電子ビーム装置
【課題】原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒（４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４）を配置し、原盤作製用ディスク２を一定角速度で回転させる場合においても、原盤作製用ディスク２の半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を均等化する。
【解決手段】原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒（４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４）を配置し、原盤作製用ディスク２を一定角速度で回転させる場合においても、原盤作製用ディスク２の半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を均等化する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスクを作製するために必要な原盤を作製する場合に使用される電子ビーム装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子情報処理装置において、情報記録媒体として使用されるディスクのうち、ＣＤ−ＲＯＭや光磁気ディスク（ＭＯ）等の光ディスクは、可搬型の大容量記録媒体であることを特徴とし、広く使用されている。
【０００３】
これらの光ディスクは、ピット（凹部）を有することから、たとえば、ガラス基板にレジスト層を形成してなる原盤作製用ディスクを用意し、この原盤作製用ディスクのレジスト層を加工して原盤を作製し、更に、この原盤を使用してスタンパと呼ばれる金型を作製した後、この金型を使用して作製される。
【０００４】
従来、原盤は、光ディスクに記憶すべきデジタル情報に応じたレーザビームを原盤作製用ディスクのレジスト層に照射し、原盤作製用ディスクに必要なピットを形成することにより作製されていた。
【０００５】
しかし、レーザビームを使用する原盤の作製では、更なる高記録密度化が困難であると考えられることから、電子ビームを使用する原盤の作製が検討されており、原盤作製に使用される種々の電子ビーム装置が提案されている（特許文献１、特許文献２、非特許文献１）。
【０００６】
特に、特許文献１及び特許文献２においては、原盤作製用ディスクの電子ビーム照射箇所を一括照射できないことに起因する電子ビーム装置の欠点である低スループットを改善することを目的として、小型の電子ビーム鏡筒を２次元に配列し、原盤作製用ディスクに対して同時に複数の電子ビームを照射することができるようにした電子ビーム装置が記載されている。
【特許文献１】特開平２−２１４０４６号公報
【特許文献２】特開平４−３３５２２６号公報
【非特許文献１】第４４回春季応用物理学会予稿集（１９９７）３１ａ−ＮＦ−９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に記載されている電子ビーム装置や、特許文献２に記載されている電子ビーム装置においては、動作不良の電子ビーム鏡筒を検出することができず、動作不良の電子ビーム鏡筒が発生した場合、直ちに、これに対応することができず、作業効率の大幅な低下を招いてしまうという問題点があった。
【０００８】
また、従来の電子ビーム装置においては、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との位置合わせは、原盤作製用ディスクを保持するステージ機構系の精度に依存したものであり、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群とを積極的に整合させる手段を有していなかったので、ピットの形成を高精度に行うことができない場合があるという問題点があった。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑み、複数の電子ビームを配置してなる電子ビーム鏡筒群を備え、スループットの向上を図ることができると共に、不良の電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができるようにした電子ビーム装置を提供することを第１の目的とする。
【００１０】
また、本発明は、複数の電子ビームを配置してなる電子ビーム鏡筒群を備え、スループットの向上を図ることができると共に、不良の電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができ、しかも、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との整合を図ることができ、原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができるようにした電子ビーム装置を提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明中、第１の発明の電子ビーム装置は、原盤作製用ディスクを保持させて回転させるための原盤作製用ディスク保持手段と、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心から異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒を回転対称に配置してなる情報記録用電子ビーム鏡筒群と、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出する不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段とを備えているというものである。
【００１２】
本発明中、第１の発明の電子ビーム装置によれば、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心から異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒を回転対称に配置してなる情報記録用電子ビーム鏡筒群を備えているので、原盤作製用ディスクの電子ビーム照射箇所に対する電子ビームの照射を回転対称にある複数の情報記録用電子ビーム鏡筒で分担し、並行して行うことができる。
【００１３】
また、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出する不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段を備えているので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を自動的に検出することができ、しかも、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒を回転対称に配置してなる情報記録用電子ビーム鏡筒群を備えているので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができる。
【００１４】
本発明中、第２の発明の電子ビーム装置は、第１の発明において、複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の各々に対応させて予備の情報記録用電子ビーム鏡筒を備えているというものである。
【００１５】
本発明中、第２の発明の電子ビーム装置によれば、第１の発明の電子ビーム装置と同様に、原盤作製用ディスクの電子ビーム照射箇所に対する電子ビームの照射を回転対称にある複数の情報記録用電子ビーム鏡筒で分担し、並行して行うことができると共に、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を予備の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができる。
【００１６】
本発明中、第３の発明の電子ビーム装置は、第１又は第２の発明において、不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクからの反射電子又は２次電子の検出量により、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成されているというものである。
【００１７】
本発明中、第３の発明の電子ビーム装置によれば、第１又は第２の発明の電子ビーム装置と同様の作用を得ることができると共に、簡単な構成で、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出することができる。
【００１８】
本発明中、第４の発明の電子ビーム装置は、第１又は第２の発明において、不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、電子ビーム電流の漏れ量を検出することにより、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成されているというものである。
【００１９】
本発明中、第４の発明の電子ビーム装置によれば、第１又は第２の発明の電子ビーム装置と同様の作用を得ることができると共に、簡単な構成で、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出することができる。
【００２０】
本発明中、第５の発明の電子ビーム装置は、第１、第２、第３又は第４の発明において、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化する電子ビーム照射量均等化手段を備えているというものである。
【００２１】
本発明中、第５の発明の電子ビーム装置によれば、第１、第２、第３又は第４の発明と同様の作用を得ることができると共に、原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させる場合においても、原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる。
【００２２】
本発明中、第６の発明の電子ビーム装置は、第５の発明において、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を１個以上の情報記録用電子ビーム鏡筒で電子ビーム照射するものとし、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒を配置させることを含めて構成されているというものである。
【００２３】
本発明中、第６の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明と同様の作用を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができる。
【００２４】
本発明中、第７の発明の電子ビーム装置は、第５の発明において、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクに照射される電子ビームの電流量を制御することにより、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成されているというものである。
【００２５】
本発明中、第７の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明と同様の作用を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができる。
【００２６】
本発明中、第８の発明の電子ビーム装置は、第５の発明において、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分に照射する電子ビームの照射回数を制御することにより、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成されているというものである。
【００２７】
本発明中、第８の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明と同様の作用を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができる。
【００２８】
本発明中、第９の発明の電子ビーム装置は、第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７又は第８の発明において、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心を検出する原盤作製用ディスク回転中心検出手段と、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心と複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とを整合させる整合手段とを備えているというものである。
【００２９】
本発明中、第９の発明の電子ビーム装置によれば、第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７又は第８の発明と同様の作用を得ることができると共に、原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる。
【００３０】
本発明中、第１０の発明の電子ビーム装置は、第９の発明において、原盤作製用ディスク回転中心検出手段は、原盤作製用ディスク保持手段の原盤作製用ディスク搭載面の原盤作製用ディスク搭載箇所の外側に原盤作製用ディスクの回転中心を回転対称中心として回転対称に形成され、かつ、原盤作製用ディスクの回転方向に沿った幅が原盤作製用ディスクの回転中心からの距離によって異なる同一形状の複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークと、複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークに電子ビームを照射して複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークからの反射電子又は２次電子を検出する手段を有する原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒とを含めて構成されているというものである。
【００３１】
本発明中、第１０の発明の電子ビーム装置によれば、第９の発明と同様の作用を得ることができると共に、原盤作製用ディスクの回転中心位置を簡単な構成で、かつ、高精度に検出することができる。
【００３２】
本発明中、第１１の発明の電子ビーム装置は、第９の発明において、原盤作製用ディスク回転中心検出手段は、原盤作製用ディスクに原盤作製用ディスクの回転中心を回転対称中心として回転対称に形成され、かつ、原盤作製用ディスクの回転方向に沿った幅が原盤作製用ディスクの回転中心からの距離によって異なる同一形状の複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークに電子ビームを照射して原盤作製用ディスク回転中心検出用マークからの反射電子又は２次電子を検出する手段を有する原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒とを含めて構成されているというものである。
【００３３】
本発明中、第１１の発明の電子ビーム装置によれば、第９の発明と同様の作用を得ることができると共に、原盤作製用ディスクの回転中心を簡単な構成で、かつ、高精度に検出することができる。
【００３４】
本発明中、第１２の発明の電子ビーム装置は、第１０又は第１１の発明において、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒として、原盤作製用ディスク回転中心検出用マークと同一数の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心を回転対称中心として回転対称に配置されているというものである。
【００３５】
本発明中、第１２の発明の電子ビーム装置によれば、第１０又は第１１の発明と同様の作用を得ることができると共に、複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークの検出信号を同時に得ることができるので、原盤作製用ディスクの回転中心を効率的に検出することができる。
【００３６】
本発明中、第１３の発明の電子ビーム装置は、第１０、第１１又は第１２の発明において、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒に対応させて予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が配置されているというものである。
【００３７】
本発明中、第１３の発明の電子ビーム装置によれば、不良の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が発生した場合には、予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を使用することができる。
【００３８】
本発明中、第１４の発明の電子ビーム装置は、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明において、整合手段は、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心と、複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とが一致するように、原盤作製用ディスク保持手段又は情報記録用電子ビーム鏡筒群を移動する移動手段を含めて構成されているというものである。
【００３９】
本発明中、第１４の発明の電子ビーム装置によれば、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明と同様の作用を得ることができると共に、簡単な構成で、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との整合を図ることができる。
【００４０】
本発明中、第１５の発明の電子ビーム装置は、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明において、整合手段は、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心と、情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とが一致している場合と同様の電子ビーム照射を行うことができるように、複数の情報記録用電子ビーム鏡筒内の偏向器に供給する偏向信号を補正する補正手段を含めて構成されているというものである。
【００４１】
本発明中、第１５の発明の電子ビーム装置によれば、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明と同様の作用を得ることができると共に、簡単な構成で、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との整合を図ることができる。
【発明の効果】
【００４２】
本発明中、第１の発明の電子ビーム装置によれば、原盤作製用ディスクの電子ビーム照射箇所に対する電子ビームの照射を回転対称にある複数の情報記録用電子ビーム鏡筒で分担し、並行して行うことができるので、スループットの向上を図ることができると共に、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができるので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができる。
【００４３】
また、本発明中、第２の発明の電子ビーム装置によれば、第１の発明の電子ビーム装置と同様に、原盤作製用ディスクの電子ビーム照射箇所に対する電子ビームの照射を回転対称にある複数の情報記録用電子ビーム鏡筒で分担し、並行して行うことができるので、スループットの向上を図ることができると共に、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を予備の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができるので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができる。
【００４４】
また、本発明中、第３の発明の電子ビーム装置によれば、第１又は第２の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、原盤作製用ディスクからの反射電子又は２次電子の検出量により、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成するとしているので、簡単な構成で、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出することができるという格別の効果を得ることができる。
【００４５】
また、本発明中、第４の発明の電子ビーム装置によれば、第１又は第２の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、電子ビーム電流の漏れ量を検出することにより、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成するとしているので、簡単な構成で、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出することができるという格別の効果を得ることができる。
【００４６】
また、本発明中、第５の発明の電子ビーム装置によれば、第１、第２、第３又は第４の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化する電子ビーム照射量均等化手段を備えるとしているので、原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させる場合においても、原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができるという格別の効果を得ることができる。
【００４７】
また、本発明中、第６の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を１個以上の情報記録用電子ビーム鏡筒で電子ビーム照射するものとし、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が原盤作製用ディスクの内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒を配置させることを含めて構成するとしているので、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができるという格別の効果を得ることができる。
【００４８】
また、本発明中、第７の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスクに照射される電子ビームの電流量を制御することにより、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成するとしているので、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができるという格別の効果を得ることができる。
【００４９】
また、本発明中、第８の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分に照射する電子ビームの照射回数を制御することにより、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成するとしているので、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができるという格別の効果を得ることができる。
【００５０】
また、本発明中、第９の発明の電子ビーム装置によれば、第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７又は第８の発明と同様の効果を得ることができると共に、原盤作製用ディスクの回転中心と複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とを整合させる整合手段とを備えているので、原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができるという格別の効果を得ることができる。
【００５１】
また、本発明中、第１０の発明の電子ビーム装置によれば、第９の発明と同様の効果を得ることができると共に、原盤作製用ディスク回転中心検出手段は、原盤作製用ディスク保持手段の原盤作製用ディスク搭載面に形成された複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークと、複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークに電子ビームを照射して反射電子又は２次電子を検出する手段を有する原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒とを含めて構成するとしているので、原盤作製用ディスクの回転中心位置を簡単な構成で、かつ、高精度に検出することができるという格別の効果を得ることができる。
【００５２】
また、本発明中、第１１の発明の電子ビーム装置によれば、第９の発明と同様の効果を得ることができると共に、原盤作製用ディスク回転中心検出手段は、原盤作製用ディスクに形成された複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークに電子ビームを照射して反射電子又は２次電子を検出する手段を有する原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を含めて構成するとしているので、原盤作製用ディスクの回転中心位置を簡単な構成で、かつ、高精度に検出することができるという格別の効果を得ることができる。
【００５３】
また、本発明中、第１２の発明の電子ビーム装置によれば、第１０又は第１１の発明と同様の作用を得ることができると共に、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒として、原盤作製用ディスク回転中心検出用マークと同一数の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心を回転対称中心として回転対称に配置するとしているので、複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークの検出信号を同時に得ることができ、原盤作製用ディスクの回転中心を効率的に検出することができる。
【００５４】
また、本発明中、第１３の発明の電子ビーム装置によれば、第１０、第１１又は第１２の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒に対応させて予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を配置するとしているので、不良の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が発生した場合には、予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を使用することができ、この点からも、スループットの向上を図ることができるという格別の効果を得ることができる。
【００５５】
また、本発明中、第１４の発明の電子ビーム装置によれば、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明と同様の効果を得ることができると共に、整合手段は、原盤作製用ディスクの回転中心と、複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とが一致するように、原盤作製用ディスク保持手段又は情報記録用電子ビーム鏡筒群を移動する移動手段を含めて構成するとしているので、簡単な構成で、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との整合を図ることができるという格別の効果を得ることができる。
【００５６】
また、本発明中、第１５の発明の電子ビーム装置によれば、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明と同様の効果を得ることができると共に、整合手段は、原盤作製用ディスクの回転中心と、情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とが一致している場合と同様の電子ビーム照射を行うことができるように、複数の情報記録用電子ビーム鏡筒内の偏向器に供給する偏向信号を補正する補正手段を含めて構成するとしているので、簡単な構成で、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との整合を図ることができるという格別の効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５７】
以下、図１〜図１１を参照して、本発明の第１実施形態及び第２実施形態について説明する。
【００５８】
（第１実施形態・・図１〜図１０）
図１は本発明の第１実施形態の概念図である。図１中、１は真空室、２は光ディスクを作製するために必要な原盤を作製するための原盤作製用ディスクであり、原盤作製用ディスク２は、たとえば、ガラス基板に電子ビームレジストを塗布して構成される。
【００５９】
また、３は原盤作製用ディスク２を水平に保持させて回転させるための原盤作製用ディスク保持手段、４は原盤作製用ディスク保持手段３の回転、移動を行うステージ、５はステージ４の回転、移動を制御するステージ制御部である。
【００６０】
なお、原盤作製用ディスク保持手段３が原盤作製用ディスク２を回転させる機構を備えるようにし、ステージ４は、原盤作製用ディスク保持手段３の移動のみを行うように構成しても良い。
【００６１】
また、６は原盤作製用ディスク２に対してピットを形成するために必要な情報の記録を行う複数の情報記録用電子ビーム鏡筒と、原盤作製用ディスク２の回転中心を検出するための複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒とが配置されている電子ビーム鏡筒群である。
【００６２】
また、７は電子ビーム鏡筒群６を構成する情報記録用電子ビーム鏡筒及び原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒による原盤作製用ディスク２に対する電子ビーム照射を制御する電子ビーム照射制御部である。
【００６３】
また、８は情報記録用電子ビーム鏡筒及び原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が備える反射電子検出器を介して得られる反射電子検出量から不良の電子ビーム鏡筒を検出する不良電子ビーム鏡筒検出部である。
【００６４】
また、９は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が備える反射電子検出器を介して得られる反射電子検出信号から原盤作製用ディスクの回転中心を検出する原盤作製用ディスク回転中心検出部である。
【００６５】
また、１０はステージ制御部５及び電子ビーム照射制御部７の制御など、装置の全体的な制御を行うシステムコントローラである。
【００６６】
図２は原盤作製用ディスク保持手段３の概略的平面図である。図２中、１２は原盤作製用ディスク搭載面、１３は原盤作製用ディスク搭載箇所、１４は原盤作製用ディスク搭載面１２の回転中心、即ち、原盤作製用ディスク２の回転中心であり、矢印Ａは、原盤作製用ディスク保持手段３の回転方向、即ち、原盤作製用ディスク２の回転方向を示している。
【００６７】
また、１５−１〜１５−４は原盤作製用ディスク搭載面１２の原盤作製用ディスク搭載箇所１３の外周部に原盤作製用ディスク２の回転中心１４に対して９０°の間隔をもって回転対称に形成された同一形状の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークである。
【００６８】
図３は図２のＢ−Ｂ線に沿った概略的断面図であり、原盤作製用ディスク回転中心検出用マーク１５−１〜１５−４は、高さを一定とする凸状とし、かつ、平面形状を二等辺三角形とし、二等辺三角形の高さ方向が原盤作製用ディスク搭載面１２に搭載された原盤作製用ディスク２の半径方向と一致するように形成されている。
【００６９】
図４は電子ビーム鏡筒群６の平面構成を示す模式図である。図４中、１７は電子ビーム鏡筒配置円板、１８は原盤作製用ディスク２の回転中心１４を一致させるべき電子ビーム鏡筒群６の中心である。
【００７０】
また、１９−１〜１９−４は情報記録用電子ビーム鏡筒が配置されている情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロックであり、これら情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−１〜１９−４は、原盤作製用ディスク２の電子ビーム照射面に対応する部分であり、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として回転対称に設定されたものである。
【００７１】
また、２０−１〜２０−４は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が配置されている原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロックであり、これら原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロック２０−１〜２０−４も、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として回転対称に設定されたものである。
【００７２】
また、２１−１〜２４−１は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−１に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、２５−１は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロック２０−１に配置された原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒である。
【００７３】
また、２１−２〜２４−２は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−２に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、２５−２は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロック２０−２に配置された原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒である。
【００７４】
また、２１−３〜２４−３は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−３に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、２５−３は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロック２０−３に配置された原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒である。
【００７５】
また、２１−４〜２４−４は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−４に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、２５−４は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロック２０−４に配置された原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒である。
【００７６】
なお、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４は、同一トラック群の電子ビーム照射を分担できるようにし、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【００７７】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒２２−１〜２２−４は、同一トラック群の電子ビーム照射を分担できるようにし、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【００７８】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒２３−１〜２３−４は、同一トラック群の電子ビーム照射を分担できるようにし、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【００７９】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒２４−１〜２４−４は、同一トラック群の電子ビーム照射を分担できるようにし、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【００８０】
また、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４は、原盤作製用ディスク回転中心検出用マーク１５−１〜１５−４に対応させて、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【００８１】
即ち、本発明の第１実施形態においては、電子ビーム鏡筒配置円板１７に、原盤作製用ディスク保持手段３に保持させた原盤作製用ディスク２の回転中心１４から異なる４個の半径方向距離ごとに４個の情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４を回転対称に配置するとしている。
【００８２】
なお、たとえば、図５に示すように、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４に対応させて、予備の情報記録用電子ビーム鏡筒２６−１〜２６−４、２７−１〜２７−４、２８−１〜２８−４、２９−１〜２９−４を設けるようにしても良い。
【００８３】
また、たとえば、図６に示すように、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４に対応させて、予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒３０−１〜３０−４を配置させるようにしても良い。
【００８４】
なお、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒は、作業効率を考慮しなければ、１個あれば足りるものである。
【００８５】
また、図示は省略するが、予備の電子ビーム鏡筒として、たとえば、図５に示す予備の情報記録用電子ビーム鏡筒２６−１〜２６−４、２７−１〜２７−４、２８−１〜２８−４、２９−１〜２９−４と、たとえば、図６に示す予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒３０−１〜３０−４との両方を設けるようにしても良い。
【００８６】
図７は情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１の概念図であり、他の情報記録用電子ビーム鏡筒２１−２〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４及び原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４も同一構造とされている。
【００８７】
なお、予備の情報記録用電子ビーム鏡筒２６−１〜２６−４、２７−１〜２７−４、２８−１〜２８−４、２９−１〜２９−４及び予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒３０−１〜３０−４を設ける場合には、これらも同一構造とされる。
【００８８】
図７中、３２は電子源であり、３３は電子源３２から電子ビーム形成のための電子を引き出すゲート電極、３４は電子源３３から引き出した電子を加速して電子ビーム３５とするアノード電極である。
【００８９】
また、３６は電子ビーム３５の径を制御して後述する電子ビーム径制限絞りと相まって原盤作製用ディスク２に照射する電子ビームの電流量を制御する電子ビーム径制御レンズ、３７は電子ビーム３５の原盤作製用ディスク２への照射、非照射を制御するブランカであり、３８はブランキング電極、３９は開口板である。
【００９０】
また、４０は電子ビーム３５の径を制限する電子ビーム径制限絞り、４１は電子ビーム３５を原盤作製用ディスク２の電子ビームレジスト面に集束させる集束レンズである。
【００９１】
また、４２は電子ビーム３５を偏向して原盤作製用ディスク２に対する照射位置を制御する偏向器、４３は電子ビーム３５を原盤作製用ディスク２に照射した場合の原盤作製用ディスク２からの反射電子を検出する反射電子検出器である。
【００９２】
このように構成された本発明の第１実施形態においては、原盤作製用ディスク２に対するピット形成に必要な情報の記録のための電子ビーム照射を行う前に、原盤作製用ディスク保持手段３の原盤作製用ディスク搭載面１２の原盤作製用ディスク搭載箇所１３に搭載した原盤作製用ディスク２の回転中心１４を検出し、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８との整合を行うことができる。
【００９３】
ここに、原盤作製用ディスク２の回転中心１４の検出を行う場合には、原盤作製用ディスク保持手段３を１／４回転させながら、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４を使用して電子ビームを同時に原盤作製用ディスク保持手段３の原盤作製用ディスク搭載面１２に照射する。
【００９４】
このようにすると、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４においては、それぞれ、反射電子検出器を介して、原盤作製用ディスク回転中心検出用マーク１５−１〜１５−４からの反射電子を検出してなる反射電子検出信号Ｓ１〜Ｓ４を得ることができる。
【００９５】
このようにした場合において、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と、電子ビーム鏡筒群６の中心１８とが一致している場合には、反射電子検出信号Ｓ１〜Ｓ４は、図８に示すように、Ｈレベル幅Ｔ１〜Ｔ４を同一とする信号となる。
【００９６】
これに対して、たとえば、図９に示すように、原盤作製用ディスク２の回転中心１４が電子ビーム鏡筒群６の中心１８に対して矢印Ｃの方向に位置ずれしている場合には、反射電子検出信号Ｓ１〜Ｓ４は、図１０に示すように、Ｈレベル幅Ｔ１〜Ｔ４を、Ｔ１＜Ｔ２＜Ｔ３＞Ｔ４とする信号となる。
【００９７】
そこで、この場合には、原盤作製用ディスク回転中心検出部９は、反射電子検出信号Ｓ１〜Ｓ４の幅Ｔ１〜Ｔ４から原盤作製用ディスク２の回転中心１４の位置を算出して、これをシステムコントローラ１０に転送する。
【００９８】
そこで、システムコントローラ１０は、原盤作製用ディスク回転中心検出部９から転送された原盤作製用ディスク２の回転中心１４の位置の算出値に基づいて反射電子検出信号Ｓ１〜Ｓ４のＨレベル幅Ｔ１〜Ｔ４が同一となるであろう位置、即ち、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群の中心１８とが一致するように、原盤作製用ディスク保持手段３を移動させるようにステージ制御部５を制御し、ステージ制御部５は、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群の中心１８とが一致するようにステージ４を移動することになる。
【００９９】
そして、当初から原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８とが一致している場合、あるいは、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８とを一致させた後には、原盤作製用ディスク２にピットを形成のために必要な情報の記録を行うための電子ビーム照射が行われる。
【０１００】
原盤作製用ディスク２にピットを形成のために必要な情報の記録を行うための電子ビーム照射は、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４を同時に使用して原盤作製用ディスク２の電子ビーム照射箇所を分担し、並行して行われる。
【０１０１】
ここに、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合には、不良電子ビーム鏡筒検出部８により、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が検出され、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒がシステムコントローラ１０に通知されることになる。
【０１０２】
この場合、システムコントローラ１０は、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所と回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して電子ビームで照射するようにステージ制御部５及び電子ビーム照射制御部７を制御することになる。
【０１０３】
たとえば、システムコントローラ１０は、情報記録用電子ビーム鏡筒２２−１が不良となった場合には、たとえば、情報記録用電子ビーム鏡筒２２−２を使用して、情報記録用電子ビーム鏡筒２２−１が電子ビーム照射を分担する箇所を電子ビーム照射するように制御する。
【０１０４】
このように、本発明の第１実施形態によれば、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４を同時に使用して原盤作製用ディスク２の電子ビーム照射箇所を分担し、並行して照射することができるので、スループットの向上を図ることができる。
【０１０５】
また、本発明の第１実施形態によれば、原盤作製用ディスク２に電子ビーム照射を行う前に、原盤作製用ディスク２の回転中心を検出し、ステージ４を移動させることにより、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８とを整合させることができるので、原盤作製用ディスク２に対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる。なお、原盤作製用ディスク保持手段３を移動させる構成とする代わりに、電子ビーム鏡筒群６を移動させる構成としても良い。
【０１０６】
なお、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８とが一致していない場合には、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８とが一致している場合と同様の電子ビーム照射を行うことができるように、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４内の偏向器に供給する偏向信号を補正する補正手段を設けることにより、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８との整合を行うように構成しても良い。
【０１０７】
また、本発明の第１実施形態によれば、原盤作製用ディスク保持手段３の原盤作製用ディスク搭載面１２に原盤作製用ディスク回転中心検出用マーク１５−１〜１５−４を設けると共に、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４を設けるようにしているので、原盤作製用ディスク２の回転中心１４を簡単な構成で、かつ、高精度に検出することができる。
【０１０８】
また、本発明の第１実施形態によれば、不良電子ビーム鏡筒検出部８を備えているので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒及び不良の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を自動的に検出することができる。
【０１０９】
そして、電子ビーム鏡筒配置円板１７に、原盤作製用ディスク保持手段３の原盤作製用ディスク搭載面１２の原盤作製用ディスク搭載箇所１３に搭載した原盤作製用ディスク２の回転中心１４から異なる４個の半径方向距離ごとに４個の情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４を回転対称に配置すると共に、４個の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１、２５−２、２５−３、２５−４を回転対称に配置するとしている。
【０１１０】
したがって、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所の電子ビーム照射を回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができるので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができる。
【０１１１】
また、不良の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所の電子ビーム照射を回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができるので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができる。
【０１１２】
また、本発明の第１実施形態によれば、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４及び原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４に原盤作製用ディスク２からの反射電子を検出する反射電子検出器を備えると共に、反射電子の検出量から不良の電子ビーム鏡筒の検出を行う不良電子ビーム鏡筒検出部８を備えているので、簡単な構成で、不良の電子ビーム鏡筒を検出することができる。
【０１１３】
なお、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４及び原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４に原盤作製用ディスク２からの２次電子を検出する２次電子検出器を備えると共に、２次電子検出量から不良の電子ビーム鏡筒の検出を行う不良電子ビーム鏡筒検出部を備えて、不良の電子ビーム鏡筒を検出するように構成しても良い。
【０１１４】
また、たとえば、電子ビーム鏡筒内に設けられるゲート電極３３や、アノード電極３４や、電子ビーム径制限絞り４０等に漏れる電子ビーム電流を検出する漏れ電子ビーム電流検出器を設けて、電子ビーム電流の漏れ量を検出することにより、不良の電子ビーム鏡筒を検出するようにしても良い。
【０１１５】
（第２実施形態・・図１１）
図１１は本発明の第２実施形態の要部を示す図であり、本発明の第２実施形態が備える電子ビーム鏡筒群４５の平面構成を示す模式図である。なお、図１１において、図４に対応する部分には同一符号を付し、その重複説明は省略する。
【０１１６】
本発明の第２実施形態は、原盤作製用ディスク２を一定角速度で回転させる場合に適用して好適な電子ビーム装置であり、図１１に示す電子ビーム鏡筒群４５を備え、その他については、概ね、図１に示す本発明の第１実施形態と同様に構成したものである。
【０１１７】
図１１中、４６−１〜５５−１は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−１に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、４６−２〜５５−２は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−２に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、４６−３〜５５−３は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−３に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、４６−４〜５５−４は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−４に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒である。
【０１１８】
これら情報記録用電子ビーム鏡筒４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４は、本発明の第１実施形態が備える情報記録用電子ビーム鏡筒と同様に構成されている。
【０１１９】
ここに、情報記録用電子ビーム鏡筒４６−Ｐ（但し、Ｐ＝１、２、３、４）は、１個で原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分に対する電子ビーム照射を行うものであるが、情報記録用電子ビーム鏡筒４７−Ｐ、４８−Ｐは、これら２個で原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分に対する電子ビーム照射を行う情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成している。
【０１２０】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒４９−Ｐ、５０−Ｐ、５１−Ｐは、これら３個で原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分に対する電子ビーム照射を行う情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成している。
【０１２１】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒５２−Ｐ、５３−Ｐ、５４−Ｐ、５５−Ｐは、これら４個で原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分に対する電子ビーム照射を行う情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成している。
【０１２２】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒４６−１〜４６−４は、原盤作製用ディスク２の同一トラック群の電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を分担できるように、電子ビーム鏡筒群４５の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【０１２３】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒４７−１、４８−１からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒４７−２、４８−２からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒４７−３、４８−３からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、及び、情報記録用電子ビーム鏡筒４７−４、４８−４からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群は、原盤作製用ディスク２の同一トラック群の電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を分担できるように、電子ビーム鏡筒群４５の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【０１２４】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒４９−１、５０−１、５１−１からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒４９−２、５０−２、５１−２からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒４９−３、５０−３、５１−３からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、及び、情報記録用電子ビーム鏡筒４９−４、５０−４、５１−４からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群は、原盤作製用ディスク２の同一トラック群の電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を分担できるように、電子ビーム鏡筒群４５の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【０１２５】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒５２−１、５３−１、５４−１、５５−１からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒５２−２、５３−２、５４−２、５５−２からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒５２−３、５３−３、５４−３、５５−３からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、及び、情報記録用電子ビーム鏡筒５２−４、５３−４、５４−４、５５−４からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群は、原盤作製用ディスク２の同一トラック群の電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を分担できるように、電子ビーム鏡筒群４５の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【０１２６】
即ち、本発明の第２実施形態は、原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分を１個以上の情報記録用電子ビーム鏡筒で電子ビーム照射するものとし、原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が原盤作製用ディスク２の内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒を配置させるように構成するというものである。
【０１２７】
このように構成された本発明の第２実施形態によれば、情報記録用電子ビーム鏡筒４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４を同時に使用して原盤作製用ディスク２の電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を分担し、並行して行うことができるので、スループットの向上を図ることができる。
【０１２８】
また、原盤作製用ディスク２を一定角速度で回転させる場合、原盤作製用ディスク２においては、内周部よりも外周部の方が線速度は速くなってしまうが、本発明の第２実施形態によれば、原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒を配置させているので、原盤作製用ディスク２を一定角速度で回転させる場合においても、原盤作製用ディスク２の半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化することができ、この結果、原盤作製用ディスク２に対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる。
【０１２９】
なお、情報記録用電子ビーム鏡筒４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４の内部に設けられる電子ビーム径制御レンズを制御して、原盤作製用ディスク２に照射する電子ビームの電流量を制御することにより、原盤作製用ディスク２の半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成しても良い。
【０１３０】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４の内部に設けられるブランキング電極を制御し、１ピット形成部分に対する電子ビームの照射回数を制御することにより、原盤作製用ディスク２の半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成しても良い。
【０１３１】
また、本発明の第２実施形態によれば、本発明の第１実施形態と同様に、原盤作製用ディスク２に対する電子ビーム照射を行う前に、原盤作製用ディスク２の回転中心１４を検出し、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８との整合を行うことができるので、この点からしても、原盤作製用ディスク２に対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる。
【０１３２】
また、本発明の第２実施形態によれば、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出した場合において、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成しない情報記録用電子ビーム鏡筒である場合には、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を、情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成しない回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができ、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成する情報記録用電子ビーム鏡筒である場合には、回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒小群を使用して行うことができるので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができる。
【０１３３】
なお、本発明の第２実施形態においても、情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成しない情報記録用電子ビーム鏡筒に対応させて予備の情報記録用電子ビーム鏡筒を設けると共に、情報記録用電子ビーム鏡筒小群に対応させて予備の情報記録用電子ビーム鏡筒小群を設けるようにしても良いし、予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を設けるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】本発明の第１実施形態の概念図である。
【図２】本発明の第１実施形態が備える原盤作製用ディスク保持手段の概略的平面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ線に沿った概略的断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態が備える電子ビーム鏡筒群の平面構成を示す模式図である。
【図５】本発明の第１実施形態が備える電子ビーム鏡筒配置円板に予備の情報記録用電子ビーム鏡筒を配置する例を示す模式図である。
【図６】本発明の第１実施形態が備える電子ビーム鏡筒配置円板に予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を配置する例を示す模式図である。
【図７】本発明の第１実施形態が備える情報記録用電子ビーム鏡筒の概念図である。
【図８】本発明の第１実施形態が備える原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒の反射電子検出器を介して得られる反射電子検出信号の一例を示すタイミングチャートである。
【図９】本発明の第１実施形態における原盤作製用ディスクの回転中心の検出方法を説明するための模式図である。
【図１０】本発明の第１実施形態が備える原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒の反射電子検出器を介して得られる反射電子検出信号の他の例を示すタイミングチャートである。
【図１１】本発明の第２実施形態の要部を示す模式図（本発明の第２実施形態が備える電子ビーム鏡筒群の平面構成を示す模式図）である。
【符号の説明】
【０１３５】
１ 真空室
２ 原盤作製用ディスク
３ 原盤作製用ディスク保持手段
４ ステージ
５ ステージ制御部
６ 電子ビーム鏡筒群
７ 電子ビーム照射制御部
８ 不良電子ビーム鏡筒検出部
９ 原盤作製用ディスク回転中心検出部
１０ システムコントローラ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスクを作製するために必要な原盤を作製する場合に使用される電子ビーム装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子情報処理装置において、情報記録媒体として使用されるディスクのうち、ＣＤ−ＲＯＭや光磁気ディスク（ＭＯ）等の光ディスクは、可搬型の大容量記録媒体であることを特徴とし、広く使用されている。
【０００３】
これらの光ディスクは、ピット（凹部）を有することから、たとえば、ガラス基板にレジスト層を形成してなる原盤作製用ディスクを用意し、この原盤作製用ディスクのレジスト層を加工して原盤を作製し、更に、この原盤を使用してスタンパと呼ばれる金型を作製した後、この金型を使用して作製される。
【０００４】
従来、原盤は、光ディスクに記憶すべきデジタル情報に応じたレーザビームを原盤作製用ディスクのレジスト層に照射し、原盤作製用ディスクに必要なピットを形成することにより作製されていた。
【０００５】
しかし、レーザビームを使用する原盤の作製では、更なる高記録密度化が困難であると考えられることから、電子ビームを使用する原盤の作製が検討されており、原盤作製に使用される種々の電子ビーム装置が提案されている（特許文献１、特許文献２、非特許文献１）。
【０００６】
特に、特許文献１及び特許文献２においては、原盤作製用ディスクの電子ビーム照射箇所を一括照射できないことに起因する電子ビーム装置の欠点である低スループットを改善することを目的として、小型の電子ビーム鏡筒を２次元に配列し、原盤作製用ディスクに対して同時に複数の電子ビームを照射することができるようにした電子ビーム装置が記載されている。
【特許文献１】特開平２−２１４０４６号公報
【特許文献２】特開平４−３３５２２６号公報
【非特許文献１】第４４回春季応用物理学会予稿集（１９９７）３１ａ−ＮＦ−９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に記載されている電子ビーム装置や、特許文献２に記載されている電子ビーム装置においては、動作不良の電子ビーム鏡筒を検出することができず、動作不良の電子ビーム鏡筒が発生した場合、直ちに、これに対応することができず、作業効率の大幅な低下を招いてしまうという問題点があった。
【０００８】
また、従来の電子ビーム装置においては、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との位置合わせは、原盤作製用ディスクを保持するステージ機構系の精度に依存したものであり、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群とを積極的に整合させる手段を有していなかったので、ピットの形成を高精度に行うことができない場合があるという問題点があった。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑み、複数の電子ビームを配置してなる電子ビーム鏡筒群を備え、スループットの向上を図ることができると共に、不良の電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができるようにした電子ビーム装置を提供することを第１の目的とする。
【００１０】
また、本発明は、複数の電子ビームを配置してなる電子ビーム鏡筒群を備え、スループットの向上を図ることができると共に、不良の電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができ、しかも、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との整合を図ることができ、原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができるようにした電子ビーム装置を提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明中、第１の発明の電子ビーム装置は、原盤作製用ディスクを保持させて回転させるための原盤作製用ディスク保持手段と、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心から異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒を回転対称に配置してなる情報記録用電子ビーム鏡筒群と、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出する不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段とを備えているというものである。
【００１２】
本発明中、第１の発明の電子ビーム装置によれば、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心から異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒を回転対称に配置してなる情報記録用電子ビーム鏡筒群を備えているので、原盤作製用ディスクの電子ビーム照射箇所に対する電子ビームの照射を回転対称にある複数の情報記録用電子ビーム鏡筒で分担し、並行して行うことができる。
【００１３】
また、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出する不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段を備えているので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を自動的に検出することができ、しかも、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒を回転対称に配置してなる情報記録用電子ビーム鏡筒群を備えているので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができる。
【００１４】
本発明中、第２の発明の電子ビーム装置は、第１の発明において、複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の各々に対応させて予備の情報記録用電子ビーム鏡筒を備えているというものである。
【００１５】
本発明中、第２の発明の電子ビーム装置によれば、第１の発明の電子ビーム装置と同様に、原盤作製用ディスクの電子ビーム照射箇所に対する電子ビームの照射を回転対称にある複数の情報記録用電子ビーム鏡筒で分担し、並行して行うことができると共に、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を予備の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができる。
【００１６】
本発明中、第３の発明の電子ビーム装置は、第１又は第２の発明において、不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクからの反射電子又は２次電子の検出量により、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成されているというものである。
【００１７】
本発明中、第３の発明の電子ビーム装置によれば、第１又は第２の発明の電子ビーム装置と同様の作用を得ることができると共に、簡単な構成で、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出することができる。
【００１８】
本発明中、第４の発明の電子ビーム装置は、第１又は第２の発明において、不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、電子ビーム電流の漏れ量を検出することにより、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成されているというものである。
【００１９】
本発明中、第４の発明の電子ビーム装置によれば、第１又は第２の発明の電子ビーム装置と同様の作用を得ることができると共に、簡単な構成で、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出することができる。
【００２０】
本発明中、第５の発明の電子ビーム装置は、第１、第２、第３又は第４の発明において、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化する電子ビーム照射量均等化手段を備えているというものである。
【００２１】
本発明中、第５の発明の電子ビーム装置によれば、第１、第２、第３又は第４の発明と同様の作用を得ることができると共に、原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させる場合においても、原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる。
【００２２】
本発明中、第６の発明の電子ビーム装置は、第５の発明において、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を１個以上の情報記録用電子ビーム鏡筒で電子ビーム照射するものとし、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒を配置させることを含めて構成されているというものである。
【００２３】
本発明中、第６の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明と同様の作用を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができる。
【００２４】
本発明中、第７の発明の電子ビーム装置は、第５の発明において、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクに照射される電子ビームの電流量を制御することにより、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成されているというものである。
【００２５】
本発明中、第７の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明と同様の作用を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができる。
【００２６】
本発明中、第８の発明の電子ビーム装置は、第５の発明において、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分に照射する電子ビームの照射回数を制御することにより、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成されているというものである。
【００２７】
本発明中、第８の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明と同様の作用を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができる。
【００２８】
本発明中、第９の発明の電子ビーム装置は、第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７又は第８の発明において、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心を検出する原盤作製用ディスク回転中心検出手段と、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心と複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とを整合させる整合手段とを備えているというものである。
【００２９】
本発明中、第９の発明の電子ビーム装置によれば、第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７又は第８の発明と同様の作用を得ることができると共に、原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる。
【００３０】
本発明中、第１０の発明の電子ビーム装置は、第９の発明において、原盤作製用ディスク回転中心検出手段は、原盤作製用ディスク保持手段の原盤作製用ディスク搭載面の原盤作製用ディスク搭載箇所の外側に原盤作製用ディスクの回転中心を回転対称中心として回転対称に形成され、かつ、原盤作製用ディスクの回転方向に沿った幅が原盤作製用ディスクの回転中心からの距離によって異なる同一形状の複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークと、複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークに電子ビームを照射して複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークからの反射電子又は２次電子を検出する手段を有する原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒とを含めて構成されているというものである。
【００３１】
本発明中、第１０の発明の電子ビーム装置によれば、第９の発明と同様の作用を得ることができると共に、原盤作製用ディスクの回転中心位置を簡単な構成で、かつ、高精度に検出することができる。
【００３２】
本発明中、第１１の発明の電子ビーム装置は、第９の発明において、原盤作製用ディスク回転中心検出手段は、原盤作製用ディスクに原盤作製用ディスクの回転中心を回転対称中心として回転対称に形成され、かつ、原盤作製用ディスクの回転方向に沿った幅が原盤作製用ディスクの回転中心からの距離によって異なる同一形状の複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークに電子ビームを照射して原盤作製用ディスク回転中心検出用マークからの反射電子又は２次電子を検出する手段を有する原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒とを含めて構成されているというものである。
【００３３】
本発明中、第１１の発明の電子ビーム装置によれば、第９の発明と同様の作用を得ることができると共に、原盤作製用ディスクの回転中心を簡単な構成で、かつ、高精度に検出することができる。
【００３４】
本発明中、第１２の発明の電子ビーム装置は、第１０又は第１１の発明において、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒として、原盤作製用ディスク回転中心検出用マークと同一数の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心を回転対称中心として回転対称に配置されているというものである。
【００３５】
本発明中、第１２の発明の電子ビーム装置によれば、第１０又は第１１の発明と同様の作用を得ることができると共に、複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークの検出信号を同時に得ることができるので、原盤作製用ディスクの回転中心を効率的に検出することができる。
【００３６】
本発明中、第１３の発明の電子ビーム装置は、第１０、第１１又は第１２の発明において、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒に対応させて予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が配置されているというものである。
【００３７】
本発明中、第１３の発明の電子ビーム装置によれば、不良の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が発生した場合には、予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を使用することができる。
【００３８】
本発明中、第１４の発明の電子ビーム装置は、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明において、整合手段は、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心と、複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とが一致するように、原盤作製用ディスク保持手段又は情報記録用電子ビーム鏡筒群を移動する移動手段を含めて構成されているというものである。
【００３９】
本発明中、第１４の発明の電子ビーム装置によれば、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明と同様の作用を得ることができると共に、簡単な構成で、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との整合を図ることができる。
【００４０】
本発明中、第１５の発明の電子ビーム装置は、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明において、整合手段は、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクの回転中心と、情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とが一致している場合と同様の電子ビーム照射を行うことができるように、複数の情報記録用電子ビーム鏡筒内の偏向器に供給する偏向信号を補正する補正手段を含めて構成されているというものである。
【００４１】
本発明中、第１５の発明の電子ビーム装置によれば、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明と同様の作用を得ることができると共に、簡単な構成で、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との整合を図ることができる。
【発明の効果】
【００４２】
本発明中、第１の発明の電子ビーム装置によれば、原盤作製用ディスクの電子ビーム照射箇所に対する電子ビームの照射を回転対称にある複数の情報記録用電子ビーム鏡筒で分担し、並行して行うことができるので、スループットの向上を図ることができると共に、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができるので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができる。
【００４３】
また、本発明中、第２の発明の電子ビーム装置によれば、第１の発明の電子ビーム装置と同様に、原盤作製用ディスクの電子ビーム照射箇所に対する電子ビームの照射を回転対称にある複数の情報記録用電子ビーム鏡筒で分担し、並行して行うことができるので、スループットの向上を図ることができると共に、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を予備の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができるので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができる。
【００４４】
また、本発明中、第３の発明の電子ビーム装置によれば、第１又は第２の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、原盤作製用ディスクからの反射電子又は２次電子の検出量により、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成するとしているので、簡単な構成で、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出することができるという格別の効果を得ることができる。
【００４５】
また、本発明中、第４の発明の電子ビーム装置によれば、第１又は第２の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、電子ビーム電流の漏れ量を検出することにより、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成するとしているので、簡単な構成で、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出することができるという格別の効果を得ることができる。
【００４６】
また、本発明中、第５の発明の電子ビーム装置によれば、第１、第２、第３又は第４の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化する電子ビーム照射量均等化手段を備えるとしているので、原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させる場合においても、原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができるという格別の効果を得ることができる。
【００４７】
また、本発明中、第６の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を１個以上の情報記録用電子ビーム鏡筒で電子ビーム照射するものとし、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が原盤作製用ディスクの内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒を配置させることを含めて構成するとしているので、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができるという格別の効果を得ることができる。
【００４８】
また、本発明中、第７の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスクに照射される電子ビームの電流量を制御することにより、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成するとしているので、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができるという格別の効果を得ることができる。
【００４９】
また、本発明中、第８の発明の電子ビーム装置によれば、第５の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、電子ビーム照射量均等化手段は、原盤作製用ディスクの１ピット形成部分に照射する電子ビームの照射回数を制御することにより、原盤作製用ディスク保持手段に保持させた原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成するとしているので、電子ビーム照射量均等化手段を簡単な構成とすることができるという格別の効果を得ることができる。
【００５０】
また、本発明中、第９の発明の電子ビーム装置によれば、第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７又は第８の発明と同様の効果を得ることができると共に、原盤作製用ディスクの回転中心と複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とを整合させる整合手段とを備えているので、原盤作製用ディスクに対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができるという格別の効果を得ることができる。
【００５１】
また、本発明中、第１０の発明の電子ビーム装置によれば、第９の発明と同様の効果を得ることができると共に、原盤作製用ディスク回転中心検出手段は、原盤作製用ディスク保持手段の原盤作製用ディスク搭載面に形成された複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークと、複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークに電子ビームを照射して反射電子又は２次電子を検出する手段を有する原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒とを含めて構成するとしているので、原盤作製用ディスクの回転中心位置を簡単な構成で、かつ、高精度に検出することができるという格別の効果を得ることができる。
【００５２】
また、本発明中、第１１の発明の電子ビーム装置によれば、第９の発明と同様の効果を得ることができると共に、原盤作製用ディスク回転中心検出手段は、原盤作製用ディスクに形成された複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークに電子ビームを照射して反射電子又は２次電子を検出する手段を有する原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を含めて構成するとしているので、原盤作製用ディスクの回転中心位置を簡単な構成で、かつ、高精度に検出することができるという格別の効果を得ることができる。
【００５３】
また、本発明中、第１２の発明の電子ビーム装置によれば、第１０又は第１１の発明と同様の作用を得ることができると共に、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒として、原盤作製用ディスク回転中心検出用マークと同一数の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心を回転対称中心として回転対称に配置するとしているので、複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークの検出信号を同時に得ることができ、原盤作製用ディスクの回転中心を効率的に検出することができる。
【００５４】
また、本発明中、第１３の発明の電子ビーム装置によれば、第１０、第１１又は第１２の発明の電子ビーム装置と同様の効果を得ることができると共に、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒に対応させて予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を配置するとしているので、不良の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が発生した場合には、予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を使用することができ、この点からも、スループットの向上を図ることができるという格別の効果を得ることができる。
【００５５】
また、本発明中、第１４の発明の電子ビーム装置によれば、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明と同様の効果を得ることができると共に、整合手段は、原盤作製用ディスクの回転中心と、複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とが一致するように、原盤作製用ディスク保持手段又は情報記録用電子ビーム鏡筒群を移動する移動手段を含めて構成するとしているので、簡単な構成で、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との整合を図ることができるという格別の効果を得ることができる。
【００５６】
また、本発明中、第１５の発明の電子ビーム装置によれば、第９、第１０、第１１、第１２又は第１３の発明と同様の効果を得ることができると共に、整合手段は、原盤作製用ディスクの回転中心と、情報記録用電子ビーム鏡筒の回転対称中心とが一致している場合と同様の電子ビーム照射を行うことができるように、複数の情報記録用電子ビーム鏡筒内の偏向器に供給する偏向信号を補正する補正手段を含めて構成するとしているので、簡単な構成で、原盤作製用ディスクと電子ビーム鏡筒群との整合を図ることができるという格別の効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５７】
以下、図１〜図１１を参照して、本発明の第１実施形態及び第２実施形態について説明する。
【００５８】
（第１実施形態・・図１〜図１０）
図１は本発明の第１実施形態の概念図である。図１中、１は真空室、２は光ディスクを作製するために必要な原盤を作製するための原盤作製用ディスクであり、原盤作製用ディスク２は、たとえば、ガラス基板に電子ビームレジストを塗布して構成される。
【００５９】
また、３は原盤作製用ディスク２を水平に保持させて回転させるための原盤作製用ディスク保持手段、４は原盤作製用ディスク保持手段３の回転、移動を行うステージ、５はステージ４の回転、移動を制御するステージ制御部である。
【００６０】
なお、原盤作製用ディスク保持手段３が原盤作製用ディスク２を回転させる機構を備えるようにし、ステージ４は、原盤作製用ディスク保持手段３の移動のみを行うように構成しても良い。
【００６１】
また、６は原盤作製用ディスク２に対してピットを形成するために必要な情報の記録を行う複数の情報記録用電子ビーム鏡筒と、原盤作製用ディスク２の回転中心を検出するための複数の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒とが配置されている電子ビーム鏡筒群である。
【００６２】
また、７は電子ビーム鏡筒群６を構成する情報記録用電子ビーム鏡筒及び原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒による原盤作製用ディスク２に対する電子ビーム照射を制御する電子ビーム照射制御部である。
【００６３】
また、８は情報記録用電子ビーム鏡筒及び原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が備える反射電子検出器を介して得られる反射電子検出量から不良の電子ビーム鏡筒を検出する不良電子ビーム鏡筒検出部である。
【００６４】
また、９は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が備える反射電子検出器を介して得られる反射電子検出信号から原盤作製用ディスクの回転中心を検出する原盤作製用ディスク回転中心検出部である。
【００６５】
また、１０はステージ制御部５及び電子ビーム照射制御部７の制御など、装置の全体的な制御を行うシステムコントローラである。
【００６６】
図２は原盤作製用ディスク保持手段３の概略的平面図である。図２中、１２は原盤作製用ディスク搭載面、１３は原盤作製用ディスク搭載箇所、１４は原盤作製用ディスク搭載面１２の回転中心、即ち、原盤作製用ディスク２の回転中心であり、矢印Ａは、原盤作製用ディスク保持手段３の回転方向、即ち、原盤作製用ディスク２の回転方向を示している。
【００６７】
また、１５−１〜１５−４は原盤作製用ディスク搭載面１２の原盤作製用ディスク搭載箇所１３の外周部に原盤作製用ディスク２の回転中心１４に対して９０°の間隔をもって回転対称に形成された同一形状の原盤作製用ディスク回転中心検出用マークである。
【００６８】
図３は図２のＢ−Ｂ線に沿った概略的断面図であり、原盤作製用ディスク回転中心検出用マーク１５−１〜１５−４は、高さを一定とする凸状とし、かつ、平面形状を二等辺三角形とし、二等辺三角形の高さ方向が原盤作製用ディスク搭載面１２に搭載された原盤作製用ディスク２の半径方向と一致するように形成されている。
【００６９】
図４は電子ビーム鏡筒群６の平面構成を示す模式図である。図４中、１７は電子ビーム鏡筒配置円板、１８は原盤作製用ディスク２の回転中心１４を一致させるべき電子ビーム鏡筒群６の中心である。
【００７０】
また、１９−１〜１９−４は情報記録用電子ビーム鏡筒が配置されている情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロックであり、これら情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−１〜１９−４は、原盤作製用ディスク２の電子ビーム照射面に対応する部分であり、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として回転対称に設定されたものである。
【００７１】
また、２０−１〜２０−４は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が配置されている原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロックであり、これら原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロック２０−１〜２０−４も、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として回転対称に設定されたものである。
【００７２】
また、２１−１〜２４−１は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−１に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、２５−１は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロック２０−１に配置された原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒である。
【００７３】
また、２１−２〜２４−２は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−２に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、２５−２は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロック２０−２に配置された原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒である。
【００７４】
また、２１−３〜２４−３は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−３に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、２５−３は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロック２０−３に配置された原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒である。
【００７５】
また、２１−４〜２４−４は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−４に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、２５−４は原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒配置ブロック２０−４に配置された原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒である。
【００７６】
なお、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４は、同一トラック群の電子ビーム照射を分担できるようにし、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【００７７】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒２２−１〜２２−４は、同一トラック群の電子ビーム照射を分担できるようにし、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【００７８】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒２３−１〜２３−４は、同一トラック群の電子ビーム照射を分担できるようにし、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【００７９】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒２４−１〜２４−４は、同一トラック群の電子ビーム照射を分担できるようにし、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【００８０】
また、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４は、原盤作製用ディスク回転中心検出用マーク１５−１〜１５−４に対応させて、電子ビーム鏡筒群６の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【００８１】
即ち、本発明の第１実施形態においては、電子ビーム鏡筒配置円板１７に、原盤作製用ディスク保持手段３に保持させた原盤作製用ディスク２の回転中心１４から異なる４個の半径方向距離ごとに４個の情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４を回転対称に配置するとしている。
【００８２】
なお、たとえば、図５に示すように、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４に対応させて、予備の情報記録用電子ビーム鏡筒２６−１〜２６−４、２７−１〜２７−４、２８−１〜２８−４、２９−１〜２９−４を設けるようにしても良い。
【００８３】
また、たとえば、図６に示すように、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４に対応させて、予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒３０−１〜３０−４を配置させるようにしても良い。
【００８４】
なお、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒は、作業効率を考慮しなければ、１個あれば足りるものである。
【００８５】
また、図示は省略するが、予備の電子ビーム鏡筒として、たとえば、図５に示す予備の情報記録用電子ビーム鏡筒２６−１〜２６−４、２７−１〜２７−４、２８−１〜２８−４、２９−１〜２９−４と、たとえば、図６に示す予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒３０−１〜３０−４との両方を設けるようにしても良い。
【００８６】
図７は情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１の概念図であり、他の情報記録用電子ビーム鏡筒２１−２〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４及び原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４も同一構造とされている。
【００８７】
なお、予備の情報記録用電子ビーム鏡筒２６−１〜２６−４、２７−１〜２７−４、２８−１〜２８−４、２９−１〜２９−４及び予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒３０−１〜３０−４を設ける場合には、これらも同一構造とされる。
【００８８】
図７中、３２は電子源であり、３３は電子源３２から電子ビーム形成のための電子を引き出すゲート電極、３４は電子源３３から引き出した電子を加速して電子ビーム３５とするアノード電極である。
【００８９】
また、３６は電子ビーム３５の径を制御して後述する電子ビーム径制限絞りと相まって原盤作製用ディスク２に照射する電子ビームの電流量を制御する電子ビーム径制御レンズ、３７は電子ビーム３５の原盤作製用ディスク２への照射、非照射を制御するブランカであり、３８はブランキング電極、３９は開口板である。
【００９０】
また、４０は電子ビーム３５の径を制限する電子ビーム径制限絞り、４１は電子ビーム３５を原盤作製用ディスク２の電子ビームレジスト面に集束させる集束レンズである。
【００９１】
また、４２は電子ビーム３５を偏向して原盤作製用ディスク２に対する照射位置を制御する偏向器、４３は電子ビーム３５を原盤作製用ディスク２に照射した場合の原盤作製用ディスク２からの反射電子を検出する反射電子検出器である。
【００９２】
このように構成された本発明の第１実施形態においては、原盤作製用ディスク２に対するピット形成に必要な情報の記録のための電子ビーム照射を行う前に、原盤作製用ディスク保持手段３の原盤作製用ディスク搭載面１２の原盤作製用ディスク搭載箇所１３に搭載した原盤作製用ディスク２の回転中心１４を検出し、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８との整合を行うことができる。
【００９３】
ここに、原盤作製用ディスク２の回転中心１４の検出を行う場合には、原盤作製用ディスク保持手段３を１／４回転させながら、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４を使用して電子ビームを同時に原盤作製用ディスク保持手段３の原盤作製用ディスク搭載面１２に照射する。
【００９４】
このようにすると、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４においては、それぞれ、反射電子検出器を介して、原盤作製用ディスク回転中心検出用マーク１５−１〜１５−４からの反射電子を検出してなる反射電子検出信号Ｓ１〜Ｓ４を得ることができる。
【００９５】
このようにした場合において、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と、電子ビーム鏡筒群６の中心１８とが一致している場合には、反射電子検出信号Ｓ１〜Ｓ４は、図８に示すように、Ｈレベル幅Ｔ１〜Ｔ４を同一とする信号となる。
【００９６】
これに対して、たとえば、図９に示すように、原盤作製用ディスク２の回転中心１４が電子ビーム鏡筒群６の中心１８に対して矢印Ｃの方向に位置ずれしている場合には、反射電子検出信号Ｓ１〜Ｓ４は、図１０に示すように、Ｈレベル幅Ｔ１〜Ｔ４を、Ｔ１＜Ｔ２＜Ｔ３＞Ｔ４とする信号となる。
【００９７】
そこで、この場合には、原盤作製用ディスク回転中心検出部９は、反射電子検出信号Ｓ１〜Ｓ４の幅Ｔ１〜Ｔ４から原盤作製用ディスク２の回転中心１４の位置を算出して、これをシステムコントローラ１０に転送する。
【００９８】
そこで、システムコントローラ１０は、原盤作製用ディスク回転中心検出部９から転送された原盤作製用ディスク２の回転中心１４の位置の算出値に基づいて反射電子検出信号Ｓ１〜Ｓ４のＨレベル幅Ｔ１〜Ｔ４が同一となるであろう位置、即ち、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群の中心１８とが一致するように、原盤作製用ディスク保持手段３を移動させるようにステージ制御部５を制御し、ステージ制御部５は、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群の中心１８とが一致するようにステージ４を移動することになる。
【００９９】
そして、当初から原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８とが一致している場合、あるいは、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８とを一致させた後には、原盤作製用ディスク２にピットを形成のために必要な情報の記録を行うための電子ビーム照射が行われる。
【０１００】
原盤作製用ディスク２にピットを形成のために必要な情報の記録を行うための電子ビーム照射は、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４を同時に使用して原盤作製用ディスク２の電子ビーム照射箇所を分担し、並行して行われる。
【０１０１】
ここに、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合には、不良電子ビーム鏡筒検出部８により、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が検出され、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒がシステムコントローラ１０に通知されることになる。
【０１０２】
この場合、システムコントローラ１０は、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所と回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して電子ビームで照射するようにステージ制御部５及び電子ビーム照射制御部７を制御することになる。
【０１０３】
たとえば、システムコントローラ１０は、情報記録用電子ビーム鏡筒２２−１が不良となった場合には、たとえば、情報記録用電子ビーム鏡筒２２−２を使用して、情報記録用電子ビーム鏡筒２２−１が電子ビーム照射を分担する箇所を電子ビーム照射するように制御する。
【０１０４】
このように、本発明の第１実施形態によれば、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４を同時に使用して原盤作製用ディスク２の電子ビーム照射箇所を分担し、並行して照射することができるので、スループットの向上を図ることができる。
【０１０５】
また、本発明の第１実施形態によれば、原盤作製用ディスク２に電子ビーム照射を行う前に、原盤作製用ディスク２の回転中心を検出し、ステージ４を移動させることにより、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８とを整合させることができるので、原盤作製用ディスク２に対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる。なお、原盤作製用ディスク保持手段３を移動させる構成とする代わりに、電子ビーム鏡筒群６を移動させる構成としても良い。
【０１０６】
なお、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８とが一致していない場合には、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８とが一致している場合と同様の電子ビーム照射を行うことができるように、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４内の偏向器に供給する偏向信号を補正する補正手段を設けることにより、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８との整合を行うように構成しても良い。
【０１０７】
また、本発明の第１実施形態によれば、原盤作製用ディスク保持手段３の原盤作製用ディスク搭載面１２に原盤作製用ディスク回転中心検出用マーク１５−１〜１５−４を設けると共に、原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４を設けるようにしているので、原盤作製用ディスク２の回転中心１４を簡単な構成で、かつ、高精度に検出することができる。
【０１０８】
また、本発明の第１実施形態によれば、不良電子ビーム鏡筒検出部８を備えているので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒及び不良の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を自動的に検出することができる。
【０１０９】
そして、電子ビーム鏡筒配置円板１７に、原盤作製用ディスク保持手段３の原盤作製用ディスク搭載面１２の原盤作製用ディスク搭載箇所１３に搭載した原盤作製用ディスク２の回転中心１４から異なる４個の半径方向距離ごとに４個の情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４を回転対称に配置すると共に、４個の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１、２５−２、２５−３、２５−４を回転対称に配置するとしている。
【０１１０】
したがって、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所の電子ビーム照射を回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができるので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができる。
【０１１１】
また、不良の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所の電子ビーム照射を回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができるので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができる。
【０１１２】
また、本発明の第１実施形態によれば、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４及び原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４に原盤作製用ディスク２からの反射電子を検出する反射電子検出器を備えると共に、反射電子の検出量から不良の電子ビーム鏡筒の検出を行う不良電子ビーム鏡筒検出部８を備えているので、簡単な構成で、不良の電子ビーム鏡筒を検出することができる。
【０１１３】
なお、情報記録用電子ビーム鏡筒２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４、２３−１〜２３−４、２４−１〜２４−４及び原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒２５−１〜２５−４に原盤作製用ディスク２からの２次電子を検出する２次電子検出器を備えると共に、２次電子検出量から不良の電子ビーム鏡筒の検出を行う不良電子ビーム鏡筒検出部を備えて、不良の電子ビーム鏡筒を検出するように構成しても良い。
【０１１４】
また、たとえば、電子ビーム鏡筒内に設けられるゲート電極３３や、アノード電極３４や、電子ビーム径制限絞り４０等に漏れる電子ビーム電流を検出する漏れ電子ビーム電流検出器を設けて、電子ビーム電流の漏れ量を検出することにより、不良の電子ビーム鏡筒を検出するようにしても良い。
【０１１５】
（第２実施形態・・図１１）
図１１は本発明の第２実施形態の要部を示す図であり、本発明の第２実施形態が備える電子ビーム鏡筒群４５の平面構成を示す模式図である。なお、図１１において、図４に対応する部分には同一符号を付し、その重複説明は省略する。
【０１１６】
本発明の第２実施形態は、原盤作製用ディスク２を一定角速度で回転させる場合に適用して好適な電子ビーム装置であり、図１１に示す電子ビーム鏡筒群４５を備え、その他については、概ね、図１に示す本発明の第１実施形態と同様に構成したものである。
【０１１７】
図１１中、４６−１〜５５−１は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−１に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、４６−２〜５５−２は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−２に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、４６−３〜５５−３は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−３に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒、４６−４〜５５−４は情報記録用電子ビーム鏡筒配置ブロック１９−４に配置された情報記録用電子ビーム鏡筒である。
【０１１８】
これら情報記録用電子ビーム鏡筒４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４は、本発明の第１実施形態が備える情報記録用電子ビーム鏡筒と同様に構成されている。
【０１１９】
ここに、情報記録用電子ビーム鏡筒４６−Ｐ（但し、Ｐ＝１、２、３、４）は、１個で原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分に対する電子ビーム照射を行うものであるが、情報記録用電子ビーム鏡筒４７−Ｐ、４８−Ｐは、これら２個で原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分に対する電子ビーム照射を行う情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成している。
【０１２０】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒４９−Ｐ、５０−Ｐ、５１−Ｐは、これら３個で原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分に対する電子ビーム照射を行う情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成している。
【０１２１】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒５２−Ｐ、５３−Ｐ、５４−Ｐ、５５−Ｐは、これら４個で原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分に対する電子ビーム照射を行う情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成している。
【０１２２】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒４６−１〜４６−４は、原盤作製用ディスク２の同一トラック群の電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を分担できるように、電子ビーム鏡筒群４５の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【０１２３】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒４７−１、４８−１からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒４７−２、４８−２からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒４７−３、４８−３からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、及び、情報記録用電子ビーム鏡筒４７−４、４８−４からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群は、原盤作製用ディスク２の同一トラック群の電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を分担できるように、電子ビーム鏡筒群４５の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【０１２４】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒４９−１、５０−１、５１−１からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒４９−２、５０−２、５１−２からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒４９−３、５０−３、５１−３からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、及び、情報記録用電子ビーム鏡筒４９−４、５０−４、５１−４からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群は、原盤作製用ディスク２の同一トラック群の電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を分担できるように、電子ビーム鏡筒群４５の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【０１２５】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒５２−１、５３−１、５４−１、５５−１からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒５２−２、５３−２、５４−２、５５−２からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、情報記録用電子ビーム鏡筒５２−３、５３−３、５４−３、５５−３からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群、及び、情報記録用電子ビーム鏡筒５２−４、５３−４、５４−４、５５−４からなる情報記録用電子ビーム鏡筒小群は、原盤作製用ディスク２の同一トラック群の電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を分担できるように、電子ビーム鏡筒群４５の中心１８を回転対称中心として９０°の間隔をもって回転対称に配置されている。
【０１２６】
即ち、本発明の第２実施形態は、原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分を１個以上の情報記録用電子ビーム鏡筒で電子ビーム照射するものとし、原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が原盤作製用ディスク２の内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒を配置させるように構成するというものである。
【０１２７】
このように構成された本発明の第２実施形態によれば、情報記録用電子ビーム鏡筒４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４を同時に使用して原盤作製用ディスク２の電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を分担し、並行して行うことができるので、スループットの向上を図ることができる。
【０１２８】
また、原盤作製用ディスク２を一定角速度で回転させる場合、原盤作製用ディスク２においては、内周部よりも外周部の方が線速度は速くなってしまうが、本発明の第２実施形態によれば、原盤作製用ディスク２の１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒を配置させているので、原盤作製用ディスク２を一定角速度で回転させる場合においても、原盤作製用ディスク２の半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化することができ、この結果、原盤作製用ディスク２に対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる。
【０１２９】
なお、情報記録用電子ビーム鏡筒４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４の内部に設けられる電子ビーム径制御レンズを制御して、原盤作製用ディスク２に照射する電子ビームの電流量を制御することにより、原盤作製用ディスク２の半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成しても良い。
【０１３０】
また、情報記録用電子ビーム鏡筒４６−１〜５５−１、４６−２〜５５−２、４６−３〜５５−３、４６−４〜５５−４の内部に設けられるブランキング電極を制御し、１ピット形成部分に対する電子ビームの照射回数を制御することにより、原盤作製用ディスク２の半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を出来る限り均等化するように構成しても良い。
【０１３１】
また、本発明の第２実施形態によれば、本発明の第１実施形態と同様に、原盤作製用ディスク２に対する電子ビーム照射を行う前に、原盤作製用ディスク２の回転中心１４を検出し、原盤作製用ディスク２の回転中心１４と電子ビーム鏡筒群６の中心１８との整合を行うことができるので、この点からしても、原盤作製用ディスク２に対するピット形成に必要な情報の記録を高精度に行うことができる。
【０１３２】
また、本発明の第２実施形態によれば、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出した場合において、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成しない情報記録用電子ビーム鏡筒である場合には、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所に対する電子ビーム照射を、情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成しない回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行うことができ、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成する情報記録用電子ビーム鏡筒である場合には、回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒小群を使用して行うことができるので、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができる。
【０１３３】
なお、本発明の第２実施形態においても、情報記録用電子ビーム鏡筒小群を構成しない情報記録用電子ビーム鏡筒に対応させて予備の情報記録用電子ビーム鏡筒を設けると共に、情報記録用電子ビーム鏡筒小群に対応させて予備の情報記録用電子ビーム鏡筒小群を設けるようにしても良いし、予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を設けるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】本発明の第１実施形態の概念図である。
【図２】本発明の第１実施形態が備える原盤作製用ディスク保持手段の概略的平面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ線に沿った概略的断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態が備える電子ビーム鏡筒群の平面構成を示す模式図である。
【図５】本発明の第１実施形態が備える電子ビーム鏡筒配置円板に予備の情報記録用電子ビーム鏡筒を配置する例を示す模式図である。
【図６】本発明の第１実施形態が備える電子ビーム鏡筒配置円板に予備の原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒を配置する例を示す模式図である。
【図７】本発明の第１実施形態が備える情報記録用電子ビーム鏡筒の概念図である。
【図８】本発明の第１実施形態が備える原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒の反射電子検出器を介して得られる反射電子検出信号の一例を示すタイミングチャートである。
【図９】本発明の第１実施形態における原盤作製用ディスクの回転中心の検出方法を説明するための模式図である。
【図１０】本発明の第１実施形態が備える原盤作製用ディスク回転中心検出用電子ビーム鏡筒の反射電子検出器を介して得られる反射電子検出信号の他の例を示すタイミングチャートである。
【図１１】本発明の第２実施形態の要部を示す模式図（本発明の第２実施形態が備える電子ビーム鏡筒群の平面構成を示す模式図）である。
【符号の説明】
【０１３５】
１ 真空室
２ 原盤作製用ディスク
３ 原盤作製用ディスク保持手段
４ ステージ
５ ステージ制御部
６ 電子ビーム鏡筒群
７ 電子ビーム照射制御部
８ 不良電子ビーム鏡筒検出部
９ 原盤作製用ディスク回転中心検出部
１０ システムコントローラ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原盤作製用ディスクを保持させて回転させるための原盤作製用ディスク保持手段と、
前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクの回転中心から異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒を回転対称に配置してなる情報記録用電子ビーム鏡筒群と、
前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における前記原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を均等化する電子ビーム照射量均等化手段と、
前記複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の各々に対応させた予備の情報記録用電子ビーム鏡筒と、
不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出する不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段を備えていること
を特徴とする電子ビーム装置。
【請求項２】
前記電子ビーム照射量均等化手段は、前記原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を１個以上の情報記録用電子ビーム鏡筒で電子ビーム照射するものとし、前記原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクの内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒を配置させることを含めて構成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子ビーム装置。
【請求項３】
前記電子ビーム照射量均等化手段は、前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクに照射される電子ビームの電流量を制御することにより、前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における前記原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を均等化するように構成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子ビーム装置。
【請求項４】
前記電子ビーム照射量均等化手段は、前記原盤作製用ディスクの１ピット形成部分に照射する電子ビームの照射回数を制御することにより、前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における前記原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を均等化するように構成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子ビーム装置。
【請求項５】
前記不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクからの反射電子又は２次電子の検出量により、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子ビーム装置。
【請求項６】
前記不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、電子ビーム電流の漏れ量を検出することにより、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子ビーム装置。
【請求項１】
原盤作製用ディスクを保持させて回転させるための原盤作製用ディスク保持手段と、
前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクの回転中心から異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒を回転対称に配置してなる情報記録用電子ビーム鏡筒群と、
前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における前記原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を均等化する電子ビーム照射量均等化手段と、
前記複数の情報記録用電子ビーム鏡筒の各々に対応させた予備の情報記録用電子ビーム鏡筒と、
不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出する不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段を備えていること
を特徴とする電子ビーム装置。
【請求項２】
前記電子ビーム照射量均等化手段は、前記原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を１個以上の情報記録用電子ビーム鏡筒で電子ビーム照射するものとし、前記原盤作製用ディスクの１ピット形成部分を照射する情報記録用電子ビーム鏡筒の数が前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクの内周部から外周部にかけて多くなるように情報記録用電子ビーム鏡筒を配置させることを含めて構成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子ビーム装置。
【請求項３】
前記電子ビーム照射量均等化手段は、前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクに照射される電子ビームの電流量を制御することにより、前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における前記原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を均等化するように構成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子ビーム装置。
【請求項４】
前記電子ビーム照射量均等化手段は、前記原盤作製用ディスクの１ピット形成部分に照射する電子ビームの照射回数を制御することにより、前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクを一定角速度で回転させた場合における前記原盤作製用ディスクの半径方向の各点での単位面積あたりの電子ビーム照射量を均等化するように構成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子ビーム装置。
【請求項５】
前記不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクからの反射電子又は２次電子の検出量により、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子ビーム装置。
【請求項６】
前記不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段は、電子ビーム電流の漏れ量を検出することにより、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出するように構成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子ビーム装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００７−３０４６２７（Ｐ２００７−３０４６２７Ａ）
【公開日】平成１９年１１月２２日（２００７．１１．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２０３７２７（Ｐ２００７−２０３７２７）
【出願日】平成１９年８月６日（２００７．８．６）
【分割の表示】特願平１０−９３７９６の分割
【原出願日】平成１０年４月７日（１９９８．４．７）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１１月２２日（２００７．１１．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年８月６日（２００７．８．６）
【分割の表示】特願平１０−９３７９６の分割
【原出願日】平成１０年４月７日（１９９８．４．７）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
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