【課題】 凹凸のある試料面で、仮にその凹凸に周期性があっても、一定の高さに安定して合焦する焦点検出装置を提供する。
【解決手段】 レーザ光源と、レーザ光を平行にするコリメート手段と、平行光線の半分を遮光し半月形とするナイフエッジと、該半月形となった光束を観察対象の表面に投影結像し反射光を平行に戻す対物レンズと、投影光束および反射光束のうち一方を透過し他方を反射して二者の光軸に分離する手段と、分離反射光からの光束を対物レンズの焦点面と共役の焦点面に結像する手段と、対物レンズの焦点面と共役の焦点面に置かれ、結像された像の輝度を出力する手段と、を有し、レーザ光がコリメート手段に入射又は出射側に配置され、コリメート手段で平行光束となるレーザ光を互いにわずかに伝播方向の異なる複数の平行光束群に分割する手段を備え、対物レンズによってこれらが試料面上に投影された時、不等間隔に並ぶ複数の点として結像する。 （もっと読む）

【課題】 薄くても割れない、高温環境下での観察用窓構造を提供する。
【解決手段】 窓を構成する透明部材が超弾性合金にて固定されている。 （もっと読む）

【課題】 鏡筒角を変更してアイポイントの高さを調整したとき、アイポイントの奥行き方向の変位量を小さい鏡筒角可変鏡筒及びこれを備える顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 顕微鏡本体３に取り付けられる鏡筒本体１１に対して、一端に接眼レンズ２２（２３）を備える双眼鏡筒部２１を有する回転枠１２を回動軸Ｏの軸回りで回動可能に設け、回転枠１２の回動に連動して回動軸Ｏの軸回りで回動可能であり、その回動角度の１／２だけ同方向に回動すると共に、その回動中心に反射面と光軸とが交わる点が設けられ、顕微鏡本体３からの光束を反射する第４反射鏡３７と、回転枠１２に設けられ、第４反射鏡３７からの光束を双眼鏡筒部２１に導く第５反射鏡３８とを備え、第５反射鏡３８の反射面と光軸とが交わる点と接眼レンズ２２（２３）との距離が、第４反射鏡３７の反射面と光軸とが交わる点と接眼レンズ２２（２３）との距離よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 標本Ｓが培養液の彎曲液面の中心軸から外れた位置にあっても観察視野の中央で適正な顕微鏡観察ができる光学顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 光学顕微鏡１００には、屈折力可変レンズ２０、屈折力変更機構３０およびレンズ駆動機構４０とが備えられ、マイクロプレートＭは、標本Ｓを培養液とともに収容し、ＸＹ移動ステージ６上に載置されている。屈折力可変レンズ２０は、屈折力変更機構３０によりレンズパワー量を増減することができるとともに、レンズ駆動機構４０によりＸ−Ｙ方向に移動できる。ＸＹ移動ステージ６を移動させて標本Ｓの位置を変えたときには、屈折力可変レンズ２０もＸＹ移動ステージ６と同じように移動させることにより、屈折力可変レンズ２０の光軸を培養液の彎曲液面の中心軸と一致させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、簡単な構成でセクショニング分解能を高めた共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】
共焦点顕微鏡は、光源１からの光を試料１２上に集光する第１の集光レンズ４と、１つのピンホール１５を有するピンホール部材６と、試料１２からの光をピンホール１５に集光する第２の集光レンズ５と、回転軸１４を中心にこの回転軸１４に対してそれぞれ異なる角度をなす複数の鏡面３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄを有するポリゴンミラー３と、光源１からの光をポリゴンミラー３へ導き、ポリゴンミラー３から導かれてくる試料１２からの光を第２の集光レンズ５へ導くビームスプリッタ２と、ピンホール１５に集光した光を検出する光検出ユニット７と、光検出ユニット７により検出された光とポリゴンミラー３の回転に対応した信号に基づき、試料１２の２次元像を生成する制御装置９とを備える。 （もっと読む）

【課題】
高い走査速度と改善されたＳ／Ｎ比で検出する走査顕微鏡の提供。
【解決手段】
本発明は、対象物（１）を結像するための走査型顕微鏡であって、光源（２）と、ほぼ無段階に可変調整可能なスペクトル選択素子（８）と、ほぼ無段階に可変調整可能なスペクトル選択性検出装置（４）と、光源（２）から対象物（１）まで延在する照明ビーム路（３）と、対象物（１）から検出装置（４）まで延在する検出ビーム路（５）とを有し、スペクトル選択素子（８）により光源の光が対象物照明のために選択可能であり、スペクトル選択素子（８）により、対象物（１）で反射および／または散乱された光源（２）の選択光が検出ビーム路（５）から分離可能であり、検出ビーム路（５）に延在する光の少なくとも１つの波長領域がスペクトル選択性検出装置（４）により検出可能である走査型顕微鏡に関する。そして対象物（１）を高い走査速度と改善されたＳ／Ｎ比の下で検出するために、照明ビーム路（３）と検出ビーム路（５）とは共焦点スリットスキャナのように構成されている。
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【課題】 レンズ表面の曇り及び液浸時に付着したコンタミを除去すること。
【解決手段】 照明光学系２０と、光学レンズ系３３と、半導体基板１０を搭載する試料台３７を移動させるためのステージ３４と、光学レンズ系３３と半導体基板１０との間に液体の層を形成するための水注入・回収器３６と、液体が接触する部位の洗浄を洗浄液によって行う洗浄機３８とを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は観察対象である試料を照明する照明手段と、この試料上のパターンの特定の空間周波数成分を除去する空間フィルタとを簡単な構成で実現する顕微鏡装置及びその照明方法を提供する。
【解決手段】 顕微鏡装置の光源４０を、対物レンズ３の瞳面８又はこの瞳面と共役な平面２３上に設け、これらの面上にこの光源４０を支持するための支持手段４０を空間フィルタとして使用する。 （もっと読む）

【課題】 顕微鏡の移動部分を駆動する操作部の配置の自由度が高い操作装置とこれを有する顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 回転ハンドル２１と、前記回転ハンドル２１に接続され、前記回転ハンドル２１の回転により電力を発生する発電機２３ａを有する少なくとも１つの操作部と、前記発電機２３ａに前記発電機で発生した電力を送電可能な配線で接続され前記電力によって前記駆動力を発生する駆動部用モータ１９ａを有する少なくとも１つの駆動部１９を有する操作装置３０。 （もっと読む）

【課題】 レーザの位置ズレを容易に調整することができるレーザー機器の提供。
【解決手段】 共焦点顕微鏡に設けられたビームエキスパンダ１２とレーザ光Ｌを発生する光源２との間の光路上にハーフミラー４１を設けて、レーザ光Ｌを照明光であるレーザ光Ｌ１と検査光であるレーザ光Ｌ２とに分割する。ハーフミラー４１で反射されたレーザ光Ｌ２は光電検出器４２に入射する。レーザ光Ｌの出射角度がθだけずれていると、光電検出器４２上の入射位置は、光路変更ユニット５が光路中に挿入されていない場合には初期位置Ｘ０に対してΔＸ２だけ位置ズレしている。光路変更ユニット５を挿入した場合には、位置ズレ量はΔＸ３に増加する。一方、出射位置がｚ方向にずれた場合には、挿入前後におおて位置ズレ量は変化しない。この位置ズレ量の変化の相異を利用して、出射角度および出射位置の調整を個別に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 より良く試料の形状を観察することができる顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 照明光学系７と、前記照明光学系７に照明光を導くライトガイド５を有し、前記照明光の出射位置５ｂは、前記照明光学系７の光軸Ｉに垂直な面内で移動可能である顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】照明条件などの観察条件の設定を容易にして使い勝手を改善する。
【解決手段】観察対象を照明するための照明部と、照明部により観察対象を照明する照明方向、明るさ、角度の少なくともいずれかを変化させた複数の異なる照明条件を設定するための簡易観察条件設定手段と、簡易観察条件設定手段で設定された複数の照明条件毎に簡易的に取得された複数の簡易観察画像を表示手段の画面上に一覧表示する簡易観察画像表示手段と、簡易観察画像表示手段に表示された複数の簡易観察画像の内から所望の一の簡易観察画像を選択する選択手段と、選択手段で選択された簡易観察画像に設定されている照明条件に基づき、必要に応じてさらに照明条件を設定可能な観察条件設定手段と、観察条件設定手段で設定された照明条件に基づいて、撮像手段で取得された観察画像を表示する観察画像表示手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】１台の走査型顕微鏡において、特性の異なった複数のスキャナを使用可能とする。
【解決手段】顕微鏡、特にレーザ走査型顕微鏡であって、対物レンズＯの瞳Ｐに配置されており、少なくとも１個の反射する第１の部分と少なくとも１つの通過させる第２の部分とからなり、反射する部分は照明光を結合する役目をし、また通過させる部分は検出する方向への検出光の通路の役目をする、あるいは通過させる部分は照明光を結合する役目をし、反射する部分は検出光を分離する役目をするようなビームスプリッタＳＴを通る試料ＰＲの照明と第１のスキャン装置ＳＣとを備え、その際に検出光路に少なくとも照明および検出用のもう１つのスキャン装置を挿入するための手段を備える。 （もっと読む）

【課題】
操作及び取り扱いが改善された電動顕微鏡及びその操作ユニットを提供すること。
【解決手段】
操作ユニットは、顕微鏡の複数の機能ユニットを作動ないし制御する制御コマンドを操作ユニットのマイクロ制御装置に提供することができる少なくとも１つの操作要素、特に操作ホイール（５０、５１、５４）、操作キー（５２ａ〜５２ｈ）及び／又は操作ボール（６３）、を有する顕微鏡用の手動作動操作ユニットであって、前記マイクロ制御装置と連携するメモリ装置は、第１メモリ領域を有し、前記第１メモリ領域は、ソフトウェア、特に前記少なくとも１つの操作要素の機能を定義するソフトウェア、を前記メモリ装置の別のメモリ領域にロードすることができるカスタムブートローダを備える。
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【課題】 照明光の明るさ調整が可能で、しかも撮像手段により良質な画像が撮像できる顕微鏡用照明装置、方法およびコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】 照明光を蛍光試料Ｓ上に導く照明光学系に配置される２次元的に配列された複数の微小ミラー２０１を有するＤＭＤ８の各微小ミラー２０１をＮ×Ｎ個単位（Ｎは整数）に構成し、Ｎ×Ｎ個単位を構成する微小ミラー２０１について所定の個数単位でオフ（またはオフ）状態を増減させて複数階調の明るさを得られるように制御する。 （もっと読む）

【課題】非常に微小な領域の観測と同時に、非常に短い時間領域（例えば、フェムト秒〜数十ピコ秒）で起こる物性現象を捉えることが可能な装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡７０と、時間分解分光ユニット８０を有し、更に、時間分解分光ユニット８０からの光を顕微鏡７０の内部に導く第１導光手段９１と、顕微鏡７０からの光を時間分解分光ユニット８０の内部に導く第２導光手段９２を有する。顕微鏡７０は照明光学系と観察光学系を有する。時間分解分光ユニット８０が、超短光パルス光源５と、超短光パルスを参照光と参照光以外の光とに分岐する分岐手段６と、前記参照光以外の光からポンプ光とプローブ光を生成する光学系と、第２導光手段９２によって導かれた光と前記参照光によって形成された干渉縞を撮像する撮像素子４を備え、第２導光手段９１と撮像素子４の間に２次元光波変換光学系１が配置されている。 （もっと読む）

試料を観察、測定する際に、測定の為の移動量が多い場合でも、また長時間にわたる場合でも、対物レンズ先端部に供給される液浸媒質が対物レンズ先端部からこぼれおちることが少ない液浸対物レンズ、液浸媒質の保持機構およびその製造方法を提供する。
液浸対物レンズ（１０）を使用して試料を観察、測定する装置の液浸媒質（３１）の保持機構であって、対物レンズ先端部近傍の液浸媒質を保持する部材が、液浸媒質に対して親和性の低い第１の材質（α部）と、液浸媒質に対して親和性の高い第２の材質（β部）より構成される。 （もっと読む）

本発明は、それを用いてサンプル（２０）内にある磁気及び／又は電気感受性蛍光マーカ（２１）の空間分布が決められる顕微鏡装置及び方法に関する。蛍光放射線（ＶＦ）は、サンプル（２０）内の一次放射線（ＶＥ）により励起し、顕微鏡により撮像される。同時にサンプル（２０）内において、空間的に不均一な磁場及び／又は電場（３３）が発生し、これは例えば最小の場の強度の小さな焦点領域（２２）を持つ。蛍光放射線の放出は、この焦点領域（２２）において局所的に変更され、測定される強度分布（ＩＦＭ）で観察されることができる。このようにして、顕微鏡の光学解像度よりも下のサイズを持つ領域（２２）にある蛍光マーカ（２１）の分布でさえも再現される。
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【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）