【課題】光エネルギーの集中が抑制されるように光を照射すること。
【解決手段】被照射面に光を照射する照明装置であって、光を分割して射出するように配列された複数のレンズエレメントと、柱状に形成され、レンズエレメントによる分割光を射出する光射出面を有し、光射出面がレンズエレメントの集光点の近傍に配置されたロッドレンズと、光射出面から射出される分割光を被照射面に重ね合わせる結像光学系とを備える。 （もっと読む）

【課題】 照明光路に配置された遮光手段の昇温を軽減し、画像情報を良好に投射することができる照明装置を得ること。
【解決手段】 光源手段と、該光源手段から出射した光束を被照射面側に導光する照明光学系と、該照明光学系を収納する光学ボックスと、該光学ボックス内の照明光路に挿脱可能な遮光手段と、該遮光手段を保持する保持部材とを有する照明装置において、該遮光手段は入射光束を反射する遮光部を有し、該遮光部は波長５５０ｎｍの光束に対する反射率が８０％以上の金属材料より成り、該保持部材は該光学ボックス外に延出する放熱部を備えることを特徴とする照明装置。 （もっと読む）

【課題】 複数のミラー要素を経た光の過度な集光により光学部材が損傷を受けるのを確実に回避することのできる空間光変調ユニット。
【解決手段】 光源からの光により被照射面を照明する照明光学系に用いられる空間光変調ユニット（３）は、所定面内に配列されて個別に制御される複数のミラー要素（３０ａ；ＳＥａ〜ＳＥｄ）を有し、該複数のミラー要素の反射面が凹面状（凸面状）に形成された空間光変調器（３０）と、入射した光束を発散光束（または収束光束）に変換して空間光変調器へ導く光束変換素子（３１）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を出射することができる光源装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る光源装置１００では、第１反射面４４は、発光素子２０から出射された第１の光Ｌ１を、第３反射面５０に向けて反射させるように配置され、第３反射面５０は、第１反射面４４において反射された第１の光Ｌ１を、第４反射面５１に向けて反射させるように配置され、第４反射面５１は、第３反射面５０において反射された第１の光Ｌ１を、第２反射面４５に向けて反射させるように配置され、第２反射面４５は、第４反射面５１において反射された第１の光Ｌ１を、第５反射面５２に向けて反射させるように配置され、第５反射面５２は、第２反射面４５において反射された第１の光Ｌ１を、第２反射面４５に向けて反射させるように配置され、発光部材４０は、凹面鏡１０と離間し、鏡面１２の回転軸上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 結像光学系に照明光を供給するための照明光学系の照明瞳に形成される瞳輝度分布を結像性能に着目して指標評価する。
【解決手段】 結像光学系に照明光を供給するための照明光学系の照明瞳に形成される瞳輝度分布を評価する方法は、所定の瞳輝度分布に対応した結像光学系の光学伝達関数である第１の光学伝達関数を算出すること（Ｓ１１）と、瞳輝度分布の変調パラメータの微小変化に応じた第１の光学伝達関数の変化をパラメータ毎に求めること（Ｓ１２）と、計測された瞳輝度分布に対応した結像光学系の光学伝達関数である第２の光学伝達関数を算出すること（Ｓ１３）と、第１の光学伝達関数と第２の光学伝達関数との差を、パラメータ毎の変化を用いた関数で近似すること（Ｓ１４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】長短軸方向ビームサイズを方向別に変更可能とするとともに、均一な強度でビームを照射することができるようにする。
【解決手段】長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群１０ａ，２０ａと、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群３０ａと、を含み、光源１から入射した平行光の直交する２軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系を備えたビームサイズ可変照明光学装置であって、前記シリンドリカルアレイレンズ群１０ａ，２０ａ及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群３０ａのいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更し（Ｄｂ）、投影面９上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する。 （もっと読む）

【課題】偏光照明モードをより柔軟に生成可能なように構成された照明システム及びリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】偏光モディファイアが放射ビームの少なくとも一部に修正された偏光を加えるように、それぞれの偏光モディファイアを放射ビームとの少なくとも部分的な交差部内に移動させるように構成されたアクチュエータに各々が接続された第１及び第２の偏光モディファイアを備える偏光部材と、該偏光部材を通過した後の放射ビームを受光する位置にある個別に制御可能な反射素子のアレイとを備える照明システムであって、第１及び第２の偏光モディファイアが放射ビームの異なる部分と交差するようにアクチュエータを制御することができるコントローラをさらに備える照明システム。 （もっと読む）

【課題】光源からの光を、複数の方向に導光するのに使用されるレンズ構造を提供する。
【解決手段】レンズ構造１００は、ベース１１０と、柱部１２０と、傘形状部１３０とを含む。ベース１１０は、光源を収容する収容ピットを有する。柱部１２０は、ベース１１０に接続される。柱部１２０は、中心軸Ｃ１及び中心軸Ｃ１を対称に囲む第１曲面Ｓ１を有する。傘形状部１３０は、柱部１２０に接続され、中心軸Ｃ１を対称に囲む第２曲面Ｓ２及び第３曲面Ｓ３を有する。第２曲面Ｓ２及び第３曲面Ｓ３は、傘形状部１３０の上部に位置し、互いに隣接する。 （もっと読む）

【課題】 被照射面での照度分布をほぼ均一に維持または調整しつつ、被照射面上の各点での瞳輝度分布をそれぞれほぼ均一に調整することのできる照明光学装置。
【解決手段】 光源からの光束で被照射面を照明する照明光学装置。照明瞳面に所定の輝度分布を有する瞳輝度分布を形成するための瞳分布形成手段と、被照射面上の各点に関する瞳輝度分布をそれぞれ独立的に調整するための調整手段とを備えている。調整手段は、瞳分布形成手段と被照射面との間の光路中に配置されて、所定の透過率分布または反射率分布を有する複数の調整膜を有する。 （もっと読む）

【課題】 照明光学系に用いられて瞳強度分布を被照射面上の位置毎に調整することのできる調整ユニット。
【解決手段】 調整ユニット（１０）は、光源（１）からの光により被照射面（Ｍ）を照明する照明光学系（２〜１１）に用いられて、照明光学系の照明瞳に形成される瞳強度分布を調整する。調整ユニットは、被照射面と光学的に共役な共役位置に隣接する位置に配置されて、光束の入射位置に応じた角度分布を該光束に付与して射出する角度分布付与素子を備えている。角度分布付与素子は、瞳強度分布を被照射面上の位置毎に調整するために所定の軸線（ＡＸ）廻りに回転可能である。 （もっと読む）

【課題】 第２の光源の光を、第1の光源からの光が存在しない領域に導入し、第1の光源からの光と合成する光照射装置において、第１の光源から出射した光の量を減らさないように、第２の光源からの光を合成すること。
【解決手段】 第１の光源からの光をインテグレータの方向に反射する平面ミラーの、第１の光源からの光が照射される領域に囲まれた放射強度の弱い領域に貫通孔を形成し、この貫通孔から第２の光源からの光を導入する。第２の光源は、例えばレーザダイオードであり、レーザダイオードからの光はファイバを用いて平面ミラーの裏面側から貫通孔を介して導入する。 （もっと読む）

【課題】投写距離の短縮を図るべく投写光学系の光軸に対して表示素子をシフトさせた場合にも、特定色の光の光量低下ないし色ムラの発生を円滑に抑制できる投写型表示装置を提供する。
【解決手段】表示素子１６、１９、２６を屈折光学系部３０の光軸に対しＺ軸方向にシフトさせる。これにより、プロジェクタの投写距離が短縮される。また、ダイクロイックプリズム２７と屈折光学系部３０の間に、光の偏光方向を円偏光へ偏光する１／４波長板５１を配置する。これにより、各色光が屈折光学系３０に対し円偏光で入射し、屈折光学系３０における緑色光の透過率が改善され、緑色光の光量低下に起因する光量低下ないし色ムラの発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】複数の光源を使用し、１つの光束に集光した後、後段の照明光学系に照射する光源装置を使用した際に、光源装置の大型化を招くことなく、高効率な投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】照明光源装置と、映像表示素子と、前記照明光源装置の光を前記映像表示素子に照射する照明光学系と、光学像を拡大して投影する投射レンズと、を有する投射型映像表示装置において、前記照明光学系は、複数の矩形開口形状のレンズ素子をマトリックス状に配列した第１アレイレンズ及び第２アレイレンズを有し、前記照明光源装置は、偏光度が５０％より大きい１つ以上の光源と、一方の偏光光を透過し、一方の偏光光を反射する１つ以上の偏光子を有し、前記光源の少なくとも１組以上が偏光度の高い偏光方向が直交するように配置されており、前記偏光子により光束が合成され、集光手段により光束が１つの領域に集光された後、後段に配置された照明光学系に向かって照射する構成とする。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ用の投影露光ツール（１００）で使用するための配置構成は、反射光学素子（１０；１１０）と放射検出器（３０；３２；１３０）を備える。反射光学素子（１０；１１０）は、光学素子（１０；１１０）の機械的強度を保証するキャリア要素（１２）と、キャリア要素（１２）上に配設された、使用放射（２０ａ）を反射するための反射コーティング（１８）とを備える。キャリア要素（１２）は、使用放射（２０ａ）と相互作用して二次放射（２４）を放出する材料からなり、二次放射（２４）の波長は、使用放射（２０ａ）の波長とは異なり、放射検出器（３０；３２；１３０）は、二次放射（２４）を検出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】焦点面における必要なエリアに向かう不要範囲を通過した光線による影響を低減して、焦点面における必要なエリアに必要範囲の光線による均一な照明強度分布を形成することができ、かつ、遮光膜の経年劣化を抑えて耐久性を向上させることができるレンズアレイ及び該レンズアレイを有する光学系を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のレンズ１１１が隣り合うように配列されたレンズアレイ１１０において、複数のレンズにはそれぞれ、レンズ表面Ｃにおける不要範囲Ｃｂに遮光膜１１２を有し、遮光膜は、その遮光膜形成範囲１１８内に遮光部１１３が散在している。 （もっと読む）

【課題】 画像表示装置の明るさの低下を抑えつつ、コントラストを向上させることを課題とする。
【解決手段】 本発明の画像表示装置は、偏光光束の偏光状態を制御することにより画像を表示する画像表示素子と、前記偏光光束を前記画像表示素子に導く照明光学系と、前記照明光学系と前記画像表示素子との間にＳ偏光を反射、Ｐ偏光を透過することにより入射光を検光する偏光分離膜を有する偏光ビームスプリッタと、投射面に前記画像表示素子により表示された画像を投射する投射光学系を取り付ける取り付け部とを有し、前記偏光分離膜の法線と前記画像表示素子の法線とに平行な断面において、前記画像表示素子の中心から射出し、前記投射光学系内で最も前記画像表示素子に近い光学面と前記投射光学系の光軸との交点に入射する光線の光路と前記偏光分離膜が成す角度が４５°未満である。 （もっと読む）

【課題】 一対の光学部材の相対的な位置決め誤差が照度分布や照明フィールドの形状に与える影響を小さく抑える特性を有するオプティカルインテグレータ。
【解決手段】 光の入射側から順に第１光学部材（８ａ）と第２光学部材（８ｂ）とを備えた波面分割型のオプティカルインテグレータ（８）。第１光学部材は、第１方向（Ｚ方向）に屈折力を有し且つ第２方向（Ｘ方向）に無屈折力の複数の第１入射面（８ａａ）と、第１方向に屈折力を有し且つ第２方向に無屈折力の複数の第１射出面（８ａｂ）とを備えている。第２光学部材は、第２方向に屈折力を有し且つ第１方向に無屈折力の複数の第２入射面（８ｂａ）と、第２方向に屈折力を有し且つ第１方向に無屈折力の複数の第２射出面（８ｂｂ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 反射型液晶パネルを用いた画像投射装置において簡便な構成で高コントラストを得ることができる画像投射装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の画像投射装置は、色分離素子と、波長選択性位相板と、第１、第２および第３の反射型画像表示素子と、偏光作用を有する第１、第２の偏光ビームスプリッタと、合成プリズムと、投射レンズを有し、第２の偏光ビームスプリッタの偏光作用を有する光学膜面を第１の光学膜面とし、前記合成プリズムの色合成作用を有する光学膜面を第２の光学膜面とし、第２の反射型画像表示素子の入出射面の法線と第１の光学膜面の法線に平行な断面を第１の断面とし、合成プリズムの出射面の法線と第２の光学膜面の法線に平行な断面を第２の断面とし、前記第１の断面及び第２の断面がお互いに直交していることを特徴とする画像投射装置。 （もっと読む）

【課題】簡易に製作でき、スペックルノイズや空間光強度分布を改善して画像表示に適した照明光を出射できる照明光学系および画像表示装置を得る。
【解決手段】複数の発光点から出射される発散性の光が重なりあって入射するようにレーザアレイ光源２から所定の間隔Ｌｘをあけて配置され、入射した光をアレイ面内において平行光として出射するコリメートレンズ４（アレイ方向コリメート光学素子）、および入射光をアレイ垂直面内において平行光に変換して出射するアレイ垂直方向コリメートレンズ５ｂと、レーザアレイ光源２から入射した光をアレイ垂直方向で分割し、該分割した各光束をアレイ垂直方向コリメートレンズ５ｂに重畳するように照射する１次元多段レンズ５ａ（１次元アレイ垂直方向ビーム整形光学素子）と、を有するアレイ垂直方向コリメート光学素子５を備える。 （もっと読む）

【課題】照明光学ユニットとそれを含む投影露光装置とを提供する。
【解決手段】複数の第１反射ファセット要素を有する第１光学要素と複数の第２反射ファセット要素を有する第２光学要素を含む照明光学ユニット。第１要素からの各第１要素は、それが、異なる位置のそれぞれの最大数を有し、これが、第１要素が照明光学ユニットの作動中にその異なる位置で放射線をその上に誘導する全ての第２要素から集合が構成される点で第２ファセット要素から成る、第１ファセット要素に関連付けられた集合を定めるように具現化される。複数の第２ファセット要素は、複数の互いに素の群を形成し、群と集合の各々は、少なくとも２つの第２ファセット要素を包含し、同じ群に属する集合の２つの第２ファセット要素は存在しない。この構成は、物体視野の位置に多数の異なる角度依存強度分布を与えるのに用いられる照明光学ユニットの提供を可能にする。 （もっと読む）