【課題】 被照射面上の各点に関する瞳強度分布において光軸を挟んで所定方向に間隔を隔てた一対の領域の光強度差を調整する。
【解決手段】 光源（１）からの光で被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系は、オプティカルインテグレータ（８）を有し、このオプティカルインテグレータよりも後側の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系（３，４，７，８）と、照明瞳の直前または直後の位置に配置されて被照射面上の１点に向かう光を遮光する遮光部材を用いて瞳強度分布を補正する補正ユニット（９）とを備えている。補正ユニットでは、所定の軸線廻りに遮光部材を回動させることにより、被照射面の所定方向（Ｙ方向）に沿った一方の周辺における１点に向かう光の遮光部材による減光率と他方の周辺における１点に向かう光の遮光部材による減光率との割合が変化する。 （もっと読む）

【課題】色光毎に光変調素子を準備しなくてもフルカラー表示を行うことが可能で、かつ、従来のプロジェクターよりも光利用効率の高いプロジェクターを提供する。
【解決手段】紫外光を射出する光源装置１１０、インテグレーターロッド１２０、紫外光色光列に変換して射出するカラーホイール１３０及びリレー光学系１６０を備える照明装置１００と、色光列を画像情報に応じて変調する光変調装置２００と、投写光学系３００とを備えるプロジェクターであって、カラーホイール１３０は、赤色光射出領域１３１Ｒと、緑色光射出領域１３１Ｇと、青色光射出領域１３１Ｂとが周方向に沿って配列された構造を有し、各色光射出領域は、紫外光を対応する色光に変換して放出する蛍光層を有し、照明装置２００は、色光列を集光してリレー光学系１６０に導光する集光レンズ１５０をさらに備えるプロジェクター１０００。 （もっと読む）

【課題】 周方向偏光状態から部分的に崩れた性状を有する部分周方向偏光状態に設定された輪帯状の瞳強度分布を形成する。
【解決手段】 本発明の照明光学系中の偏光変換ユニット（５）は、第１方向（Ｙ方向）に対向した第１光束（Ｌ１１）および第４光束（Ｌ１２）を第１の偏光状態に変換する第１偏光変換部（５１ａ，５１ｂ）と、第２方向（Ｘ方向）に対向した第２光束（Ｌ１３）および第５光束（Ｌ１４）を第２の偏光状態に変換する第２偏光変換部（５２ａ，５２ｂ）と、第１光束と第２光束との間の第３光束（Ｌ１５）、第１光束と第５光束との間の第６光束（Ｌ１６）、第４光束と第２光束との間の第７光束（Ｌ１７）、第４光束と第５光束との間の第８光束（Ｌ１８）を、偏光度の低い第３の偏光状態の光束に変換する第３偏光変換部（５３ａ，５３ｂ，５３ｃ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ素子が発光する光を効率良く利用でき、さらに、ＬＥＤ素子の温度が上がりにくい光源装置、投射型表示装置、及び背面投射型表示装置を提供する。
【解決手段】
カバー部１１は光源２を保護する。集光部１０において、光源２が発する光が入射する入射部２００ｂを、カバー部１１よりも光源２側に位置させ、入射部２００ｂより入射された光を集光した光が射出する射出部２００ｔを、カバー部１１に対して光源２とは反対側に位置させる。 （もっと読む）

【課題】マイクロレンズアレイを組み込む場合にも、液晶デバイスの温度上昇を抑えるとともに、表示画像のコントラストの低下を抑えることができる液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】液晶ライトバルブ２５ａ，２５ｂ，２５ｃにおいて、入射側防塵板７４ａに熱伝導率の高い複屈折材料を用いることにより、液晶デバイス８０の冷却効果を高めることができる。また、液晶デバイス８０の光入射側の部分にマイクロレンズアレイ７２ａが配置されるので、入射光の利用効率を高めることができる。さらに、射出側防塵板７４ｂに等方性の屈折材料を用いることにより、液晶デバイス８０を通過した光束に対してその偏光状態が変化するような位相作用を与えてしまうことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】ロッドインテグレータ本来の機能を損なうことなくスペックルパターンを低減するロッドインテグレータ及びそれを備えた投影装置を提供する。
【解決手段】ロッドインテグレータ１０を光源側から順に回転ロッド１１と固定ロッド１２を並べて配置して構成する。これにより、回転ロッド１１の回転により一定期間内にスペックルパターンが数多く重畳し平均化することでスペックルが低減される。又、固定ロッド１２を介して射出されることで、映像表示素子の形状に合わせた形状で且つ均一な光強度分布の射出光を射出することができる。 （もっと読む）

【課題】 被照射面上の各点での瞳強度分布をそれぞれほぼ均一に調整することのできる照明光学系。
【解決手段】 光源（１）からの光で被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系（２〜１２）は、オプティカルインテグレータ（８）を有し、このオプティカルインテグレータよりも後側の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系（３，４，７，８）と、照明瞳の直前または直後の位置に配置された補正ユニット（９）とを備えている。補正ユニットは、被照射面上の１点に向かう光の減光率と、該１点とは別の１点に向かう光の減光率とを異ならせるように被照射面上の１点に向かう光を減光する減光部材と、減光部材を照明光学系の光軸（ＡＸ）の方向（Ｙ方向）に移動させる駆動部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】機械的な振動や、光量の利用効率の低下、光量の不均一な分布等を生じることなく、低コストにてスペックルノイズの低減を実現することが可能な照明光学装置および投影装置を提供する。
【解決手段】側面に複数の貫通孔４３がランダムに配置された多角形筒体４２を、ライトトンネル４１の内部における入射端４１ａの側に同軸に配置して回転させ、多角形筒体４２の入射端４２ａから入射するレーザー光等の照明光２９を、多角形筒体４２の入射端４２ａから出射端４２ｂに至る全反射光２９ａと、貫通孔４３が出射する透過光２９ｂとに分散させて通過させ、多角形筒体４２の回転によって、ライトトンネル４１の出射端４１ｂから出射される照明光２９のスペックルを均一化して目立たなくする光学装置４０である。 （もっと読む）

【課題】 光軸に沿って比較的コンパクトな構成を有し且つ射出側の開口数の小さい照明光学系。
【解決手段】 光源（ＬＳ）からの光により被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系（１〜６）において、光源と被照射面との間の光路中に配置されてほぼ平行光束状態の入射光を被照射面まで導く伝送光学系（４）は、第１面内に配列された複数の第１負レンズ面を有する第１レンズアレイと、第１レンズアレイの後側に配置されて、第２面内に配列された複数の第２負レンズ面を有する第２レンズアレイと、第１レンズアレイと第２レンズアレイとの間の光路中に配置された第１集光光学系と、第２レンズアレイと所定面との間の光路中に配置された第２集光光学系とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 被照射面上の各点での瞳強度分布をそれぞれほぼ均一に調整することのできる照明光学系。
【解決手段】 光源（１）からの光で被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系（２〜１２）は、照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系（３〜８）と、照明瞳を含む照明瞳空間に配置された補正ユニット（９）とを備えている。補正ユニットは、第１減光パターンが形成された第１フィルタ（９１）と第２減光パターンが形成された第２フィルタ（９２）と第３減光パターンが形成された第３フィルタ（９３）と第４減光パターンが形成された第４フィルタ（９４）とを備えている。第１フィルタと第２フィルタおよび第３フィルタと第４フィルタとは、光軸廻りの相対位置が変更可能である。第１フィルタおよび第２フィルタと第３フィルタおよび第４フィルタとは、光軸方向に相対位置が変更可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】マスクを所定の偏光状態の照明で照明するに際し、照明光の光量損失を少なくし、かつ良好な照明均一性を達成できる照明光学装置等を提供する。
【解決手段】照明光学装置は、光源からの実質的に単一の偏光状態の光に基づいて第１物体を照明する照明光学系に含まれる偏光変換部材を備える。偏光変換部材により、照明光学系の光軸に垂直な所定の面内における所定の輪帯相当領域である特定輪帯領域に分布する照明光の偏光状態が、所定の偏光状態に変換される。偏光変換部材は、照明光学系の光軸と垂直な面内においてそれぞれ異なる位置に配置される複数の偏光変換素子を備え、これら複数の偏光変換素子は、旋光性を有する材料で形成される。 （もっと読む）

【課題】被照射面での光強度分布を調整することができる照明光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】照明光学系は、該照明光学系の光軸と交差する面内に配列される複数のシリンドリカルレンズ面５４を有し、光源装置からの露光光ＥＬが入射した場合に照明瞳面に所定の光強度分布を形成する第１のオプティカルインテグレータ２６と、第１のオプティカルインテグレータ２６の光源装置側に配置され、複数のシリンドリカルレンズ面５４に個別対応する複数のシリンドリカルレンズ面６６を有する第２のオプティカルインテグレータ６５と、第２のオプティカルインテグレータ６５を、第１及び第２のオプティカルインテグレータ２６，６５の間の間隔を変更させるべくＹ軸方向に沿って移動させる移動機構とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被照射面での光強度分布を調整することができる照明光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】照明光学系１３は、光源装置１２からの露光光ＥＬが入射した場合に照明光学系１３の照明光路内の照明瞳面２９に二次光源３０を形成するオプティカルインテグレータ２８と、二次光源３０から射出される露光光ＥＬの光路内に配置され、該露光光ＥＬの入射角によって遮光量が相違するように配置された遮光部材と、該遮光部材を露光光ＥＬの光路内で変位可能とする変位機構５８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】被照射面上での瞳強度分布を調整することができる照明光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】照明光学系１３は、光源装置１２からの露光光ＥＬが入射した場合に照明光学系１３の照明光路内の照明瞳面２９に二次光源３０を形成するオプティカルインテグレータ２８と、二次光源３０から射出される露光光ＥＬの光路内に配置され、該露光光ＥＬの入射角によって遮光量が相違するように配置され、互いに相対変位可能な複数の遮光部材により構成される遮光ユニットと、該遮光ユニットにおける各遮光部材を露光光ＥＬの光路内で個別に変位可能とする変位機構５９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安価な製造コストで作成でき、映像品位を著しく損ねることが無い投写型画像表示装置を提供する。
【解決手段】本願発明に係る投写型画像表示装置１００は、角筒形状のライトパイプ４備えている。当該ライトパイプ４の内面の角部において、ライトパイプ４の光出射側の第一の端面（出射面４ｏ）から、当該ライトパイプ４の光入射側の第二の端面（入射面４ｉ）に向けて所定の距離Ｌだけ離れた位置までの範囲では、光学欠陥を有さない。ここで、所定の距離Ｌは、ライトパイプ４の第一の端面の開口部の対角寸法Ｄを、ｔａｎθｍで除算した値である。また、θｍは、ライトパイプ４の第二の端面に入射する光のうち、最大強度を有する光の第二の端面における光源の光軸を基準とした入射角度である。 （もっと読む）

【課題】照明装置の光源装置から射出される照明光を無駄なく使用することを可能にする照明装置と、これを有する顕微鏡装置を提供すること。
【解決手段】標本を照明するための照明光を射出する光源装置１０と、前記照明光を前記標本に集光するコンデンサレンズ２４と、前記標本からの光を集光し、前記標本の像を形成する対物レンズ２８とを有し、前記光源装置は、前記対物レンズの瞳位置において、光軸からの位置に応じて配光特性が異なる照明光を射出するための光学部材１０を有することを特徴とする照明装置１。 （もっと読む）

【課題】光学的な位置合わせのために矩形板状の端面に設けられる基準面について、金型を用いて成形される際の離型性に起因する精度不良の発生が抑制されたレンズアレイ素子を提供する。
【解決手段】矩形板状の外形を有してその板面を光透過面とし、少なくとも一方の板面に複数のセル状レンズ３が形成されている。矩形板状の外形における端面４は、一方の板面６から他方の板面２に向かって内側に倒れた傾斜面を形成し、端面うち、少なくとも隣接する２つの端面にはその一部に、板面に対して垂直な基準面５が形成される。端面の傾斜面と並んだ基準面の領域の正面視形状は台形であり、台形の斜辺７が一方の板面から他方の板面２に向かうように配置され、台形の上底９が第２の板面の側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】
光軸方向から見て円形の凹面反射鏡の上下を切り落として略長方形の形状としたときでも、副反射鏡や補助反射鏡を用いることなく、もとの円形凹面反射鏡を用いた場合と同程度の光利用効率を得られるようにする。
【解決手段】
高圧放電ランプ（２）と凹面反射鏡（３）とを備え、凹面反射鏡（３）は、その光軸（Ｚ）に直交する二軸をＸ軸及びＹ軸としたときに、反射鏡（３）の周面がＺ軸を対称軸とし且つＺＸ面に平行な二つの平面で切断されて、反射鏡周面とＹ軸が交差する部分に二つのアーチ状の切欠部（１２Ａ、１２Ｂ）が対向形成され、放電ランプ（２）の発光部（４）の外周面には、発光部（４）から切欠部（１２Ａ、１２Ｂ）に向ってＹ軸方向に所定の角度範囲で照射される光束と交差する部分に、その光を集光エリア（ＳＰ）に向かって屈折又は反射させるプリズム面（１３Ａ、１３Ｂ）をＺＸ面に対して対称に形成した。 （もっと読む）

【課題】画像投影装置において、反射型空間変調素子を用いてもコンパクトな構成の装置とする。
【解決手段】反射型空間変調素子５の表示画像を投影する画像投影装置１００であって、投影光学系４は、反射型空間変調素子５に近接され、反射型空間変調素子５による反射光を集光するとともに照明光学系３の一部をなす視野レンズ４１と、視野レンズ４１で集光された反射光を投影する第１光学系４２とを備え、照明光学系３は、視野レンズ４１および第１光学系４２の間の光路の側方に設けられ、光源部１からの光を集光する第２光学系３１と、視野レンズ４１および第１光学系４２の間の光路を挟んで第２光学系３１に対向して配置され、少なくとも反射面３２ｂを有することで第２光学系３１からの光を視野レンズ４１を介して反射型空間変調素子５上に照射せしめる第３光学系３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 放射の強度における損失および／または装置の増大した複雑さが除去または緩和されるＥＵＶ放射リソグラフィのためのリソグラフィ装置および方法を提供すること。
【解決手段】 レンズの第１アレイとレンズの第２アレイとを含む透過型フライアイインテグレータが開示される。レンズの第１アレイとレンズの第２アレイとは合わせてフライアイインテグレータを形成し、レンズの第１アレイおよびレンズの第２アレイは、５μｍ〜５０μｍの範囲から選択された直径、および、２５μｍ〜２５００μｍの範囲から選択された曲率半径を有するレンズを含む。 （もっと読む）