【課題】被照明部材に発光面の分割パターンの像が形成されることによる照明ムラを防止することが可能な照明光学系およびプロジェクタ装置を提供する。
【解決手段】所定方向に沿った分割線により複数の領域に分割された発光面を有する略矩形形状の光源と、矩形形状の被照射領域を備えた被照明部材と、発光面からの光を集光して被照射領域に照射する光学部材とを備え、被照明部材に光源の発光面の分割パターンの像が形成されることによる照明ムラが低減されている照明光学系。 （もっと読む）

【課題】照明瞳面、または被照射面における偏光分布を調整することにより、所望の偏光状態の光で被照射面を照明する照明光学装置を提供する。
【解決手段】光源１からの光に基づいて被照射面Ｍ、Ｗを照明する照明光学装置の瞳面における光の偏光分布を調整するために、偏光分布調整部材９を備えている。偏光分布調整部材は、照明光学装置の光軸ＡＸを中心として回転可能に配置されて、入射位置に応じて変化する旋光量を入射光に付与するための旋光部材を有する。旋光部材は、旋光性の光学材料により形成されて、光軸方向の厚さが光軸と直交する所定方向に沿って変化している。 （もっと読む）

【課題】 蛍光光と拡散光の光量バランスを容易に調整可能な光源装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】 所定の波長帯域光を射出する青色レーザ発光素子と、緑色蛍光体層105が敷設された蛍光発光領域103と拡散板106が装着された拡散領域104とが周方向に並設され、前記青色レーザ発光素子の光軸上に緑色蛍光体層105又は拡散板106が位置するように配置された発光ホイール101と、発光ホイール101を回転させるホイールモータと、発光ホイール101をホイールモータとともに半径方向に移動可能とする移動機構と、を備え、蛍光発光領域103と拡散領域104との間に位置する２本の境界線a,bの内の少なくとも１本が半径と一致しない線である、すなわち、蛍光発光領域103と拡散領域104が、発光ホイール101の中心を中心とした同心円上に位置する円弧の長さの比が発光ホイール101の中心からの距離によって変化するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザを光源とするレーザ光源装置を備えた画像表示装置の小型化を実現する。
【解決手段】画像表示装置１は、緑色、赤色及び青色を出力するレーザ光源装置２〜４と、各色のレーザ光を同一の光路に導くダイクロイックミラー１４、１５と、ダイクロイックミラーによって導かれた前記各色のレーザ光を映像信号に基づいて変調する透過型の空間光変調器５と、空間光変調器により変調された変調レーザ光を外部に投写する投射光学系８とを備え、投射光学系は、透過型の空間光変調器からの変調レーザ光の進行方向に配置された投射口８ａを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】照明光学ユニット、照明系、投影露光装置、微細構造化又はナノ構造化構成要素を生成する生成方法、及び生成された微細構造化構成要素又はナノ構造化構成要素を提供する。
【解決手段】結像される物体を配置することができる物体視野を照明光で照明する投影リソグラフィのための照明光学ユニットは、複数の視野ファセットを有する視野ファセットミラーを有する。照明光学ユニットの瞳ファセットミラーは、複数の瞳ファセットを有する。瞳ファセットは、瞳ファセットに対して個々に割り当てられた視野ファセットを物体視野に結像するように機能する。照明光学ユニットの個々のミラーアレイは、個々に従動方式で傾斜可能な個々のミラーを有する。個々のミラーアレイは、視野ファセットミラーの上流の照明光ビーム経路に配置される。これは、照明光学ユニットによって柔軟に構成可能で所定の値に容易に適応可能な照明をもたらす。 （もっと読む）

【課題】ズーム状態の変更による投射画像の色調の変化を適切に補正することができ、製造コストを低減させることができるプロジェクタの提供。
【解決手段】プロジェクタ１は、画像情報に応じて形成された光学像をスクリーンＳｃに拡大投射する投射レンズ４６と、制御装置５とを備える。投射レンズ４６は、この投射レンズ４６の光軸方向に沿って移動することでスクリーンＳｃに表示される投射画像のズーム状態を調整するズームレンズ４６１を備える。制御装置５は、位置取得手段５２と、補正値取得手段５３と、画質調整部５４２とを備える。位置取得手段５２は、ズームレンズ４６１の位置を取得する。補正値取得手段５３は、位置取得手段５２により取得されたズームレンズ４６１の位置に応じて画像情報の色調を補正するための補正値を取得する。画質調整部５４２は、補正値取得手段５３により取得された補正値に基づいて画像情報の色調を補正する。 （もっと読む）

【課題】 映像の照度均一性と大きなダイナミックレンジを両立する投射型映像表示装置を実現する。
【解決手段】 マトリクス状にレンズセルが配列されるアレイレンズを用いて光源の光を均一化する投射型映像表示装置において、光源からの射出光の光量を調整する遮光ユニットが光源側に配置されるアレイレンズに対して遮光する面積を、光軸に最近のレンズセルに隣接するレンズセル４２２の遮光面積を、他のセルの遮光面積よりも小さくする。 （もっと読む）

【課題】レチクル上に様々なピッチで形成されるパターンをいずれも高い解像度で安定して転写しうる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】斜入射照明を用いた露光を行うことにより、レチクル上に形成されたパターンを半導体基板上に転写する工程を有する半導体装置の製造方法において、斜入射照明を用いた露光を行う工程では、輪帯状の第１の開口部２２が形成され、第１の開口部の周辺に複数の第２の開口部２４ａ１〜２４ａ４が形成された開口絞り１６を用いて露光を行う。 （もっと読む）

【課題】様々な特性を有するマスクパターンを忠実に転写するために必要な適切な照明条件、たとえば二次光源の光強度分布や偏光状態などに関して多様性に富んだ照明条件を実現できる照明光学装置を提供する。
【解決手段】照明光学装置の瞳面またはその近傍に、光軸（ＡＸ）を含む中心領域に位置する光強度分布と光軸から間隔を隔てた複数の周辺領域に位置する光強度分布とを有する照明瞳分布を形成するための照明瞳形成手段３，４，７，８と、複数の周辺領域に位置する光強度分布の位置および大きさを中心領域に位置する光強度分布とは独立して変更するための領域変更手段６（６ａ，６ｂ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジが広くかつ色再現性に優れた、小型で安価な投射型映像表示装置を提供すること。
【解決手段】投射型映像表示装置は、光源１と、光源から出射された光束を赤色、緑色、青色の３色光に分離し集光する照明手段と、集光された各光束を光変調する映像表示素子１８と、光変調された各光束から映像を合成する光合成手段１９と、合成された映像を拡大投射する投射手段２０とを備える。照明手段には、分離した各光束のうち緑色光ＬＧの光束の一部を遮光する遮光手段３０を設ける。遮光手段３０は、入射する光束の中心部を通過し周辺部を遮光するものであって、通過する開口部３２の形状を、光束の光軸１００に関し対称な形状とする。 （もっと読む）

【課題】様々な特性を有するマスクパターンを忠実に転写するために必要な適切な照明条件、たとえば二次光源の光強度分布や偏光状態などに関して多様性に富んだ照明条件を実現できる照明光学装置を提供する。
【解決手段】照明光学装置の瞳面またはその近傍に、光軸（ＡＸ）を含む中心領域に位置する光強度分布と光軸から間隔を隔てた複数の周辺領域に位置する光強度分布とを有する照明瞳分布を形成するための照明瞳形成手段３，４，７，８と、複数の周辺領域に位置する光強度分布の位置および大きさを中心領域に位置する光強度分布とは独立して変更するための領域変更手段６（６ａ，６ｂ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】励起光の利用効率を向上させるとともに、エテンデュの小さい光源装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板４１と、基板４１上に設けられ、励起光によって励起されて励起光とは異なる波長の蛍光を射出する蛍光体層４５と、励起光を射出する光源１０と、蛍光体層４５から蛍光を射出する側に、蛍光体層４５に面して設けられ、励起光のピーク波長にあたる光を蛍光体層４５に向けて反射するとともに、蛍光の波長帯域にあたる光を透過する波長選択ミラー６０と、波長選択ミラー６０と蛍光体層４５との間に設けられたピックアップレンズ５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。１つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第２の線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λ_bを有し、λ_m＜λ_lat＜λ_bである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔＩを与える。但し、λ₀は第１のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λ_latは第２の線幅を表している。 （もっと読む）

【課題】表示パターン周辺の色付きによる不快感を抑制可能なプロジェクターを提供する。
【解決手段】本発明のプロジェクター１は、異なる色の複数の色光を射出する照明装置２と、複数の色光の各々を変調する複数の液晶ライトバルブ３Ｒ，３Ｇ，３Ｂと、複数の液晶ライトバルブにより変調された色光を合成する色合成素子４と、色合成素子により合成された光を被投射面上に投射する投射光学系５と、を備え、複数の液晶ライトバルブ３Ｒ，３Ｇ，３Ｂのうち、一つの色光を変調する一つの液晶ライトバルブのセル厚が他の色光を変調する他の液晶ライトバルブのセル厚よりも薄く、最大階調電圧印加時の液晶の配向状態が一つの液晶ライトバルブと他の液晶ライトバルブとで概ね一致している。 （もっと読む）

【課題】小型化が容易で製造コストが低い映像投射装置、携帯機器及び映像投射装置の製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る映像投射装置は、パラメータを記憶し、前記パラメータに基づいて映像信号を補正する補正回路部と、光源ユニットと、前記光源ユニットから出射した光の光路に介在し、前記映像信号に基づいて映像を形成することにより前記光に前記映像を付加する映像付加デバイスと、前記映像が付加された光を投射する投射光学ユニットと、を備える。 （もっと読む）

【課題】照明光学系において、光源からの光の角度分布の不均一性を解消しつつ、均一な光強度分布を高い効率で形成するために有利な技術を提供する。
【解決手段】 光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系は、前記光源からの光を分割して複数の光束を生成する分割部と、前記分割部によって生成された前記複数の光束の光強度分布のそれぞれを均一化する第１反射型インテグレータと、前記第１反射型インテグレータからの光を集光する集光部と、前記集光部からの光を受けて前記被照明面を照明する第２反射型インテグレータと、前記第２反射型インテグレータと前記被照明面との間に配置される開口絞りとを備え、前記分割部は、前記開口絞りが配置される面に対して、前記光源から前記分割部に提供される光の断面形状とは異なる断面形状を有する光が入射するように、前記複数の光束を生成する。 （もっと読む）

【課題】熱交換を速やかに行うことができる反射光学素子、光学ユニット、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】露光光を反射させる第１面４７と、第１面４７とは異なる第２面４９と、第２面４９に形成された凹部６８とを有する反射光学素子４３と、凹部６８の底面と、凹部６８の側面の少なくとも一部とのそれぞれに接触し、反射光学素子４３との間で熱交換を行う突出部材６９とを備える。 （もっと読む）

【課題】色純度と光量とのバランスを可変とすることによりニーズの多様化に対応できるようにした照明装置及びこれを用いた投写型映像表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る照明装置１は、光源２から一方向に偏光方向が揃った偏光光２ａを射出し、これを光分割部材３により任意の比率で複数の偏光光３２ａ，３２ｂに分割する。そして、この複数に分割された偏光光３２ａ，３２ｂを、複数の光変換部材４を所定通りに切り換えることができるように構成された切換装置５により、複数の光変換部材４を切り換えながら複数の色光４ａ，４ｂを射出し、これを合成することにより色純度と光量のバランスを変化しうるようにしたものである。また、本発明に係る投写型映像表示装置はこのような照明装置１を用いたものである。 （もっと読む）

【課題】 リソグラフィ投影装置内の投影光学系の改善／最適化を行うこと。
【解決手段】 本明細書では、リソグラフィ投影装置の特性を、参照リソグラフィ投影装置に対して整合する方法が説明され、整合には、照明光源および投影光学系の特性を最適化する工程が含まれる。リソグラフィ投影装置の波面を成形するために、投影光学部品を用いることができる。本明細書の実施形態によれば、本方法は、線形適合アルゴリズムを用いること、あるいは伝送の交差係数（TCC）の偏導関数を用いるテイラー級数展開を用いることにより、加速することができる。 （もっと読む）