【課題】マイクロリソグラフィ露光装置用の照明システムのための向上した集光装置を提供すること。
【解決手段】マイクロリソグラフィ露光装置の照明システムは瞳平面５４を視野平面６２に変換するための集光装置６０１を有する。集光装置６０１は、薄い平面状プレートＬ１１として形成される第１のレンズ、非球面凹面の後面を有する負のメニスカス・レンズとして形成される第２のレンズＬ１２、第３のレンズＬ１３は非球面凸面の後面を有する正のメニスカス・レンズ、、第４のレンズＬ１４はやはり非球面凸面の後面を有する両凸面レンズ、第５のレンズＬ１５は凹面の後面を備えた正のメニスカス・レンズ、第６のレンズＬ１６は平凹面レンズ、最終段レンズである第７のレンズＬ１７はわずかに凹面の前面を備えた正のメニスカス・レンズで構成される。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率を高く、更なる小型化が可能な光学ユニットを提供する。
【解決手段】第１のプリズム体２と第２のプリズム体３とを有して、これらプリズム体２，３が偏光分離膜を挟んで互いの傾斜面を突き合わせてなるＰＢＳ５と、第１のプリズム体２と第２のプリズム体３との突合せ面５ａを挟んで対峙する第１のプリズム体２の一方のプリズム面２ａに対向して配置された第１のλ／４板６と、突合せ面５ａを挟んで対峙する第２のプリズム体３の一方のプリズム面３ａに対向して配置された第２のλ／４板７と、第１のλ／４板６の第１のプリズム体２と対向する面とは反対側の面に対向して配置されたミラー８と、ミラー８と第１のλ／４板６との間に配置された集光レンズ体９と、第２のλ／４板７の第２のプリズム体３と対向する面とは反対側の面に対向して配置されたＤＭＤ１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型化および光の利用率向上を図りつつ、干渉パターンの発生を低減することが可能な照明装置および表示装置を提供する。
【解決手段】照明装置は、レーザ光源を含む光源部と、レーザ光源からのレーザ光が進行する光路上に配設された光学素子と、照明光を出射する光学部材と、光学素子と光学部材との間の相対位置を変位させることにより、光学部材の入射面内において、レーザ光の入射位置および入射角度のうちの少なくとも一方を変化させる駆動部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】目標照明光源形状を正確に再現した照明光源を形成する。
【解決手段】 複数のミラー要素ＳＥ_ｋ（ｋ＝１〜Ｋ）を、それぞれのミラー要素によって反射される光の強度Φ_０ｋの順に、単位数（例えばＮ）毎に、複数のレンズ素子ＦＬ_ｎのうちの目標照明光源形状Ψ_０を形成するのに必要な数Ｎのレンズ素子ＦＬ_ｎ（ｎ＝１〜Ｎ）（に対応する複数のグループａ〜ｆ）に対応付けることと、必要な数Ｎのレンズ素子ＦＬ_ｎ（ｎ＝１〜Ｎ）のうちの２つのレンズ素子のそれぞれに対応付けられたミラー要素ＳＥ_ｋのうちの少なくとも各１つのミラー要素同士を入れ替えて、２つのレンズ素子のそれぞれに対応付けられたミラー要素ＳＥ_ｋについての光の強度の和Φ_０ｋを平均化する。これにより、目標照明光源形状を正確に再現した照明光源を形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 所期の光学的異方性を有するストライプ状のパターンを確実に形成することのできる光照射装置および光照射方法を提供すること。
【解決手段】 この光照射装置は、互いに異なる条件で偏光光を一方向に伸びるように照射する複数の偏光光照射部と、各々前記一方向に垂直な方向に伸びる線状の多数の遮光部および多数の透光部が一方向に交互に並んで配置されてなる、偏光光照射部の各々に対応する複数種のマスクパターンを有するマスクとを備えてなり、各々の偏光光照射部は、光出射部と、光出射部とマスクとの間の光路上に配置された偏光素子とにより構成されており、マスクにおいては、一の偏光光照射部に係るマスクパターンにおける透光部が、被照射物の搬送方向において他の偏光光照射部に係るマスクパターンにおける遮光部と相補的に並ぶ状態で、位置された構成とされている。 （もっと読む）

【課題】画像表示装置を携帯型情報処理装置に内蔵し、机上に載置して使用する場合に、机上の載置面でレーザ光が遮られてスクリーン上で画面が欠けた状態で表示されることを避けることができるようにする。
【解決手段】携帯型情報処理装置のドライブベイに取り付けられる筐体に対して出し入れ可能に設けられた可動体１２を有し、この可動体は、少なくとも投写光学系を備えた第１のユニット１３と、ヒンジ部７３を介して第１のユニットを回動可能に支持する第２のユニット１４とからなり、第１のユニットは、投射光学系を通過したレーザ光が出射される出射窓７４が、ヒンジ部と相反する側の端部に設けられ、ヒンジ部は、スクリーンに対するレーザ光の投写角度を上下方向に変化させる向き、すなわち第１回動軸周りに第１のユニットを回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】特殊光観察及び通常観察の両方の観察の際に、白色照明光の特定波長域の光量が低減することなく、高精度な画像を得ることができ、かつ画像全体を明るくすることができ、これにより、高度な診断を可能にする内視鏡用光源装置を提供する。
【解決手段】白色照明光を出射する第１の光源部と、より狭い波長帯域の狭帯域光を出射する第２の光源部と、狭帯域光の光束の形状及びサイズの少なくとも一方を変化させる整形レンズと、白色照明光と狭帯域光とを合波する合波部材と、合波光を集光する集光レンズと、合波光が入射される入射端面、該合波光を内部で多重反射して面内の光量分布を均一化する本体及び該合波光を出射する出射端面を備え、該合波光を出射して内視鏡装置のライトガイドへ入射させるロッドインテグレータと、該入射端面側に配置され、集光された合波光を散乱させる散乱部と、を有することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 この光照射装置は、ショートアーク型の放電ランプ、および、放電ランプを取り囲むよう配置された、放電ランプからの光をその光軸と平行方向に反射するリフレクタよりなる光源素子の複数が、一方向に並んで配置されてなる光源素子列を有する光出射部と、各々前記一方向に垂直な方向に伸びる線状の多数の遮光部および多数の透光部が前記一方向に交互に並んで配置されてなるマスクとを備えてなり、各々光吸収性を有する複数の遮光板が、各々前記リフレクタの光軸に沿って前記一方向に対して垂直に伸びる姿勢で、前記一方向に並んで配設された構成とされている。 （もっと読む）

【課題】 複数の撮像素子を配置して画像を取得し観察する際、撮像素子間の非撮像領域で反射、吸収された光による画質の低下を低減することができる撮像装置を提供する。
【解決手段】 照明光学系（１００）により光源（１１０）からの光を対象物（２２５）に照明し、撮像光学系（３００）を介して前記対象物の像を複数の撮像素子（４３０）を用いて取得する撮像装置（１）であって、前記照明光学系は複数のインテグレータ（１２１）を有し、前記複数のインテグレータのうち一つのインテグレータから射出される光が、前記複数の撮像素子のうち少なくとも一つを照明し、前記残りのインテグレータから射出される光が、前記複数の撮像素子のうち前記一つのインテグレータから射出される光によって照明される撮像素子以外の少なくとも一つを照明する。 （もっと読む）

【課題】被照射面を均一な明るさで照明すると共に照明範囲を少ないコスト負担で簡易に変えるのに好適な照明光学装置を提供すること。
【解決手段】単一の範囲を照射する照明光学ユニットを各々の照明範囲の周辺が隣接する照明範囲の周辺と重なるように複数並べて該単一の範囲より広い範囲を照明する照明光学装置であり、各照明光学ユニットが、照明光を射出する光源と、照明光を被照射面上に集光する集光光学系と、光源と集光光学系とを結合する結合光学系とを備える。各照明光学ユニットの結合光学系中の光学面であって、照明範囲の周辺に対応する少なくとも一部の光学面上の領域には、透過率が他の領域よりも低い低透過率領域が設けられている。 （もっと読む）

【課題】大面積のミラー素子を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれ複数の板ばねＳＥＬを用いて傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを、反射面ＳＥＡの裏面側で同一直線上にない３以上の複数点でベース部材ＳＶｂに接近する方向に駆動する複数の電磁石ＳＣｋとから、空間光変調器が構成されている。 （もっと読む）

【課題】稠密に配列された大面積のミラー素子を有する空間光変調器を構成する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれの反射面ＳＥＡ内の頂点ＳＥｐを中心に傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを反射面ＳＥＡの裏面上で頂点ＳＥｐを含んで同一直線上にない複数の位置にて反射面ＳＥＡに対する垂直方向に駆動する複数のボイスコイルモータＳＶｋとから、空間光変調器が構成される。 （もっと読む）

【課題】任意の光学素子の角度分布が敏感な断面において角度分布を小さくしながらも、画像表示素子上の明るさが均一で、光源手段の発光分布のムラの影響を実質的に受けず、且つ光の利用効率の高い照明光学系を得る。
【解決手段】光源手段からの光束を複数の光束に分割する分割手段と、分割された光束を画像表示素子に重畳し、照明する重畳手段とを有する照明光学系において、分割手段は、光軸と平行な第１断面において、複数の第１光源像を形成する第１光束分割手段と、第１断面と垂直な第２断面において、複数の第２光源像を形成する第２光束分割手段と、入射した光束の幅を狭めて射出させる圧縮光学系と、偏光分離面を有する光学素子を有し、第２断面において第２光源像が形成される領域の幅が、第１断面において第１光源像が形成される領域の幅よりも小さく、圧縮光学系は正の屈折力の光学素子と、負の屈折力を有する光学素子を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】被照射部への照明性能を向上させることを目的とする。
【解決手段】第１レーザ発振部（41a）と、第２レーザ発振部（41b）と、入射した光の一方向の強度分布を均一な分布に近づける光学素子（42）と、を有し、第１レーザ発振部（41a）からのレーザビームおよび第２レーザ発振部（41b）からのレーザビームは、光学素子（42）の異なる箇所に入射し、光学素子（42）を経た第１レーザ発振部（41a）からのレーザビーム、および光学素子（42）を経た第２レーザ発振部（41b）からのレーザビームは、照明領域が重なることを特徴とする。
【選択図】図１５
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【課題】それまで使用されていた光学素子と構成が異なる光学素子を使用する場合に、光量分布に関して必要に応じて互換性を維持する。
【解決手段】照明方法において、第１の照明瞳面における光量分布を設定する回折光学素子を経由した光で第１被照射面を照明することと、その第１の照明瞳面の光量分布を計測し、この計測結果を第１光量分布として記憶することと、第２の照明瞳面２２Ｐにおける光量分布をその第１光量分布とほぼ同じ分布に設定可能な空間光変調器１３を経由した光で第２被照射面を照明することと、を含む。 （もっと読む）

【課題】様々な特性を有するマスクパターンを忠実に転写するために必要な適切な照明条件、たとえば二次光源の光強度分布や偏光状態などに関して多様性に富んだ照明条件を実現する。
【解決手段】被照射面（Ｍ）を照明する照明光学装置。照明光学装置の瞳面またはその近傍に、光軸（ＡＸ）を含む中心領域に位置する光強度分布と光軸から間隔を隔てた複数の周辺領域に位置する光強度分布とを有する照明瞳分布を形成するための照明瞳形成手段（３，４、７，８）と、複数の周辺領域に位置する光強度分布の位置および大きさを中心領域に位置する光強度分布とは独立して変更するための領域変更手段（６：６ａ，６ｂ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置を提供する。
【解決手段】照明光学装置は、入射光束に基づいて所定面に輪帯状の光強度分布を形成するための光束変換素子(50)を備えている。光束変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて、入射光束に基づいて輪帯状の光強度分布のうちの第１円弧状領域分布を形成するための第１基本素子(50A)と、第２円弧状領域分布を形成するための第２基本素子(50B)と、第３円弧状領域分布を形成するための第３基本素子(50C)と、第４円弧状領域分布を形成するための第４基本素子(50D)とにより構成されている。各基本素子は光の透過方向に沿った厚さが互いに異なる。 （もっと読む）

【課題】照明ムラが抑えられ、コントラストが高い画像を表示する。
【解決手段】光源からの光束を用いて、偏光分離面を介して反射型の光変調素子を照明する照明光学系であって、前記偏光分離面の法線と前記光変調素子の法線に平行な断面を第２断面、前記照明光学系の光軸を含み、前記第２断面に垂直な断面を第１断面とするとき、前記第１断面における屈折力配置と、前記第２断面における屈折力配置とが互いに異なっており、前記光源からの光束の前記第２断面における幅を圧縮する圧縮手段を有する。 （もっと読む）

【課題】放射ビームの反射効率を向上させることができる反射光学部材、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】射出側フライアイミラーは、射出側ミラー要素ＭＡ１，ＭＡ２，ＭＡ３を有するミラーブロック５０Ａと、射出側ミラー要素ＭＢ１を有するミラーブロック５０Ｂと、射出側ミラー要素ＭＣ１，ＭＥ１を有するミラーブロック５０Ｃ，５０Ｅと、射出側ミラー要素ＭＤ１，ＭＤ２を有するミラーブロック５０Ｄとを備えている。 （もっと読む）

【課題】 所望の瞳強度分布を正確に形成することのできる空間光変調ユニット。
【解決手段】 光源からの光により被照射面を照明する照明光学系に用いられる空間光変調ユニット（３）は、二次元的に配列されて個別に制御される複数のミラー要素（３１ａ，３２ａ）を有する空間光変調装置（３１，３２）と、複数のミラー要素の配列面の向きを変化させる変更装置とを備えている。変更装置は、複数のミラー要素の基盤を保持して傾斜可能なステージ（３３，３４）を有する。 （もっと読む）