【課題】パレット上に複数枚載置された平版印刷版を一枚毎に給版を行う自動給版機構を有する自動製版機において、版材間の密着による多重給版を予防し、かつパレット上の平版印刷版の位置ずれを簡便に抑制し、給版に関する不具合の発生を抑制して長期間安定な製版を可能とすることである。
【解決手段】側面が面取処理された平版印刷版をパレット上に複数枚載置し、一枚毎に給版を行う自動給版機構を有する自動製版機であって、パレット上に複数枚載置された平版印刷版の面取処理された側面に向けて圧縮空気を吹き付けるエアブロー手段を有することを特徴とする自動給版機構を有する自動製版機を用いた平版印刷版の給版方法。 （もっと読む）

【課題】 レーザ照射により生じたガス等が画像記録材料の表面に再付着したとしても、画像品質が大きく劣化することのない画像記録装置を提供すること。
【解決手段】 レーザ光源４２は、主走査方向Ｘに交差する方向に配列された複数の半導体レーザｃｈを有し、複数の半導体レーザｃｈのそれぞれは、空気吹付菅による空気の吹付方向の下流側において隣接する別の半導体レーザｃｈよりも、主走査方向Ｘについて上流側になるような位置関係で配列されている。 （もっと読む）

【課題】マスクの描画後の線幅寸法（ＣＤ）変動を補正する照射量を求める手法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様の荷電粒子ビーム描画方法は、パターンデータを入力する工程Ｓ１０２と、パターンデータを描画するための総描画時間を予測する工程Ｓ１０４と、描画開始時刻からの時間と総描画時間と基準照射量との関係を用いて、任意時間後での基準照射量を取得する工程Ｓ１０８と、描画開始時刻からの時間と総描画時間とかぶり効果補正係数との関係を用いて、任意時間後でのかぶり効果補正係数を取得する工程Ｓ１０８と、任意時間後での照射量を計算する工程Ｓ１１０と、照射量に合わせて、描画する工程Ｓ１１４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部の不要な塗布膜を高い形状精度、幅精度で除去できる技術を提供すること。
【解決手段】塗布膜（レジスト膜）が形成されたウエハＷの周縁部に対して露光処理を行う周辺露光装置４において、スピンチャック４１に保持されたウエハＷの外縁の位置データを検出するための位置検出手段７と、ウエハＷの周縁部に対して露光処理を行うための露光部６と、前記露光された領域に現像液を供給する現像ノズル８１と、スピンチャック４１を水平方向に移動させるための位置合わせ手段とを備える。前記位置検出手段７によって検出したウエハＷの外縁の位置データに基づいて、当該ウエハＷの外縁と露光部６との位置関係が一定になるように前記位置合わせ手段を制御しながら、前記露光部６によりスピンチャック４１に保持されたウエハＷの周縁部に対して露光処理を行う。 （もっと読む）

【課題】小点の画像を形成する場合であっても所望の画像を形成することができる画像形成装置を提供する。
【解決手段】露光対象の画素のうちの任意の一画素を中心とする主走査方向および副走査方向の両方向に所定数の画素の幅を有する領域において、露光対象の画素の数を検出し、検出した露光対象の画素の数が所定数以下の場合は、任意の一画素が小点であると判別する小点判別手段７０と、小点判別手段７０が、小点と判別した画素の露光を行なう前後の所定時間だけバイアス光を増大させるバイアス光変調手段と、を備える画像形成装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡単な回路等により高精度でクロック周波数の設定を行うことにより、情報記録媒体の原盤を作成する電子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】第１クロック作成回路３は第１クロック周波数を有し露光のタイミングの基準となるライトクロックを作成する。第２クロック作成回路４は第２クロック周波数を有しモータの回転速度の基準となるスピンドルクロックを作成する。リファレンスクロック作成回路２は、第１及び第２クロック作成回路３及び４に共通にリファレンスクロックＦｒを供給する。周波数更新回路９は、第１及び第２クロック作成回路３及び４に共通に設けられ、リファレンスクロックＦｒの数をカウントして、そのカウント値が所定の値となった場合に、第１及び第２クロック周波数を更新する。 （もっと読む）

【課題】機械的な誤差、光軸ずれ、光学歪み等に起因する電子ビームによる描画位置のずれを補償し、精度の高い描画を実現可能にする。
【解決手段】回転ステージの直線移動方向と回転ステージの直線移動方向に電子ビームを偏向させる第1の指令器４２からの第１の指令信号DO(Y)によって偏向させたときの実際の電子ビームの偏向方向との角度ずれを補償するために、偏向アンプ４６Ｙからの出力信号の他に、偏向アンプ４６Ｘからその角度ずれに相当する信号を出力し、電子ビームの偏向方向を変える（回転させる）。また、電子ビームによって所望のパターンを構成するエレメントを塗り潰すように電子ビームを走査させる、第1の指令器４２からの第２の指令信号MO(X),MO(Y)を、補償回路５２の変換テーブルによって第２の指令信号MO(X)’,MO(Y)’に変換し、電子ビームの指令位置と実際の走査位置とを一致させる。 （もっと読む）

【課題】無機レジスト層とその下地基材又は下地層との間における結晶性の界面層の形成を抑制する。
【解決手段】基材１上に下地層２を形成する工程と、下地層２の上に金属酸化物からなる無機レジスト層３を形成する工程と、無機レジスト層３にレーザ光３ｂを照射して所定形状の潜像３ａを形成する工程と、無機レジスト層３を現像して基材１上に潜像３ａの形成部が凹部となる無機レジスト層３の凹凸パターンを形成する工程とを有し、基材１の上に無機レジスト層３を形成する工程の前に、下地層２の上に、無機レジスト層の界面の結晶化を抑制するための中間層２０を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】パターン凸部のテーパ角を任意に調整することができる無機レジストパターンの製造方法を提供する。
【解決手段】基材１上に金属酸化物からなる無機レジスト層３を形成する工程と、無機レジスト層３にレーザ光３ｂを照射して所定形状の潜像３ａを形成する工程と、無機レジスト層３を現像して基材１上に潜像３ａの形成部が凹部となる無機レジスト層３の凹凸パターンを形成する工程とを有する無機レジスト・パターンの製造方法であって、凹凸パターンの凸形状のテーパ角θを金属酸化物に含まれる酸素量で制御する。具体的に、金属酸化物に含まれる酸素量を減少させることでパターン凸形状のテーパ角θを小さく（緩慢に）形成でき、酸素量を増大させることでパターン凸形状のテーパ角を大きく（急峻に）形成できる。 （もっと読む）

【課題】厚さにばらつきのある薄い材料に画像を描画するシステム及び対応する方法を提供する。
【解決手段】システム４０は、薄い材料４２の表面４８に画像を描画するプロッタユニット４６と、描画を行うためにプロッタユニット４６を制御する制御ユニット５０と、薄い材料４２の厚さ４４を測定する厚さ測定デバイス５２とを備える。制御ユニット５０は、厚さ測定デバイス５２から測定厚さ値を受け取り、プロッタユニット４６によって画像の描画を調整するために測定厚さ値を用いて、薄い材料４２の厚さ４４のばらつきを補償する。 （もっと読む）

【課題】 磁気媒体としてサーボパターンが形成されたときに所望のパターンを得られる
パターンを有したスタンパ、そのスタンパの製造方法、さらにはノイズを生ずることが少
ないサーボパターンが形成された磁気ディスクを提供する。
【解決手段】 少なくともサーボ領域とデータ領域を有し、前記サーボ領域内乃至データ
領域内が非磁性部によって分離乃至凹凸によって区分されている磁気記録媒体の製造をイ
ンプリント法で行う際に用いるスタンパにおいて、前記スタンパが円周方向に凹みがある
凸パターンを有する。 （もっと読む）

【課題】原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】原盤作製用ディスク保持手段３に保持させた原盤作製用ディスク２の回転中心を検出する原盤作製用ディスク回転中心検出部９と、原盤作製用ディスク保持手段３に保持させた原盤作製用ディスク２の回転中心と情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４の回転対称中心とを整合させる整合手段５、１０を備える。 （もっと読む）

【課題】種々のパターンのＬＥＲを最小にして描画を行うことの可能な電子ビーム描画装置、電子ビーム描画方法、電子ビーム描画プログラムおよび記録媒体を提供する。
【解決手段】基材２１上にパターンを描画する際、それぞれの描画パターンごとのパターン幅（エッジ形状）に固有のエッジ形状誤差であるＬＥＲが最小となるオフセット値に基づいて、フォーカスレンズ７を駆動して電子ビーム５の焦点をオフセットさせ、また回転ステージ２２，直動ステージ２３，スピンドルモータ２４を駆動して基材２１を回転・移動させて、デフォーカス量を可変しながらパターンを描画する。 （もっと読む）

【課題】原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒（４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４）を配置し、原盤作製用ディスク２を一定角速度で回転させる場合においても、原盤作製用ディスク２の半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を均等化する。 （もっと読む）

【課題】無機レジスト層が形成された原盤形成基板の内外周での記録感度のバラツキに対応して適切なレーザパワーでマスタリング記録を行う。
【解決手段】無機レジスト層を形成した原盤形成基板の面内の感度分布を、低パワーのレーザ光でレジスト層の記録領域の表面をスキャンしながら反射率を測定して求める（Ｆ１０２）。そして検出した反射率によって判定できる感度分布に応じて、半径位置に応じた適切な記録レーザパワーを示す記録パワー制御データを生成し（Ｆ１０２）、実際の露光記録（マスタリング記録）の際には、その記録パワー制御データに基づいて半径位置に応じて記録パワーを可変させながらレーザ光照射を行い、上記無機レジスト層に露光パターンを形成していく（Ｆ１０３）。 （もっと読む）

【課題】描画位置決め精度が良く、かつ、スループットの高いマルチビーム型露光装置を提供する。
【解決手段】一次元的に配列された複数の電子線源２から放出された電子線３は、照明レンズ４、５によって、開口付遮蔽板６上に、各々の電子線源２の像を結ぶ。開口付遮蔽板６には、開口６ａが一次元的に、等間隔に配置されており、各電子線源２の像２ａが、この開口６ａの周りに形成されるようになっている。開口６ａを透過した電子線３は、投影光学系に入り、投影レンズ７、８によって、開口６ａの像を、感応基板９のレジスト上に結像する。開口６ａの像の倍率、焦点位置、回転を補正するために、倍率補正レンズ１０、焦点位置補正レンズ１１、回転補正レンズ１２が設けられている。さらに、開口６ａの像の位置を、全体として補正するために、偏向器１３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 露光時の回転軸の位置を安価な装置で、かつ、正確に検出することができる露光装置を提供する。
【解決手段】 試料６は、ＣＤディスクのようにドーナツ状になっている。試料台５の回転中心付近には、（ｂ）に示すように円形のピンホール８が開けられている。そして、不図示の光源からの光９が、このピンホール８を照射する。ピンホール８を通過した光は、拡大光学系１０により、ピンホール８の拡大像を４分割光センサ１１上に結像する。ピンホール８で散乱された光が４分割光センサ１１に入射するのを防止するために、開口付遮蔽板１２が設けられている。４分割光センサ１１の出力から、回転中のピンホール８の位置を測定することができ、これから、露光時の回転軸の位置を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】真の回転同期成分と非同期回転成分を高精度で検出すること。
【解決手段】回転振れ量検出手段は、ターンテーブル１１２に対して非接触で配置された回転振れ検出センサー１１５により、ターンテーブル１１２の半径方向の変位量を検出する第１検出手段と、テーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出手段と、ターンテーブル１１２の所定の回転速度以下の状態におけるテーブル回転手段の回転角度と前記変位量を、所定の角度毎にターンテーブル１回転分について求めたデータを記憶する基準値記憶手段（記憶領域２０５ａ）と、ターンテーブル１１２の所定回転数より大きい回転速度の状態におけるテーブル回転手段の回転角度と前記変位量を、所定の角度毎にターンテーブル１回転分について求めたデータを記憶する現在値記憶手段（記憶領域２０５ｂ）と、この２つのデータの減算を行なうマイクロコントローラ２０４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来のフォトリソグラフィあるいは電子線リソグラフィに依存しない、所要のフィーチャー・サイズのマスタ・ディスクをパターン化するためシステム及び方法が必要とされている。
【解決手段】
磁気記録ディスクをナノインプリントするために用いられるマスタ・ディスクすなわちスタンパをパターン化するためのシステム及び方法において、回転するマスタ・ディスク基板１０上のレジスト層１１の光近接領域内に開口構造５０を支持する空気軸受けスライダー３０が用いられる。開口部５２の入力側に誘導されるレーザーパルスはレジスト層１１に対して出力される。開口構造５０はレーザー照射５４に対して反射性を有する金属膜５１を含み、その内部に開口部５２が形成されている。開口部５２は、入射するレーザー照射の波長未満のサイズを有し、レジスト層１１に近い空気軸受けスライダー３０によって放射波長以内のサイズに維持される。 （もっと読む）

【課題】青色レーザーによる書き込みが可能で、ＦＭスクリーンの高画質網点が安定的に得られる平版印刷版を製版することが可能な、平版印刷版原版の製版方法を提供することにある。
【解決手段】支持体上に、３６０ｎｍ〜４５０ｎｍの光を吸収する増感色素、重合開始剤、重合性化合物、及びバインダーポリマーを含有する感光性組成物により形成された感光層を有する平版印刷版原版を、３６０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲に発振波長を有する光源を搭載したインナードラム露光装置を用いて露光する製版方法において、該露光装置の光ビームスポット形状が、光ビームを常光線と異常光線とに等光量で平行に分割し、その２つのビームスポットが一部重なるように隣接して副走査方向に並んでいることを特徴とする平版印刷版原版の製版方法。 （もっと読む）