本発明は、反射型顕微鏡で使用するための、光反射が最小化された、均一な光の強さで照射するための装置に関している。均一に放射する光源（１）を有しており、該光源（１）には、放射方向で後続して設けられた、焦点距離が短い焦点距離ｆ_１の組合せレンズ（２）が設けられており、焦点距離ｆ_１は、光源（１）が無限遠で結像されるように調整されており、組合せレンズ（２）の後ろ側の焦点面には、矩形の絞り開口（３）が使用されており、後ろ側の焦点面には、組合せレンズ（２）のフーリエ面が位置しており、焦点距離ｆ_２の別のレンズ（４）によって、矩形の絞り開口（３）が顕微鏡（９）の中間像面（６）上に結像され、且つ、別のレンズ（４）の後ろ側の焦点面に、円形の絞り（５）が設けられており、焦点距離ｆ_２の別のレンズ（４）によって、光源（１）がシャープに結像される。
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【課題】顕微鏡における必要最低限の部分のみを遮光することで、試料への光ダメージ、蛍光色素の退色、観察像の画質の低下等を良好に抑えることができる顕微鏡用遮光装置、及び顕微鏡を提供する。
【解決手段】顕微鏡１における結像光学系中の最もステージ側に位置する光学部材９、又は照明光学系中の最もステージ側に位置する光学部材の先端の外周全体に当接する開口部が形成された第１遮光部１６を有し、外部からの光が試料３へ入射することを防ぐことを特徴とする顕微鏡用遮光装置７。 （もっと読む）

【課題】容易に、しかも再現性良く倍率を変更し得る赤外顕微鏡を提供する。
【解決手段】対物鏡あるいは対物レンズを切り替えて顕微鏡の倍率を変更する替りに、顕微鏡内部の結像光学系を切り替えて倍率を変更する。特に、第１の結像光学系のカセグレン鏡２２と、これを迂回するバイパス光路２９に置かれた第２の結像光学系のレンズ２３を、切替ミラー２４、２８の光路上への出し入れによって切り替える。カセグレン鏡９、カセグレン鏡２２およびレンズ２３の焦点距離をそれぞれＦ１、Ｆ２、Ｆ３とすると倍率はＦ２／Ｆ１あるいはＦ３／Ｆ１のいずれか一方を選択できる。 （もっと読む）

それぞれ１つの観察ビーム束を備える１つ、２つ、またはそれ以上の観察光路を有する観察装置のための、特に手術用顕微鏡のための照明装置（１０）において、観察されるべき物体（１３）を照明するために、特に観察されるべき目を照明するために、少なくとも１つの照明ビーム束を生成するための少なくとも１つの光源（１２）を有しており、少なくとも１つの照明ビーム束は観察ビーム束に対して同軸に延びている、そのような照明装置において、ケーラーの照明原理に基づいて構成された、対物レンズ部材（１９）の表面からの反射光を回避するための少なくとも１つの反射絞り（１８）が設けられている照明光学系（１１）を照明装置（１０）が有していることを特徴とする、照明装置である。
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【課題】コンパクトで簡単な構造で安価に迅速な試料走査が可能な方法およびレーザ走査型蛍光顕微鏡を提供すること。
【解決手段】検査される試料（１）が、第１状態（Ｚ１、Ａ）から第２状態（Ｚ２、Ｂ）へと繰返し遷移可能な物質を含み、第１状態（Ｚ１、Ａ）及び第２状態（Ｚ２、Ｂ）が少なくとも１つの光学的性質で互いに相違しており、記録される試料領域（Ｐ）内で物質がまず第１状態（Ｚ１、Ａ）に移されるステップ、光学信号（４）によって第２状態（Ｚ２、Ｂ）が誘導され、記録される試料領域（Ｐ）内で、空間的に限定された部分領域が適切に残されるステップを含むものが、少なくとも１つの強度零地点（５）及び側方に隣接する最大強度（９）を備えた横断面プロフィルを有する焦線（１０）の態様で光学信号（４）が提供される。 （もっと読む）

【課題】ピンホールディスクの最適な回転数を設定することにより同期縞を除去した共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】 顕微鏡ユニットとニポウディスク方式の共焦点スキャナユニットから構成され、試料に照射される画像計測用光ビームの戻り蛍光をＣＣＤデジタルカメラに結像させた共焦点画像により前記試料の観察を行なう共焦点顕微鏡の調整方法において、
前記ニポウディスクの回転とＣＣＤデジタルカメラの露光時間の位相を一致させたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの周縁に形成されたノッチのような切欠き部や溝等の内周面を高解像度画像として撮像できる共焦点型顕微鏡を提供する。
【解決手段】
対物レンズ系（２９）を介して2次元走査ビームを半導体ウェハ（１）の端縁（２）に向けて投射する。半導体ウェハからの反射光は、対物レンズ系（２９）により集光され、リニァイメージセンサ（３２）に入射し、その出力信号を信号処理装置（４０）に供給する。信号処理装置（４０）から半導体ウェハの端縁の2次元画像信号を出力する。本発明では、対物レンズ系の先端側に光軸をはさんで両側に切欠き部（６０ａ，６０ｂ）を形成する。この切欠き部が形成されることにより、対物レンズ系の先端部分は、ウェハと衝突することなくウェハに形成されたノッチ（４）の内部に進入することができ、ノッチの内周面の画像を撮像することができる。 （もっと読む）

【課題】分析範囲のスペクトルのみを効率よく分析することのできる分光測定装置を提供する。
【解決手段】試料へ照射するスペクトル測定用の測定光を射出する測定光射出手段１６と、試料の分析範囲を測定領域内の各測定点からスペクトルを取得する測定光検出手段１８と、各測定点でのスペクトルを、その測定点の位置情報と関連付けて記憶する記憶手段１８と、分析範囲内に含まれる測定点のスペクトルを記憶手段１８から読み出し、読み出した測定点のスペクトルの積算値または平均値を算出し、分析範囲の積算または平均スペクトルを求めるスペクトル演算手段２４と、を備えたことを特徴とする分光測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】予め搭載されていない光学部品を用いて観察法を切り換える場合にも、光学条件が可変な可変光学ユニットの設定を容易かつ確実に最適化することができること。
【解決手段】顕微鏡装置１００は、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１の種別を、未配置を含めて検知するフォトインタラプタ３５Ａ〜３５ＣおよびホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃと、光軸ＯＡ２上に配置された対物レンズ６の種別を検知するレボ穴検知部１４と、ミラーユニット１１および対物レンズ６の種別ごとに、開口絞りユニット１０の絞り径を対応付けて記憶する光学条件記憶テーブル１７ａと、開口絞りユニット１０の絞り径を、フォトインタラプタ３５Ａ〜３５ＣおよびホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃが検知したミラーユニット１１の種別およびレボ穴検知部１４が検知した対物レンズ６の種別に対応付けられた絞り径に切り換える制御を行うコントロール部１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】照明光の均一性を確保しながら小型で安価な顕微鏡照明装置とこれを有する顕微鏡を提供すること。
【解決手段】光源Ｓと、前記光源Ｓからの光を集光するコレクタレンズＣＬと、前記コレクタレンズＣＬからの光を複数に分割して複数の光源像を形成するフライアイレンズＦと、前記光源像の近傍に配置された開口絞りＡＳと、前記開口絞りＡＳの位置の近傍を前側焦点とするコンデンサレンズＣＮＤとからなる顕微鏡照明装置１とこれを有する顕微鏡２０。 （もっと読む）

【課題】試料表面の凹凸を高速かつ高精度に検出することを可能とする表面検査方法を提供する。
【解決手段】ウェーハの表面状態を検査する表面検査方法に、ＤＭＤ４における所定位置から光を投射して所定の照射開口角によりウェーハＷの表面上を照射する照射工程と、ウェーハＷの表面の法線方向に延びる光軸を有するテレセントリック光学系でウェーハＷの表面の反射光を結像する結像工程と、この結像された像を撮像してウェーハＷの表面における各点の輝度データを収集する輝度データ収集工程と、この輝度データに基づいてＤＭＤ４において光を投射するミラーの位置を切り替えることによりウェーハＷの表面における各点への光の入射角度及び前記各点からの光の反射角度を変化させて、テレセントリック光学系の絞り１２に取り込まれる反射光を制御することにより撮影画像の感度を調整する調整工程と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】分散染色法は、浸液とアスベストの屈折率差で分散色がつくが、結晶によっては分散色が薄くアスベストかどうか判別ができない場合がある。大気中から採取した試料から作成した標本では透明化したろ紙とアスベストとを同じ視野内で位相差観察する。アスベストによるコントラストが少ない場合、ろ紙繊維の影響を排除する必要がある。
【解決手段】アスベストに偏光特性があるので、顕微鏡光路中に偏光板が配置されていれば、偏光板の回転により見ている結晶がアスベストであれば観察する色が変化する。顕微鏡において偏光板を回転可能に設けて、観察しながら、偏光板を回転すると、偏光特性を有するアスベストは色が変化して観察されることにより、アスベストと、他のロックウールやろ紙繊維と区別することができる。 （もっと読む）

【課題】観察条件などの変更の際の操作性を向上させた全反射顕微鏡を提供すること。
【解決手段】ランプ光源１からの照明光を開口絞り４を介して対物レンズ１１の瞳面１２に集光させる照明光学系を有し、前記集光された照明光を標本１４に全反射照明する全反射顕微鏡であって、前記開口絞り４は複数の開口４ａを有する全反射照明用の開口絞りを備え、前記全反射照明用の開口絞りの複数の開口の中から前記対物レンズ１１の倍率に対応した前記開口を選択する選択手段と、選択された前記開口の開口位置に前記ランプ光源の最も光量の高い部分を位置付けするための光路シフト手段２３とを含む全反射顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】分散染色法は、浸液とアスベストの屈折率差で分散色がつくが、結晶によっては分散色が薄くアスベストかどうか判別ができない場合がある。大気中から採取した試料から作成した標本では透明化したろ紙とアスベストとを同じ視野内で位相差観察する。アスベストによるコントラストが少ない場合、ろ紙繊維の影響を排除する必要がある。
【解決手段】アスベストに偏光特性があるので、顕微鏡光路中に偏光板が配置されていれば、偏光板の回転により見ている結晶がアスベストであれば観察する色が変化する。顕微鏡において偏光板を回転可能に設けて、観察しながら、偏光板を回転すると、偏光特性を有するアスベストは色が変化して観察されることにより、アスベストと、他のロックウールやろ紙繊維と区別することができる。 （もっと読む）

【課題】結像対象物の光学的走査、好ましくは線状形の光学的走査を行う方法として、装置の振動が少ない方法を提供する。
【解決手段】光学的結像装置は、光源系（２０）と、少なくとも照明レンズ系（４）によって設定された照明光路（３）と、少なくとも観察レンズ系（１２）によって設定された観察光路（１１）とを備える。この照明結像面には、照明視野絞り（２）が照明レンズ系（４）によって結像可能であり、この場合、照明レンズ系（４）と観察レンズ系（１２）とはたがいに分離されたレンズ系である。この光学的結像装置においては、照明光路（３）と観察光路（１１）に、光を反射する単一のミラーボディ（１４）が設けられ、このミラーボディは、旋回軸（１５）を中心に揺動状態で往復旋回可能である。 （もっと読む）

【課題】
自由な形状の測定領域を設定できるアパーチャを備えた顕微分析装置を提供する。
【解決手段】
ａ）試料を載置するための試料ステージと、ｂ）前記試料ステージを水平方向に移動させる試料ステージ駆動手段と、ｃ）前記試料ステージの上方に配置された視野制限のためのアパーチャと、ｄ）前記試料ステージ上の載置された試料を撮影する撮像手段とを具備する顕微分析装置において、前記アパーチャとして液晶シャッターアレイを用い、オペレータの入力操作に応じてアパーチャの位置及び形状が変化するアパーチャ像を作成する。 （もっと読む）

【課題】反射率が大きな被写体でも自動調光が可能な調光方法及び調光装置を提供する。
【解決手段】映像の輝度レベルが所定の値になるように照明の光量を制御する調光装置であって、スリット最大位置ではスリットの中心がランプの軸上で、スリット最小位置ではスリットの中心がランプの周辺（光広がりの限界位置）となるようにしたスリット開口部の形状を用い、照明を通過する光量をスリットによって調整する調光装置において、スリットの移動に対応して、スリットを通過する光量が対数曲線で変化する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の位置や形状などの測定を高精度又は効率的に行なうことが可能な光学測定装置を提供する。
【解決手段】 投光器１１では、互いに同一波長成分の光を出射する発光素子１４同士が、互いに光の干渉が生じない非干渉距離に配置され、互いに異なる波長成分の光を出射する発光素子１４同士が非干渉距離よりも短い干渉距離に配置されている。受光器１３に配列された各受光素子１５の前面には、それぞれに対応した発光素子１４からの光と同一波長成分の光の通過を許容し、他の波長成分の光の通過を阻止するバンドパスフィルタ２１が配されている （もっと読む）

【課題】
入射光の進行方向と反対方向に放射される第２高調波を検出することができるレーザ顕微鏡を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかるレーザ顕微鏡は、レーザ光源１０と、レーザ光源１０からのレーザ光に入射位置に応じた位相差を与える位相板１２と、位相板１２を透過した光を試料３０に集光する対物レンズ１６と、試料３０からレーザ光の進行方向と反対方向に放射された第２高調波と試料３０で反射した基本波とを分離する基本波カットフィルタ２２と、基本波カットフィルタ２２により基本波から分離された第２高調波を検出する光検出器１９とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】観察装置において、観察物である加工物の観察部位を確実にかつ正確に観察することができるようにする。
【解決手段】工作機械保持部１１０は、工作機械の基準軸と光学系（対物レンズＧ１２）の光軸１８０とが一致するように、工作機械の基準軸に装着される。絞り移動機構１２０は絞り５０を光軸１８０に対し垂直方向に移動させる。撮像装置１３０は、絞り５０を通過して入射してくる観察対象としての加工物１０の穴の側壁や溝の側壁の加工状態に対応する光学的な情報を電気信号に光電変換する。 （もっと読む）