【課題】予め、対向基板側に厚さ方向に貫通する開口部を対向基板の所望の位置に形成することで、アクティブ基板と対向基板とを張り合わせた後に一方の基板のみを切断することなく、張り合わせた基板の切断を可能とする。
【解決手段】第１基板１１上に薄膜デバイス層１２を形成する工程と、第２基板２１に厚み方向に貫通させた開口部２２を形成する工程と、前記第１基板１１と前記第２基板２１とを張り合わせる工程と、化学処理および研磨処理および紫外線照射処理の少なくとも一つの処理を含む工程により、前記張り合わせた基板のうち少なくとも一方の基板を完全または部分的に分離または除去する工程とを備えた薄膜デバイスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】スペーサーと液晶を同時に形成することで、工程を単純化すると共にコストを減らすことのできる液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 第１基板と第２基板の何れかの基板上にスペーサーと液晶を同時に形成する段階、第１基板と第２基板の何れかの基板上の周縁にシール材を形成する段階、および前記第１基板及び第２基板を貼り合わせる段階を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

静電吸着手段（５ｂ）による上側基板（Ａ）の保持解除と連動して、該上側基板の背面側から気体（Ｇ）を噴出させ、この気体を上方保持板（１）の静電吸着面（５ｂ１）と上側基板の背面との間に強制注入することにより、これら静電吸着面と基板面の密着状態を破壊し両者を剥離することで、両者間の静電吸着力が強制的に減衰されて消滅すると共に、注入した気体の圧力で下側基板（Ｂ）への落下力、即ち落下の加速度が強制的に作用され、それにより、該上側基板が瞬時に下側基板の上へ圧着し、静電吸着手段（５ｂ）で保持したまま上側基板が姿勢変化することなく下側基板の上へ移動して圧着され、上下基板を封止して重ね合わされる。従って、静電吸着力の解除ムラに関係なく上側基板を位置合わせされたまま強制的に落下できる。
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電気光学光変調器では、ポリマ分散型液晶つまりＰＤＬＣのような電気光学センサ材料が、インジウム錫化合物のような透明な電極及びシリコン酸化膜（ＳｉＯ₂）のような任意選択のパッシベーション・コーティングの層をその表面上にもつ光学ガラス基板上に直接コーティングされる。ポリマ接着材の薄い層がＰＤＬＣ層の頂部にコーティングされ、次いでこの２層コーティングがポリエステル膜（マイラ（登録商標））上に誘電体ミラーと一緒に、好ましくは真空の助けの下に積層される。
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電気光学構造体は、水性エマルション又は溶剤型のセンサ材料、好ましくは溶剤型のポリマー分散液晶（ＰＤＬＣ）を、制御された溶剤蒸発の条件下で基板上にスピンコーティングすることによって構成される。特定のプロセスにおいて、ＰＤＬＣコーティングの均一性は、（１）半密閉チャンバ内でのスピンコーティング、（２）取付具を用いることによる矩形基板の円形基板への「変換」、（３）基板とスピンコーター上部カバーとの間の制御可能な間隔の形成、（４）制御可能な蒸発速度によって達成される。 （もっと読む）