【課題】光利用効率が高く、確実にスペックルノイズを抑えることが可能な画像表示装置を提供すること。
【解決手段】レーザ光を射出する光源１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂと、該光源１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂから射出されたレーザ光を被投射面５０に向かって走査する走査手段３０と、光源１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂから射出されるレーザ光の出力波長を時間的に変化させる波長変化手段４０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 外部からの刺激を受けることにより構造色が変化して得られる表示色を高い応答速度で得ることができ、かつ、経時変化や温度や湿度などの環境条件による表示色の変動（劣化）の程度が小さく抑制される表示部材の提供。
【解決手段】 表示部材は、球体およびマトリックスよりなり、構造色を発現する表示層が、セル枠内に封入されてなる構成を有し、外部からの刺激を受けることにより構造色変化を生じるものであって、セル枠が、外部からの刺激を受けることにより変形を生じ、これに伴って構造色変化を生じさせる可変形部位を有し、当該セル枠における表示層の上方に位置する部分が透光性を有するものであり、表示層が、マトリックス中に、固体の球体が面方向に規則的に配された球体層が複数、厚み方向に規則的に配された周期構造体が形成されたものであり、マトリックスが、融点が５０℃以下であるイオン液体よりなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単にカラー表示できるディスプレイを提供する。
【解決手段】ドライブ制御から、光干渉変調器のようなＭＥＭＳディスプレイ素子のアレイをアドレシングするためのシステム及び方法であり、ディスプレイは、共通に印加された駆動信号を用いてアドレスされるディスプレイ素子のグループを含む。光干渉変調器の応答時間は、変調器を含むドライバ回路の特性抵抗器−キャパシタ時間により、すなわち、変調器の可動鏡が固有の電圧に充電されるまでの時間、変調器の機械的特性、及び空気中を動く可動鏡の抵抗により、影響を受ける。ディスプレイ素子のグループは、異なる応答時間を有するように構成され、そしてそれらの応答時間を表す異なる長さのパルスによって駆動される。他のディスプレイ素子のグループは、異なるアクチュエーション電圧を有するように構成され、それらのアクチュエーション電圧を表す異なる電圧のパルスによって駆動される。 （もっと読む）

【課題】ホイール回転に伴う、入射する光の偏光方向に対する色光別の偏光変換領域における偏光変換基準軸方向のずれ量を低減できる波長選択性偏光素子を提供する。
【解決手段】光の偏光方向を波長選択的に変換する色光別の偏光変換領域Ｂ−ＣＳ，Ｇ−ＣＳが、回転中心Ｏを対称軸として放射線状に分割形成されたホイール形状の波長選択性偏光素子１２であって、各偏光変換領域Ｂ−ＣＳ，Ｇ−ＣＳは、回転中心Ｏを対称軸として放射状に細分割されて同一の変換特性を持つ複数の細分割領域からなる。端部細分割領域Ｅ１，Ｅ３の偏光変換基準軸は、該端部細分割領域Ｅ１，Ｅ３の中心より当該偏光変換領域Ｂ−ＣＳの中心寄りに偏心させた位置に設定され、かつ、端部細分割領域Ｅ１，Ｅ３の分割角度γ_１，γ_３が中間細分割領域Ｅ２の分割角度γ_２よりも大きくなるように不均等に細分割されている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ構造の回転ミラーを用いた可変波長光源において、反射板に力を与えて、共振周波数から離れた周波数で反射板を回動させる場合であっても、反射板の回動中心軸のずれを発生させずに、モードホップを抑制することができる。
【解決手段】回動ミラー３０として、フレーム３１、反射板３２および連結部３３、３４を有し、反射板３２の一面側の連結部間を結ぶ線と重なる部分に規制突起４５を接触して、反射板３２の一面側へ移動を規制する接触規制体４０を設けて、反射板３２を接触規制体４０に圧接させる方向の力を駆動装置３５から与え、連結部３３、３４を捩れ変形させて反射板３２と接触規制体４０との接触部を中心に反射板３２を回動させる。 （もっと読む）

【課題】設計自由度を高めつつ、優れた機械的特性および光学特性を発揮することができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第１の光反射部２５を備える可動板２１と、可動板２１を変位可能に支持する弾性部２３とが設けられた第１の基体２と、第１の光反射部２５に対向する第２の光反射部３４が設けられた第２の基体３とを有し、可動板２１と弾性部２３とが接合膜４１を介して接合されており、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜４１は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜４１の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜４１の表面の当該領域に発現した接着性によって、可動板２１と弾性部２３とを接合している。 （もっと読む）

【課題】設計自由度を高めるとともに低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第１の光反射部２５を備える可動板２１が変位可能に設けられた第１の基体２と、第１の光反射部２５に対向する第２の光反射部３４が設けられた第２の基体３とが接合膜４１を介して接合されており、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜４１は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜４１の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜４１の表面の当該領域に発現した接着性によって、第１の基体２と第２の基体３とを接合している。 （もっと読む）

【課題】帯域幅を広帯域に制御することが可能な波長可変光フィルタを提供する。
【解決手段】波長可変光フィルタを、コア領域１１ａ、クラッド領域１１ｂ、及びクラッド領域１１ｂ内に形成されコア領域１１ａに並行して延びる二以上の空孔１１ｃを有する空孔付き光ファイバ１と、空孔付き光ファイバ１に超音波を励振する超音波励振装置４とから構成した。 （もっと読む）

【課題】紫外域〜青色の短波長域を含む広い波長域の光について、透過波長の可変制御をより簡単にかつ高精度に行うことができる波長可変フィルタを提供する。
【解決手段】波長可変フィルタ３１は、複数の偏光子３２ａ〜３２ｄの間に、それぞれ２枚の同じ楔角θ１〜θ３の楔状複屈折板３４a1〜３４c1，３４a2〜３４c2で構成された複屈折素子であるバビネソレイユ位相板３３ａ〜３３ｃが、光軸４に沿って配置されている。各バビネソレイユ位相板は、一方の複屈折板を光軸と直交する向きに同じ変位量で変位させることにより、その厚さＤ１〜Ｄ３を変化させて、各バビネソレイユ位相板を透過する光の位相差を２^ｉ−１×２π+ｋ×２π、（ｉ＝１〜３、ｋ：非負整数）を満足するように補正し、波長可変フィルタを所望の透過波長に変化させる。 （もっと読む）

電荷をトラップし保持する電極（７１２，７１４）間の材料（７２２）を有する容量性ＭＥＭＳデバイスが、形成される。この材料が、いくつもの構成で実現されることが可能である。これが、異なるバンドギャップエネルギー又はバンドエネルギーレベルの領域を有する多層誘電性積層体であることが可能である。誘電体材料が、それ自身がトラップ機能を有することが可能である、すなわち、欠陥又はトラップ部が材料内にプレ−作製される。他の構成が、誘電体層の禁止ギャップ内にエネルギーレベルを有する導電材料の薄層を含む。このデバイスが、材料（７２２）内における電荷貯蔵を有利に使用する方法によって、プログラムされてよく（すなわち、オフセット及びしきい電圧がプレ−設定される）、干渉型変調器（１２ａ，１２ｂ）が、ヒステリシス曲線がシフトする方法などで、プレ−帯電され、変調器の作動電圧しきい値が、十分に低い。
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ＭＥＭＳ装置（８００）は、基板（８０２）と、基板（８０２）上の作動電極（８０４）と、作動電極（８０４）上の反射層（８１０）と、作動電極（８０４）と反射層（８１０）との間の支持層（８０８）とを含む。反射層（８１０）は、その反射層（８１０）を貫通する少なくとも一つの開口（８１４）を含む。支持層（８０８）は、作動電極（８０４）と少なくとも一つの開口（８１４）との間に凹部（８１２）を含む。制御信号を装置（８００）に印加する際に、反射層（８１０）の少なくとも第一の部分（８１６）は凹部（８１２）内に移動するように構成されていて、反射層（８１０）の少なくとも第二の部分（８１８）は静止したままであるように構成されている。ＭＥＭＳ装置（８００）の反射性は、第一の部分（８１６）から反射される光と第二の部分（８１８）から反射される光との間の位相差を変更することによって、支配的に変調される。
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希ガスフッ化物、たとえば、二フッ化キセノン（ＸｅＦ_２）を含むエッチャントによって犠牲層をエッチングするステップを含む、電気機械デバイスを作製する方法。エッチングプロセスの効率は、種々の方法で増加する可能性があり、また、エッチングプロセスのコストは減少する可能性がある。未使用エッチャントが、エッチングプロセス中に、単離され、再循環されてもよい。エッチング副生成物は、エッチングプロセス中にエッチングシステムから収集され除去されてもよい。エッチャントの成分は、単離され、一般的な付加的エッチャントに対して使用されてもよい。エッチャントまたはエッチングされる層のいずれかまたは両方が、特定のエッチングプロセスについて最適化されてもよい。
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【課題】プログラムデータを転送するための装置を別途設けることなく、プログラムデータをプロジェクタに転送することが可能なプロジェクタおよびプロジェクタを用いた転送システムを提供する。
【解決手段】プロジェクタ１は、ファームウェアなどのデータをデジタル信号化した光信号として投影可能な投影機構部５０と、投影機構部５０から送信されたファームウェアなどのデータに対応するデジタル信号化された光信号を受信するためのＣＣＤ１６と、ＣＣＤ１６により受信されたプログラムデータを記憶するフラッシュメモリ４４と、ＣＣＤ１６により受信した光信号をフラッシュメモリ４４に記憶させるように制御する第１制御部４１および第２制御部４３とを備える。 （もっと読む）

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置は、基板（２０）とアレイ領域（“アレイ”）と周辺領域（“配線”）とを備える。アレイ領域（“アレイ”）は、下部電極（１６Ａ、１６Ｂ）と、可動上部電極（１４）と、該下部電極（１６Ａ、１６Ｂ）と上部電極（１４）との間のキャビティ（１９）を含む。周辺領域（“配線”）は、アレイ領域（“アレイ”）では上部電極（１４）を形成している層の一部と、電気配線（５８）とを含む。電気配線（５８）は、下部電極（１６Ａ、１６Ｂ）及び上部電極（１４）のうち少なくとも一つと電気的に接続された導電体（５０）を含む。電気配線（５８）は、アレイ領域（“アレイ”）内では上部電極（１４）を形成している層の下の別途の層として形成される。導電体（５０）は、ニッケル、クロム、銅及び銀から成る群から選択される。
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半導体レーザ、波長変換素子、集成レンズ、及び１つ以上の可調光学コンポーネントを有する光学パッケージが提供される。集成レンズ及び可調光学コンポーネントは、半導体レーザの出力ビームを波長変換素子の入力面に向けるため、及び波長変換素子の入力面上の出力ビームの位置を変移させるために構成される。集成レンズ及び可調光学コンポーネントはさらに、半導体レーザから波長変換素子に光路に沿って伝搬するレーザ光が、集成レンズによってコリメートまたはほぼコリメートされてから可調光学コンポーネントによって反射され、可調光学コンポーネントによって反射された後に集成レンズによって波長変換素子の入力面上に集束されるような、折返し光路を定めるために構成される。別の実施形態も開示され、特許請求される。
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マスキングを減少させた微小電子機械システム(MEMS)デバイスを製作する方法と、その方法によって形成されたMEMSデバイスが開示される。一実施形態では、MEMSデバイス(900)は、事前形成された構成要素を各々が有する、前面基板(910)と保持体(950)を積層することによって製作される。前面基板(910)には、その上に重ねて形成された静止電極が提供される。その上に重ねて形成された可動電極(1360)を含む保持体(950)は、前面基板(910)に結合される。いくつかの実施形態の保持体(3500)は、可動電極(3510)を前面基板(3570)に移転させた後で除去される。他の実施形態では、保持体(3450)は、前面基板(3410)上に留まり、MEMSデバイス(3400)のための背面板として機能する。フィーチャは、付着およびパターン形成によって、型押しによって、またはパターン形成およびエッチングによって形成される。
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少なくとも4つの方向に旋回することが可能な2軸ミラーの配列を有する制御式反射装置について示した。少なくとも3原色の光ビームは、各原色光ビームに対して一つずつ、4つの旋回方向の3つに、各2軸ミラーで誘導され、単一のカラービームは、反射され、投射レンズに向かって誘導される。第4の旋回方向では、前記投射レンズの方にカラービームは誘導されず、黒が投射される。
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微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスを作製する方法が開示される。一部の実施形態では、方法は、基材を覆って犠牲層を形成すること、犠牲層の少なくとも一部分を処理することであって、それにより、処理済み犠牲部分を形成する、処理すること、処理済み犠牲部分の少なくとも一部分を覆って上位層を形成すること、および、処理済み犠牲部分を少なくとも部分的に除去することであって、それにより、基材と上位層との間に位置するキャビティを形成する、除去することを含み、上位層はキャビティに露出される。
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ある層がその中で複数の表面を被覆するキャビティを備えるＭＥＭＳデバイス、例えば、干渉変調器を備えるデバイス、方法およびシステム。層は、コンフォーマルまたはノンコンフォーマルである。一部の実施形態では、層は原子層堆積（ＡＬＤ）によって形成される。好ましくは、層は誘電性材料を含む。一部の実施形態では、ＭＥＭＳデバイスはまた、移動電極間の電気絶縁の改善、スティクションの低減および／または機械的特性の改善などの、特性の改善を示す。
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本発明は、つり合い装置を備えるカラーホイールに関する。つり合い装置は、円形の案内部と、これに配置された、案内部に沿って可動の少なくとも２つのつり合い質量体とを含んでいる。つり合い質量体の運動性は、その自重のもとで動くことがないように制限されている。本発明は、カラーホイールをつり合わせる方法も同じく対象としており、この方法によれば、まずつり合い質量体を案内部に配置して、これらのつり合い質量体により形成されるつり合い質量体システムの重心がカラーホイールの回転軸に位置するようにする。次いで不つり合いを測定して位置を判定し、つり合い質量体を案内部に沿って変位させることによって、この特定の位置へとつり合い質量体システムの重心を変位させる。
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