【課題】耐衝撃性に優れたアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持する弾性変形可能な１対の軸部材２３、２４と、各軸部材２３、２４を変形させながら可動板２２を回動させる駆動手段と、可動板２２および／または軸部材２３、２４が所定量以上変位したときに可動板２２および／または軸部材２３、２４に接触して、可動板２２および軸部材２３、２４の変位を所定範囲内に規制する規制部材６１、６２、６３とを有し、規制部材６１、６２、６３は、高分子材料を主材料として構成されている。 （もっと読む）

【課題】製造誤差に拘わらず、周波数の限られた一定量の範囲内で、ねじりばねと平面鏡を含むねじり振動鏡の光偏向に伴う周波数を正確に、かつ効率よく調整し、画像の取得・表示、光の擾乱によるセンシング量の誤差の低減することができるねじり振動鏡の調整方法、及びその調整方法を適用したねじり振動鏡を提供すると共に、そのねじり振動鏡を適用し、光偏向の周波数を調整することができる光偏向器、その光偏向器を用いた眼科装置、距離測定装置を提供する。
【解決手段】ねじりばね１１２と、平面鏡１１０と、ねじり角（ミラー角度θ）がゼロになる位置でトルクの角度依存が増加あるいは減少するアクチュエータＢ１とを備えるねじり振動鏡の調整方法において、バイアス駆動を行うことにより、ねじり振動鏡の振動周波数を調整するようにしている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板をＸ軸およびＸ軸に直交するＹ軸のそれぞれの軸まわりに回動させることのできる光学デバイス、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、光反射部２１１を備える可動板２１と、支持部２２と、１対の連結部２３、２４と、可動板２１をＸ軸まわりに回動させる第１の駆動手段５と、可動板２１をＹ軸まわりに回動させる第２の駆動手段６とを有し、第２の駆動手段６は、支持部２２を可動板２１とともにＹ軸まわりに回動させる圧電素子６１〜６８を備え、圧電素子６１〜６８のそれぞれは、Ｙ軸から離間した位置で、かつ、可動板２１の厚さ方向へ伸縮するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】歩留まりの低下を防止できる低コストの光走査装置及び画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光スキャナ２０４は、光を反射する反射ミラー部２２２を第一の揺動軸周りに揺動させることにより光を水平方向に走査する水平走査モジュール２０６と、第一の揺動軸周りとは異なる第二の揺動軸周りに水平走査モジュール２０６を揺動させることにより光を垂直方向に走査する垂直走査モジュール２０８とが別体に構成され、水平走査モジュール２０６が垂直走査モジュール２０８に装着可能とした。 （もっと読む）

【課題】省電力化および小型化を図りつつ、質量部の回動角を大きくすることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】支持部２２は、第１の質量部２１の外周を囲むように枠状をなし、第１の質量部２１を駆動する駆動手段は、第１の質量部２１の回動中心軸Ｘから離間した位置で第１の質量部２１に設けられた強磁性体２９１と、第１の質量部２１を平面視したときに強磁性体２９１の外周を囲んで周回するように第１の質量部２１の回動中心軸Ｘおよび支持部２２に沿って形成されたコイル２８と、コイル２８に電圧を印加する電源回路５とを備え、電源回路５の作動により、コイル２８が磁界を発生させ、コイル２８に対し強磁性体２９１を変位させて、第１の質量部２１を回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】省電力化および小型化を図りつつ、大きい回動角を有する光学デバイス、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光反射部６を備える質量部２１と、支持部２４と、１対の弾性部２２、２３と、質量部２１を回動させる駆動手段とを有し、駆動手段を作動させることにより、弾性部２２、２３を捩れ変形させながら、質量部２１を回動させ、光反射部６で光を走査するように構成された光学デバイスであって、駆動手段は、質量部２１に設けられ、該質量部の面に直角な方向に磁化された磁性部４１と、非駆動状態の質量部２１の平面視にて、質量部２１を介して、その回動中心軸Ｘに直角な方向に対向するように設けられた１対の磁極５１１、５２１を備えた磁界発生手段とを有し、磁界発生手段が、１対の磁極５１１、５２１間に磁界を発生させることで、質量部２１を支持部２４に対して回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 高速で動作が可能なビームスキャナを提供する。
【解決手段】 支持部材に支持された回転軸と、回転軸側面の一部領域に対向配置され、支持部材に固定されたヨークであって、回転軸側面への対向面から回転軸へ突出し、回転軸の回転方向に並ぶように配置された一対の磁極を含むヨークと、回転軸に固定された反射鏡と、回転軸が回転方向に関し中立位置に静止している時、ヨーク側側面に回転方向に並ぶように配置され、回転軸径方向に磁化された複数の永久磁石と、磁極に巻かれたコイルを有し、一対の磁極は、中立平面に関し対称関係になるよう配置され、複数の永久磁石及びその極性の向きは回転軸が中立位置に静止しているときに、中立平面に関し対称関係になるように配置されており、コイルは中立平面に関し対称位置に配置される磁極の回転軸側端部が反対極性に励磁されるよう巻かれているビームスキャナを提供する。 （もっと読む）

有限回転モータシステムにおいて使用するためのミラーマウント組立体が開示される。ミラーマウント組立体は、形状記憶材料より形成されるカラーと、このカラーにより加えられる半径方向力の下で有限回転モータのテーパ状出力シャフトに結合するテーパ状ベースを含むマウントユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】ミラーのサイズが大きく、大きい駆動角度を有しながらも動的変形量が少なく、高解像度の画質を具現することができるミラー構造およびこれを含む光スキャナを提供すること。
【解決手段】光源を走査するスキャナのミラー構造（１００）において、光源を反射し、振動可能なミラー（１１０）と、ミラー（１１０）を支持し、ミラー（１１０）の振動時に中心軸になる回動軸（１２０）と、ミラー（１１０）の背面に突出形成され、回動軸（１２０）に対して垂直に形成された複数の垂直リブ（２１０）と、回動軸（１２０）と一定の離隔距離を有し、垂直リブ（２１０）に対して垂直に形成された水平リブ（２２０）と、を含むことを特徴とする、ミラー構造が提供される。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動が可能で、かつ、高い信頼性を有する安価なアクチュエータを得ることができるアクチュエータの製造方法すること、また、低電圧駆動が可能で、かつ、高い信頼性を有する安価なアクチュエータを提供すること。
【解決手段】基板５を加工して基体２を形成するとともに、強誘電体材料を主材料として構成された強誘電体３２Ａを空間（凹部２９）に配するように基板５と支持体３とを接触させつつ、これらに電界を印加しつつ加熱することにより基板５と支持体３とを接合する第１の工程と、強誘電体３２Ａに電界を印加することにより分極処理を施して、圧電体３２を得る第２の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】内部に発生するモーメントから特定の高周波成分を除去する低域通過フィルタを機械的に構成することにより、比較的簡単な構造で更なる高精度を獲得できるアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明によるアクチュエータでは、外部ジンバルが、外縁に連結された第１軸と平行な軸の周りに回転振動可能である。外部ジンバルには駆動コイルが形成され、外部磁場と電流との変動に応じてモーメントを外部ジンバルに発生させる。外部ジンバルの内側には内部ジンバルが配置され、連結軸で外部ジンバルの内縁に連結されている。連結軸は第１軸と同じ方向に延びている。内部ジンバルは連結軸と平行な軸の周りに回転振動可能である。内部ジンバルの内側にはミラーが配置され、第２軸で内部ジンバルの内縁に連結されている。第２軸は連結軸に対して垂直である。振動体は第２軸と平行な軸の周りに回転振動可能である。 （もっと読む）

【課題】一対の電極のみを用いて揺動部材の揺動周波数及び機械的共振周波数を個別に制御可能な静電容量型ＭＥＭＳアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明に係るＭＥＭＳアクチュエータ１００は、基板に対して揺動可能に支持された揺動部材１１と、該揺動部材１１を静電力を利用して揺動駆動するための一対の電極１８、１９とを具備するＭＥＭＳデバイス１と、前記ＭＥＭＳデバイス１が具備する前記一対の電極１８、１９間に電圧を印加する電源手段２とを備えている。前記電源手段２は、パルス電圧を前記一対の電極１８、１９間に印加すると共に、前記パルス電圧のデューティ比を変更可能に構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造工程数が少なく製造コストの安価な電磁アクチュエータを提供する。
【解決手段】枠状の支持部１１と、可動部１３と、可動部１３を揺動可能に軸支する一対のトーションバー１２，１２とを半導体基板で一体形成し、可動部に駆動コイル及び反射ミラー１５を備え、可動部１３のトーションバー１２，１２と平行な両対辺部の駆動コイル部分に静磁界を作用させる一対の永久磁石１７，１７を備え、駆動コイルの一対の電極端子１６Ａ，１６Ｂを支持部１１に設ける電磁アクチュエータ１０において、一方の電極端子１６Ａの接続端１６ａと可動部１３上のコイルパターン終端のコンタクト部１４ａとを、反射ミラー形成時に導通させることで、反射ミラー１７が駆動コイルの一部を兼ねる構成とした。 （もっと読む）

【課題】環境温度が変化しても振れ角の変動が少なく、また、共振周波数のばらつきによる振れ角のばらつきが少ない。
【解決手段】第１の固定電極５１、５２を、絶縁層４８を介して第２の固定電極５３、５４と接合する。駆動信号の周波数と、ミラー４４の慣性と梁４５の捻りバネ定数で定まる共振周波数を比較し、駆動周波数が共振周波数より大きい場合、第１の固定電極５１、５２に駆動信号を印加し、可動電極４６と第１の固定電極間に作用する静電気力によりミラーを振動させ、駆動周波数が共振周波数より小さい場合、第２の固定電極５３、５４に駆動信号を印加し、可動電極４６と第２の固定電極間に作用する静電気力によりミラーを振動させる。 （もっと読む）

【課題】安定した駆動を行うことができる光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、光反射部２３１を有し、回動可能に設けられた第２の質量部２３と、第２の質量部２３を駆動する駆動手段とを有し、この駆動手段が第２の質量部２３を回動させることにより、光反射部２３１で反射した光を対象物に走査するものであって、第２の質量部２３を冷却する冷却手段１０を有する。本発明は、駆動手段が第２の弾性連結部２６を捩れ変形させながら、第２の質量部２３を回動させるものに好適に用いることができる。 （もっと読む）

本明細書内において、小型の作動可能なプラットフォームシステムに関するシステム、方法、及び装置が提示される。一実施形態によれば、該システム、方法、及び装置は、小型ミラーを含む制御可能に作動させられる小型プラットフォームアセンブリに関する。
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前駆体オブジェクトをユニタリセラミックオブジェクトに変換するためのプロセスは、例えば、少なくとも２つの部片から形成される例えばセラミックの光学走査ミラーを製造する。光学セクションが少なくとも１つの光学表面と少なくとも１つの付着表面とを有し、支持セクションが少なくとも１つの付着表面を有し、また好ましくは取付け区域を有する。光学セクション及び支持セクションは、選択された支持セクションが様々なサイズ、形状、又は方向を有する複数の光学セクションのいずれをも受け入れるように、グラファイトなどの前駆体の材料から個別の部片として形成される。ミラーを形成するために、付着表面を互いに隣接して置き、次いでこれらのセクションを炭化珪素などのセラミック材料に同時に変換し、モノリス走査ミラーを形成する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を高速、且つ、大振幅で動かすこと可能な安価なチルトミラー素子を提供する。
【解決手段】ミラー面２ａにおいて光ビームを反射することにより光ビームの光路を切り替えるミラー部２と、ミラー部２の外周部に形成された支持フレーム部３と、支持フレーム部３に対しミラー部２を移動及び位置保持するねじれヒンジ部４と、ミラー部２の側壁部分とこの側壁部分と対向する支持フレーム部３の側壁部分とに噛み合うように設けられ、電圧が印加されることにより発生する静電力を利用してミラー部２を揺動する可動コム電極５ａ及び固定コム電極５ｂと、ミラー面２ａと対向する位置に設けられ、電圧が印加されることによりミラー部２との間に発生する静電力を利用してミラー部２を揺動する一対の平板固定電極８ａ，８ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】 反射ミラーを可動させる光スキャナにおいて、従来の光スキャナと異なり、反射ミラーと平面コイルとを一体形成することなく電磁石と磁気回路構成部材を用いて反射ミラーを可動させる構成とすることにより、小型化及び軽量化を図った光スキャナを提供する。
【解決手段】 光スキャナは、反射ミラー１を有するミラープレート２を含むミラーブロック１６と、このミラーブロック１６を駆動する電磁石１９を備える。ミラーブロック１６は、永久磁石１２の上部に設けられた磁性体からなる磁性体支柱１７に枢支される。反射ミラー１は、コイル１４に交流電流が流れることにより発生する電磁石１９の磁束の影響を受けて突起１８を枢支点としてシーソー運動を行う。反射ミラー１と平面コイルを一体形成することなく反射ミラー１をシーソー運動させることができるため、光スキャナの小型、軽量化を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】生産で発生するバラツキを簡単かつ正確に調整可能であり、外乱や経時変動に対して安定な正弦振動型の光偏向器の共振周波数調整方法の提供。
【解決手段】高出力レーザの照射により梁部材２０（トーションバー）の長さを長くすることによって共振周波数を下げ、反射偏向ミラー２４の慣性モーメントを小さくすることで共振周波数を上げるように調整する。これにより、高出力レーザの照射箇所を変えるだけで共振周波数の上げ下げが可能となり、一旦所定の箇所に固定した光偏向器１２を移動させることなく共振周波数の調整を行うことができる。 （もっと読む）