【課題】 所定方向に沿って台形状の光強度分布を有する照明領域を感光性基板上に形成し、該照明領域のボケ幅の大きさを所要の範囲内で変更する。
【解決手段】 所定のパターン（Ｍ）を照明する照明系（１〜７）を備え、パターンを感光性基板（Ｗ）に露光する露光装置は、照明系の光路中に配置されてパターンの面と光学的に共役な共役面を形成する結像光学系（７：７ａ，７ｂ）と、感光性基板上に形成される照明領域の第１方向（Ｙ方向）に沿った光強度分布を台形状に整形するために、共役面の近傍の面に沿って光束の一部を遮る遮光部材（６）と、照明領域において台形状の光強度分布の斜辺に対応する端部領域の幅を変化させるために、共役面と遮光部材の遮光面との位置関係を変更する制御部（ＣＲ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被照射面上の位置毎の光強度を均一に調整することができる回折光学素子、照明光学系、露光装置、デバイスの製造方法、及び回折光学素子の設計方法を提供する。
【解決手段】光源装置から射出される光に基づいて所定のパターンを照明する照明光学系と、所定のパターンの像をウエハ上に投影する投影光学系と、を備えた露光装置に設けられ、光を回折して所定のパターンを重畳的に照明する第１回折光学素子２４及び第２回折光学素子２６の設計方法であって、ウエハ上の複数の位置に照射される光の角度方向の光強度分布がそれぞれ等しくなるように、第１回折光学素子２４及び第２回折光学素子２６によって回折される光の角度方向の光強度分布を設定する。 （もっと読む）

【課題】偏光方向の揃った偏光光を均一化させるために、ロッドインテグレーターに入射させる場合において、ロッドインテグレーター内での偏光方向の乱れが少なく、光利用効率の高い照明装置を提供することを目的とする。
【解決手段】偏光方向の揃った光を射出する光源１０と、光源側の入射口２０ａから入射した光を他方側の射出口２０ｂに導光して射出するロッドインテグレーター２０と、を有し、ロッドインテグレーター２０は、自身の中心軸に対して垂直な方向において、内側よりも外側の方が相対的に低い屈折率の材料で覆われていることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明の一実施形態は、照明光学系の光路中に配置され、連続性の高い周方向偏光状態の瞳強度分布を実現するための構造を備えた偏光変換ユニットに関する。入射光を所定の偏光状態の光に変換する偏光変換ユニットは、第１光学素子と第２光学素子を備える。第１光学素子は、複数の第１領域を有し、少なくとも隣り合う２つの第１領域は、異なる偏光変換特性を有するよう厚みが異なる。第２光学素子も、同様に、複数の第２領域を有し、少なくとも隣り合う２つの第２領域は、異なる偏光変換特性を有する。第１および第２光学素子は、１つの第１領域を経た光束が隣り合う２つの第２領域に入射するように配置され、これにより、光の通過位置ことに第１および第２光学素子の厚みの合計が変えられている。 （もっと読む）

【課題】投影光学系のレンズに生じうる不均一な温度分布による結像特性の低下を抑制する。
【解決手段】物体面に配置される原版９のパターンを像面に配置される基板１８に投影する投影光学系を有する露光装置において、前記投影光学系は、前記物体面から前記像面に至る光路に前記物体面から順に配置された第１平面鏡１１、第１凹面鏡１２、凸面鏡１４、第２凹面鏡１５、第２平面鏡１６と、前記第１凹面鏡１２と前記凸面鏡１４との間および前記凸面鏡１４と前記第２凹面鏡１５との間に配置された正のパワーを有する屈折光学系２０とを有し、前記屈折光学系２０は、屈折率の温度変化係数が正の材料で構成された第１レンズ１３ａと、屈折率の温度変化係数が負の材料で構成された第２レンズ１３ｂとを含む。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成に基づいて回折光学素子と空間光変調器との切り換えを行い、ひいては瞳強度分布の形状および大きさについて多様性に富んだ照明条件を実現する。
【解決手段】 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学系は、二次元的に配列されて個別に制御される複数のミラー要素を有する空間光変調器（３２）と、空間光変調器と並列的に配置された反射型の回折光学素子（３１ａ）と、光源から入射した光を回折光学素子および空間光変調器のうちの少なくとも一方へ選択的に導く選択導光部（３３，３４）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 積分球からの射出光と、クリティカル照明法とを組み合わせることで、被照射面上での均一な照度分布を達成する照明光学系を提供する。
【解決手段】 光源２から被照射面６ａまでの光路上に、光源２からの光を導入するための入射側開口１１と、入射側開口１１から導入した光をその内部で拡散反射を繰り返し均一な光束発散度を持つ光として射出するための射出側開口１２とが形成された積分球１を配置した照明光学系であって、射出側開口１１は、照明光学系の光軸が積分球１の中心と射出側開口１１の中心とを通る線と一致し、且つ、光源２からの光が積分球１を通って、射出側開口１１と共役関係にある被照射面６ａを照明するように、積分球１に形成される。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置は、光学面（４６；Ｍ６）と、光学面上の複数の別々の区域において光学面に関連するパラメータを測定する測定デバイス（９０）とを含む。測定デバイスは、個々の測定光ビーム（９４）を光学面上の区域に向けて誘導する照明ユニット（９２）を含む。各測定光ビームは、区域のうちの測定光ビームに関連付けられた少なくとも一部分と、隣接区域のうちの測定光ビームに関連付けられていない少なくとも一部分とを照明する。検出器ユニット（９６）は、各測定光ビームが光学面と相互作用した後に各測定光ビームに関する特性を測定する。評価ユニット（１０２）は、選択された区域に関連付けられた測定光ビームと、選択された区域に隣接する区域に関連付けられた少なくとも１つの測定光ビームとに対して検出器ユニット（９６）によって判断された特性に基づいて選択された区域に関する面関連パラメータを判断する。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置においてマスクを照明するための照明系は、ミラーのアレイ（４６；１２０）又は他のビーム偏向要素（４８）を含む。各々ビーム偏向要素（４８）は、ビーム偏向要素（４８）によって生成される偏向角を変更することによって可変である位置で面上に投影光点（７３ａ，７３ｂ）を生成する。スポット形状測定ユニット（１０６）は、スポット形状測定ユニット（１０６）上にビーム偏向要素（４８）によって生成されるスポットの形状を測定する。スポット形状測定ユニット（１０６）は、アレイ（４６；１２０）とマスク（１６）との間で投影光が辿ることが許される可能な全ての経路の外側に配置される。制御ユニット（５０）は、装置（１０）の露光作動中の所定の瞬間に少なくとも１つのビーム偏向要素（４８）が投影光をスポット形状測定ユニット（１０６）上にのみ誘導し、少なくとも一部のビーム偏向要素（４８）が投影光を面（７１）上にのみ誘導するようにビーム偏向要素（４８）を制御する。 （もっと読む）

【課題】レンズとレンズとの間に隙間が生じないように簡易に組み合わせることができる構造を有するインテグレータおよびこれを用いた光照射装置を提供すること。
【解決手段】矩形状のレンズ４１を側面が当接するように一方向に並べ、低融点ガラスによって互いに融着させて、短冊状のレンズセグメント４２を形成する。その長手方向の両端には、ガラス板からなる保持しろ板４３が接続される。レンズセグメント４２の保持しろ板４３を保持枠５１ａ，５１ｂの溝５１ｃにはめ込んで、複数のレンズセグメント４２を隙間なく並べ、両側に保持枠５１ｄを取り付けてインテグレータのレンズユニットを製作する。このように構成された２組のレンズユニットを筐体内に対向させて配置してインテグレータを構成する。このように構成されたインテグレータは、光源から出た光を被照射面に照射する光照射装置において照度分布を均一するために用いられる。 （もっと読む）

【課題】 省スペース化を図り且つ光量損失およびフレアの発生を小さく抑えつつ、被照射面に形成される照明領域の照度ムラを補正する。
【解決手段】 二次元的に並列配置された複数の波面分割要素を有するオプティカルインテグレータ（７）は、一方向（Ｘ方向）に並んで形成された複数の円筒面状の第１入射屈折面（７ａａ）、および一方向（Ｚ方向）に並んで形成された複数の円筒面状の第１射出屈折面（７ａｂ）を有する第１光学部材（７ａ）と、第１光学部材の後側に配置されて、一方向（Ｘ方向）に並んで形成された複数の円筒面状の第２入射屈折面（７ｂａ）、および一方向（Ｚ方向）に並んで形成された複数の円筒面状の第２射出屈折面（７ｂｂ）を有する第２光学部材（７ｂ）とを備えている。複数の屈折面のうちの少なくとも１つの屈折面に、所定の透過率分布を有する減光領域が設けられている。 （もっと読む）

【解決手段】反射要素のアレイが開示される。反射要素の少なくともひとつはマウンティングに取り付けられる。そのマウンティングは少なくとも部分的にスリーブ内に位置するロッドを含む。ロッドの第１端はスリーブの第１端に固定され、ロッドの第２端は可動とされる。スリーブは、ロッドの第２端の動きが生じることを許すために曲がるよう構成された第１弾性柔軟部を含む。反射要素は、スリーブが曲がることで反射要素が回転するようにスリーブの第１端に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】波長板として機能する光学部材の製造誤差の影響を実質的に受けることなく、所望の偏光状態の光で被照射面を照明する照明光学装置。
【解決手段】光源（１）からの光に基づいて被照射面（Ｍ，Ｗ）を照明する照明光学装置。照明瞳面またはその近傍に配置されて、入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換するための偏光変換素子（１２）を備えている。偏光変換素子は、入射する直線偏光に旋光角度を可変的に付与するための複数の可変旋光部材を有する。各可変旋光部材は、旋光性を有する光学材料により形成され且つ光軸（ＡＸ）と交差する方向に沿って相対的に移動可能な２つの偏角プリズムを有する。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤを用いた光照射装置において、積算光量の突出を抑制し、被照射面における照度分布の均一化を図ること。
【解決手段】光照射装置はセグメント光源２を複数並べられて構成され、各セグメント光源２は、複数のＬＥＤ２３からの光が照射されるインテグレータレンズ２８と集光レンズ２９１とを有し、ＬＥＤ２３からの光はワーク５である光照射面に照射される。インテグレータレンズ２８１のＬＥＤ２３に対向する側の各セルレンズの開口サイズは、大きさの異なる複数のサイズＳ，Ｍ，Ｌから構成され、このため光照射面では、中心部分では最も照度が高く、中心から外縁に向かって順次照度が小さくなるような照度分布となる。このため、２つのセグメント光源が重ね合わされる部分は、照度が小さい部分が重ね合わせられることとなり、セグメント光源間における積算光量の突出を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 所定方向に沿って台形状の光強度分布を有し且つ各点に関する瞳強度分布の形状がほぼ一様な照明領域を形成することのできる照明光学系。
【解決手段】 光源（１）からの光により被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系は、オプティカルインテグレータ（７）の直後の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系（３，４，６，７）を備えている。オプティカルインテグレータは、光軸（ＡＸ）と直交する平面（ＸＺ平面）に沿って矩形状の断面を有する複数の波面分割要素を備えている。複数の波面分割要素のうちの少なくとも１つの波面分割要素の矩形状の断面の一辺に沿った一方の端部領域および他方の端部領域にそれぞれ光学的に対応する第１領域および第２領域には、減光領域が設けられている。 （もっと読む）

【課題】液面の曲がりに拘わらずムラの発生を防止し、観察対象物の全体を均質に観察することを可能にする観察装置を提供する。
【解決手段】光を透過させる略円筒形のウェル２０に液体及び観察対象物が収容され、液体及び観察対象物に照明光を照射して液体及び観察対象物を通過する光により観察対象物を観察する観察装置において、ウェル２０の液体及び観察対象物に照明光を照射する光源１１と、観察対象物及び収容部を通過した光を通過させる対物レンズ３１と、撮像面上に結像された観察対象物の像を撮像する撮像素子４０とを備え、ｒ／（α−β−δ）＜ｔ＜ｒ／β及びβ＝ｓ１／ｔを満たすことを特徴とする。但し、ｒはウェル２０の半径、αは対物レンズ３１の開口数、δは液体を通過したときの最大屈折角、ｔは底面２０ａから第２絞り１４までの距離、ｓ１は第２絞り１４における光束の半径である。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの光源と、規則的に配置された複数の光チャネルとを備える投射型表示装置に関する。複数の光チャネルは、それぞれに１つのオブジェクト構造が結像される少なくとも１つの対物レンズ、及び少なくとも１つの対物レンズに割り当てられる少なくとも１つの投影レンズを含む。割り当てられたオブジェクト構造から、投影レンズまでの距離は、投影レンズの焦点距離に対応する。一方、割り当てられた対物レンズから、結像されるべきオブジェクト構造までの距離は、割り当てられた投影レンズによってケーラー照明を構成できるような距離に選択される。個々の投影を重ね合わせることにより、全体画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】 均一性補正システムを含むリソグラフィ装置が開示される。
【解決手段】システムのフィンガーは、放射ビームのそれぞれの部分の強度を補正するために放射ビームとの交点の内側へ、また外側へ移動可能であるように構成される。システムは、フィンガーのうちの対応するフィンガーに結合され、対応するフィンガーを移動させるように構成された作動デバイスをさらに含む。各フィンガーの先端の幅は、作動デバイスの幅の約半分である。 （もっと読む）

【課題】所期状態で物体を照明できる照明装置を提供する。
【解決手段】照明装置は、光源から供給された照射光に基づいて第１面を照明する。照明装置は、光源からの照射光を第１偏光状態の第１照射光と第２偏光状態の第２照射光とに分離する偏光分離光学素子と、二次元的に配列され、偏光分離光学素子からの第１照射光を反射可能な第１反射素子を複数有し、複数の第１反射素子の反射面のそれぞれが第１面と光学的に共役位置に配置される第１空間光変調器と、二次元的に配列され、偏光分離光学素子からの第２照射光を反射可能な第２反射素子を複数有し、複数の第２反射素子の反射面のそれぞれが第１面と光学的に共役位置に配置される第２空間光変調器と、複数の第１反射素子及び第２反射素子を制御して、第１照射光が照射される第１面における第１照度分布、及び第２照射光が照射される第１面における第２照度分布を調整する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら、複数の紫外光ＬＥＤから発した光を効率的に集光することができる露光機用光源装置を提供する。
【解決手段】平面基板の表面上に縦横に敷設された複数の紫外光ＬＥＤと、前記各紫外光ＬＥＤにそれぞれ対応して設けられた複数のレンズと、当該複数のレンズを保持するレンズ保持部材と、を備えており、前記各紫外光ＬＥＤの光軸Ａと、前記各紫外光ＬＥＤに対応して設けられたレンズの光軸Ｂとが、前記平面基板の表面に対して垂直であり、前記各紫外光ＬＥＤのうち、その光軸Ａが前記平面基板の表面と同一平面上に設定した所定の点を通るものでは、前記光軸Ａと前記光軸Ｂとが一致し、前記各紫外光ＬＥＤのうち、その光軸Ａが前記所定の点を避けて通るものでは、前記光軸Ａと前記光軸Ｂとが、前記所定の点に近い方から、光軸Ｂ、光軸Ａの順に並んでおり、前記紫外光ＬＥＤのうち前記所定の点から遠いものほど、前記光軸Ａと前記光軸Ｂとの間が離れているようにした。 （もっと読む）