【課題】 収差を良好に補正し且つ光学調整の感度を小さく抑えつつ、例えば１．１よりも大きな開口数を有する対物光学系。
【解決手段】 対物光学系は、光の入射側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群（Ｇ１）と、負の屈折力を有する第２レンズ群（Ｇ２）と、正の屈折力を有する第３レンズ群（Ｇ３）とを備えている。第１レンズ群は、最も入射側に配置されて入射側に平面を向けた平凸レンズ（Ｌ１１）を有する。第２レンズ群は、最も入射側に配置されて入射側に凹面を向けた負レンズ（Ｌ２１）を有する。平凸レンズの中心厚ｄ、および平凸レンズの射出面の曲率半径の大きさｒは、２＞ｄ／ｒ＞１の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】 入射光束の強度分布に依存することなく、所望の強度分布を有する光束を複数の空間光変調器へ導くことのできる光束分割装置。
【解決手段】 光束分割装置は、入射光束を２つの光束に分割し、第１光束を第１光路に沿って導き且つ第２光束を第２光路に沿って導くために、所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素（３０ａ）と、該複数の光学要素を駆動する駆動部（３０ｃ）とを有し、制御部（ＣＲ）からの制御信号に基づいて駆動部を駆動させる分割用空間光変調器（３０）を備えている。分割用空間光変調器は、複数の光学要素のうちの第１群の光学要素を経た光が第１光路に沿って導かれ、且つ複数の光学要素のうちの第１群とは異なる第２群の光学要素を経た光が第２光路に沿って導かれるように、制御部によって制御される。 （もっと読む）

【課題】照明光学系のミラーに直接触れることなくミラーが交換可能なミラー着脱装置を提供する。
【解決手段】平面ミラー４に取り付けられた複数の支持部６を支持機構７を介して筐体９に固定し、支持機構７によりそのミラー曲率を調整するミラー曲率調整機構５の平面ミラー４を着脱するミラー着脱装置１であって、平面ミラー４の表面部を覆う表部材２と、平面ミラー４の裏面部を覆う裏部材３とで形成され、表面部材２及び裏部材３により平面ミラー４を覆った状態で支持機構７に対して着脱可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】照明効率を高めることができレンズアレイの製造を容易にできる照明装置及びこれを用いたプロジェクターを提供すること。
【解決手段】光束調整装置８０において、第１部分光束ＳＬ１を空間的に非反転の状態に保ち、第２部分光束ＳＬ２を空間的に反転させ、第１及び第２部分光束ＳＬ１，ＳＬ２を偏光状態の揃った状態で射出する。これにより、均一化用のレンズアレイ３１，３２の通過後に偏光ビームスプリッターアレイを通過させる必要がなくなり、照明効率を高めることができる。また、レンズアレイ３１，３２は、偏心等の必要がなくなり、簡単な構造のものを用いることができる。また、第１部分光束ＳＬ１と第２部分光束ＳＬ２とを互いに反転して取り出しているので、凹面鏡２２ｂによって形成された照明光束の照度ムラを低減した偏りの少ない照明光束を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】高い照度比で、特定の振動方向の偏光光を高い効率で供給するための均一化光学素子、照明装置等を提供すること。
【解決手段】光束の強度分布を略均一にする均一化部であるロッドインテグレータ１２２と、ロッドインテグレータ１２２の一方の端面に設けられ、第１の振動方向の偏光光を透過し、第１の振動方向に略直交する第２の振動方向の偏光光を反射する第１の反射型偏光板１２１と、ロッドインテグレータ１２２の、第１の反射型偏光板１２１が設けられた端面とは異なる他方の端面に設けられ、第１の振動方向の偏光光を透過し、第２の振動方向の偏光光を反射する第２の反射型偏光板１２５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ホモジナイザの損傷を防止あるいは軽減する。
【解決手段】２段ステージホモジナイザは、第１ホモジナイザステージおよび第２ホモジナイザステージを備える。第１ホモジナステージは、一対のマイクロレンズアレイおよび関連した集束光学系を備える。第２ホモジナイザステージは、第２対のマイクロレンズアレイおよび関連した集束光学系を備える。第２ホモジナイザステージは、第１ホモジナイザステージから出力された放射を受光するように位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】均一な紫外線照射することにより、高性能で液晶パネル製造の歩留まり向上を実現する。
【解決手段】紫外線透過性の石英ガラスで気密性を有する放電空間１１を備えた発光管１２内の軸方向に一対の放電用の電極１３ａ，１３ｂを対向して配置する。放電空間１１内にアーク放電させた状態を維持するために十分な量の希ガス、水銀、ハロゲン、発光金属からなる封入物を封入することで紫外線ランプ１００を構成し、点灯時に紫外光を発光させる。紫外線ランプ１００を冷却ユニット２００で冷却させるとともに、被照射物とは反対側に反射板１９を配置し、被照射物に照射させる。反射板１９の複数の向きの異なる反射面６１で入射された紫外線を拡散したことで、被照射物に照射させる紫外線の照度の均一化を実現する。 （もっと読む）

【課題】所望の角度強度分布を放射ビームに与えるためにミラーのアレイが使用され、この放射ビームが続いて、基板のターゲット部分上へパターンを投影するために使用されるリソグラフィ装置の１つまたは複数の短所を克服しまたは軽減する。
【解決手段】照明システムを使用して放射ビームを調整する。調整ステップは、放射ビームを所望の照明モードに変換するように、照明システムの個別に制御可能なエレメントのアレイおよび関連光学コンポーネントを制御し、この制御ステップは、照明モードまたは放射ビームあるいはその両方の１つまたは複数の特性の所望の変更を提供するように選択される割当方式に従って、個別に制御可能な異なるエレメントを照明モードの異なる部分に割当てる。さらに、放射ビームの断面がパターンを有するように放射ビームをパターニングして、パターニングされた放射ビームを基板のターゲット部分上へ投影する。 （もっと読む）

【課題】種々のピッチのパターンを同時にそれぞれ高解像度に転写可能にする。
【解決手段】照明光(IL)でレチクル(R)を照明する照明光学系(12)と、レチクル(R)のパターンの像をウエハ(W)上に投影する投影光学系(PL)とを有する露光装置であって、レチクル(R)の照明条件を可変とし、投影光学系(PL)の瞳面と共役な照明光学系(12)内の所定面で光軸外に中心が配置される複数の領域にそれぞれ分布する光束を発生する回折光学素子(21,22)により、その複数の領域で光量が他の領域よりも大きくなる光量分布を生成可能な成形光学系と、回折光学素子(21,22)から発生する光束の偏光状態を設定する偏光設定部材と、を備える。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント光源を用いた投写型映像表示装置に係るスペックルノイズを減少させ、光の発散角が増大することによる光損失に関しても減少させる。
【解決手段】光学ユニット（例えば、スペックルノイズ低減素子２０Ｒ）は、一対のレンズアレイ（入射側マイクロレンズアレイおよび出射側マイクロレンズアレイ）と、前記一対のレンズアレイを振動させる振動付与手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】照明条件の変更による照明光の光量の損失を抑制できる照明光学装置、露光装置及びデバイス製造方法の提供。
【解決手段】第１の照明条件を形成するエレメント群２３０Ａと、前記第１の照明条件とは異なる第２の照明条件を形成するエレメント群２３０Ｂとを備える第２反射型インテグレータ２３と、エレメント群２３０Ａ及びエレメント群２３０Ｂのいずれか一方に、選択的に露光光ＥＬを照射する照射装置４０とを有する照明光学装置３を用いる。 （もっと読む）

【課題】照明装置において走査範囲の長さと走査速度を一定にする。
【解決手段】対象領域を光で走査することにより前記対象領域を照明する照明装置は、光を発生する光源（１）と、前記光源からの光の光路を変更可能に調整する光学系（１７）と、電圧の印加により屈折率の分布が誘起される電気光学素子であって、前記対象領域を走査するため前記電圧に応じて前記光学系からの光を偏向させる電気光学素子（９ａ、９ｂ）と、少なくとも前記電気光学素子への光の入射角度に応じて、前記電気光学素子に印加する前記電圧を調整する制御部（１５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 複数の反射光学素子のうちの１つを光路中に位置決めする装置であって、各反射光学素子を容易に交換することのできる素子切換装置。
【解決手段】 複数の反射光学素子（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ）のうちの１つを光路中に位置決めする素子切換装置（３０）は、光路側とは反対の側から複数の反射光学素子を着脱自在に取り付け可能な本体部（３０ａ）と、本体部に取り付けられた複数の反射光学素子から選択された１つの反射光学素子を光路中に位置決めするために本体部を駆動する駆動部（３０ｃ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 輝度を向上させることのできる光源装置と、この光源装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】 本発明のプロジェクタは、光源装置や表示素子、プロジェクタ制御手段等を備え、光源装置は、回転制御可能な基材に励起光を受けて緑色帯域光を発する蛍光体層が形成された蛍光発光領域及び光を拡散透過させる拡散透過領域を有する蛍光ホイールと、青色波長帯域の励起光を蛍光体に照射する励起光源と、赤色帯域光を発する発光素子と、蛍光ホイールからの光及び発光素子からの光を同一光路上に集光させる集光光学系と、励起光源及び発光素子の発光を制御する光源制御手段と、備え、緑色蛍光体が高密度励起光を受けたときにも蛍光飽和が少ない特性を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で、光量の低下を抑制しつつ、無偏光状態と偏光状態とを切り換える。
【解決手段】第１偏光分離素子７１および第２偏光分離素子７３はそれぞれ、入射光に含まれる、互いに直交する二つの偏光成分のうちの一方を反射し、他方を透過する。切換素子７２は、第１偏光分離素子７１と第２偏光分離素子７３との間に間挿され、入射される偏光成分をそのまま透過する第１状態と、入射される偏光成分を直交する偏光成分に変換して透過する第２状態とを切り換える。 （もっと読む）

【課題】計測用の光学系を大型化することなく、投影光学系の動的な光学特性を効率的にかつ高精度に計測する。
【解決手段】投影光学系ＰＬの光学特性を計測する計測装置において、物体面にＹ方向に配置される複数の位相マーク２０が形成されたテストレチクルＴＲと、像面に沿って位相マーク２０に対応して配置される複数の周期パターン３９が形成された蛍光膜３５と、位相マーク２０、投影光学系ＰＬ、及び周期パターン３９を通過した照明光ＩＬから生成される検出光ＤＬを検出するＦＯＰ３７及び撮像素子３８と、蛍光膜３５、ＦＯＰ３７、及び撮像素子３８を一体的にＹ方向に移動するウエハステージと、を備える。 （もっと読む）

【解決手段】
可動反射要素１１０と、関連づけられたアクチュエータ１０９とを備える光学装置が開示される。アクチュエータは第１磁石１１３と第２磁石１１４とを備える。第１磁石１１３は、その第１磁石が動くことにより可動反射要素が動くよう可動反射要素に接続される。第２磁石１１４は、モータ１１６の動作によりその第２磁石が動くようモータに接続される。第２磁石は、その第２磁石が動くことにより第１磁石が動くよう第１磁石に対して配置される。 （もっと読む）

【課題】偏光方向の揃った偏光光を均一化させるために、ロッドインテグレーターに入射させる場合において、ロッドインテグレーター内での偏光方向の乱れが少なく、光利用効率の高い照明装置を提供することを目的とする。
【解決手段】偏光方向の揃った光を射出する光源１０と、光源側の入射口２０ａから入射した光を他方側の射出口２０ｂに導光して射出するロッドインテグレーター２０と、を有し、ロッドインテグレーター２０は、自身の中心軸に対して垂直な方向において、内側よりも外側の方が相対的に低い屈折率の材料で覆われていることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明の一実施形態は、照明光学系の光路中に配置され、連続性の高い周方向偏光状態の瞳強度分布を実現するための構造を備えた偏光変換ユニットに関する。入射光を所定の偏光状態の光に変換する偏光変換ユニットは、第１光学素子と第２光学素子を備える。第１光学素子は、複数の第１領域を有し、少なくとも隣り合う２つの第１領域は、異なる偏光変換特性を有するよう厚みが異なる。第２光学素子も、同様に、複数の第２領域を有し、少なくとも隣り合う２つの第２領域は、異なる偏光変換特性を有する。第１および第２光学素子は、１つの第１領域を経た光束が隣り合う２つの第２領域に入射するように配置され、これにより、光の通過位置ことに第１および第２光学素子の厚みの合計が変えられている。 （もっと読む）

【課題】投影光学系のレンズに生じうる不均一な温度分布による結像特性の低下を抑制する。
【解決手段】物体面に配置される原版９のパターンを像面に配置される基板１８に投影する投影光学系を有する露光装置において、前記投影光学系は、前記物体面から前記像面に至る光路に前記物体面から順に配置された第１平面鏡１１、第１凹面鏡１２、凸面鏡１４、第２凹面鏡１５、第２平面鏡１６と、前記第１凹面鏡１２と前記凸面鏡１４との間および前記凸面鏡１４と前記第２凹面鏡１５との間に配置された正のパワーを有する屈折光学系２０とを有し、前記屈折光学系２０は、屈折率の温度変化係数が正の材料で構成された第１レンズ１３ａと、屈折率の温度変化係数が負の材料で構成された第２レンズ１３ｂとを含む。 （もっと読む）