【課題】例えば、１つ又は複数の放射ビームの波長の公称値からのずれによってもたらされる１つ又は複数の問題を緩和し又は最小化することができるリソグラフィシステムを提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、複数の放射ビームを基板に投影する投影系を有しており、複数の放射ビームは、第１波長範囲内の放射から形成される第１の１つ又は複数の放射ビームのグループと、第１波長範囲と異なる第２波長範囲内の放射から形成される第２の１つ又は複数の放射ビームのグループと、を備える。また、本装置は、第１のグループの１つ又は複数の放射ビームが第２のグループの１つ又は複数の放射ビームと異なる角度で分散素子に入射し、かつ分散素子から出力される第１及び第２のグループの１つ又は複数の放射ビームが実質的に平行であるように構成されている分散素子を備える。 （もっと読む）

【課題】走査ビーム装置の較正
【解決手段】光源と、前記光源から光を受け取り、走査パターン内の、感光性位置センサでない較正パターン上でビームを走査するための走査光学素子と、前記較正パターンから後方散乱される光を前記走査パターン中の異なる時点において検出するための光検出器と、前記異なる時点の各々において検出された前記後方散乱光を、対応するそれぞれの時点に関する前記ビームの予想される位置で表すことにより、前記較正パターンの画像を生成するための画像生成論理回路と、前記較正パターンの前記生成画像を前記較正パターンの表示と比較するための比較論理回路と、を含むことを特徴とする装置。 （もっと読む）

【課題】消費電力の増加、偏向角や走査性能の低下を招くことなく、振動や衝撃による故障、破損を抑制できるマイクロスキャナを提供する。
【解決手段】可動部２と、可動部２を囲む固定枠１と、可動部２を揺動可能に支持する主軸部３と、可動部２又は主軸部３に変位を与える変位部４とを有し、変位部４のＺ方向の変位を規制する規制部６０を備えているマイクロスキャナＯＳ。 （もっと読む）

【課題】走査動作中、迅速に連続的にいくつかのオブジェクトを走査することが可能なバーコード・スキャナ及び画像ベースのバーコードの走査方法を提供する。
【解決手段】画像に焦点を合わせるためのレンズ・アレイと、撮像素子であって、異なる焦点距離に位置する画像が、前記レンズ・アレイの異なる部分上に入射するように、前記レンズ・アレイにより画像が、前記撮像素子上に合焦するように、前記レンズ・アレイに対して配置され、配向される撮像素子と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの加工面の凹凸を精度よく認識し、予め設定されたスポットのレーザ光を加工面に照射して加工面を加工する。
【解決手段】カメラ７のエリアイメージセンサ７０は、ワークＷの加工面Ｗ１の所定位置に合わせ、カメラ７の受光レンズ７１を初期位置に移動させた状態、その後の受光レンズ７１が移動する度に、ガルバノミラー２ａ，２ｂを通して加工面Ｗ１を撮像する。カメラ７とともに距離センサ５を構成する演算部８は、エリアイメージセンサ７０の最大出力を抽出する。演算部８は、最大出力となるときの受光レンズ７１とエリアイメージセンサ７０との間の光路長を検出し、上記光路長と受光レンズ７１の焦点距離とを用いて、ｆθレンズ３から加工面Ｗ１までの距離を算出する。制御部６は、演算部８の測定結果を用いて、レーザ光源１から出射され予め設定されたスポットのレーザ光が加工面Ｗ１に照射されるように焦点調整手段４を制御する。 （もっと読む）

【課題】構造が単純であって小型化が容易な表示装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源と、前記レーザ光源から照射されるレーザ光を屈折させる屈折手段と、前記屈折手段を駆動することで屈折後の前記レーザ光を走査する走査手段と、を有することを特徴とする表示装置。 （もっと読む）

走査ミラーを直交する２つの軸に沿った移動させるために、該走査ミラーの２つの側面に隣接して２つのコイルが配置されている二次元ガルバノメータスキャナを開示する。ボールホルダと金属ボールが、走査ミラーまたは二次元に移動する他の光学素子を許容するためにボールと軸受接続を実行するのに使用されるとよい。 （もっと読む）

【課題】走査レンズの移動量が大きくても、装置の構成を大型化したり、支持部材の剛性低下で支持が不安定になったり、給電部の抵抗値が大きくなったりしない小型で高性能なスキャナ装置を提供することである。
【解決手段】車載用測距装置のスキャナ装置は、走査レンズ３０を備えた可動部１０のホルダと、該ホルダを走査レンズ３０の光軸に垂直な２方向に移動可能に支持するワイヤバネ７０ａ〜７０ｈと、上記ホルダを駆動するためのホルダに固定されたエレベーションコイル１９ａ〜１９ｄとアジマスコイル２０ａ、２０ｂを少なくとも備えており、光による障害物の検知を行う。上記ワイヤバネ７０ａ〜７０ｈは直線形状であって８本で構成され、上記エレベーションコイル１９ａ〜１９ｄとアジマスコイル２０ａ、２０ｂの一部または全部への電流を流すための、並列接続された配線として使用される。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ光量を用いて、温度変化よるＬＥＤの特性変化及びそれによる位置検出精度への影響について考慮した車載用レーダ装置に用いられるスキャナ装置を提供することである。
【解決手段】レーザダイオード１３より発生した光線を対象物に向けて照射し、アクチュエータ３４に連動した投光レンズ３３が移動して上記光線の方向を変える。また、ＬＥＤ２５により発光した光をスリット２６ａによって絞り、該スリット２６ａを通過する光の位置をＰＳＤ２７で検出して、上記投光レンズ３３の位置を検出する。投光レンズ３３は駆動部２１により移動され、ＰＳＤ２７が設置された環境の温度を検出する。温度センサ１５では、上記ＬＥＤ２５の温度を検出し、その検出された温度に基づいて、ＤＳＰから上記レーザダイオード１３に供給する電流を制御する。 （もっと読む）

【課題】 レーザーダイオードから放射されるレーザー光の照射方向を制御するレーザー光放射器を提供する。
【解決手段】 レーザー光を放射するレーザーダイオード１と、該レーザーダイオード１から放射されるレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を合焦点に結像させるフォーカスレンズ２と、前記フォーカスレンズ２にて結像されたレーザー光が入射されるとともに略平行光である走査用レーザー光に変換する照射レンズ３とより成り、前記フォーカスレンズ２を光軸に対して直角方向に変位させることによって走査用レーザー光の照射方向を変更するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 レーザーダイオードから放射されるレーザー光の照射方向を制御するレーザー光放射器を提供する。
【解決手段】 レーザー光を放射するレーザーダイオード１から放射されるレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を平行光に変換するレンズ３を光軸に対して直角方向で、且つ互いに直角関係にあるＸ方向及びＹ方向へ変位させることによってレーザー光の放射方向を変更するように構成し、レーザー光の光路内にビームスプリッタ８を設け、該ビームスプリッタ８にて分離されたレーザー光を光検出器９に照射し、該光検出器９にて得られる信号によってＸ方向及びＹ方向の位置を制御するとともにレーザーダイオード１から放射されるレーザー光の出力を制御するように構成されている。 （もっと読む）

紫外及び／又は深紫外波長についての光走査装置のための対物レンズ系について開示している。前記対物レンズ系は非球面を有する少なくとも１つのガラス構成要素を有する。少なくとも１つのガラス構成要素は、紫外及び／又は深紫外波長についての低吸収係数及び低軟化点を有するガラス材料から成る。

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【課題】画像操作装置で、目標物の焦点が素早く変化する場合に、走査前に測定されるポイントが多数必要となり装置の生産性を著しく低下させている。
【解決手段】目標物の第１の部分は、名目上のフォーカスレベルで走査されて、対応する画像情報を得る。前記目標物の１つまたは複数の別の部分が、１つまたは複数の各々の別のフォーカスレベルで走査されて、対応する画像情報を得る。次いで、フォーカスパラメータは、各々の前記画像情報を使用して、名目上および１つまたは複数の別のフォーカスレベルの各々に関して計算される。次いで、前記目標物の第１および別の部分の各々に共通の焦点位置は、計算された前記フォーカスパラメータを使用して予測される。 （もっと読む）