【課題】 試料の観察像の周辺領域で生じる光量の低下を補うことが可能な共焦点顕微鏡、光源光量を逐次容易に変化させることが可能な共焦点顕微鏡、及び照明光の波長を変化させることが可能な共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】 共焦点顕微鏡を、対物レンズ３の焦点面に共役な面に位置する複数の光源４０からなる光源アレイ３０と、対物レンズ３の焦点面に共役な面に位置し光源アレイ３０の各光源４０に対応する各位置にそれぞれ開口２３を有するピンホールアレイ２２と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】
構造高さ及び／又は眼・対象物間隔が低減され、人間工学的使用可能性（操作性）が改善されたステレオ顕微鏡の提供。
【解決手段】
作動状態において対象物（Ｔ）から放射された対象物ビーム（Ｋ１）が少なくとも１つのズーム光学系（２２）を介して案内されるよう構成された、該少なくとも１つのズーム光学系（２２）によって該対象物（Ｔ）を拡大するためのステレオ顕微鏡において、光方向に関し空間的に前記ズーム光学系（２２）の後方に配されるとともに、前記対象物ビーム（Ｋ１）の（進行）方向又は該対象物ビーム（Ｋ１）の（進行）方向に対して平行で同じ向きの方向から±１３５゜より大きな角度だけ逸れた（回転された）方向に前記ズーム光学系（２２）を介して案内された光ビームを偏向するよう構成された第１偏向装置（Ｐ４）を有することを特徴とする。
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【課題】 射出瞳がレンズ群内に位置する対物レンズに対して像の変調操作ができる光学観察装置を提供する。
【解決手段】
光源１２１、１３１からの光を物体Ｗに照射する照明光学系１１０と、複数のレンズ群の組み合わせにより構成されているとともに射出瞳１４１がレンズ群の中に位置する対物レンズ１４０と、対物レンズ１４０を介した物体Ｗからの光を結像させる結像レンズ１５０と、前側焦点が対物レンズ１４０の射出瞳１４１に位置しており射出瞳１４１をリレーして射出瞳像１６３を対物レンズ１４０の外に形成する瞳リレーレンズ系１６０と、射出瞳像１６３の位置に配置され結像レンズ５１０により結像される像の変調を行う変調素子１７０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 補助者用顕微鏡のための少なくとも１つのステレオ観察光路の光学的及び機械的に連続的に回動可能な分岐射出を可能とする装置を提供すること。
【解決手段】 ステレオ手術用顕微鏡等の顕微鏡の主観察光路から少なくとも１つのステレオ観察光路を分岐射出するための装置であって、主顕微鏡（１）及び補助者用顕微鏡（８）と、主対物レンズ（２）の光軸（４）に対し所定の角度をなしてその軸が延在するズーム装置（６）と、ステレオ補助者用観察光路（９ａ、９ｂ）を分岐射出するためのビームスプリッタ（７）とを含んで構成される分岐射出装置において、前記ビームスプリッタ（７）は、前記主対物レンズ（２）と前記ズーム装置（６）との間に配され、かつ前記補助者用顕微鏡（８）と共に前記主対物レンズ（２）の光軸の周りで連続的に回動可能に構成されることにより任意の回転位置において光学的に使用可能に構成されることを特徴とする。
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観察する物体、特に観察する眼を照明する少なくとも１つの照明光束（１２）を発生させる少なくとも１つの光源を有する、それぞれ１つの観察光束をもつ１、２またはそれ以上の観察光路を有する観察装置用の照明装置において、少なくとも２つの照明部分光束（１３）を設けており、かつ各照明部分光束（１３）が対応する照明光束と同軸に伸長する照明装置であって、照明部分光束（１３）が２またはそれ以上の大きさを変化できる照明スポットを観察する物体の基底上に形成するように該照明部分光束が形成される照明装置である。
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【課題】 付加ユニットが後付可能に構成されかつコンパクトなステレオ顕微鏡。
【解決手段】 ・両眼観察筒（１）、・顕微鏡筐体（４）、・スタンド（１３）に結合された合焦用駆動装置（９）と結合された顕微鏡支持装置（１４）、・前記顕微鏡支持装置（１４）に対し、前記合焦用駆動装置（９）の摺動方向に対し横断方向に摺動可能であると共に、前記顕微鏡筐体（４）を担持するよう構成された担持装置（１２）、・２つのステレオ観察ビーム路（３ａ、３ｂ）を１つの共通ビーム路（３ｃ）に統合するための両眼ビームスプリッタ（２ａ）、但し、該両眼ビームスプリッタ（２ａ）に入射する前記２つのステレオ観察ビーム路（３ａ、３ｂ）の２つの光軸と該両眼ビームスプリッタ（２ａ）から射出する前記共通ビーム路（３ｃ）の光軸は互いに対し平行に延在し、かつ（射出する）該共通ビーム路（３ｃ）の光軸は、（入射する）該２つのステレオ観察ビーム路（３ａ、３ｂ）の対称中心軸線に対し、前記担持装置（１２）の摺動範囲によって補償可能なシフト（Ｖｓ）を有する、・前記顕微鏡支持装置（１４）に担持され、かつ少なくとも１つのステレオ対物レンズ（６）及び少なくとも１つの複合対物レンズ（７）のための受容部を有する切換装置（５）（但し、前記ステレオ対物レンズ（６）及び前記複合対物レンズ（７）は、前記切換装置（５）の作動によって、観察対象（８）の上方において、選択的に使用可能となるよう構成され、かつ前記ステレオ対物レンズ（６）及び複合対物レンズ（７）は、何れも、前記観察対象（８）の上方において、同焦点的かつ同中心的に配置可能に構成される）、及び・前記切換装置（５）の位置に応じて自動的に前記担持装置（１２）の摺動を実行するよう構成された駆動装置（１０）を有するステレオ顕微鏡において、前記両眼ビームスプリッタ（２ａ）は、前記担持装置（１２）と前記複合対物レンズ（７）との間に配置されることを特徴とする。
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【課題】蛍光の分光検出を十分な光強度で行なえる光走査型共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】レーザー走査型共焦点顕微鏡１００は、励起光ビームを射出する光源部１１０と、励起光ビームを走査する走査光学系１３０と、励起光ビームを試料Ｓに照射する対物レンズ１４０と、励起光と試料Ｓから生じる検出光（蛍光と反射光を含む）とを分離するダイクロイックミラー１２０と、共焦点効果を得るピンホール１５２を含む共焦点検出部１５０と、検出光を分光検出する分光検出装置１６０とを備えている。分光検出装置１６０は、検出光を波長ごとに異なる方向に偏向させる分散素子１６１と、分散素子１６１を光軸に直交する軸周りに回転させる回転デバイス１６２と、分散素子１６１によって分光された検出光を収束させる収束レンズ１６３と、開口幅が変更可能なスリット１６４と、スリット１６４によって抽出された光を検出する検出器１６５とを有している。 （もっと読む）

【課題】ステージカバーの内部の様子を目視可能な全反射顕微鏡を提供する。
【解決手段】全反射顕微鏡は、倒立顕微鏡と、全反射照明のための全反射照明光学系と、固定カバー１２４と着脱カバー１２５からなるステージカバーと、補助照明部とを備えている。倒立顕微鏡は、標本１１２を入れたディッシュ１１３を載置するためのステージと、ディッシュ１１３の下方に位置する対物レンズ１１０と、標本１１２を観察するための観察光学系とを備えている。観察光学系は対物レンズ１１０と吸収フィルター１２１と結像レンズ１２２とＣＣＤカメラ１２３とを備えている。着脱カバー１２５は固定カバー１２４に対して着脱可能で、上部の開口部にはバンドパスフィルター１２６が固定されている。補助照明部はＬＥＤヘッド１３２を有している。観察光学系内の吸収フィルター１２１の透過域とバンドパスフィルター１２６の透過域は重複していない。 （もっと読む）

【課題】特別な知識がなくてもユーザサイドで簡単に実行可能な調整が実現可能であると共に、４Ｐｉ画像記録（撮像）の安定化が長時間にわたって達成可能な４Ｐｉシステムの２つの対物レンズを調整するための方法及び装置。
【解決手段】有利には共焦点走査顕微鏡（１）の４Ｐｉシステムにおける２つの対物レンズ（１９、２０）の調整方法及び装置であって、該２つの対物レンズ（１９、２０）の少なくとも一方が他方の対物レンズ（２０、１９）に対して運動可能に構成されるものにおいて、基準対象物が、前記２つの対物レンズ（１９、２０）の瞳（複数）に結像されること、前記基準対象物の結像（複数）から、前記２つの対物レンズ（１９、２０）の各々に対し夫々１つの固有のフーリエ画像が生成されること、及び前記２つの対物レンズ（１９、２０）の少なくとも一方の他方の対物レンズ（１９、２０）に対する相対的な運動によって、前記基準対象物の前記２つのフーリエ画像が一致されることを特徴とする。 （もっと読む）

マスクを所定の偏光状態の照明光で照明する際の光量損失を少なくできる照明光学装置及び投影露光装置である。レチクル（Ｒ）を照明光（ＩＬ）で照明する照明光学系（ＩＬＳ）と、レチクル（Ｒ）のパターンの像をウエハ（Ｗ）上に投影する投影光学系（ＰＬ）とを有する。照明光学系（ＩＬＳ）において、露光光源（１）から直線偏光状態で射出された照明光（ＩＬ）は、進相軸の方向が異なる第１及び第２の複屈折部材（１２，１３）を通過して、ほぼ特定の輪帯状の領域で光軸を中心とする円周方向に実質的に直線偏光となる偏光状態に変換された後、フライアイレンズ（１４）等を経てレチクル（Ｒ）を輪帯照明の条件で照明する。
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【課題】照明光学系の光軸が対物光学系の光軸に対して極力接近した光学構成を有し且つ、照明光学系の鏡筒内から照明光が漏れて対物光学系内に入り込まない顕微鏡を提供する。
【解決手段】撮影光学系２００は、クローズアップ光学系２１０と、その光軸Ａｘ１からオフセットした位置に置かれたズーム光学系２２０で、構成される。クローズアップ光学系は、ズーム光学系の光軸Ａｘ２の通過位置から離れた側のコバが切り欠かれている。切欠面の側方には、照明光学系３００を保持するズーム鏡筒５がある。ズーム鏡筒は、レンズ群３１１，３１２をその内部に保持した第１、第２レンズ移動枠５３，５４，これらの外周面から突出した駆動ピン５８，５９を案内する案内溝５１ｄ，５１ｅが形成された固定環５１，駆動ピン５８，５９を駆動するカム溝５２ａ，５２ｂが形成されたカム環５２，及びこのカム溝を外側から塞ぐ遮光シート６０から、構成される。 （もっと読む）