本発明の一態様において、広視野顕微鏡は、その内部に蛍光物質を有した試料を保持するように構成されたステージと、前記蛍光物質の単一光子励起のために必要とされる吸収エネルギーよりも少ない単一光子エネルギーを有する励起光の実質的に平行なビームを生じさせるように構成された多光子励起光源と、を備える。無限遠補正対物レンズは、多光子励起光源に光学的に接続されるとともに、前記試料の予め定められた領域にわたって前記蛍光物質の多光子励起が同時に生じるように前記励起光の実質的に平行なビームを前記試料上に焦点合わせするべく構成されている。焦点レンズは、前記試料の予め定められた領域から放射された放射光を、画像検出器の少なくとも２つのピクセル上へと同時に焦点合わせするように構成されている。焦点レンズは、前記画像平面を両眼用接眼レンズあるいは画像アレイ検出器を介して見ることができるように、前記試料の予め定められた領域から放射された放射光を画像平面上に焦点合わせするように構成されている。
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ウェハ上またはデバイス上の微細構成を破壊することなく測定できるようにするために、本発明は、少なくとも１つの蛍光発光局所構造体（２２）が共焦点顕微鏡（１）を用いて励起光で走査され、対物レンズ（１５）の焦点面（１９）中の焦点（１７）から放射され励起光で励起された蛍光が検出され、前記焦点（１７）の位置および検出された蛍光信号から測定データが得られる、ウェハ（２）上またはデバイス上の３次元局所構造体（２２）を測定する方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、表面の３次元検査及び測定用の両用（共焦点干渉）方式光学側面計に関する。本発明は、光源（ＬＥＤ）、ビームスプリッタ（少なくとも一つは偏光性）、照明パターン発生手段（ＬＣｏＳマイクロディスプレイ）、及び標準のレンズの形状では共焦点像が得られ干渉レンズでは干渉像が得られる交換可能な顕微鏡レンズを備える。本発明によれば、マイクロディスプレイは、共焦点像を得るために一連の光パターンを発生するか又は干渉像を得るために全ての光画素の全開口を生成することができる。本発明の側面計は小型に設計されており、異なる材質を含む組織化又は層状化された試料を含むミクロン及びナノメートルスケールの任意の型の表面の形状及びテクスチャの迅速及び非接触の測定が可能である。
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光源（１）と、ビームを制限するための絞り構造（３）と、光源から放射されて絞り構造を通過する光（５）を測定すべき物体（６）に収束させるための結像光学系（４）と、物体に当たって後方散乱してから同じ絞り構造または観察光路（７）に配置された別の絞り構造を通過する光（５）に対する受信光学系（１０）と、２つの放射感度のあるセンサ素子（１３、１４）を備える画像受信機（１０）とが含まれる。高さ情報を含んだ測定撮影を生成するために、光路の光学距離変更手段（１１）が、一方の光源（１）および／または画像受信機（１０）と他方の物体（６）との間に配置され、焦点の光学距離（ｄ）を所定の方法で変更可能である。露光時間（Ｔ）中における観察光路（７）の光強度に対する、２つのセンサ素子（１３、１４）での電荷の蓄積量（Ｑ１３、Ｑ１４）と、結像光学系（４）から画像平面までの光学距離（ｄ）との関連を成立させる。 （もっと読む）

本発明は、イメージガイドを通じて取得した共焦点画像の解像度を向上させるための方法に関するもので、このイメージガイドの遠位端はイメージガイドによって観察物体内に発射されたレーザ光を集束させるべく光学ヘッドに接続されている。本発明によれば、光学ヘッドの所与の一位置毎に、この方法は：イメージガイドを通じて複数のデータ取得を行う段階と（夫々のデータ取得は、静止したまゝの光学ヘッドに対するイメージガイドの前記遠位端の所与の１つの空間的ずれ毎に行われる）；夫々の取得のデータを点雲に変換する段階と；参照基準として採用した点雲に関して夫々の点雲をリセットする段階と；このようにリセットした点雲を重畳する段階と；この重畳に基づいて最終画像を再構成する段階とを包含する。好ましくは、イメージガイドを変位させるためにイメージガイドの周りに配置された制御された圧電管を使用する。 （もっと読む）

【課題】特別な知識がなくてもユーザサイドで簡単に実行可能な調整が実現可能であると共に、４Ｐｉ画像記録（撮像）の安定化が長時間にわたって達成可能な４Ｐｉシステムの２つの対物レンズを調整するための方法及び装置。
【解決手段】有利には共焦点走査顕微鏡（１）の４Ｐｉシステムにおける２つの対物レンズ（１９、２０）の調整方法及び装置であって、該２つの対物レンズ（１９、２０）の少なくとも一方が他方の対物レンズ（２０、１９）に対して運動可能に構成されるものにおいて、基準対象物が、前記２つの対物レンズ（１９、２０）の瞳（複数）に結像されること、前記基準対象物の結像（複数）から、前記２つの対物レンズ（１９、２０）の各々に対し夫々１つの固有のフーリエ画像が生成されること、及び前記２つの対物レンズ（１９、２０）の少なくとも一方の他方の対物レンズ（１９、２０）に対する相対的な運動によって、前記基準対象物の前記２つのフーリエ画像が一致されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ光ビームを、可及的に大きなフレキシビリティでかつ特別の知識を要することなく可及的に短時間で変更することができ、かつそのスペクトル組成（構成）に関し簡単な方法で個別に調製可能なレーザ光ビーム生成装置の提供。
【解決手段】少なくとも１つのレーザ光源（２）を含んで構成される、好ましくは共焦点式の走査顕微鏡のための照明光ビーム等のレーザ光ビームを生成するための装置において、前記レーザ光源（２）は、個別に又はグループ化されて、外部に対して規定される機械的及び／又は電気的及び／又は光学的インターフェースを有するモジュール（１）を構成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生成されるべき光ビームのスペクトルの組合せが、殆ど任意的に選択可能でありかつ交換要素及び再調整を要することなくユーザによって簡単な態様で変更可能な複数の波長を含む光ビームの生成装置。
【解決手段】共焦点走査顕微鏡のための照明光ビーム等の複数の波長を含む光ビームの生成装置であって、それぞれ異なる波長を有する複数のレーザ光ビームを合一するためのビーム合一装置を含むと共に、該ビーム合一装置が複数の個別のビーム合一要素を含むように構成されたビーム生成装置において、前記ビーム合一要素（複数）（２）は、直列的に、又は並列的な複数のグループの形態で配置され、かつ、それぞれ、１つの個別に定義される波長領域の１つの波長を有する１つのレーザ光ビームを入射結合するよう構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

照射光線束を発生する少なくとも１つの光源（１、３）と、前記照射光線束の光出力を調整するための音響光学素子（１３）と、前記照射光線束を試料（２７）の上に又はこれを透過して導くためのビーム偏向装置（１９、３６）とを有する走査型顕微鏡は、音響光学素子（１３）により前記照射光線束から部分光線束を空間的に分離し、この部分光線束を特に処理のために試料に向けるビームガイド手段を備える。
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レーザ光源部、レーザ光源部からの励起光を試料上に集光する対物レンズ光学系、試料面上を走査する走査手段、走査手段と対物レンズ光学系との間に配置された瞳投影レンズ、試料からの蛍光を検出する検出光学系を備え、対物レンズ光学系が、対物レンズ、試料の中間像を形成する結像レンズを有し、対物レンズの後側焦点位置が、結像レンズと瞳投影レンズとによって走査手段の近傍位置で共役になるように構成されている。対物レンズの同焦点距離をＤ、試料面から走査手段近傍に配置された、対物レンズの後側焦点位置の共役位置までの距離をＬとするとき、次の条件式を満足する。
０．１５≦Ｄ／Ｌ≦０．５ （もっと読む）

本発明は共焦点レーザ走査顕微鏡に関し、その顕微鏡は、物体面（１１）内に配列された多数のスポット（３０）に励起放射を合焦する励起ビーム経路と、ピンホール遮断部（１４．２）によってマルチチャネル検出器（１５．２）上にスポット（３０）を共焦点的に撮像する検出ビーム経路と、物体面（１１）内に配置された物体と前記スポット（３０）との間の二次元相対移動を行わせる走査ユニット（４、５、３７）とを備える。走査ユニット（４、５、３７）は、前記相対移動の間、スポット（３０）を第１方向（３２）に沿って移動させ、これによって前記スポット（３０）により物体（３４）の帯状領域を走査し、次いでスポット（３０）を第２方向（３３）に沿って移動させ、第１方向（３２）に沿った新たな移動によって隣接する帯状領域を続いて走査する。
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本発明は少なくとも光源と、被検査物体用キャリアと、照明された物体を記録する検出器と、操作の間に主として、光源から物体に、さらに物体から検出器に通る光通路とで構成される光学顕微鏡に関し、等間隔の穴アレイを設けた金属薄膜が光源と物体との間の光通路に配置され、物体のキャリアはキャリア面で物体を調節する駆動装置を備え、金属薄膜の穴の直径は約２５０ｎｍよりも小さくし、駆動装置はキャリア面に垂直な方向に物体用キャリアを調節するよう構成され、物体の立体像を構成するため検出器に接続された処理装置が設けられる。 （もっと読む）

約２６６〜１０００ｎｍの波長域や１５７ｎｍから赤外に至る波長域といった各種の波長域に属する光エネルギ用の対物系を用いる検査システム及び方法を提供する。この対物系は、光を受け取る１個又は複数個の合焦レンズ素子（３０４)を含む合焦レンズ素子集合体（３１１)と、合焦レンズ素子集合体（３１１)により合焦された光エネルギを受け取り中間的な光エネルギを出射するよう方向設定された視野レンズ素子（３０５)と、視野レンズ素子（３０５)から中間的な光エネルギを受け取り制御された光エネルギを発生させるよう位置設定されたマンジャンミラー装置（３１２)とを備える。各合焦レンズ素子は約１００ｍｍ未満と小径であり、その最大補正視野サイズは約０．１５ｍｍである。制御された光エネルギは、検査する標本（３１０)に与える前に、油、水、シリコーンゲル等の浸漬媒に通してもよい。

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【課題】偏光方向に依存せずかつ複数の波長間のスペクトル的近さに依存せず、複数の光ビームをコリニアに合一（一体化）すること可能にする光学装置の提供。
【解決手段】発散（拡開・分解）要素と結像光学系とが分解面を規定するよう構成された光学装置であって、前記分解面には、光波長の各々に対しそれぞれ１つの部位が割り当てられ、かつ前記分解面には、互いに異なる方向から入射する光ビーム（複数）であってそれらの波長に応じた前記部位にフォーカシングされる光ビーム（複数）を、前記結像光学系を介し、該光ビーム（複数）をコリニアに合一する前記発散要素に向けて送出する微小構造要素が配されるよう構成された光学装置。 （もっと読む）

【課題】包含する（複数の）スペクトル成分（領域）に依存することなく良好なビーム品質を有する照明光ビームを生成する微細構造光学エレメントを有する光源装置を提供すること。
【解決手段】主光源の光をスペクトル的に拡開する微細構造光学エレメントと、該スペクトル的に拡開された光から照明光ビームを生成する光学系とを有する光源装置において、前記光学系は、前記スペクトル的に拡開された光の複数のスペクトル成分の互いに異なる発散を補償するよう構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

共焦点光学装置を開示する。この装置は、物体の三次元走査の実行が可能な３軸式走査鏡を含む。特に、この走査鏡は、環状ジンバル配置された２つの部材を取り付けた可変反射薄膜を備えることにより、２本の直交する軸の周囲で回転が得られる。装置内の別の適切な場所への設置も可能な可変薄膜を使用して、該装置から走査中の物体へと伝播された光ビームの焦点スポットの制御を行う。共焦点装置に関連した様々な方法についても記載している。 （もっと読む）

【課題】調整可能なピンホールに関し、詳細には、レーザ走査型顕微鏡に関する。
【解決手段】レーザ走査型顕微鏡によって、透光スリット付きの遮光器ＧＳと、そのスリットＳに対して移動することが可能であり、ピンホール駆動部Ｍに接続されたラインのラスタＲＫが、ピンホールＰＨの位置を測定するために提供される。さらにピンホールの保存された位置を調整する方法に関する。それによって、第１ステップでは、遮光器ＧＳによって測定されるラインラスタＲＫ上で明暗移行を生じ、第２ステップでは、ステップモーターＭのために、前記移行から開始する予め保存された一連のステップを実行する。 （もっと読む）

【課題】それぞれ鏡面対称な直角開口部を有するシリコン製絞りから成る、特にレーザ走査型顕微鏡用の調整可能なピンホール
【解決手段】向い合うシリコン製絞りが第１の方向に移動でき、次に正確な正方形の形成のために少なくとも１つのシリコン製絞りが第１の方向に垂直な第２の方向に移動できるピンホール。 （もっと読む）

【課題】対象物の画像を形成する方法、及び対象物の画像を形成するための装置を提供する。
【解決手段】対象物の照射、及び対象物が位置する区域からの光の検出、並びに検出された光に基づく画像の形成を含み、対象物の照射は、撮像平面又は空間内の画素を識別し、各個々の画素に対して、検出された光出力の所定の第１の閾値に達するまで、ある一定の長さの時間に亘って対象物の一部分を照射することにより行われ、また、各個々の画素に対して対応する露出時間が指示され、それに続いて画像は、少なくとも１つの所定の照射パラメータに依存する計算された光出力値を各個々の画素に対して判断することにより構成される、対象物の画像を形成する方法。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）