【課題】焦点調整を行った後の蛍光検出時に焦点のずれが生じることを抑え、精度良く蛍光検出を行う。
【解決手段】蛍光検出装置が、投影光学系２９と、焦点検出光学系３４と蛍光検出光学系３３を有する。投影光学系２９は、レーザー光源１ａからのレーザー光を集光してＤＮＡアレイ３１に照射する。焦点検出光学系３４は、レーザー光がＤＮＡアレイ３１の焦点合わせ位置に照射された際に生じる反射光を、光電変換器であるＰＭＴ１１に導く。蛍光検出光学系３３は、レーザー光がＤＮＡアレイ３１のＤＮＡプローブ３１ａに照射された際に、ＤＮＡプローブに捕捉された蛍光物質から発せられた蛍光をＰＭＴ１１に導く。蛍光検出光学系３３と焦点検出光学系３４は、いずれか一方が穴明きミラー３とＰＭＴ１１の間に選択的に位置するように切り替え可能であり、焦点検出光学系３４は蛍光検出光学系３３よりも浅い焦点深度を有する。 （もっと読む）

【課題】空間分解能を連続的に変更できる顕微装置を提供すること。
【解決手段】顕微装置１０は、被測定物２０からの光を集光する対物光学系１２と、対物光学系１２によって集光した光のうち被測定物２０の特定部位の光のみを通過するアパーチャ１４と、アパーチャ１４を通過した光を受光する光検出器１６と、対物光学系１２によって集光した被測定物２０像をアパーチャ１４面に結像する結像光学系１８と、を備えており、結像光学系１８が焦点距離可変なズーム光学系で構成されている。 （もっと読む）

【課題】シンプルで明るいケーラー照明系と照明ムラの少ない集光レンズアレイを用いたケーラー照明系との両方が簡単な構成で交換使用可能な顕微鏡落射照明光学系。
【解決手段】顕微鏡の対物レンズをコンデンサレンズと兼用させる顕微鏡用落射照明光学系において、顕微鏡の対物レンズの後側焦点位置５に光源の像を結像させるリレー光学系４の少なくとも一部を共通化させ、その入射側に、少なくとも光源１とコレクターレンズ２とからなる第１の照明光学系Ｂと、少なくとも光源１１とコリメートレンズ１２と集光レンズアレイ１３とからなる第２の照明光学系Ｃとを、それぞれの光学系による光源の像位置が相互に一致するように入れ換え可能に配置した顕微鏡落射照明光学系。 （もっと読む）

【課題】 対物レンズの絞りが必要なく、また開口数の低い長焦点のコンデンサレンズでも照明できる暗視野顕微鏡と、その光軸の有効な調整方法を提供すること。
【解決手段】 照明光を発する光源と、その光源からの照明光を集束させて観察試料を照明する集光側コンデンサレンズを含む集光光学系と、観察試料からの散乱光を受光してその拡大像を結像する対物レンズを含む結像光学系とを備えた暗視野顕微鏡において、集光側コンデンサレンズを長焦点距離のレンズとし、結像光学系における後ろ焦点面(Back Focal Plane)もしくはその共役像の結像中心部に、照明光を遮断する遮光部材を設ける。 （もっと読む）

【課題】 画像取得の対象となる試料のマクロ画像を好適に取得することが可能な画像取得装置、画像取得方法、及び画像取得プログラムを提供する。
【解決手段】 試料の画像を取得するための画像取得装置を、試料のマクロ画像を取得するためのマクロ画像取得部２０と、マクロ画像として試料の暗視野マクロ画像を取得する際に用いられる暗視野光源２６と、マクロ画像の画像データに対して加工処理を行って、参照用マクロ画像を生成するマクロ画像処理部６６と、参照用マクロ画像を参照し、試料のミクロ画像の撮像条件として、画像取得の対象物を含む範囲に応じた画像取得範囲を設定する撮像条件設定部６５とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】対物レンズを切り替えても、常に適切な焦点誤差検出特性を獲得できる顕微鏡を提供する。
【解決手段】 焦点誤差検出光学系２０，２０Ａ，２０Ｂは、個々の対物レンズ１１，１１Ａ，１１Ｂの開口数に対応した光学パラメータをそれぞれ有する光学ユニット２，２Ａ，２Ｂにより構成される。制御部３は、使用されている対物レンズ１１，１１Ａ，１１Ｂに対応する焦点誤差検出光学系２０，２０Ａ，２０Ｂを構成する光学ユニット２，２Ａ，２Ｂを選択する。また、制御部３は、選択された焦点誤差検出光学系２０，２０Ａ，２０Ｂにより得られる焦点誤差信号を用いて、観察光学系１０の焦点を合焦位置に位置づける。 （もっと読む）

【課題】容易に、しかも再現性良く倍率を変更し得る赤外顕微鏡を提供する。
【解決手段】対物鏡あるいは対物レンズを切り替えて顕微鏡の倍率を変更する替りに、顕微鏡内部の結像光学系を切り替えて倍率を変更する。特に、第１の結像光学系のカセグレン鏡２２と、これを迂回するバイパス光路２９に置かれた第２の結像光学系のレンズ２３を、切替ミラー２４、２８の光路上への出し入れによって切り替える。カセグレン鏡９、カセグレン鏡２２およびレンズ２３の焦点距離をそれぞれＦ１、Ｆ２、Ｆ３とすると倍率はＦ２／Ｆ１あるいはＦ３／Ｆ１のいずれか一方を選択できる。 （もっと読む）

【目的】本発明は、フォーカス調整方法およびフォーカス調整装置に関し、電子線ビームを平坦検査対象物に自動フォーカスするときの時間を極めて短時間に短縮すると共に、平坦検査対象物の種別が違ってチャージなどの条件が異なっても確実に合焦点に自動調整および合焦点時間を短縮してチャージなどによるドリフトを低減してパターンの測定精度を向上させることを目的とする。
【構成】平坦検査対象物について予め測定して登録しておいた平面のＸ方向およびＹ方向の傾き、および合焦点の位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）と、ステージに搭載された平坦検査対象物の任意の場所（Ｘ，Ｙ）で電子線ビームをフォーカス合わせしたときのフォーカス情報とをもとに、平坦検査対象物のフォーカス調整情報を算出するステップと、算出した平坦検査対象物のフォーカス調整情報をもとに、電子線ビームを平坦検査対象物の任意の場所（Ｘ，Ｙ）に合焦点に調整するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】 高さ測定の分解能の向上を図ることができるとともに、コントラストの良い共焦点画像を得ることができるレーザ走査型共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】 光源１からのレーザ光の光路を分割する第２のＢＳ１６の反射光路上にシャッタ２４、対物レンズ７の瞳位置及びＸＹ光偏向ユニット３と共役な位置に瞳位置が配置される集光レンズ２２及び集光レンズ２２の焦点位置に配置される参照鏡２３をそれぞれ配置し、シャッタ２４を開いた状態で、参照鏡２３上を走査される光の反射光を試料８の反射光と同様な光路を辿って検出器１１側に導入し、このときそれぞれの反射光を互いに干渉させ、干渉パターンをピンホール１０を介して検出器１１で検出する。 （もっと読む）

【課題】観察光路の変更を自動的に行う顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】接眼部１４を有する顕微鏡３と、顕微鏡３に通信可能に接続されており顕微鏡３を構成する顕微鏡部品を制御可能な制御装置４と、顕微鏡３で取得される画像を検出するカメラ１５とからなり、顕微鏡３は、標本５からの光を接眼部１４へ導く光路又は標本５からの光をカメラ１５へ導く光路を切替える光路切替え手段１０と、接眼部１４近傍の観察者の有無を検知する検知手段１６と、を有し、制御装置４は、検知手段１６によって検知された観察者の有無に応じて、光路切替え手段１０を制御し前記光路を切替えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分析範囲のスペクトルのみを効率よく分析することのできる分光測定装置を提供する。
【解決手段】試料へ照射するスペクトル測定用の測定光を射出する測定光射出手段１６と、試料の分析範囲を測定領域内の各測定点からスペクトルを取得する測定光検出手段１８と、各測定点でのスペクトルを、その測定点の位置情報と関連付けて記憶する記憶手段１８と、分析範囲内に含まれる測定点のスペクトルを記憶手段１８から読み出し、読み出した測定点のスペクトルの積算値または平均値を算出し、分析範囲の積算または平均スペクトルを求めるスペクトル演算手段２４と、を備えたことを特徴とする分光測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】予め搭載されていない光学部品を用いて観察法を切り換える場合にも、光学条件が可変な可変光学ユニットの設定を容易かつ確実に最適化することができること。
【解決手段】顕微鏡装置１００は、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１の種別を、未配置を含めて検知するフォトインタラプタ３５Ａ〜３５ＣおよびホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃと、光軸ＯＡ２上に配置された対物レンズ６の種別を検知するレボ穴検知部１４と、ミラーユニット１１および対物レンズ６の種別ごとに、開口絞りユニット１０の絞り径を対応付けて記憶する光学条件記憶テーブル１７ａと、開口絞りユニット１０の絞り径を、フォトインタラプタ３５Ａ〜３５ＣおよびホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃが検知したミラーユニット１１の種別およびレボ穴検知部１４が検知した対物レンズ６の種別に対応付けられた絞り径に切り換える制御を行うコントロール部１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】所望の観察位置に対物レンズの前側焦点位置を設定する作業の煩雑さを改善した自動焦点調節装置を内蔵する顕微鏡を提供すること。
【解決手段】光源２０からの光に基づく光像を対物レンズ１２を介して対象物上に結像させ、前記対象物からの前記光像の反射光を前記対物レンズを介して前記光像の反射像を結像させる焦点検出光学系７と、前記焦点検出光学系の結像位置に設けられて前記反射像を検出する光電変換器３０と、前記光電変換器で得られた前記反射像の信号に基づいて前記対物レンズを含む観察光学系３の結像位置を調節する観察光学系結像調節手段５２と、前記光電変換器で得られた前記反射像の信号に基づいて前記焦点検出光学系の結像位置を調節する焦点検出光学系結像調節手段８と、前記観察光学系結像調節手段５２または前記焦点検出光学系結像調節手段８に前記光電変換器３０からの信号を切替える切替制御手段４１を有する顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】最適な結像を達成する試料の検査方法を提供する。
【解決手段】試料を顕微鏡で検査する方法は、試料を照明するために空間的にコヒーレントな光を少なくとも１つの連続的な波長範囲、または連続的に同調可能な波長範囲で発生し、試料および／または所定の検査方法に応じて照明光の１つまたは複数の波長または波長範囲を選択する。次に選択された波長または波長範囲の照明光で試料を照明し、引き続き照明光と該試料から来る放出光とを異なる光路に分離し、試料から反射する検出光路内の照明光を検出前に除去し、該放出光を検出する。このような方法では、照明光の波長または波長範囲の選択は、所定の制御変数（Ｒ）が最大値をとるように、該検出光と照明光との分離、および照明光の除去と同調される。 （もっと読む）

【課題】試料に最適な検鏡法により取得したカラー情報を付加した３次元像を表示することができる共焦点走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】レーザ光を発生するレーザ光源４、レーザ光を対物レンズ１２を介して試料２上で２次元走査するとともに、試料２からの検出光により共焦点画像を取得するレーザ光学系、白色光源１９、白色光源１９より発生する照明光を対物レンズ１２を介して試料２に照射し、試料２からの検出光によりカラー画像を取得する光学顕微鏡光学系を有し、対物レンズ１２と試料２の相対距離を変化しながら光学顕微鏡光学系より取得される複数のカラー画像から焦点合成画像を生成するとともに、レーザ光学系より取得される複数の共焦点画像から前記試料の高さ情報を含む３次元像を生成し、この３次元像に焦点合成画像を組み合わせて表示する。 （もっと読む）

【課題】光源装置に接続された光ファイバーからの射出レーザー光の強度を光源装置内に設けられている光検出器で測定可能にする光源装置とこれを備えたレーザ顕微鏡を提供すること。
【解決手段】レーザ光を射出する光源１，２，３と、前記レーザ光を光ファイバー１１に導入する導入光学系と、前記導入光学系に配置され前記レーザ光の一部を分岐する分岐光学素子７と、前記分岐されたレーザ光の強度を測定する光検出器８と、前記光ファイバー１１の出射端が接続され、前記光ファイバーから射出された射出レーザ光を前記光検出器８に導くモニター光学系Ｍを有する光源装置１００とこれを備えたレーザ顕微鏡３００。 （もっと読む）

【課題】手術部位の開口部が狭く奥行きのある部位を観察する場合でも、光束が開口部によってけられることなく、明るい像の立体観察が可能な手術用顕微鏡を提供する。
【解決手段】顕微鏡の鏡体１０２内に三つの観察光学系１０１と各観察光学系と夫々対をなす三つの撮像手段１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃとを並列配置すると共に、両側の撮像手段１０５ａ、１０５ｃにより得られた画像を表示する第１の表示手段１１０と、第１の表示手段１１０とは別の第２の表示手段１１１とを備え、第２の表示手段１１１へ中央の前記撮像手段１０５ｂにより得られた画像を表示するようになっている。 （もっと読む）

【課題】 標本の大きさや重さに影響されることなく標本の観察位置合わせを確実に行うことができる光学顕微鏡を提供する。
【解決手段】 ステージ９上の標本２の観察像を取得する対物レンズ３を含む観察光学系の光路上に、対物レンズ３を該対物レンズ３の光軸Ｏと直交する面に沿って移動可能にした移動調整機構６を設け、この移動調整機構６により対物レンズ３を移動させて標本２の観察位置を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 顕微鏡において、標本を動かさずに、標本の観察視野を移動調整する。
【解決手段】 本発明の顕微鏡は、第１対物レンズ、第２対物レンズ、反射用ミラー、角度調整機構、およびシフト機構を備える。第１対物レンズは、標本側に位置する。第２対物レンズは、標本の中間像を第１対物レンズと共に形成する。反射用ミラーは、第１対物レンズと第２対物レンズとの光路上に傾斜配置される。角度調整機構は、反射用ミラーを傾斜方向に回動調整する。シフト機構は、第２対物レンズを、反射用ミラーの回動軸の軸方向にシフト調整する。この構成では、角度調整機構およびシフト機構によって、観察視野を２次元方向に移動できる。 （もっと読む）

【課題】 複数の深度における物質の状態を高い周波数をもって精度よく測定する。
【解決手段】 厚みの異なる１０個の調整ガラス３４ａ〜３４ｊを円環状に配置してなる円盤状のスキャニングディスク３２をマイクロ流路１２と対物レンズ２２との間に配置し、スキャニングディスク３２を回転するモータ３８を設け、スキャニングディスク３２を高速に回転させた状態で調整ガラス３４ａ〜３４ｊが対物レンズ２２に整合するときに同期してカメラ２８により撮影する。調整ガラス３４ａ〜３４ｊの厚さが異なることから、マイクロ流路１２の厚さ方向に高い周波数をもって焦点位置を変化させてマイクロ流路１２内の物質の状態を撮影することができる。この結果、マイクロ流路１２の厚さ方向における物質の状態を高い周波数をもって精度よく測定することができる。 （もっと読む）