【課題】形成領域における内周側および外周側の両端が直線的になるようにパターンを描画し得るパターン描画方法を提供する。
【解決手段】表面に樹脂層が形成された基材を矢印Ｒの向きに回転させつつ、凹凸パターンを構成する凸部および凹部の一方の平面パターンを樹脂層に描画する際に、一方を形成すべき形成領域Ａ０における基材の回転方向に沿った帯状露光領域Ａ１の回転方向の一端部側から他端部側までの間において描画用ビームを間欠的に２回（Ｎ回）照射することにより、回転方向に沿った２個の帯状照射領域Ａ１ａ，Ａ１ｂに描画用ビームを照射する。 （もっと読む）

【課題】 回転する被処理物に対して紫外線を照射する紫外線照射装置において、光照射領域の光強度を部分的に変え、照射量の制御が容易に行なえる紫外線照射装置を実現すること。
【解決手段】 紫外線を照射する紫外線照射部と、該紫外線照射部に電力を供給する電源部と、該電源部に制御信号を供給する制御部とを備え、回転する被処理物に対して紫外線を照射する紫外線照射装置において、紫外線照射部には、線状に並べられた複数の紫外線発光ダイオードを設ける。紫外線発光ダイオードから出射した紫外線はレンズにより細長い線状の光照射領域に成形され、各発光ダイオードに供給される電力を制御することにより、光照射領域の紫外線強度は部分的に変えられる。 （もっと読む）

曲率をもって移動する水平移動デバイスを使用して正確なディスク原盤の送り精度を実現する、ディスク原盤の製造方法を提供すること。 レジスト原盤１０８を自転させる工程と、前記レジスト原盤１０８を移動させる工程と、前記移動に伴う前記レジスト原盤１０８の中心点の軌跡上の移動距離を読みとる工程と、前記中心点の軌跡上の移動距離と、前記移動に伴う前記レジスト原盤１０８の中心点の直線上の移動距離との差を検出する工程と、前記検出結果に基づいて、所定の製造パラメータを制御する工程とを備える、ディスク原盤の製造方法。
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【課題】 本発明は、回転テーブルの重量バランスを崩すことなく、また冗長な移載アームを付加せずにクランプピンと干渉することなく、ワークを回転テーブルより着脱でき、安定した光ディスク原盤の描画処理を効率良く行うことができる。
【解決手段】 本発明のワーク回転駆動装置は、ワークを載置して回転する回転テーブルと、スピンドルハウジングに軸受を介して回転自在に支持され、回転テーブルに一端が固定されたスピンドルシャフトと、スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、ワークを回転テーブルに位置決め保持するクランプ手段と、回転テーブル及びスピンドルシャフト並びにモータの回転軸心上に設けられ、回転テーブルに対して垂直方向に上下してワークを回転テーブルから着脱するワーク移載手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 極めて低コストでビーム径の変更を行うことが可能な印刷版の製版装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 移動ミラー８１を偏向位置に配置した場合には、レーザ光源１４から対物レンズ４６方向に向けて出射され、ＡＯＭ４１で変調されたレーザビームは、移動ミラー８１の反射面８１ａで反射されて偏向する。そして、このレーザビームは、固定ミラー８２の反射面８２ａおよび８２ｂで反射された後、移動ミラー８１の反射面８１ｂで反射され、再度、レーザ光源１４から対物レンズ４６方向に至る光路中に復帰する。一方、移動ミラーを退避位置に配置した場合には、レーザ光源１４から対物レンズ４６方向に向けて出射され、ＡＯＭ４１で変調されたレーザビームは、そのまま対物レンズ４６に入射する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置、デバイス製造方法及びそれによって製造されたデバイスを提供すること
【解決手段】基板処理装置は、放射の投影ビームを供給するための照明システム、投影ビームの断面にパターンを付与するべく機能する個々に制御可能な複数のエレメントのアレイ、及びパターン化されたビームを基板の目標部分に投射するための投影システムを備えたリソグラフィ装置を備えている。また、基板処理装置は、少なくとも１つの完全な長さの基板を送り出すようになされた基板サプライと、投影システムがパターン化されたビームを個々の完全な長さの基板に沿った一連の目標部分に投射することができるよう、基板サプライから送り出される個々の完全な長さの基板を投影システムの先へ搬送するようになされた基板搬送システムとを備えている。特定の実施例では、長さの長い基板がロールから供給されるが、別法として一連の個別シートを供給することもできる。 （もっと読む）

【課題】 湿度等の環境の影響による記録材料のドラム１０における吸着不良を防止するようにした画像記録装置を提供する。
【解決手段】 この画像記録装置は、周壁に複数の貫通孔３１ｃを有するドラム内を減圧し前記ドラムの外周面にシート状記録材料を吸着させてその記録材料に露光を行うものであって、ドラムに対し記録材料を搬送する搬送手段と、ドラム内の空気を吸引しドラム内を減圧する減圧手段P1と、ドラム近傍の湿度を測定しモニタする湿度モニタ手段６３と、装置内部の湿度を調整する調湿手段と、湿度モニタ手段で測定した湿度が所定範囲を超えたとき調湿手段を作動させるように制御する制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 一枚の生版から多色印刷用の一組の刷版を作成するための製版システムにおいて、刷版を簡易な構成によって効率よく作成するとともに、刷版の作成及び印刷の際の版の位置ずれを防止する。
【解決手段】
製版時の位置決めに用いる製版用位置決め穴を生版に設ける製版位置決め穴形成手段と、製版用位置決め穴を基準として、印刷時に用いる各色毎に生版上に割当てられた複数の領域に当該各色に応じた画像データを印刷画像として描画する描画手段と、製版用位置決め穴を基準として配置された印刷時の位置決めに用いる印刷用位置決め穴を、複数の領域にそれぞれ設ける印刷位置決め穴形成手段と、製版用位置決め穴を基準として、複数の領域毎に分割するように生版を切断して刷版を得る切断手段とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 生産性を向上させられる画像記録装置及び画像記録方法の提供を課題とする。
【解決手段】 記録部２４によって基板１００に画像を記録する画像記録装置１０において、基板１００の描画状態を次工程へ伝える識別情報１０８を、基板１００に形成する形成手段７７を備える。 （もっと読む）

【課題】 電子ビームにより描画対象に対して微細なパターンを高精度に描画すること。
【解決手段】 本発明の電子ビーム描画装置Ｘ１は、電子銃１２と、これから出射された電子ビームＢをパルス化して原板Ｄに向けて電子ビームパルスＢｐを発生させる手段と、電子ビームパルスＢｐのデューティ比を制御する手段と、パルス化手段による電子ビームパルス発生の有無を切り換える手段とを備える。パルス化手段は、開口部１５ａを有する絞り板１５と、電子ビームＢが開口部１５ａを通過しないように電子ビームＢを偏向するための阻止電界を各々が発生可能な偏向器１４Ａ，１４Ｂとを有し、偏向器１４Ａは、阻止電界を発生する第１状態から発生しない第２状態に一定周期で変化し、偏向器１４Ｂは同じく第１状態から第２状態に偏向器１４Ａと同じ周期かつ異なるタイミングで変化し、デューティ比制御手段は、偏向器１４Ａ，１４Ｂの状態変化のタイミングの差を変化させる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー束を各セルのピットごとに高速かつ高い精度で位置決めすることができ、高速にかつ安価に描画することができる描画装置を提供する。
【解決手段】ホログラム描画装置１０は、ホログラム再生時の単位となる被描画体の各セルにレーザービーム１２を照射してピットを形成するエネルギー束照射光学系１３を備えている。回転機構１５のインデックス信号出力機構２９は、被描画体１１の回転を一定回転角度毎に検出しインデックス信号Ａを出力する。ホログラムチップの描画開始タイミングは、インデックス信号出力機構２９からのインデックス信号に基づく駆動制御部４０からの信号Ｃによって行い、偏向機構１７はシャッタ機構１８がＯＮ、ＯＦＦするタイミングに同期してレーザービーム１２を各ピットごとに偏向させる。 （もっと読む）

【課題】
電子ビームの変動を抑制した電子ビーム露光装置及び電子ビーム露光方法を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかる電子ビーム露光装置１００は、レジスト層が形成された円形基板１６を回転させた状態で電子ビーム３を照射することによって露光する。この電子ビーム露光装置１００は、電子銃２から射出された電子ビーム３を集束させるコンデンサレンズ４と、コンデンサレンズ４を通過した電子ビームを制限する電流制御アパーチャ５と、電流制御アパーチャ５により制限された電子ビームを略平行にする照射レンズ６とを備えている。そして、円形基板１６上の照射位置に応じてコンデンサレンズ６による集束度を変化させることにより、電子ビーム電流を制御している。 （もっと読む）

【課題】パルス幅変調を用いてレーザー光源を直接変調するに際し、主走査方向に沿った筋ムラの形成をなくし、画質を所望に維持することができるレーザー光変調装置を提供する。
【解決手段】
画像形成を行うために、レーザー光源２０を直接変調することで光変調されたレーザー光を出力させるレーザー光変調装置であって、１画素を形成するための変調信号として、所定個数のパルス信号により構成される変調信号をレーザー光源に供給する変調信号発生回路３１と、出力されたレーザー光のビーム径を、レーザー光が走査される主走査方向と直交する副走査方向に延ばすシリンドリカルレンズ２３とを備えている。好ましくは、画像濃度に応じて、前記パルス信号の高さ、及び／又は、幅を変えた変調信号を供給する。好ましくは、１画素を形成するための変調信号は、供給される所定個数のパルス信号を所定量のオフセット信号と重畳した形で供給される。 （もっと読む）

【課題】窓孔を動かす、特に露光ユニットで例えば特に最小の努力でもって窓孔を確実に開閉し遮光性をもつようにできる外部ドラム露光ユニットのためのシャッタ要素を移動させる装置及び方法を提案する。
【解決手段】
窓孔用に少なくとも一つのシャッタ要素（５）を動かす装置であって、前記少なくとも一つのシャッタ要素（５）を少なくとも二つの異なる方向へ移動できるようにする案内機構（３，４，８，９）を備える。 （もっと読む）

【課題】 回転ステージの回転振れを測定するため、ＳＥＭ等で拡大観察可能な測定円の描画を好適に行って回転同期振れＲＲＯの測定を高精度に行い、描画補償により描画真円度を高める。
【解決手段】 回転ステージ41に載置した基板11に偏向制御したビームEBを照射して所定パターンの露光を行う露光装置40において、回転ステージ41を回転させつつ基板11上の回転中心付近にビームEBを照射し、基板11上に全体がＳＥＭ等で拡大観察可能な小径の測定円５を描画し、該測定円５の計測より回転同期振れＲＲＯを測定し、実描画に反映する。 （もっと読む）

リソグラフ用印刷版を露光するための装置および方法であって、装置は、３５０ｎｍと４５０ｎｍの間の波長の光を放射する複数のレーザ・ダイオードを含む。レーザ・ダイオードのそれぞれからの光は、リソグラフ用印刷版上の各スポットが、それらのレーザ・ダイオードの少なくとも１つから放射された光を受け取るようにリソグラフ用印刷版上に指向される。好ましくはリソグラフ用印刷版を紫色感光性リソグラフ部材とし、当該リソグラフ部材を印刷機用印刷版とする。各レーザ・ダイオードの出力は５ｍＷと３０ｍＷの間とすることができ、好ましくはレーザ・ダイオードが３９０ｎｍと４３０ｎｍの間の波長の光を放射する。
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【課題】
【解決手段】基部スリーブ１２を提供するステップと、緩衝層１４を硬化する放射線に対して実質的に透明である基部スリーブ１２上に施すステップと、選択的な障壁層１６を緩衝層１４上に施すステップと、フォトポリマー層１８を障壁層又は緩衝層上に施すステップとを含む、フレキソ印刷にて使用されるフォトポリマースリーブブランク１０の製造方法が提供される。その後、基部スリーブの内面を硬化する放射線にて露光し、放射線がスリーブ及び緩衝層に侵入してフォトポリマー層の厚さの一部分を実質的に硬化させる。
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結像用プラットフォーム上において、１対の外層の間に挟み込まれた放射線感応層を含む微細構造マスタ型生地をその放射線感応層内に微細構造体を画定すべく結像処理することによって微細構造体が形成される。続いて、１対の外層の少なくとも１つが取り除かれる。次いで、放射線感応層内に画定された微細構造体が現像される。１対の外層の間に挟み込まれた放射線感応層は、微細構造マスタ型生地を提供するウェブとして加工される。

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