【課題】複数の波長域の光を利用した観察若しくは検査において適切な照明を提供する。
【解決手段】ダイクロイックミラー３ａ〜３ｃは、光源１からの光より、異なる波長域の光を抽出する。シャッタ２３ａ〜２３ｃは、ダイクロイックミラー３ａ〜３ｃの各々によって抽出された光を各々遮蔽する。駆動回路９８は、シャッタ２３ａ〜２３ｃで遮蔽させる光の選択を行う。ダイクロイックミラー３ａ〜３ｃは、シャッタ２３ａ〜２３ｃで遮蔽されなかった光を混合する。混合された光は、選択波長集光ポジション７に集光される。 （もっと読む）

【課題】所望する波長域の光を抽出し、抽出した複数の波長域の光を任意に組み合わせて射出することができること。
【解決手段】波長選択ユニット１１は、光源２１ａが発した光を集光して光軸２０に対して傾斜した平行光束ＰＦを射出するコレクタレンズ２５と、平行光束ＰＦ中の所定波長域の光を選択的に反射する選択反射光学系２６と、選択反射光学系２６が反射した各反射光束ＲＦＡ〜ＲＦＤを各々対応する反射光軸２０Ａ〜２０Ｄに対して対称に折り返して射出する折返光学系２７Ａ〜２７Ｄと、各々対応する折返光学系２７Ａ〜２７Ｄの光路の遮断および開放を選択的に行うシャッター機構２８Ａ〜２８Ｄと、を備え、選択反射光学系２６は、折返光学系２７Ａ〜２７Ｄが射出した折返光束ＴＦＡ〜ＴＦＤを再反射し、コレクタレンズ２５は、選択反射光学系２６が再反射した戻り光束ＢＦを集光して光源２１ａの光源像３０を結像する。 （もっと読む）

本発明に従う装置は、基本的に２つの異なる測定モードで作動可能な対物レンズ（８）を有する。第１干渉モードでは、測定対象物（９）は干渉光学的に測定される。第２イメージングモードでは、イメージ処理ルーチンに供される光学イメージが作られる。２つの操作モード間の切り換えは、装置の光路の異なる位置に連結する照明装置を切り換えることで行われる。カメラから見て、一方はビーム分割器の前にあり、他方は参照光路を光路に結合するビーム分割器の後ろにある。
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ＡＴＲ測定を実施するように配置された顕微鏡に使用する付属品が、顕微鏡の可動ステージ（２０）上に取り付けられうるベースプレート（４０）を有する。ＡＴＲ結晶用の取付けアーム（１００）が、支持体の上に担持される。取付けアーム（１００）は、結晶が顕微鏡の軸上に整列する位置から、支持体の上に担持された試料が視覚的に観察されうる位置まで旋回されうるように、ベースプレート（４０）の上に旋回式に取り付けられることが好ましい。取付け台は、結晶が軸上にある、この取付け台の元の位置に確実にかつ再現可能に戻されうるように配置される。
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【課題】容器の傾斜や容器底面の湾曲に拘わらず、常に鮮明な画像を得ることが出来る位相差顕微観察装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る位相差顕微観察装置は、光源21からの光を位相差リング23を介して培養容器５に照射する照明ユニット２と、培養容器５を収納する容器収納部11と、培養容器５を透過した光を対物レンズ部32を経てカメラ33内に結像させる結像ユニット３とを具え、結像ユニット３に入射する観察光の光軸のずれに応じて位相差リング23を移動させ、光軸のずれを解消する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置では検出倍率を上げて微細欠陥検出感度を向上させるため、焦点深度が浅くなり、環境変動によって結像位置がずれ、欠陥検出感度が不安定になる課題がある。
【解決手段】被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の欠陥を斜めから照明し、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する方式で、この結像状態を最良の状態に保つために、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】観察対象物と操作物との立体的な位置を容易に把握し、高倍率でも観察対象物を明るく観察することができる光学観察装置を提供すること。
【解決手段】観察対象物Ｓを観察するための対物レンズ１６を支持する鏡筒３と、この鏡筒３を支持する本体部６と、この本体部６の幅方向、奥行方向Ｄ又は高さ方向Ｈの少なくともいずれか一方に前記鏡筒３を移動させる鏡筒移動用マニピュレータ２０，２１、又は、前記観察対象物Ｓに対する前記鏡筒３の角度を変更させる鏡筒角度変更用マニピュレータ２２の少なくともいずれか一方のマニピュレータと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速な観察が可能な顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】（ａ）に示す回折格子５１は、板状体５２が、透明なガイド５４の中を、矢印方向にスライドするようになっており、移動方向に直角な方向を有する格子パターン５３ａと、移動方向に６０°傾いた方向を有する格子パターン５３ｂと、移動方向に−６０°傾いた方向を有する格子パターン５３ｃが形成されている。板状体５２をスライドさせることにより、格子パターン５３ａ、５３ｂ、５３ｃのうちの一つを選択して、回折格子として使用可能なようになっている。それにより、回折格子を、０°、１２０°、２４０°回転させたのと同じ効果が得られる。この格子パターンの選択のための位置合わせは、高精度を要しないので、回折格子を回転させる場合に比して、高速に格子パターンの選択が可能である。 （もっと読む）

【課題】騒音および風等による振動の発生を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０は、顕微鏡連結部材４０に取り付けられる。顕微鏡連結部材４０は、弾性部材５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを介してベース筐体部５０により保持される。ベース筐体部５０には、原子間力顕微鏡１０、光学顕微鏡２０および顕微鏡連結部材４０を覆うように、フロントケース８００Ａおよびリアケース８００Ｂが取り付けられる。フロントケース８００Ａおよびリアケース８００Ｂは、原子間力顕微鏡１０、光学顕微鏡２０および顕微鏡連結部材４０に接触していない。 （もっと読む）

【課題】最適な傾斜中心点の設定を行い、この最適な傾斜中心点を中心にして鏡体及び内視鏡を傾斜させること。
【解決手段】術部を観察する観察手段（鏡体１２）と、この観察手段を３次元空間の所望の位置に支持し、少なくとも観察手段をその観察光軸上の任意の点を中心に傾斜可能に設定し、かつこの傾斜中心点を観察手段の略観察光軸上で移動させることが可能な観察手段支持アーム機構と、観察手段（鏡体１２）の種類を検出する検出手段（制御部１０２）と、この検出手段の検出結果に応じて、観察手段支持アーム機構の動作状態の切り替えを行う制御手段（ブレーキ制御回路１２３）とを有する。観察手段は、手術用顕微鏡及び第２の観察手段で構成され、制御手段は、検出手段の検出結果に応じて、観察手段支持アーム機構の傾斜中心点を移動する。 （もっと読む）

【課題】観察物体の正確な位相分布を計測し得るよう適切に構成した微分干渉顕微鏡を提供する。
【解決手段】光源からの光を常光および異常光に分離して観察物体１に照射し、観察物体１を経た常光および異常光を重ね合わせて結像面に結像させるようにした微分干渉顕微鏡において、常光および異常光の光路長差を変化させる光路長差変化手段９と、結像面に配置した電子撮像素子４と、この電子撮像素子４からの画像データを処理する画像処理手段５とを有し、光路長差変化手段９により常光および異常光の光路長差を、互いにほぼ等しく符号が異なる２つの状態に変化させ、その各状態での電子撮像素子４からの画像データを画像処理手段５に取り込んで、それらの差画像を得、その差画像に基づいて観察物体１の位相分布を求めるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】 基板の品質を損なわずに非破壊で基板の液浸観察を行える液浸顕微鏡装置を提供すること。
【解決手段】 観察対象の基板１０Ａを支持する支持手段１１〜１３と、液浸系の対物レンズ１４と、超純水の循環経路２６から所定量の超純水を取り込み、該超純水を観察用の液体として対物レンズの先端と基板との間に供給する第１の供給手段１５,１６と、基板の観察後に、観察用の液体を除去する第１の除去手段２０〜２２と、循環経路２６から所定量の超純水を取り込み、該超純水を用いて洗浄用の液体を生成し、該洗浄用の液体を基板のうち観察用の液体と接触していた領域に供給する第２の供給手段１７〜１９と、基板の洗浄後に、洗浄用の液体を除去する第２の除去手段２０〜２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で、装置内部の状況を把握でき、かつ、試料交換時の作業性を向上する。
【解決手段】試料１１を載置するためのステージ８と、試料１１の拡大、縮小像を投影する光学系と、ステージ８および前記光学系を覆うカバー３と、該カバー６の一部となっている開閉部材７と、該開閉部材７の開閉状態を検知するための検知部と、ステージ８を移動させるためのステージ駆動部とを有し、検知部により開閉部材７が開いていることが検知された場合に限り、ステージ駆動部により開閉部材７によって遮蔽されていたカバー６の開口部からカバー６の外側へ、ステージ８が移動可能となる観察装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 コンデンサレンズの微調整に際して手動で駆動でき、ステージの作動に伴うコンデンサレンズの退避時に自動で迅速にコンデンサレンズを大きく移動させ、観察時間を短時間にする。
【解決手段】 ステージ３の試料搭載面３ａに対して近接あるいは離間する方向にコンデンサレンズ５を直線駆動するコンデンサレンズ駆動装置１であって、操作者が回転操作する操作部に固定されたシャフト１０と、該シャフト１０の回転動作をコンデンサレンズ５の直線動作に変換する変換機構とを備える手動駆動部と、モータと、該モータの回転力を前記シャフト１０に伝達して該シャフト１０を所定角度だけ回転させる回転力伝達機構１５とを備える電動駆動部とを有するコンデンサレンズ駆動装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ズーム倍率の変化に連動して最適な照明状態を簡単に得ることができるズーム変倍機構を有する顕微鏡を提供する。
【解決手段】光源装置８からの光を観察試料３に照射するとともに、観察試料３に照射される光の照射範囲を可変可能にした照明機構７と、観察試料３からの光の光軸に沿って配置されるとともに、任意の倍率を設定可能にしたズーム光学系を有するズーム鏡体９を有し、ズーム鏡体９によるズーム光学系の倍率設定に連動させて照明機構７による観察試料３に対する照射範囲を可変させる。 （もっと読む）

【課題】方向性を有する欠陥であっても、欠陥の方向性に依存することなく欠陥像を撮像できる微分干渉顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明による微分干渉顕微鏡は、試料の微分干渉像を撮像装置(11)により撮像し、その映像信号を画像処理装置に出力する。画像処理装置において、第１のシャーリング方向の第１の微分干渉像と第１のシャーリング方向と直交する第２のシャーリング方向の第２の微分干渉像とを画像合成する。画像合成に際し、第１の微分干渉像と第２の微分干渉像とを２乗和処理して画像合成を行う。２乗和処理により、画像の輝度情報の符号が反転するので、欠陥のエッジの周囲にそって明のリング状の画像部分が形成され、方向性の無い欠陥像が撮像される。 （もっと読む）

【課題】 可動部分を小さくして装置の大型化および低速化を防止し、対物レンズの周囲に広い空間を確保して対物レンズの取り回し性を向上するとともに、標本の状態を変化させることなく、標本の異なる位置を顕微鏡観察することを可能とする。
【解決手段】 対物レンズ７を有する顕微鏡本体４を先端側に支持し、レーザ光源３から導かれてきたレーザ光Ｌの光軸回りに揺動させられるアーム１６と、該アーム１６に固定され、レーザ光Ｌを偏向してアーム１６先端側の顕微鏡本体４に入射させる揺動偏向部材２０とを備える顕微鏡移動ユニット１を提供する。 （もっと読む）

【課題】同一光軸上で対向配置されてそれぞれの焦準機構により光軸方向に移動される対物レンズ同士の衝突を確実に防止し、その損傷を防止できる顕微鏡を提供する。
【解決手段】 少なくとも一方のレンズ保持部材１２１に設けられて、焦準機構１２２による移動に伴い対物レンズ１０４，２０４同士が衝突する前にレンズ保持部材１２１，２２１同士の接近動作を規制する棒状スペーサ１３１を備えるので、同一光軸上で対向配置された対物レンズ１０４，２０４をそれぞれの焦準機構１２２，２２２により光軸方向に接近移動させたとしても、対物レンズ１０４，２０４同士が衝突する前に棒状スペーサ１３１がレンズ保持部材１２１，２２１同士の接近動作を規制することで、対物レンズ１０４，２０４同士の衝突を確実に防止できるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡単かつコンパクトな構成でしかも低コストで、試料に対して最適な暗視野光束の照射角度に設定変更すること。
【解決手段】試料１６に照射する暗視野照明照射角度がそれぞれ異なる複数の暗視野枠、例えば各暗視野枠１３ｂ、３３、３６を備え、これら暗視野枠１３ｂ、３３、３６のうちいずれか１つをレンズ胴２１等を有する対物レンズ本体の光軸１１と同軸上に取り付け、対物レンズ本体の外周面との間に暗視野光束用の暗視野筒部２９等を形成する。 （もっと読む）

【課題】 培養容器で培養される試料を観察する顕微鏡において、試料の生育状態に関する情報を自動で取得可能な顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 培養容器で培養される試料を観察する顕微鏡であって、培養容器において試料が存在する第１の面と、所定の条件に基づいて、第１の面と異なる第２の面との少なくとも２つの面に対して焦点調節を行う焦点調節部と、第１の面と第２の面とにおいて、撮像して画像を生成する撮像部とを備える。 （もっと読む）