本発明に係る画像形成装置は、複数個のマイクロ部材を有するローラを備える。マイクロ部材群は、好ましくはプラスチックやラバー等のコンプライアントな素材からなるフック又はループ状部材とする。マイクロ部材群によって実質画定されるため、ローラの表面はコンプライアントな面となり、印刷領域内における感光媒体厚みが不意に変化してもそれを吸収できる。回転型ローラを用いているため、感光媒体との接触によってローラの回転力が圧縮力に変換され、それによって感光媒体内のマイクロカプセルが破裂される。
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パターニングされたセラミック薄膜（１０）は、イオン伝導性セラミック、電極、ハードセラミックコーティング、透明導電性酸化物、透明半導電性酸化物、強誘電性酸化物、及び誘電性酸化物として有用である。そのセラミック薄膜（１０）は液体前駆体溶液から形成することができる。 （もっと読む）

１）現像処理が行われる現像槽と、現像液を収容する現像液循環タンクと、前記現像液循環タンク内の現像液を前記現像槽に送る手段と、前記現像槽において現像処理に使用された後の現像液を前記現像液循環タンクに戻す手段とを備える現像液循環系、２）前記現像液を濾液と濃縮液とに分離する限外濾過フィルタ、及び３）前記現像液循環タンクから一部を取り出された現像液を収容する限外濾過濃縮液タンクと、前記限外濾過濃縮液タンク内の現像液を前記限外濾過フィルタに送る手段と、前記限外濾過フィルタにおいて分離された濃縮液を前記限外濾過濃縮液タンクに戻す手段と、前記限外濾過フィルタにおいて分離された濾液を前記現像液循環系に戻す手段とを備える濾液・濃縮液循環系を具備する現像装置。 （もっと読む）

感光性組成物を簡便に、かつ十分な感度および解像度を保ちながら現像する現像液と、それによるパターン形成方法を提供する。この現像液は、アミン−Ｎ−オキシド基、スルホン酸塩基、硫酸塩基、カルボン酸塩基、およびリン酸塩基からなる群から選ばれる親水性基を有する化合物を含んでなるものであり、特にケイ素を含有するポリマーを含む感光性組成物の現像に用いられるものである。本発明はそれを用いたパターン形成方法にも関するものである。 （もっと読む）

本発明は半導体素子または液晶ディスプレイ素子の製造工程で使用されるフォトレジスト除去用シンナー組成物に関し、より詳しくは、a）プロピレングリコールモノアルキルエーテルと;b）酢酸アルキルと;c）シクロケトンとを含むシンナー組成物に関するものである。本発明のシンナー組成物はd）ポリエチレンオキシド系界面活性剤、及びe）フッ化アクリルコポリマーよりなる群から１種以上選択される化合物をさらに含むことができる。
本発明によるフォトレジスト除去用シンナー組成物は、液晶ディスプレイ素子と有機ELディスプレイ素子の製造に使用されるガラス基板、及び半導体製造に使用されるウエハーの周縁と背面に使用されて不必要に付着したフォトレジストを短時間で効率的に除去することができ、界面の段差を減らし、特にフォトレジストに対する界面浸透現象を抑制することができる。したがって、多様な工程に適用することが可能であり、経済的な使用はもちろん、製造工程の簡便化及び生産性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】電気光学装置に設けられる半透過反射基板の製造時に、その下地層の部分的な剥離を防止する。
【解決手段】半透過反射基板の製造工程においては、まず、図５（ａ）に示すように第２基板１２０上に感光性樹脂１３２を塗布し、続いて、図５（ｂ）に示すようにフォトマスク１４５にて露光した後、現像して下地層１３０を形成する。このうち、露光処理においては、開口部１２５と凹凸面１３２ｂとが離間するように露光し、それらの間隙が平坦となるような処理を施す。 （もっと読む）

【課題】 マイクロドリルの捻れ溝加工を高精度で行い，かつマイクロドリルを高歩留まりで大量生産する。
【解決手段】 所定部材を加工して，マイクロドリルのドリルボディ部を形成する工程と，少なくともドリルボディ部を含む所定領域を露光液でコーティングする露光液コーティング工程と，ドリルボディ部の露光液コーティング面にレーザビームを照射しながらマイクロドリルを直進回転移動させて，捻れ溝形成領域の露光液を除去する捻れ溝形成領域露光工程と，少なくともドリルボディ部をエッチング液に浸積し，露光液が除去された領域のドリルボディ部材をエッチング除去して，捻れ溝を形成する捻れ溝形成工程と，露光液を超音波洗浄により洗浄除去する露光液洗浄工程と，を含む。 （もっと読む）