【課題】 基板上の検査領域を容易に識別して走査可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 基板1上の光反応物質に検査光を照射する光源35、検査光により光反応物質で生じた光反応を検出するセンサー27、基板1上の光反応が検出される光反応部位に探針40を配置する配置機構145、及び探針40に光反応部位を走査させる走査機構45を備える。 （もっと読む）

【課題】試料の振動を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡は、ＡＦＭスキャナおよび試料載置台を備える。試料載置台は、移動プレート、Ｚ方向移動機構およびＸＹ方向移動機構３０ｃを含む。ＸＹ方向移動機構３０ｃは、２つのモータＭａ，Ｍｂ、Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０を有する。Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０には、あり溝ガイド方式が用いられている。 （もっと読む）

エバネッセント照明用の少なくとも１つの光源（１）を備え、必要によっては照明光（５）用の調整ユニット（４）を備え、そして対物レンズ（６）を備える全反射顕微鏡検査用の顕微鏡であって、前記照明光（５）および検出光（１３）は、照明ビーム経路（１２）を介して前記対物レンズ（６）を通して導かれ、そして標本（８）または標本カバーの界面における好ましくは全反射された照明光（反射光）（９）が前記照明ビーム経路（１２）に戻る顕微鏡において、前記照明ビーム経路（１２）には、前記戻ってきた反射光（９）を前記照明ビーム経路から少なくとも部分的に分離するための手段（２）と、前記分離された反射光（９）を検出するための手段とが設けられること、および前記分離された反射光（９）の前記ビーム経路（１２）から、前記標本（８）に発生されている前記エバネッセント照明のおよび／またはエバネッセント場の定量化可能なおよび／または条件付け可能なパラメータを導出できることを特徴とする顕微鏡。
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【課題】 分光検出系の小型化を実現できるとともに、多重染色された標本の蛍光測定を効率よく行なうことができる走査型蛍光顕微鏡を提供する。
【解決手段】 レーザ光源ユニットからのレーザ光を標本上で２次元走査し、標本からの蛍光を共焦点ピンホールを通して分光ユニット１６に入射させる。分光ユニット１６は、複数の受光部１７ａを有し、これら受光部１７ａにより受光した光強度に応じた出力を発生する多チャンネル光検出器１７と、共焦点ピンホールを通った蛍光の光路上に配置され、且つ多チャンネル光検出器１７の各受光部１７ａに対応して設けられる分光波長範囲の異なる複数の分光用素子１８を有し、これら分光波長範囲の異なる複数の分光用素子１８は、多チャンネル光検出器１７の各受光部１７ａに対して任意に交換可能とする。 （もっと読む）

【課題】同一光軸上で対向配置されてそれぞれの焦準機構により光軸方向に移動される対物レンズ同士の衝突を確実に防止し、その損傷を防止できる顕微鏡を提供する。
【解決手段】 少なくとも一方のレンズ保持部材１２１に設けられて、焦準機構１２２による移動に伴い対物レンズ１０４，２０４同士が衝突する前にレンズ保持部材１２１，２２１同士の接近動作を規制する棒状スペーサ１３１を備えるので、同一光軸上で対向配置された対物レンズ１０４，２０４をそれぞれの焦準機構１２２，２２２により光軸方向に接近移動させたとしても、対物レンズ１０４，２０４同士が衝突する前に棒状スペーサ１３１がレンズ保持部材１２１，２２１同士の接近動作を規制することで、対物レンズ１０４，２０４同士の衝突を確実に防止できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡を用いて試料裏面から観察を行いながら試料と探針の位置合わせを行うことが困難であったという点である。
【解決手段】 試料に対向する探針と、前記試料を置載面に置載する試料ステージと、前記試料ステージを前記置載面方向に走査すると共に、高さを変化させるスキャナと、を有し、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、前記試料ステージの少なくとも試料を置載する部分が光を透過し、前記試料ステージの置載面の裏面から前記試料を写すミラーと、前記ミラーからの像を受ける光学顕微鏡と、前記試料と前記探針を相対的に位置合わせする位置合手段と、を備え、前記光学顕微鏡の像に基づいて前記試料と前記探針の位置合わせを行う走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】非常に微小な領域の観測と同時に、非常に短い時間領域で起こる物性現象を高精度に捉えられる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡７０と時間分解分光ユニット８０と導光手段９１、９２を有し、超短光パルス光源５と、超短光パルスを参照光とポンプ光とプローブ光に分岐する手段６と、プローブ光と参照光との合波手段３と、合波位置に到達するプローブ光と参照光との時間差調整手段１０と、プローブ光と参照光とによる干渉縞を撮像する素子４を備え、導光手段９１と素子４の間に２次元光波変換光学系１が配置されている。分岐手段６が、ポンプ光とプローブ光との空間分離手段と、試料に到達するポンプ光とプローブ光との時間差調整手段と、参照光とそれ以外の光を分岐する手段とを有し、さらに、前記空間分離手段で分離され、かつ、試料を通過した光からプローブ光のみを抽出する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】
赤外顕微鏡において、指定した領域のマッピング測定に要する時間を短縮する。
【解決手段】
積算回数が少ない段階でスペクトルを評価する手段を設け、現測定点において既に基準を満たすスペクトルを得ているのであれば、次の測定点に移動して新たな測定点での測定を開始する。得たスペクトルの質に基づいて各測定点で必要とされる積算回数を算出し、積算を繰り返すようにする。あらかじめ設定した積算回数だけ繰り返すのではなく、状況に応じて現測定点での測定回数を予測して減少させ、または次の測定点に移動することで、マッピング測定に要する総時間を短縮する。 （もっと読む）

デバイス内でデータ収集を実施するための装置が開示される。デバイスは、標本全体にわたって連続的な非ラスタパターンで走査プローブを操向する。データは、プローブと標本の間の相互作用に応答して収集され、データ集合を形成する。方向転換領域のない螺旋走査パターンが本発明の諸実施形態において使用され、走査パターン内に丸い隅部があるものも、ないものもある。
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視野の共役直角位相のアレイが、各共役直角位相が基板中または上の一対のスポットにより散乱／反射されたビームの視野の共役直角位相の差を含む共焦点干渉計および検出器システムにより干渉により測定される。共役直角位相のアレイは共に、即ち、同時に測定され、各共役直角位相の成分が同時測定される。一般に、各対のスポットは基板表面の名目上の接線方向にスポットの寸法の３倍またはそれ以上の程度の相対変位を有する。次に基板中または上の一対のスポットにより散乱／反射または透過されたビームの視野の共役直角位相が単一システムパラメータの制御による組として調整され、その結果、共役直角位相のアレイの共役直角位相が名目上ゼロになる、即ち、暗視野モードで動作する干渉計および検出器システムで基板に関する情報が得られる。暗視野モードでの動作により情報の低減された系統誤差および統計誤差、および向上したスループットがともにもたらされる。情報は基板の１つまたは多数の表面のプロファイルの横方向微分、基板６０の一次元、二次元および三次元横方向微分画像、基板中または上の形状または人工物の臨界寸法、および基板中または上のサブ波長欠陥の寸法および場所を含む。
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ある媒体中にある対象物で、前記対象物と前記媒体の屈折率の間にミスマッチのある対象物内部の複数位置の干渉測定を実施するための干渉型顕微鏡であって、入力ビームを生成する光源；入力ビームを受光し、それから測定ビームを生成し、その測定ビームを、対象物中の選択されたスポットに結像し、前記選択されたスポットについて帰還測定ビームを生成し、前記帰還測定ビームと参照ビームを結合させて干渉ビームを生成するように構成される干渉計；および、干渉ビームを受光するように配置置される検出システムを含み、前記帰還測定ビームは、対象物から検出システムに至る経路に沿って移動し、前記干渉計は、帰還測定ビームの経路に配置置された物質から成る補償層を含み、前記補償層は、帰還測定ビームの経路にそって、前記対象物と前記媒体の間の屈折率ミスマッチを補償する屈折率ミスマッチを生成することを特徴とする、前記干渉型顕微鏡。
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【課題】ＷＤの長い近接場顕微鏡等の光学装置を提供すること。
【解決手段】光源３０３と、光検出用あるいは照明用の光ファイバプローブ９０４と、物体と、光ファイバプローブ９０４との間に配置され、負屈折を示す媒質で形成された光学素子（負屈折率媒質３０１）と、光ファイバプローブ９０４により検出された光を電気信号に変換するフォトマルチプライヤ９０８とを具備する。 （もっと読む）

【課題】試料に対するより幅広い解析を行うことを可能とすること。
【解決手段】試料５上のＸＹ座標に対応させてＬＳＭ像とＳＰＭ像とをＣＰＵ１８により画像情報メモリ２２ａに記憶し、ＳＰＭ像のＺ座標位置情報ＤｚをＣＰＵ１８により高さ情報メモリ２２ｂに記憶し、ＣＰＵ１８によって高さ情報メモリ２２ｂからＳＰＭ像のＺ座標位置情報Ｄｚを読み出すと共に、画像情報メモリ２２ａに記憶されたＬＳＭ像に含まれる輝度情報Ｄｐを抽出し、これらＺ座標位置情報Ｄｚと輝度情報Ｄｐとを合わせて試料５の三次元画像情報を作成して表示部２３に表示する。 （もっと読む）

【課題】微生物を検出する方法において、微生物を迅速に、正確に、検出できる微生物検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】顕微鏡蛍光原子間力微生物検出手段１５をもちいて、蛍光染色を必要としない顕微鏡観察手段３で観察した箇所と同じ箇所を観察できる機構をもつ原子間力顕微鏡観察手段５を用いて微生物の外形や表面形状を詳細に観察データを処理できるようにしたことと、蛍光染色を施し、蛍光観察手段１１により観察した箇所と同じ位置を観察できる機構をもつ原子間力顕微鏡観察手段５を用いて計測しその計測データを処理できるようにして微生物を検出できるようにしたことにより、検体中の微生物を迅速に正確に検出できる微生物計測方法が得られる。 （もっと読む）

【課題】 実験小動物を始めとする哺乳類の細胞、筋肉等の生体組織、あるいは、心臓、肝臓等の各種臓器を生きたままの状態で、比較的長期間にわたって観察することを可能とする。
【解決手段】 光源と、光源からの光を伝播する光ファイバ１８と、伝播されてきた光を平行光にするコリメート光学系２３および平行光を２次元的に走査させる光走査手段２４を収容する装置本体１１と、装置本体１１に着脱可能に取り付けられ、光走査手段２４により走査された光を被検体Ａの観察対象部位に集光する対物ユニット１２と、被検体Ａからの戻り光を検出する光検出器とを備え、対物ユニット１２が、被検体Ａ内に挿入可能な先端部を有するとともに、対物ユニット１２の装置本体１１への着脱機構３５が、着脱時に、対物ユニット１２の装置本体１１に対する長手軸回りの相対回転を禁止する回り止め３６を備える光走査型観察装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来、カメラ．望遠鏡、双眼鏡等の光学機器を使用する場合、例えば三脚に載設した双眼鏡を水平以上の仰角に上げて対象物を見ようとする時、直立した三脚に設けた双眼鏡の接眼レンズを中腰で覗くことが苦痛であり、三脚の上部に顔が当たり観察等に支障をきたすことがあった。従来の三脚の使用で撮影・観測等を行なう場合に生じる不都合を解決できる光学観察補助装置を提供する。
【解決手段】アーチ状のマスト１の湾曲した内面に繊細なラックギア２を刻設し、該ラックギア２に仰角調整ダイヤル４に刻設したギア５を咬合させ、又は、アーチ状のマスト１の湾曲した内面と、仰角調整ダイヤル４先端部の外面を密着させ、アーチ状のマスト１にはブラケット３に刻設したラチェット８を経てブラケット３に一端を保持されたＵ字状のアーム７を摺回自在に設けた。 （もっと読む）

【課題】少なくとも1つの検出ユニットへ結像させる検出装置を有する共焦点レーザ走査型顕微鏡
【解決手段】
試料領域（23）の照明のための照明光を供給する照明装置（2）、照明光を試料上に誘導して走査する走査装置（3、4）および照明された試料領域（23）を走査装置（3、4）の使用下共焦点絞り（26）により少なくとも1つの検出ユニット（28）上に結像させる検出装置（5）を持つ共焦点レーザ走査型顕微鏡であって、照明装置（2）が走査装置（3、4）に線形照明光を供給し、走査装置（3、4）が線形照明光を試料上に誘導して走査し、および共焦点絞りがスリット絞り（26）として、または共焦点絞りの作用をする検出ユニット（28）のスリット状領域（28、48）として形成されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡の対物レンズの視野とＳＰＭユニットのカンチレバーとの位置関係を正確に表示できる複合型走査プローブ顕微鏡及びそのカンチレバー位置表示方法を提供する。
【解決手段】対物レンズ１０を通して取得される光学観察像を表示器４５に表示し、かつ表示器に表示されている光学観察像上にカンチレバーの先端部の位置を示す指標Ｓを表示する。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡および光学顕微鏡を有するコンパクト化された顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 顕微鏡装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を備える。光学顕微鏡２０の電動ズーム鏡筒２３は、試料載置台３０の側方においてＺ軸方向に延びるように配置され、光軸変換ミラーは電動ズーム鏡筒２３の上端部に配置されている。光学顕微鏡２０のレンズ格納部２１は、光軸変換部２２に取り付けられ、光軸変換部２２は、電動ズーム鏡筒２３の上端部に取り付けられている。電動ズーム鏡筒２３の下端部にＣＣＤカメラ２４が設けられている。試料Ｍからの反射光はミラーにより反射され、レンズ格納部２１のレンズを通して光軸変換部２２の光軸変換ミラーにより反射される。光軸変換ミラーによる反射光は、電動ズーム鏡筒２３を通してＣＣＤカメラ２４に取り込まれる。 （もっと読む）

本発明は、対象（１）を結像するための観察装置（１３）と、レーザ光（３２）が対象（１）の所定の部位（２）にわたって走査しながら送られるレーザ走査装置（１５）とを含む、レーザ光（３２）を利用して特に光切断法を用いて対象（１）を処置する装置に関する。本発明によって、このような装置は、対象（１）を結像するための第１の対物レンズ（１４）を有する観察装置（１３）と、第２の対物レンズ（１６）を有し、該第２の対物レンズを通してレーザ光（３２）が送られるレーザ走査装置（１５）とを有し、２つの対物レンズ（１４、１６）は像内に表示可能な領域の大きさ、および／またはレンズ・像間距離が互いに異なっており、さらに、第１の動作モードでは第１の対物レンズ（１４）を通して、また第２の動作モードでは第２の対物レンズ（１６）を通して対象（１）のそれぞれの領域を交互に結像するための手段を備えている。それによって、双方の動作モードでそれぞれの要求に適合する対物レンズ（１４または１６）を結像のためにそのつど使用することができる。
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