【課題】従来の複雑な積層方法を必要とすることなく、積層精度に優れ、かつ光学性能に優れた積層フィルムを提供することを課題とする。
【解決手段】少なくとも２種以上の樹脂を多層に積層するフィードブロックが、スリット板を２枚以上用いた構成からなり、スリット板において、両端部に位置した厚膜層を形成するスリット巾が、他の薄膜層を形成するスリット巾の２倍以上であるフィードブロックを用いて製造されるフィルムであって、該フィルムは厚み方向に２５０層以上積層され、少なくとも１μｍ以上３０μｍ以下である厚みの厚膜層が３層以上含まれており、かつ、波長２５０〜２６００ｎｍにおける反射率の最大値が６０％以上である積層フィルム。 （もっと読む）

【課題】多数の光ファイバ光学系の透過波長帯域を同時に選択制御でき、光学フィルタの切り替え速度を速めて高速駆動できるようにすると共に、組立・調心が容易で、装置を小型化できるようにする。
【解決手段】入射用光ファイバ１０と、その出射光を平行光に変換するコリメータレンズ１２と、平行光を収束光に変換する集光レンズ１４と、収束光が入射する出射用光ファイバ１６を有し、選択した光学フィルタを平行光が入射する位置に挿入駆動機構を備えた光学フィルタ切り替え装置である。コリメータ対が属する群を複数とし、各群に属するコリメータ対が作る平行光束の重心位置が同一円周上にほぼ同じ角度間隔で配置され、１つの群に属するコリメータ対が作る平行光束が全て通過できる有効面積を備えた光学フィルタ２４ａ，…，２５ｃをフィルタホルダ２０の同じ半径の円周上に配置する。 （もっと読む）

【課題】スパッタリングにより成膜するに際し、大気に解放してメンテナンスを行う必要性を少なくすることができ、成膜プロセスの安定化を図ることが可能となるスパッタ装置を提供する。
【解決手段】減圧した前記チャンバーにスパッタリングガスを導入し、電力印加によるスパッタリングによって前記基板に成膜を行うスパッタ装置において、
前記成膜に際し、成膜に用いるターゲットをカソードとして機能させると共に、前記成膜に用いるターゲットと異なる位置に設けられた成膜に用いない金属ターゲットをアノードとして機能させ、成膜するように構成する。 （もっと読む）

【課題】極端紫外（ＥＵＶ）光の照射によって生じる表面の酸化や汚染を低減することができ、反射率劣化を抑制することが可能となる多層膜ミラー、多層膜ミラーを備えた光学系を提供する。
【解決手段】ＥＵＶ多層膜ミラーを、Ｘ線領域における、真空の屈折率との差が相対的に大きい屈折率を有する材料からなる低屈折率層と、相対的に小さい屈折率を有する材料からなる高屈折率層とを交互に積層した多層膜により構成する。その際、ＥＵＶ多層膜ミラーにおける少なくとも最表面の膜４を、バイアスを印加された膜によって構成する。 （もっと読む）

【課題】放電インピーダンスを一定に保ち、高精度な膜厚制御が可能となるスパッタ装置およびスパッタリングによる成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜室にターゲットを備え、前記成膜室における前記ターゲットと対向する基板ホルダーに保持された基板に、スパッタリングによって成膜するスパッタ装置を、つぎのように構成する。
前記ターゲット１−２の前記基板方向前方に、前記ターゲットから飛び出す電子の進行を妨げる前記基板ホルダーと同電位の遮蔽部材１−５が位置するように構成する。 （もっと読む）

【課題】反射率に影響を与えることなく、多層膜ミラーが有する内部応力の解消を図ることが可能となる多層膜ミラーを提供する。
【解決手段】Ｘ線領域における、真空の屈折率との差が相対的に大きい屈折率を有する低屈折率層と、相対的に小さい屈折率を有する高屈折率層とを、交互に積層した多層膜を基板上に有する多層膜ミラーを構成する。
そして、このような多層膜ミラーの基板１１と多層膜１５との間に、元素の一部に置換型拡散可能で且つ原子半径が異なる他元素を含有させた材料で構成された応力緩和層１２が設けられた構成とする。 （もっと読む）

【課題】多層膜反射鏡の膜応力による変形を抑え、反射率の低下を抑制することが可能となるＸ線領域の波長を有する光に対して用いられる多層膜反射鏡の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線領域における、真空の屈折率との差が相対的に大きい屈折率を有する低屈折率の物質による層と、相対的に小さい屈折率を有する高屈折率層とを、スパッタ法によって交互に積層した多層膜が形成される。
これらの多層膜をスパッタ法によって成膜する工程を、高屈折率層（Ｓｉ）の形成に圧縮応力の生じる方向に膜成長するスパッタガス（Ｎｅガス）を用い、低屈折率層（Ｍｏ）の形成に引張応力の生じる方向に膜成長するスパッタガス（Ｘｅガス）を用いる工程によって構成する。 （もっと読む）

【課題】フィルタの選択特性が良好で、低電圧駆動を可能にする。
【解決手段】可動ミラー３２は、第２基板３１に形成された穴３１ａ〜３１ｄの内側に配置され、ミラー駆動手段は、可動ミラー３２の中心から第２基板３１の外縁に向かう線に直交し、且つ穴３１ａ〜３１ｄの外縁の異なるそれぞれの位置から一直線をなすように内方へ延び、長さ方向に捩れ変形自在な一対の軸４２、４３と、穴３１ａ〜３１ｄの内部に配置され、一対の軸４２、４３の先端にその外縁が連結されてその軸を中心に回動自在に支持された回動板４１と、可動ミラー３２の外縁から回動板４１の一端側との間を連結する可撓性を有するヒンジ３５と、回動板４１の他端側と第２基板３１の外縁との間に電圧を印加して、回動板４１に軸４２、４３を中心とする回動力を与えるための電極４６、４９とを一組の駆動機構とし、この駆動機構を可動ミラー３２の周りに等間隔で３組設けている。 （もっと読む）

【課題】薄膜の内部応力のために基板が歪んだり膜剥がれが発生する等のトラブルを効果的に回避できる光学多層膜フィルタの製造方法を提供すること。
【解決手段】光学多層膜フィルタの製造方法は、基板１上に１層以上の無機薄膜を形成する工程と、無機薄膜の最下層と前記基板との間に、前記無機薄膜から前記基板への応力伝達を阻止する有機化合物からなる粘弾性緩衝層２を形成する工程とを備え、粘弾性緩衝層２を形成する工程において、化学気相成長法（ＣＶＤ法）を用いる。ＣＶＤ法を用いているので、粘弾性緩衝層２の成膜速度が速く、実用的な厚さの膜を効率よく作成することができる。 （もっと読む）

【課題】イオンビームスパッタ法により光学薄膜を形成するに際し、反射率低下を招く拡散層の形成を抑制し、光吸収の低減化を図ることが可能となる光学薄膜の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】イオンビーム１１６をターゲット１１５に照射し、スパッタリングによって被処理物１１９に多層膜による光学薄膜を成膜する光学薄膜の製造方法を、つぎのように構成する。
前記スパッタリングによって被処理物に光学薄膜を成膜するに際し、前記ターゲットにバイアス印加手段１０５によって正のバイアスを印加して、前記被処理物に光学薄膜を成膜する工程を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、それぞれのフィルタからの反射光により生ずる干渉の影響を低減し、群遅延リップルや透過率にリップルの生じない透過型分散補償フィルタからなる光学部品を得ることを目的とする。
【解決手段】光信号に生ずる該光信号の群速度の波長依存性によるパルス時間幅の広がりや波形劣化を補償する複数の透過型分散補償フィルタ２からなる分散補償フィルタ部品において、
前記複数の透過型分散補償フィルタ２が湾曲して配置されかつ前記光信号の伝播方向に直列に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価で且つ効率良く製作し得る、回転円筒型マグネトロンスパッタリングカソード用ターゲット組立体、それを用いたスパッタリングカソード組立体、及び回転円筒型マグネトロンスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】回転円筒型マグネトロンスパッタリングカソード用ターゲット組立体Ａは、６面以上の多面筒状支持体１の各外側面１aにバルク状の短冊形ターゲット材料片２をそれぞれ接合して、このターゲット材料片２の外周面を円筒状に加工して構成される。 （もっと読む）

【課題】パターン位置精度の比較的よい膜堆積による薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】被成膜基板１の上にだれ防止用貫通孔３が形成されたベースマスク２を配し、その上にだれ防止用貫通孔３と同一形状で孔が小さいパターン用貫通孔４が形成された成膜用マスク５を、だれ防止用貫通孔３とパターン用貫通孔４の中心を一致させて重ね、成膜用マスク５側から堆積法により薄膜を形成する方法であって、成膜用マスクのパターン用貫通孔４の平面積がベースマスクのだれ防止用孔３の平面積よりも小さい。 （もっと読む）

ポリマーマトリクス中に保持される粒子の規則正しい周期的配列を含む放射線回折材料であって、前記粒子がそれぞれ、前記マトリクスとは異なる、非皮膜形成組成物のシェルに囲まれたコアを含む、放射線回折材料を開示する。また、このような放射線回折材料を使用する方法も開示する。本発明はまた、このような放射線回折材料を製造する方法も、開示する。本発明はさらに、このような放射線回折材料を製造するためのシステムも、開示する。
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赤外光反射性物品を開示し、前記赤外光反射物品は、ポリマーを含有する可視光透過性サブストレートと、前記サブストレート上に配置されている赤外光反射性コレステリック液晶層を備える。前記サブストレートと赤外光反射性コレステリック液晶層の合計ヘイズ値は３％未満である。
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【課題】光散乱現象を発生させず、めっき成膜にかかるコストも効果的に削減することができる光学バンドパスフィルターを提供する。
【解決手段】基材上に、高屈折率層をＨとし、低屈折率層をＬとし、ｘを２ｎとし、ｎは正の整数、ｍ≦６であるとき、高屈折率材料からなる高屈折率層及び低屈折率材料からなる低屈折率層を交互に積層し、基材側から順に（ＬＨｘＬＨ）^ｍの積層構造をし、予め定められた波長域に対して第１の波長域の光に対する透過率が８０％以上、第２の波長域と第３の波長域それぞれの光に対する透過率が４０％〜６０％、第４の波長域と第５の波長域それぞれの光に対する透過率が１％以下、第１の波長域内に含まれた第２の修正波長域の光に対する透過率が９５％以上である光学特性を有している第２のマッチングフィルムと、からなる。 （もっと読む）

【課題】 発熱による割れや欠けを生じることなく、一つの部材で広い波長範囲の赤外光をカットできる赤外カット材及びこれを有する内視鏡装置を提供する。
【解決手段】 可視光Lvを透過する層21，22が積層されてなる赤外カットコート膜２であって、可視光Lvを透過する層21，22のうち少なくとも一層が赤外光波長領域に吸収を有する赤外光吸収層21である赤外カットコート膜２、赤外カットコート膜２を有する光学素子10及び光学素子10を有する内視鏡装置。 （もっと読む）

【課題】 基材上に形成した保護層が剥離することなく、且つ空気中の水分や硫黄分、塩分などが反射層へ浸入することのない耐久性に優れた光学反射部材を提供する。
【解決手段】 保護層の材料として有機系材料を用いるとともに、基体の表面に形成したＡｇを主成分とする反射層と保護層との間に、少なくとも１層からなる透光性誘電体層を形成する。ここで、水分や塩分などの反射層への浸入を一層防止する観点から、前記保護層の材料としてはアクリル系樹脂が好ましい。また成形性や軽量化の観点から基体の材料としてプラスチックを用いてもよい （もっと読む）

多層光学フィルムが開示される。多層フィルムは、少なくとも２つの隣接した光学的に透過可能な粘着接着剤層を含む。各粘着接着剤層は、光干渉によって光を反射する。
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【課題】 光源から発せられた光束を照明光学系により導いて空間光変調素子を照明しこの空間光変調素子により変調された画像を投射光学系により拡大して結像させる投射型画像表示装置において、光源の信頼性や寿命等に悪影響を及ぼすことなく、また、表示画像におけるコントラストや色再現性の劣化を招来することなく、表示画像を見やすい輝度に調節することを可能とする。
【解決手段】 光源３と照明光学系４との間に、光束の光路の外周側部分において少なくとも一定の波長帯域、または、一定の偏光成分の光の透過光量を減衰させる交換可能な減衰光学素子２２を設けた。 （もっと読む）