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Fターム[2H048GA32]の内容

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【課題】 200nm未満のレーザシステムに用いられる素子において、表面/界面の粗さおよび不均一性を増加させずに、193nmで高反射率を達成する。
【解決手段】 基体20;各々が、高屈折率フッ化物材料の少なくとも1つの層40および低屈折率フッ化物材料30の少なくとも1つ層を含む、1つ以上の周期のフッ化物コーティング材料;および非晶質シリカ、非晶質FドープトSiO2、非晶質Al23ドープトSiO2、および非晶質NドープトSiO2からなる群より選択される少なくとも1つの層の非晶質SiO2材料50を含む素子。高屈折率フッ化物材料は1.65から1.75の範囲の屈折率を有し、低屈折率フッ化物材料は1.35から1.45の範囲の屈折率を有する。 (もっと読む)


【課題】小型化可能で、分波特性及び生産性に優れる光通信用フィルタ及びそれを用いた光通信用モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明に係る光通信用フィルタ100は、主面をxy平面としてx方向とy方向とに所定のピッチの周期的凹凸形状が、当該主面上に形成された基板101と、前記主面上に形成され、低屈折率膜107と高屈折率膜106とを交互に積層した多層膜とを備え、周期的凹凸形状が、前記ピッチ毎に複数の領域102、103、104に分割して基板101上に形成されたものである。高屈率折膜106の屈折率が2.5以上であり、かつ、高屈折率膜106と低屈折率膜107との屈折率比が1.6以上である。 (もっと読む)


【課題】回転により色を呈する構造化表面を提供する。
【解決手段】ピラミッド形構造物のアレイが基板上に、または基板内に形成された基板を有する光学的可変デバイスが開示される。これらの構造物は、光学的可変カラー・シフト・コーティングで被覆される。これらの構造物のそれぞれは、少なくとも3つの斜面を有するピラミッドのような構造物を形成し、基板に対して直交する軸の周りで基板が少なくとも30度回転されたとき、ピラミッドを観察したときに見える1つまたは複数の色が変わる。カラー・シフトを見るために、デバイスが、基板の表面法線の周りで回転され、一方、光源に対する入射角を同じに保ち、視角を同じに保つ。様々な形態のピラミッドを使用することができるが、平坦な面を有するピラミッドが最も好適である。 (もっと読む)


【課題】光源の波長が変化しても、視認される明るさを一定にする光学フィルタを提供する。
【解決手段】光学フィルタは、所定の波長帯域において、比視感度特性に反比例する分光特性を有している。この光学フィルタを半導体レーザなどの光源と利用者の目との間に配置することによって、光源から射出する光の波長が変化しても、視認する明るさを一定にすることができる。 (もっと読む)


【課題】従来型の平坦多層膜型波長フィルターの有していた、使用する膜材料の屈折率に起因する残留透過率及び透過波長帯から遮断波長帯に切り替わる遷移波長帯の幅の性能限界を打破することが可能な波長フィルターを提供することである。
【解決手段】3次元空間xyzにおいてz方向には屈折率の異なる材料からなる交互多層膜構造をなし、x方向には屈折率が周期pをもって周期的に変動しており、y方向には周期がq(q≧p)をもって周期的に変動している構造体からなり、z軸に平行に入射する光の真空中での波長をλとするときp≦λ、q>(λ/3)を満たすようにしたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】比較的高い反射率を示す反射帯域を有すると共に、その反射帯域の幅および中心波長に関する設計自由度の高い光学フィルタを提供する。
【解決手段】この光学フィルタは、光学基板100の表面100S上に設けられた合計j層からなる多層膜であり、互いに異なる屈折率を有する奇数層(第1層T1,第3層T3,第5層T5,・・・)と偶数層(第2層T2,第4層T4,第6層T6,・・・)とが光学基板100上に交互に繰り返し積層されたものである。ここで各層の光学膜厚は、全体として積層方向において周期的に変化するようになっており、例えば、所定の条件式(1)および条件式(2)を満たしている。 (もっと読む)


【課題】イオンビームを利用した多層膜のミリングにおいて、サブナノメートル精度で反射波面の位相を補正するとともに加工時間の短縮を実現した多層膜の表面形状加工方法及び表面形状加工装置を提供することを課題とする。
【解決手段】屈折率に差がある複数の物質を周期的に積層した多層膜のイオンビームによるミリングに際し、反射位相変化の小さい方の物質を基準としてミリングの深さを検知することを特徴とする多層膜の表面形状加工方法及び表面形状加工装置によって解決される。 (もっと読む)


【課題】薄型の基板に光学膜が形成されたときに、特別な修正用の薄膜を形成することなく、光学膜による膜応力を緩和して、光学膜の平面化を図ることを目的とする。
【解決手段】反射多層膜12の応力を緩和するために、透明基板10の被成膜面10Sと被摺面10Rとで面の粗さに差を持たせて、被成膜面10Sには反射多層膜12を形成し、被摺面10Rを摺面化して摺面13を形成する。反射多層膜12は膜応力を有しているため、被成膜面10の方向に凸の歪みを生じさせ、また摺面13が形成されることにより、トワイマン効果による応力が作用し、摺面13の方向に凸の歪みを生じさせる。膜応力と摺面形成による応力とは、相互に逆の方向に湾曲させるため、相互に応力をキャンセルし合い、反射多層膜12を平面化させる。 (もっと読む)


【課題】色再現性の向上を図ると共に消費電力の低減や長寿命化を達成することが可能な表示装置、この駆動方法、およびこれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】赤色発光素子EL(r)を設けた赤色画素a(R)と、緑色発光素子EL(g)を設けた緑色画素a(G)と、同一構造の青色発光素子EL(b)を設けた2つの青色画素a(B),a(Db)とを備えている。少なくとも2つの青色画素a(B),a(Db)のうちの濃青色画素a(Db)には、光り取り出し側にカラーフィルタ33(Db)を設けたことにより、xy色度座標系におけるy値が異なる青色光h(B),h(Db)が2つの青色画素a(B),a(Db)から取り出されるようにした。 (もっと読む)


【課題】波長の異なる複数種類の入射光のうち、特有の波長の光のみを選択的に回折する透過型回折素子を迅速に製造する。
【解決手段】単一材料からなる透明基板2を用意し、その透明基板2上に、エッチング加工に基づき、凹部3を周期的にそれぞれ加工し、その各凹部3内に前記光学多層膜を充填する。これにより、エッチング加工において、エッチング最適条件を、単一物質からなる透明基板2にだけ合わせることができるようにして、途中で、エッチング条件を変えることなく、一気に透明基板2に凹部3を周期的に形成できるようにする。 (もっと読む)


【課題】 吸収型多層膜の膜構造を変更することなく、分光透過特性の平坦性に優れると同時に、高温高湿環境下においてもヒビ割れの発生がなく、光学特性に優れた吸収型多層膜NDフィルターを提供する。
【解決手段】 樹脂フィルムにプラズマ処理あるいはイオンビーム処理を施して、樹脂フィルムの波長400nmにおける透過率を処理前に対し1.0%以上減衰させる。その後、この樹脂フルムの少なくとも片面に酸化物誘電体膜層と金属吸収膜層とを交互に積層して吸収型多層膜を形成する。得られる吸収型多層膜NDフィルターは、波長400〜550nmにおける平均透過率が3〜32%で、可視光領域における分光透過特性の平坦性ばらつきが樹脂フィルムに上記処理を行っていないものに比べて1%以上小さくなる。 (もっと読む)


【課題】真空プロセスの中でも比較的安定成膜がしやすく、容易に利用できる材料をターゲットとした反応性スパッタリング法を用いて、反射防止膜や各種フィルターの多層膜を構成する材料のひとつとして利用可能な、中間屈折率薄膜を提供すること。
【解決手段】反応性スパッタリング法により、基材5面上に薄膜を形成する方法において、Nbを主成分とするスパッタリングターゲット3bとAlを主成分とするスパッタリングターゲット3aをそれぞれ1枚以上用いて、該反応性スパッタリング法を行い、2種の該スパッタリングターゲット由来の成分を該基材5面上に同時に成膜することを特徴とする薄膜の形成方法。該方法を用いて形成した薄膜と基材とからなる積層体。 (もっと読む)


【課題】ディスプレイ装置の画面に直接手書きするタイプのデータ入力システムに適用でき、座標検知手段を提供する光学フィルムであって、軽量で、価格が安く、大面積化が容易で、量産可能で、かつ広い読取角度を有する読取性能に優れる光学フィルムを提供する。
【解決手段】本発明の光学フィルム1は、可視光を透過し、赤外線又は紫外線を拡散反射する基材9上に、赤外線又は紫外線を吸収する層3がパターン印刷されてなるものである。 (もっと読む)


【課題】 近赤外線カット能に優れ、固体撮像素子に組み込んでも損傷や光学特性の劣化が生じない、特にCCD、CMOSなどの固体撮像素子の視感度補正に好適に用いることができる近赤外線カットフィルターを得ることを課題とする。
【解決手段】 環状オレフィン系樹脂基板および近赤外線反射膜を有する積層体にさらに保護フィルムが積層された構造を有し、当該保護フィルムの積層体表面からの剥離力と、温度85℃かつ湿度85%の条件下で240時間保存した後の該剥離力が、いずれも0.5N以下であることを特徴とする、近赤外線カットフィルターおよびその製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】ITOにはその特性上、450nm以下の短波長域に吸収があるため、透過色としては黄色くなってしまう問題があったので、透過色に黄色味の無い、ニュートラルな色味を有する透明導電性積層体を提供する。
【解決手段】透明な基板2の一方の面に基板の屈折率と比較して高屈折率材料3、低屈折率材料4をこの順番で積層し、最外層に透明導電膜5を形成した、透明導電性基板1において、その透過光をD65光源2°視野のL*a*b*表色系で表した時のb*が2以下である、透明導電性積層体。 (もっと読む)


【課題】反射光による影響が少なく量産性にも優れた吸収型多層膜片面NDフィルターを提供すること。
【解決手段】樹脂フィルムから成る基板の入射側片面に透過光を減衰させる吸収型多層膜が設けられた吸収型多層膜片面NDフィルターであって、上記吸収型多層膜が誘電体膜層と金属膜層とを交互に積層させた4層以上の多層膜により構成され、吸収型多層膜における各層の膜厚を増減させて目標とする分光光学特性に近づける膜厚最適化手法として評価関数が用いられると共に、評価関数が最小の値になるように吸収型多層膜における各層の膜厚が選定され、かつ[入射側反射率]の値と[透過率×出射側反射率]の値がほぼ等しくなっていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高い歩留まりと低い製造コストとを実現しながら、優れた光学特性の積層膜干渉フィルタを有する固体撮像装置を製造する方法、および固体撮像装置を提供する。
【解決手段】基板301に対し、その一方の主面に沿って複数の光電変換部303を二次元形成するステップと、複数の光電変換部303の各々の上方に、互いに屈折率の異なる膜401、・・、411と膜402、・・、412とを交互に積層して積層膜干渉フィルタ306を形成するステップとを有する。ここで、積層膜干渉フィルタ306を形成するステップでは、酸素分圧比が大きい成膜条件あるいは成膜温度を室温や低い温度にする成膜条件でスパッタリング法を用い、膜401〜412を積層形成する。 (もっと読む)


色相シフトフィルムを支持体上に形成する方法及び色相シフトフィルムが開示されており、当該フィルムは、当該支持体に隣接して配置された反射積層体及び当該フィルム内に、当該反射積層体を通して見たり又は明るくしたりすることができるように形成されたイメージを含む。前記反射積層体は、部分的反射性第1層と反射性第2層との間に配置された置換アクリルアミドポリマーを含む、少なくとも部分的に透明なスペーサ層を含む。前記アクリルアミド層は、干渉色を生み出すのに十分なだけの厚みを有する。
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【課題】所望の光学特性を容易に得られるようにする。
【解決手段】それぞれ高屈折率層Hと低屈折率層Lとが交互積層されてなる第1及び第2のスタック11,12によってスペーサ層13’を挟んだキャビティ構造を有する光干渉フィルタにおいて、スペーサ層13’は二つの層13a,13bがオプティカルコンタクトにより接合されて構成されているものとする。キャビティ10は第1及び第2の基板20,30によって挟まれており、第1の基板20上に第1のスタック11と層13aが成膜形成され、第2の基板30上に第2のスタック12と層13bが成膜形成されている。スペーサ層の厚さを修正(追加成膜)することができ、膜厚誤差の補償が可能となる。 (もっと読む)


【課題】光学フィルターの耐久性を向上させる。
【解決手段】イオンビームアシスト蒸着法を利用して第1のイオンビーム照射条件で基板2の表面に光学多層膜3を成膜する第1工程と、第1工程完了後、イオンビームアシスト蒸着法を利用して第2のイオンビーム照射条件で基板2の裏面に光学多層膜3を成膜する工程とを有し、基板2の表面に成膜された光学多層膜3の内部応力と基板2の裏面に成膜された光学多層膜3の内部応力とが釣り合うように第1及び第2のイオンビーム照射条件を制御する。 (もっと読む)


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