【課題】所期状態で物体を照明できる照明装置を提供する。
【解決手段】照明装置は、光源から供給された照射光に基づいて第１面を照明する。照明装置は、光源からの照射光を第１偏光状態の第１照射光と第２偏光状態の第２照射光とに分離する偏光分離光学素子と、二次元的に配列され、偏光分離光学素子からの第１照射光を反射可能な第１反射素子を複数有し、複数の第１反射素子の反射面のそれぞれが第１面と光学的に共役位置に配置される第１空間光変調器と、二次元的に配列され、偏光分離光学素子からの第２照射光を反射可能な第２反射素子を複数有し、複数の第２反射素子の反射面のそれぞれが第１面と光学的に共役位置に配置される第２空間光変調器と、複数の第１反射素子及び第２反射素子を制御して、第１照射光が照射される第１面における第１照度分布、及び第２照射光が照射される第１面における第２照度分布を調整する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】画像投射装置において、測距センサや装置を大型化することなく、投射レンズをシフトさせても良好に測距が行えるようにする。
【解決手段】画像投射装置は、投射レンズ１００を光軸方向とは異なる方向にシフトさせるシフト手段３２０と、投射レンズを通して投射された測距用画像に含まれる特定パターンＰを検出して測距を行う測距センサ２００と、シフト手段による投射レンズのシフト位置を検出するシフト位置検出手段３２５と、該シフト位置検出手段により検出されたシフト位置に応じて、特定パターンが測距センサの検出視野Ｆ内に位置するように測距用画像Ａ，Ｂを変更する画像変更手段３３０とを有する。 （もっと読む）

均質化手段（１）であって、作業平面（８）において、レーザビーム（３）の、均質化手段（１）から出射された部分ビーム（６）の群（７）が、線の端部において有限であるが急峻に低下する側部（１０）を有する線形強度分布（９，１９）を生じ得るように、部分ビーム（６）の複数の群（７）を、個別に均質化することが可能である均質化手段（１）と、長さが、部分ビーム（６）の群（７）の線形強度分布（９，１９）のそれぞれの長さよりも長い、線形強度分布（１１，２０）が作業平面において生じ得るように部分ビーム（６）の群（７）を重畳させるための重畳手段（２）と、を含むレーザビーム（３）を形成するための装置において、重畳手段（２）が、複数のレンズ（５）を有するレンズアレイを含む、レーザビーム（３）を形成するための装置。
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【課題】照明効率の低下を抑制できる照明装置を提供する。
【解決手段】照明装置は、光源から発した照明光によって物体を照明する。照明装置は、光源の周囲の一部に配置された凹曲面状の反射面を有し、反射面によって照明光を反射する第１反射部材と、第１反射部材が反射した照明光を物体に導く導光光学系と、導光光学系に設けられ、照明光の一部を通過させて、物体に対する照明光の照射範囲及び開口数の少なくとも一方を制限する制限部材と、導光光学系に設けられ、第１反射部材が反射した照明光のうち、制限部材を通過可能な第１部分光以外の第２部分光の少なくとも一部を反射し、照明光の光路を逆進させて第１反射部材に入射させる第２反射部材とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 被照射面上の各点に関する瞳強度分布において光軸を挟んで所定方向に間隔を隔てた一対の領域の光強度差を調整する。
【解決手段】 本発明の照明光学系は、照明瞳に形成される瞳強度分布（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ）を補正する補正ユニット（８）を備えている。補正ユニットは、オプティカルインテグレータ（９）の入射面の近傍に配置された第１フィルタ（８１）と、その直後に配置された第２フィルタ（８２）とを有する。各フィルタは、オプティカルインテグレータの単位波面分割面に対応する外形形状および透過率分布を有する単位領域を少なくとも１つ有する。第１フィルタおよび第２フィルタのうちの少なくとも一方は、光軸（ＡＸ）を横切る方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置。
【解決手段】照明光学装置は、入射光束に基づいて所定面に輪帯状の光強度分布を形成するための光束変換素子(50)を備えている。光束変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて、入射光束に基づいて輪帯状の光強度分布のうちの第１円弧状領域分布を形成するための第１基本素子(50A)と、第２円弧状領域分布を形成するための第２基本素子(50B)と、第３円弧状領域分布を形成するための第３基本素子(50C)と、第４円弧状領域分布を形成するための第４基本素子(50D)とにより構成されている。各基本素子は光の透過方向に沿った厚さが互いに異なる。 （もっと読む）

【課題】
ダイクロイックミラーによって分離された色成分光（透過光および反射光）の色純度をさらに向上させることが望まれている。そこで、これを可能とする光学素子、照明装置および投写型映像表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の光学素子３０は、入射光の一部分を透過して前記入射光の他部分を反射するミラー面３１を有するものであって、ミラー面３１は、第１領域３１ａと第２領域３１ｂとを有する。この第１領域３１ａには、第１領域３１ａに入射する入射光の偏光方向を、一の直線偏光（Ｓ偏光）から他の直線偏光（Ｐ偏光）に変換する第１偏光変換層３２を備える。そして、この第１領域３１ａを透過した光が光学素子３０を出射する領域には、第１領域３１ａを透過した光の偏光方向を、他の直線偏光（Ｐ偏光）から一の直線偏光（Ｓ偏光）に変換する第２偏光変換層３３を備えるものである。 （もっと読む）

ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学系は、放射線源から物体視野に照明光ビームを誘導するのに使用される。少なくとも１つのＥＵＶミラー（１３）は、照明光ビームを形成するための非平面ミラートポグラフィを有する反射面（２９）を有する。ＥＵＶミラー（１３）は、その前に配置された少なくとも１つのＥＵＶ減衰器を有する。ＥＵＶミラー（１３）の反射面（２９）に対面する減衰器面は、ミラートポグラフィを補完するように設計された減衰器トポグラフィを有し、それによって減衰器面のうちの少なくともある一定の区画は、反射面（２９）から一定の間隔の位置に配置される。その結果は、可能な限り少ない望ましくない放射線損失しか伴わずに物体視野にわたる照明パラメータ、例えば、照明強度分布又は照明角度分布の望ましくない変化を補正することができる照明光学系である。 （もっと読む）

【課題】フライアイレンズの品質を向上させる。
【解決手段】フライアイレンズが有する複数の凸曲面に応じた配列でフライアイレンズ成形型２１に形成される凹曲面２２を、所定の加工方向で加工する際に、所定のラインに並ぶ凹曲面２２列を加工し、フライアイレンズ成形型２１と加工方向とを相対的に回転させ、その隣のラインに並ぶ凹曲面２２列を加工し、フライアイレンズ成形型２１と加工方向とを相対的に回転させることを繰り返して行う。本発明は、例えば、試料を観察する顕微鏡装置の照明光学系に使用されるフライアイレンズに適用できる。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の照明系は、光路に沿って伝播する投影光を生成するように構成された光源（３０）を含む。照明系は、反射ビーム偏向要素又は透過ビーム偏向要素（Ｍ_ij）のビーム偏向アレイ（４６）を更に含む。各ビーム偏向要素（Ｍ_ij）は、制御信号に応じて可変である偏向角で入射光ビームを偏向するように構成される。ビーム偏向アレイは、第１の動作モードにおいて系瞳面（７０）内の放射照度分布を決めるために使用される。照明系は、第２の動作モードにおいて系瞳面（７０）内の放射照度分布を決めるために使用される光学ラスタ要素（１００ａ，１００ｂ，１００ｃ）、特に、回折光学要素を更に含む。交換ユニット（９４）は、光学ラスタ要素（１００ａ，１００ｂ，１００ｃ）が光路内に挿入されるように第２の動作モードにおいて光学ラスタ要素を保持するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 投射光学系による投射像がスクリーン面からずれて投射した場合であっても、投射像のボケが滑らかにボケてスクリーン面上での投射像のピント調整を容易に行うことができる照明光学系及びそれを有する画像投射装置を得ること。
【解決手段】 被照射面を照明する照明光学系であって、該照明光学系は、光源手段と該光源手段からの光を複数の光束に分離し、複数の光源像を形成する光束分離手段と、該複数の光束を被照射面に重畳する集光手段と、被照射面に設けた画像表示素子を所定面上に投射する投射光学系の瞳に形成される該複数の光源像の結像位置を変位させる光源像移動手段と、を有すること。 （もっと読む）

結像光学系（７）は、物体平面（５）内の物体視野（４）を像平面（９）内の像視野（８）内に結像する少なくとも６つのミラー（Ｍ１からＭ８）を有する。物体視野（４）の前の結像ビーム経路には、結像光学系（７）の入射瞳が配置される。ミラーのうちの少なくとも１つ（Ｍ７，Ｍ８）は、結像光（３）の通過のための貫通開口部（１９）を有する。物体視野（４）と貫通開口部の最初のもの（１９）との間の結像ビーム経路内の瞳平面（１７）内には、結像光学系（７）の瞳の中心遮蔽のために掩蔽絞り（２０）が配置された機械的に接近可能な瞳が位置する。物体視野（４）の後の結像ビーム経路内で第２のミラー（Ｍ２）の直後の第１の結像部分ビーム（２４）と、物体視野（４）の後の結像ビーム経路内で第４のミラー（Ｍ４）の直後の第２の結像部分ビーム（２５）とは、交差領域（２６）内で互いに交差する。その結果は、小さい結像誤差と、管理可能な生産と、結像光に対する良好な収量との制御可能な組合せが達成される結像光学系である。 （もっと読む）

【課題】 照射領域変更などの理由でハエの目レンズを交換する場合にハエの目レンズ固有の照度むらを補正し、照度むら調整のダウンタイムを無くし、生産性を向上させる照明光学装置を提供する。
【解決手段】 光源からの光を照明光学系に入射し、該照明光学系からの照明光により被照射面を照射する照明光学装置であって、複数のハエの目レンズと、光路内において前記ハエの目レンズを他のハエの目レンズに交換するハエの目レンズ交換手段と、前記複数のハエの目レンズと同数の、照射範囲を規定するスリットと、光路内において前記スリットを他のスリットに交換するスリット交換手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フレア光の発生を抑制すると共に、被照明面における入射角度分布を高精度に（即ち、均一に）調整することができる技術を提供する。
【解決手段】光源からの光束を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、前記被照明面に入射する光束の入射角度分布を調整するための反射率分布もしくは透過率分布を有する複数の調整部を有し、前記複数の調整部は、前記被照明面上の複数点における光束の入射角度分布の第１の方向に沿った方向の光量と、前記第1の方向とは異なる第２の方向に沿った方向の光量との差を調整する調整部と、前記被照明面上の複数点における光束の入射角度分布の前記第１の方向の光量差及び前記第２の方向の光量差のうち少なくとも一方を調整する調整部と、を含むことを特徴とする照明光学系を提供する。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光源から射出された光の強度分布を均一化して露光装置本体の光取入口へ入射させる。
【解決手段】 本発明の均一化ユニット（１）は、レーザ光源の光出力口の直後に配置されて、光出力口から射出された光の強度分布を均一化して露光装置本体の光取入口へ入射させる。均一化ユニットは、レーザ光源から入射した光束を複数の光束に波面分割する波面分割素子（１ａ）と、波面分割素子により波面分割された複数の光束を露光装置本体の光取入口において重畳させるリレー光学系（１ｂ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】マスクを所定の偏光状態の照明光で照明する際の光量損失を少なくできる照明光学装置及び投影露光装置を提供する。
【解決手段】レチクル（Ｒ）を照明光（ＩＬ）で照明する照明光学系（ＩＬＳ）と、レチクル（Ｒ）のパターンの像をウエハ（Ｗ）上に投影する投影光学系とを有する。照明光学系（ＩＬＳ）において、露光光源（１）から直線偏光状態で射出された照明光（ＩＬ）は、進相軸の方向が異なる第１及び第２の複屈折部材（１２，１３）を通過して、ほぼ特定の輪帯状の領域で光軸を中心とする円周方向に実質的に直線偏光となる偏光状態に変換された後、フライアイレンズ（１４）等を経てレチクル（Ｒ）を輪帯照明の条件で照明する。 （もっと読む）

【課題】均一照度を有するインコヒーレントな放射を生成するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】本システム及び方法は、コヒーレントなビームからインコヒーレントなビームを形成するのに用いられる。このシステムは、放射源及び反射ループシステムを備える。放射源は、コヒーレントなビームまたは部分コヒーレントなビームを生成する。反射ループシステムは、部分コヒーレントなビームを受光し１つのループまたは非重複の複数ループを通じて反射してインコヒーレントなビームを形成する。 （もっと読む）

【課題】複数の光ファイバを一本に結合する構成において蛍光の利用効率を高くできる光源装置を提供すること。
【解決手段】励起光を出射する励起光源と、前記励起光を導光する導光部材と、前記導光部材によって導光された励起光を受光し、前記励起光とは異なる波長であって互いに異なる波長変換光を出射する複数の波長変換部材と、を有する光源装置であって、前記光源装置は少なくともひとつの焦点を有する凹面鏡を有しており、前記複数の波長変換部材は、前記凹面鏡の焦点若しくはその近傍に配置されていることを特徴とする光源装置。 （もっと読む）

【課題】 被照射面上の各点に関する瞳強度分布において光軸を挟んで所定方向に間隔を隔てた一対の領域の光強度差を調整する。
【解決手段】 光源（１）からの光で被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系は、オプティカルインテグレータ（８）を有し、このオプティカルインテグレータよりも後側の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系（３，４，７，８）と、照明瞳の直前または直後の位置に配置されて被照射面上の１点に向かう光を遮光する遮光部材を用いて瞳強度分布を補正する補正ユニット（９）とを備えている。補正ユニットでは、所定の軸線廻りに遮光部材を回動させることにより、被照射面の所定方向（Ｙ方向）に沿った一方の周辺における１点に向かう光の遮光部材による減光率と他方の周辺における１点に向かう光の遮光部材による減光率との割合が変化する。 （もっと読む）

【課題】色光毎に光変調素子を準備しなくてもフルカラー表示を行うことが可能で、かつ、従来のプロジェクターよりも光利用効率の高いプロジェクターを提供する。
【解決手段】紫外光を射出する光源装置１１０、インテグレーターロッド１２０、紫外光色光列に変換して射出するカラーホイール１３０及びリレー光学系１６０を備える照明装置１００と、色光列を画像情報に応じて変調する光変調装置２００と、投写光学系３００とを備えるプロジェクターであって、カラーホイール１３０は、赤色光射出領域１３１Ｒと、緑色光射出領域１３１Ｇと、青色光射出領域１３１Ｂとが周方向に沿って配列された構造を有し、各色光射出領域は、紫外光を対応する色光に変換して放出する蛍光層を有し、照明装置２００は、色光列を集光してリレー光学系１６０に導光する集光レンズ１５０をさらに備えるプロジェクター１０００。 （もっと読む）