【課題】基板での光干渉に起因する透過光量のノイズを低減し、高精度の膜厚制御を実現する。
【解決手段】成膜時に基板を自転させなくても良好な膜厚均一性が得られるカルーセル型のスパッタ装置を用いるとともに、基板１８の成膜面１８Ａに対して基板裏面１８Ｂが所定角度で傾斜している形状の基板を用いる。成膜面１８Ａに対する基板裏面１８Ｂの傾斜角θは０°＜θ≦２°が好ましく、基板１８の最も厚い部分または最も薄い部分が基板ホルダーの上下方向になるように基板を固定する。また、投光部から出射した光が成膜面１８Ａで当該成膜面１８Ａと垂直になるように光軸を調整することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 入射する光の角度の違いにより透過率特性が変化しにくく、また、基板との貼り合わせ構成を必要とせずに厚みの薄い光学薄膜が成膜された光学素子及び光学機器を提供すること。
【解決手段】 基板２２と該基板２２の面上に複数の層が形成された光学薄膜２１とを有する光学素子２０であって、前記光学薄膜２１が、前記基板よりも屈折率が低い材料からなる低屈折率層と、少なくとも１層が酸化物を主成分とした材料からなるとともに前記低屈折率層よりも屈折率が高い高屈折率層とを備え、前記低屈折率層と前記高屈折率層とからなる前記光学薄膜２１の少なくとも１層にＣｕ，Ｆｅ，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｃｏ，Ｎｉの少なくとも１種類の金属イオンを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

薄い被覆層としてシート、たとえば包装シートに被着されるファブリ・ペローフィルタは、関心を引く色効果を得ることができる。本発明は、フィルタの両反射層がアルミニウムから成りかつ両反射層の間の中間層が酸化アルミニウムから成る被覆層の層構造を提案している。このような被覆層の光学的な特性は、中間層として二酸化ケイ素化合物が使用される従来既知の被覆層に類似している。しかし、さらに、本発明による層構造は、フィルタを、ただ１つの蒸発装置を備えた真空被覆設備において１回の作業工程で形成することができるという利点を有している。
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光学スタック注の亜化学量論的酸化物、窒化物または酸窒化物は、単独で、または１つまたは２つの安定化層と接して、光学スタックの光学特性を安定化させる。安定化層は、加熱中亜化学量論層の化学および光学特性を安定化させる。加熱中の亜化学量論層の光学特性の変化は、光学スタックの残りの光学特性に対抗する。
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本発明は、堆積工程中に基板 (72)に形成された薄膜被覆の選択された光学的特性を光学的に監視し、それに応答した堆積工程を制御する方法及び装置に関する。
一面では、本システムは、基板搬送器(70)、監視点(71)、検出器、逆反射したビームの選択された特性が測定される前に基板及び薄膜被覆を通じて薄膜被覆と基板によって送り返される電磁気ビーム(75)を反射する為の逆反射体(50)を包含している。
本システム及び方法は、測定されたビームのノイズ特性に対する信号を改善する。
本発明は、被覆、或いは、基板のアレー用のシステムに使用されてもよいし、また、特に堆積工程に適している。堆積工程では、基板は、堆積する材料の源を通り過ぎて変形し、そこでは、基板上の監視ビームの入射角は、基板がビーム源を通り過ぎて変形するように変化する。 （もっと読む）

ガラス基板（４１０）、ガラス基板に接合された単結晶シリコン層（４０２）、及び単結晶シリコン層の表面に形成された熱的に調整可能な薄膜光フィルタ（４２０）がある光デバイス。
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ＩＲカメラシステムには、アレイ状の熱チューナブル光学フィルタ画素と、ＮＩＲ源と、ＮＩＲ検出器アレイと、が含まれる。更に、ＩＲカメラシステムには、画像化対象シーンからのＩＲ放射線をアレイ状の熱チューナブル光学フィルタ画素に導くためのＩＲ光学系と、ＮＩＲ源からのＮＩＲ光をフィルタ画素及びＮＩＲ検出器アレイに導くためのＮＩＲ光学系と、が含まれる。ＮＩＲ源は、ＮＩＲ光をアレイ状の熱チューナブル光学フィルタ画素に導く。ＮＩＲ検出器アレイは、アレイ状の熱チューナブル光学フィルタ画素によって修正されたＮＩＲ光を受光し、また、ＮＩＲ検出器アレイが受光するＮＩＲ光に対応する電気信号を生成する。
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【課題】赤外透過防止誘電体多層膜を使用して小型化されたカラー画像取得装置において、色シェーディングの発生を抑制する。
【解決手段】ＣＣＤ撮像素子１３によりＲＧＢ画像信号を取得する際、Ｇ画像信号およびＢ画像信号の波長帯域をオンチップのＲＧＢ系フィルタ２７のＧフィルタおよびＢフィルタにより設定し、Ｒ画像信号の波長帯域の下限をＲフィルタにより設定し、上限を赤外透過防止誘電体多層膜１１により設定する。赤外透過防止誘電体多層膜１１の透過波長帯域は、膜への入射角度が大きくなり、ＣＣＤ撮像素子１３の光電変換素子の位置が受光領域の中心から離れるに従って短波長側にずれるため、Ｒ画像信号の波長帯域幅も狭くなる。Ｒフィルタの透過率を、対応する光電変換素子の位置が受光領域の中心から離れるに従って増加させ、波長帯域幅の減少分を補償する。 （もっと読む）

【課題】　小型カメラの集光レンズ等に用いられる赤外カットフィルタ付レンズをガラス製としたときに問題となるコストを低減することができる赤外カットフィルタ付レンズ及びその製造方法並びに小型カメラを提供する。
【解決手段】　一方の屈折表面が平面２１で反対側の屈折表面が凸面２２のガラス平凸レンズ２ａ、２ｃのいずれか一方の面に赤外線をカットする赤外遮断誘電体多層膜３を設ける。平板２５の表面に凸レンズの凸部２４が一体に設けられている多数個取りレンズ成形体２６をガラスで成形し、多数個取りレンズ成形体２６のいずれか一方の面に赤外遮断誘電体多層膜３を設け、誘電体多層膜３を設けた多数個取りレンズ成形体２６の平板２５の部分を凸部２４毎に切断する。得られた赤外カットフィルタ付レンズ１ｃを小型カメラの集光レンズとして用いる。 （もっと読む）

【課題】 逆光時や光源が画面内に存在する場合に、多層膜からなるＩＲカットフィルタが関与して画面内に赤く色付いたゴーストが発生する。
【解決手段】 多層膜からなる赤外カットフィルタ２１と、波長による選択的な透過性を有するカラーフィルタ６と、撮像素子７とを有する撮像光学系において、カラーフィルタ（６１）を５８０ｎｍから６５０ｎｍの波長域において透過率のピークを有するものとし、赤外カットフィルタにおける６００ｎｍ以上の波長域での透過率が波長増加方向にて初めて５０％となる波長の近傍域において、赤外カットフィルタの透過率よりもカラーフィルタの透過率が低くなるようにする。 （もっと読む）