振周波数を調整することができ、かつ、優れた振動特性を発揮可能な振動系を提供することができる共振周波数調整装置および共振周波数調整方法を提供すること。
【解決手段】共振周波数調整装置１は、可動板６１１を備える振動系６０の共振周波数を測定する測定手段２と、可動板６１１の板面上にレーザ光を照射し、可動板６１１の一部を除去するレーザ光照射手段４と、測定手段２の測定結果に基づいて、可動板６１１の板面上におけるレーザ光の照射位置と、当該照射位置に照射するレーザ光の強度と、レーザ光の照射時間との組み合わせを求め、それを実行するようにレーザ光照射手段４の作動を制御する制御手段３とを有し、可動板６１１の板面上にレーザ光を照射し、可動板６１１の一部を除去することで可動板６１１の回動中心軸Ｘ_１まわりの慣性モーメントを減少させ、振動系６０の共振周波数を調整するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】極めて効率的に共振周波数を調整することのできる共振周波数調整装置および共振周波数調整方法を提供すること。
【解決手段】共振周波数調整装置は、アクチュエータ６の共振周波数を測定する測定手段２と、アクチュエータ６の可動板６１１の板面上に、樹脂材料を含む液体の液滴を付与する液滴付与手段４と、測定手段２の測定結果に基づいて、可動板６１１の板面上における液滴の付与位置および当該付与位置における液滴数の組み合わせを求め、それを実行するように液滴付与手段４を制御する制御手段３とを有し、可動板６１１の板面上に液滴を付与した後、それを硬化または固化させて、可動板６１１の回動中心軸Ｘ_１まわりの慣性モーメントを増加させ、アクチュエータ６の共振周波数を調整するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】固定部材に取り付ける際、その取り付け姿勢を精度良く確実に確立することができる振動素子、振動素子を備える装置を提供することである。
【解決手段】振動素子は、振動体101と、振動体101を可動に支持する弾性支持部102と、弾性支持部102を支持する第一支持枠103と、間隔を隔てて弾性支持部102に沿って延在して第一支持枠103より伸びる第二支持枠104を有する。第二支持枠104は、第一支持枠103に対して片持梁形状で設けられる。 （もっと読む）