本発明の一実施例に従って、半導体デバイス（２００）は、半導体デバイスの基板（２２６）の上側表面上に配置される誘電性材料の第１の層（２０８）、及び誘電性材料の上側表面上に配置される金属の第１の非導電性層（２０６）を含む。誘電性材料の第１の層と金属の第１の非導電性層は、金属の第１の非導電性層が受ける電磁放射に対する光学トラップとして機能する。特定の実施例において、半導体デバイスは更に、金属の第１の非導電性層の上側表面上に配置される誘電性材料の第２の層、及び誘電性材料の第２の層の上側表面上に配置される金属の第２の非導電性層を含み得る。
（もっと読む）

本発明は、担体素子３と薄膜４とを有する２自由度でボディ２を傾斜させるための微小電気機械装置１´であって、ボディ２は、薄膜４を介して担体素子３に接続され、ボディ２び担体素子３の各々は、少なくとも１つの電極５，６を有する。ボディ２は、電圧源から電極５，６への電圧Ｖ_１，Ｖ_２の印加によるボディ２の少なくとも１つの電極５と担体素子３の少なくとも１つの電極６との間の静電気力７によって傾斜される。
（もっと読む）

本発明に係る焦点距離可変レンズは、或る自由度回転を有する、及び／または或る自由度並進を有する複数のマイクロミラーと、駆動手段とから構成されている。焦点距離可変レンズの操作方法としては、上記駆動手段が、マイクロミラーの位置を静電的及び／または電磁的に制御する。マイクロミラーを支持する構造体と、上記駆動手段とを、上記マイクロミラー群の下方に配置することによって、焦点距離可変レンズの光学効率を高めることができる。焦点距離可変レンズは、マイクロミラーを個々に制御することにより、収差を補正することができる。焦点距離可変レンズは、任意の形状、及び／または任意のサイズに構成することが可能である。マイクロミラー群を、平面状に、もしくは所定の曲率を有する曲面状に配置することができる。マイクロミラーの位置を左右する電極は、金属のような高い導電率の材料から構成することができる。マイクロミラーの表面材料には、多層誘電体または酸化防止剤によってコーティングされたアルミニウム、銀、金のような高い反射率を有した材料が用いられる。
（もっと読む）

【課題】ガス又は蒸気を含む侵入を検出するため視野（ＦＯＶ）を含む空間の体積モニターする空間安全装置を提供する。
【解決手段】ＦＯＶから集められた赤外線（ＩＲ）エネルギー光線を反射するためのミラーアレイ状のミラー要素を有する微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）及びＭＥＭＳアレイで反射されたＩＲエネルギーを検出しかつＩＲエネルギーを出力信号に変換するＩＲエネルギー検出器を備えるように構成する。プロセッサーは、制御された信号を変化させることによって又は一から他の合焦要素へ切り替えることによってＭＥＭＳミラーアレイの要素の角度を調整する。方法は、ＩＲ検出器の活性要素にＩＲ信号を反射するようにＭＥＭＳミラーアレイを位置決めすること、及びＦＯＶのｉ^ＴＨ部分からＩＲエネルギーを集めることによって空間の体積における検出をすることを含む。
（もっと読む）

個々に制御されるマイクロミラーアレイレンズ（ＤＣＭＡＬ）は、複数の個々に制御されるマイクロミラー（ＤＣＭ）と駆動部分とから構成される。上記駆動部分は、静電気的に、上記ＤＣＭの位置を制御する。上記ＤＣＭＡＬの光学効率は、ＤＣＭを支持する機械的構造と上記駆動部分とを上記ＤＣＭの下に配置して、有効反射領域を増加させることにより、改善される。公知のマイクロエレクトロニクス技術は、電極パッドおよびワイヤによる有効反射領域の損失を取り除くことができる。上記レンズは、ＤＣＭを独立に制御することにより、収差を補正することができる。各ＤＣＭの独立制御は、公知のマイクロエレクトロニクス技術によって達成できる。ＤＣＭアレイは、任意の形状および／またはサイズのレンズを形成することができる、または、任意の形状および／またはサイズのレンズを備えたレンズアレイを形成することができる。
（もっと読む）

マイクロミラーアレイレンズは、２つの自由回転と１つの自由平行移動とを行う、複数のマイクロミラー１３と、駆動部分とから構成されている。上記マイクロミラーのアレイは、対象の１つのポイントから散光している全ての光が、同じ周期的な位相を有するように、また、画面の１つのポイントに収束するようにすることができる。上記駆動部分は、静電気的におよび／または電磁気的に、上記マイクロミラーの位置を制御する。上記マイクロミラーアレイレンズの光学効率は、上記マイクロミラーを支持する機械的構造と上記駆動部分とを上記マイクロミラーの下に配置することにより、改善される。半導体マイクロエレクトロニクス技術は、電極パッドおよびワイヤによる有効反射領域の損失を取り除くことができる。上記レンズは、各マイクロミラーを独立に制御することにより、収差を補正することができる。各マイクロミラーの独立した制御は、公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって達成することができる。上記マイクロミラーアレイは、所望の任意の形状および／またはサイズのレンズを形成することができる。
（もっと読む）

本発明は、マイクロミラーアレイレンズのアレイに関するものである。マイクロミラーアレイレンズは、複数のマイクロミラーと駆動部分とから構成されている。各マイクロミラーアレイレンズは、高速での焦点距離変更が可能な可変焦点距離レンズである。上記レンズは、所望の任意のサイズおよび／または型を有するとともに、所望の任意の光軸を有し、さらに、各マイクロミラーを独立に制御することにより収差を補正することができる。各マイクロミラーの独立した制御は、公知のマイクロエレクトロニクス技術によって可能である。上記駆動部分は、静電気的におよび／または電磁気的に、上記マイクロミラーの位置を制御する。上記マイクロミラーアレイレンズの光学効率は、上記マイクロミラーを支持する機械的構造と上記駆動部分とを上記マイクロミラーの下に配置することにより、改善される。公知のマイクロエレクトロニクス技術は、電極パッドおよびワイヤによる有効反射領域の損失を取り除くことができる。
（もっと読む）

光クロスコネクトスイッチ。このスイッチにおいては、各々が通信ビームを搬送する入力光ファイバ群中のいずれかの光ファイバを、出力光ファイバ群中のいずれかの光ファイバへとクロスコネクトすることが出来る。入力光ファイバ群中の各ファイバが搬送する通信ビームには、アライメントビームが付加され、これと同軸にアライメントされることにより、各ファイバ用に通信―アライメントビームが画定されている。各通信―アライメントビームは閉じ込められた光経路中を送られて入力アレイ構造体中にある特定の出射孔へと向けられる。全ての通信―アライメントビームの出射孔は入力アレイを画定するパターンに配置されており、これにより通信―アライメントビームの各々は、入力アレイ構造体におけるその出射孔の位置によって識別することが出来る。通信―アライメントビームの各々は、第一のレンズマイクロレンズアレイ中の１つのマイクロレンズにより、クロスコネクションビームへと形成される。各クロスコネクションビームは、第一のミラーアレイ中の第一のミラー及び第二のミラーアレイ中の第二のミラーという２枚のミラーにより、第二のレンズアレイ中の１つのレンズへと向けられる。第二のレンズアレイ中のこのレンズは、通信ビームを出力アレイ構造体中の、望ましくは光ファイバである、閉じ込められた光経路の特定の入射孔へとフォーカスする。出力アレイ構造体中の閉じ込められた光経路の各々は、出力光ファイバ群中の１本の光ファイバに光学的に接続している。第二のレンズアレイの付近に配置された第一のデテクタアレイは、各アライメントビームの位置をモニタし、ミラーアレイの少なくとも一方におけるミラー制御用に位置情報をプロセッサへと供給する。
（もっと読む）

ＭＥＭＳデバイス内の妨害を相殺するためのシステム及び方法。システム２００は、基板２０５と、複数の個々に移動可能なＭＥＭＳ素子２０３−１〜２０３−Ｎを含むことができるＭＥＭＳデバイス２０３、並びに制御アセンブリ２０７を含む。光学システム２００は、ＭＥＭＳデバイスのアレイを使用する何れかの光学装置の一部において利用することができ、及び／又は該光学装置の一部を形成することができる。制御アセンブリ２０７は、ＭＥＭＳ２０３における妨害を相殺する、より詳細にはスイッチング又は動作ミラーによって引き起こされるＭＥＭＳデバイス２０３の非スイッチング又は静止ミラーでの妨害を相殺するフィードフォワード制御信号を使用する。 （もっと読む）