【課題】ポートアレイに結合する迷光が低減された波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１００は、ｘｙ平面上にｘ軸に沿って並べて配置された入力ポート１１０ａと出力ポート１１０ｂを含み、入力ポート１１０ａからｙ軸に実質的に平行に光が射出されるポートアレイ１１０と、入力ポート１１０ａから射出される光をｚ軸に平行な方向に分光する分光素子１５０と、分光素子１５０によって分光された光を結像する結像光学素子１７０と、結像光学素子１７０によって結像された光束を出力ポート１１０ｂに選択的に結合するミラーアレイ２００とを有する。ミラーアレイ２００は、二次元的に傾斜可能な可動ミラー２２２を含むミラー基板２０２を有し、ミラー基板２０２は、ｙｚ平面を横切って配置され、結像光学素子１７０に対向する表面の部分がｚｘ平面に対してｘ軸に平行な軸の周りに傾斜角θを有するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】温度や振動等の影響によりミラーが本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正する光伝送装置を提供する。
【解決手段】主系統レーザ光を出射する主系統出射器１と、主系統レーザ光を伝送するための１以上の導光ミラー４，５，６と、ダイクロイックミラー１４，１５，１６と、主系統レーザ光の光路上に設けられたチルトミラー３と、第１計測系統レーザ光を出射する計測系統レーザ発生器８ｂと、第１計測系統レーザ光の位置を検出する検出部１０と、検出部１０の検出結果に基づいて導光ミラー４，５，６の各々における角度ずれを算出し、当該角度ずれに基づく光軸ずれを補正するための第１制御信号を生成する制御器１１ｂと、第１制御信号に基づいてチルトミラー３の角度調整を行うミラー駆動部１２とを備え、ダイクロイックミラー１４，１５，１６の各々は、主系統レーザ光を透過させるとともに、対応する第１計測系統レーザ光を反射させる。 （もっと読む）

【課題】 ミラー部を駆動させると共にミラー部の動きを検出可能とし、かつ、従来よりも小型化が可能な光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、外部から照射された光を反射する反射面Ａ２１及び上記光を通過させるピンホール２２ｂ，２２ｄを有するミラー部２１と、ピンホール光偏向器を通過した光を受光する受光部１１ｂ，１１ｄと、ミラー部２１を所定の回転軸２１ａで駆動させ反射面Ａ２１で反射した光を所定の方向に偏向させる駆動手段３０ａ，３０ｂと、を備える。受光部１１ｂ，１１ｄは回転軸２１ａに直交する方向に対して幅が異なる形状を有している。 （もっと読む）

【課題】容易に駆動制御できるミラー装置およびミラーアレイを提供する。
【解決手段】定電圧印加部１１は、定電圧電極に一定の電圧を印加する。また、駆動電圧印加部１２は、駆動電極に所定の電圧を印加する。これにより、少ない数の駆動電極の電圧値を制御することでミラーの駆動を制御することができるので、より容易に駆動制御することができる。 （もっと読む）

【課題】構造、構成が簡素であり、ミラーをより大きな角度で傾けることが可能であり、しかも、Ｘ方向及びＹ方向の２方向への駆動の際、クロストークが生じ難いミラー構造体を提供する。
【解決手段】ミラー構造体１０Ａは、（Ａ）ミラー本体部２２、及び、該ミラー本体部２２の表面に設けられた光反射層２１を備えたミラー２０、（Ｂ）ミラー本体部２２の裏面２３に上端部３０Ａが固定された複数の支柱３０、（Ｃ）それぞれの支柱３０の下端部３０Ｂに一端部４０Ａが固定された変位部材４０、並びに、（Ｄ）変位部材４０の他端部４０Ｂを固定する支持部６０から成る。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】マイクロミラー装置１０が走査するレーザ光のうち、カバーガラス底面において結像レーザ透過領域２１０の外側に向けて走査されるレーザ光は、カバーガラス底面に設けられた光反射膜により光検出部材に向けて反射される。このとき、第１の可動部１２０は、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間までレーザ光を走査するように制御され、第２の可動部１３０は、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を走査するように制御される。これにより、照射対象面に設けられた結像領域内に形成される情報、たとえば文字情報や画像情報をユーザが認識可能となる。 （もっと読む）

【課題】ミラーを備える光スイッチの損失を小さくする。
【解決手段】光スイッチは、入力光を反射するミラーと、前記ミラーの目標回転角度を表す制御信号を生成する制御部と、低周波信号を生成する生成部と、前記制御信号に前記低周波信号を重畳する重畳部と、前記低周波信号が重畳された前記制御信号に対応する駆動電圧で前記ミラーを回転させる駆動部と、前記ミラーにより得られる出力光から前記低周波信号の周波数成分またはその高調波成分を検出する検出部と、前記検出部による検出結果に基づいて前記制御信号を補正する補正部、を備える。前記生成部は、前記目標回転角度に応じて前記低周波信号の振幅を決定する。 （もっと読む）

【課題】１つの光源を用いて広範囲に渡って光を精細に反射することが可能なマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】描画装置１０は、光源部材であるレーザダイオード（ＬＤ）１１、光切替部材である切替ミラー１２、及びミラー部材である第１及び第２の描画ミラー１３、１４を備える。レーザダイオード１１はレーザ光を射出する。切替ミラー１２は、ＭＭＤから成り、平面かつ正方形の鏡面１５を有する。第１及び第２の描画ミラー１３、１４は、ＭＥＭＳから成り、平面かつ正方形の鏡面１６、１７を有する。描画装置１０は、照射対象面２０に向けてレーザ光を照射する。照射対象面２０は平面であって、レーザ光により任意の画像が描かれる長方形の描画領域２１と、描画領域２１の外側に設けられる光検出部材２２とを有する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロマシニング型の構成素子であって、外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）であって、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）が少なくとも１つの外ばね（８１）を介してホルダ（５５）に結合されており、調節可能な部材（１０）が、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）と外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）との間での第１の電圧の印加を介して第１の回転軸線（１２）周りに調節可能である、外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）と、内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）であって、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）が、第１のウェブ（５０）、及び第１のウェブ（５０）に配置された少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）を備え、調節可能な部材（１０）が、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）の少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）と内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）との間での第２の電圧の印加を介して第２の回転軸線（１４）周りに調節可能である、内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）とを備え、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）が、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）に、第２の回転軸線（１４）に沿って配向された中間ばね（５２）を介して結合されている、マイクロマシニング型の構成素子に関する。さらに本発明は、マイクロマシニング型の構成素子のための製造方法に関する。
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【課題】１×２光ファイバスイッチ構造を提供する。
【解決手段】本発明は、光ファイバスイッチ構造に関する。本発明による光ファイバスイッチ構造は、３つのコリメータを有し、１つのコリメータが励進コリメータ(84a)として働き、他のコリメータが射出コリメータ(84b, 84c)として働く。光ファイバスイッチ構造は、更に、第１の位置及び第２の位置を有するラッチ式スイッチ素子(82)を有する。ラッチ式スイッチ素子が第１の位置にあるとき、励進コリメータから出た光ビームが射出コリメータのうちの第１の射出コリメータに直接差し向けられる。ラッチ式スイッチ素子が第２の位置にあるとき、励進コリメータから出た光ビームがラッチ式スイッチ素子によって射出コリメータのうちの第２の射出コリメータに偏向される。 （もっと読む）

【課題】あらゆる規模の光学系器材に適用でき、伝送するレーザ光に直接影響を与えず、温度や振動等の影響によりレーザ光を伝送するミラーが本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正する光伝送装置の提供。
【解決手段】１以上の第１ミラー（アクチュエータ付きミラー６，９）と、ガイドレーザ光照射部２と、第１ミラーのいずれかに達するまでの光路上に設けられ、開閉可能であるとともに、閉じた場合にガイドレーザ光を反射するミラー付きシャッタ５と、１以上の第１ミラーの各々の後段に対応して設けられ、開閉可能であるとともに、閉じた場合にガイドレーザ光を反射する１以上の第２シャッタ（ミラー付きシャッタ７，８）と、反射されたガイドレーザ光の位置を検知する４象限検知器１２と、ガイドレーザ光の位置と予め設定された基準位置とに基づいて１以上の第１ミラーの各々における角度ずれを算出して補正するコントローラ１とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型かつ低消費電力で、高感度の傾動駆動を実現できる圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】第１の方向に延在し、駆動対象物３０を前記第１の方向の両側から支持する１対の中心梁４０、４０ａと、
前記第１の方向と略直交する第２の方向に平行に延在する複数の梁５７、５７ａ、５８の、隣接する端部同士が両端で交互に連結されたジグザグ状の梁群を含んで構成されるとともに、各梁が圧電素子２０を備え、該圧電素子の伸縮変形により前記第２の方向の傾き角度の蓄積が可能な１対の蛇行型梁５０、５０ａと、
前記駆動対象物、前記中心梁及び前記蛇行型梁を取り囲む固定枠１２０と、を有する圧電アクチュエータであって、
前記１対の蛇行型梁は、一端が前記固定枠に連結され、他端が前記固定枠との連結位置から遠い方の前記中心梁の端部に連結されるとともに、前記駆動対象物及び前記中心梁を両側から囲むように配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】カバーガラス２００は、平板状の直方体であって、カバーガラス底面２０２には、ＣｄＳを蒸着して形成される光検出部材が設けられる。光検出部材は、第１から第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ１−ＰＤｘ６と、第１から第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ１−ＰＤｙ６とから成る。第１のマイクロミラー装置１０は、カバーガラス底面２０２上において、第１の可動部１２０が、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間まで、第２の可動部１３０が、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を反射するように制御される。 （もっと読む）

【課題】制御帯域が広く高効率なミラーチルトアクチュエーターを提供する。
【解決手段】ミラーホルダ３は、ミラー２を保持する。ミラーホルダ３は、台座に、少なくとも２方向に傾斜可能に保持される。駆動手段は、ミラーホルダ３を台座から傾斜させる。トーションバー４は、一端がミラーホルダ３の中央部に接続され、他端が台座に接続される。板バネ５ａ〜５ｄは、一端がミラーホルダ３の周辺部に接続され、他端が台座に接続される。板バネ５ａ〜５ｄは、ミラー面と平行な面内に延在し、かつ、屈曲部を少なくとも１か所有する。 （もっと読む）

【課題】入出力ポートの切り替え時のクロストークを低減させることができる光スイッチを提供する。
【解決手段】遮光部１０は、待避位置αに向かって出力されている出力光の光スポットを凸部１２によって遮る。これにより、待避位置αに向かって出力光は、出力ポート１１１に向かって進行しない。このため、クロストークが生じるのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】可動体を揺動可能に支持する構成のマイクロ構造体において、トーションバーの端部の形状不安定およびこれに伴うマイクロ構造体の特性ばらつきを抑制する。
【解決手段】マイクロ構造体１は、第１層からなる部分および前記第１層よりも下側の第２層からなる部分を含むフレーム３と、第１層からなる部分および第２層からなる部分を含む可動体２と、第１層からなりフレーム３の第１層からなる部分と可動体２の第１層からなる部分とを連結して可動体２を揺動可能に支持する揺動支持部４と、を備える。そして、揺動支持部４のフレーム３側の端部が、フレーム３の第２層からなる部分によって下方から支持され、揺動支持部４の可動体側２の端部が、可動体２の第２層からなる部分によって下方から支持されている。 （もっと読む）

【課題】ミラーのドリフト現象や温度変化等の外乱が生じた場合であっても、シャットダウン減衰率のずれを抑制する。
【解決手段】光スイッチは、二つの回動軸ｘ，ｙ周りに回動可能なミラー、並びに制御電圧に応じた静電引力によりミラーを回動させる制御電極からなる二軸ＭＥＭＳミラー装置２０３と、ミラーをｘ軸周りに回動させる制御電圧をＶｘ、ミラーをｙ軸周りに回動させる制御電圧をＶｙ、入力ポート２００−１〜２００−ｎから出射した光信号がミラーで反射して出力ポート２０１に結合するときの光減衰率をＡＴＴ（Ｖｘ，Ｖｙ）としたとき、制御電圧（Ｖｘ，Ｖｙ）に対する光減衰率ＡＴＴ（Ｖｘ，Ｖｙ）の微分値が最小で、かつ光減衰率ＡＴＴ（Ｖｘ，Ｖｙ）が所望のシャットダウン減衰率に等しいときの制御電圧（Ｖｘ，Ｖｙ）を、シャットダウン電圧とする制御回路部２１０ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】可動鏡が破損しないようにするために、回転制御の軸から制御に加担する圧電素子までの距離を均一にし、応力を均等に分散するようにしたファブリ＝ペロー型可変干渉フィルタの傾斜角度制御方法を提供すること。
【解決手段】対向配置される固定鏡となる第１の半透過鏡１と可動鏡となる第２の半透過鏡２と、前記第１の半透過鏡との面間隔を変化させるために前記第２の半透過鏡に等間隔に配置された３個以上の圧電素子３を備え、前記第２の半透過鏡に平行で、隣り合う前記圧電素子間の中点同士の任意の二箇所を結ぶ仮想軸のうち前記各圧電素子から前記仮想軸へそれぞれ下ろした垂線の長さが全て等しくなる前記仮想軸を回転軸として、前記第２の半透過鏡を回転させるようにした。 （もっと読む）

【課題】クロストークおよびRabbit Earの抑制を低コストで実現することができる光スイッチおよび光スイッチの制御方法を提供する。
【解決手段】算出部１７は、制御電圧Ｖｔからミラー１０４１をｘ軸回りおよびｙ軸回りにそれぞれ所定量回動させるための軸電圧ＶｘおよびＶｙを算出する。電極電圧制御部１８は、電極にバイアス電圧を印加したときのミラーの回動角と電極電圧との関係に基づいて、軸電圧ＶｘおよびＶｙから電極それぞれに印加する電極電圧を算出する。これにより、高い計算負荷と変数精度を要求される高次関数を使わなくても、クロストークの低減とRabbit Earの抑圧を両立するミラーの動作を、途中でミラーの向きを急激に変えることなく、シームレスに連続して実現することができる。結果として、より低コストで、クロストークの低減とRabbit Earの抑制を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 厚さ寸法の異なるトーションバーまたは可動部を簡単にしかも高い精度で形成することのできるプレーナ型アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコンからなる第１のウェハ１０の裏面側からエッチングして、トーションバー３，５または可動部４，６の少なくとも一方に対応する部位をトーションバー３，５または可動部４，６に応じた厚さが残るように除去して空隙を形成する工程と、第１のウェハ１０の裏面側に、シリコンからなる第２のウェハ１３を貼り合わせる工程と、第１のウェハ１０の表面をエッチングして可動部４，６、トーションバー３，５および固定部２以外の部分を除去する工程と、第２のウェハ１３の裏面をエッチングして固定部２以外の部分を除去する工程と、を備えている。 （もっと読む）