【課題】高コストを招く恐れのある３次以上の高次関数を用いることなく、それらと同等の効果的なクロストークとRabbit Earの抑制を実現できる光スイッチおよび光スイッチの制御方法を提供する。
【解決手段】算出部１７は、制御変数Ｖｔからミラー１０４１をｘ軸回りおよびｙ軸回りにそれぞれ所定量回動させるための軸電圧ＶｘおよびＶｙを算出する。電極電圧制御部１８は、そのＶｘおよびＶｙから電極それぞれに印加する駆動電圧を算出して、この駆動電圧に対応する電極に印加する。比較器１３は、検出結果の目標値に対する偏差を求める。加算器１５は、その偏差に応じた補償量を制御変数Ｖｔに加算して、偏差を制御変数Ｖｔに負帰還する。これにより、２つの軸を有するミラーの動作を１つの制御変数Ｖｔによって高次関数を用いることなく制御することが可能となるので、クロストークの低減とRabbit Earの抑圧を両立するミラーの動作を、低コストで実現することができる。 （もっと読む）

【課題】回路規模およびコストを低減することが可能なティルトミラー駆動装置を提供すること。
【解決手段】ティルトミラーの駆動量に応じたデューティー比を有するパルス信号を生成する生成手段（演算部４０）と、生成手段によって生成されたパルス信号を分岐する分岐手段（分岐部５０）と、分岐手段によって分岐されたパルス信号を一方の駆動電極に印加する第１印加手段（ドライブ回路６５）と、分岐手段によって分岐されたパルス信号を反転する反転手段（反転回路６１）と、反転手段によって反転された反転パルス信号を、他方の駆動電極に印加する第２印加手段（ドライブ回路６４）を有する。 （もっと読む）

【課題】捩れ連結部の捩れ抵抗が低く設定されつつミラー面の法線まわりの回転などのミラー形成部の不適切な動作が制御されたマイクロミラー素子を提供すること。
【解決手段】マイクロミラー素子１００において、フレーム１１３と、ミラー平面１１４を有するミラー形成部１１１と、フレーム１１３およびミラー形成部１１１を連結するように延びるとともに、ミラー形成部１１１をフレーム１１３に対して回転させるための回転軸心Ｘ１を規定し、さらにミラー平面１１４に対して平行する捩れ連結部１１２と、を備え、捩れ連結部１１２は２本のトーションバー１１２ａからなるとともに当該２本のトーションバー１１２ａは捩れ連結部１１２の幅を規定し、この幅は、ミラー形成部１１１に接続される部分では相対的に広く、フレーム１１３に至るまでは、ミラー形成部１１１から遠ざかるにつれて徐々に狭くなることとした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の損傷を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１と第一梁２を介して連結され、この第一梁２およびミラー部１の外周を囲う可動枠３と、この可動枠３と第二梁４を介して連結された支持体５と、第一梁２および第二梁４のそれぞれの中心軸を中心にミラー部１を反復回転振動させる駆動手段と、可動枠３のＸ軸方向またはＹ軸方向の少なくとも一方の振動を抑制する抑制手段とを備えたものとした。これにより本発明は、可動枠３の過剰な振幅を抑制でき、結果として光学反射素子の損傷を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳアレイなどの二重軸ミクロミラーと、平行プレート静電動作で使用されるヒンジにおいて、正味の縦横変位を同時に制限しながら、コンプライアントなトーション回転を可能にする。
【解決手段】 円形ミラー（１２）は、対向しているが中心軸からずれた位置（３６）および（３７）で、複合縦ヒンジ（４０）および（４２）によってジンバル（４４）に連結されている。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動式でミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光学装置において、駆動コイルの最外周配線長を長くし、揺動可能に支持された可動部の駆動トルクを大きくする。
【解決手段】電磁駆動式の光学装置において、可動部と離反させて駆動コイル設置部を設置する。ミラーは可動部の上方に固定されており、駆動コイル設置部は、可動部の下方に設置され、接続部によって互いに固定されている。磁界中で駆動コイル設置部に配線された駆動コイルに電流が流れると、駆動コイル設置部にローレンツ力が作用し、接続部によって固定された可動部と駆動コイル設置部とは一体となって揺動する。駆動コイルが設置される駆動コイル設置部は、可動部と別に設置されているため、駆動コイル設置部の外周を可動部の外周より大きくし、駆動コイルの最外周配線長さを大きくすることができる。これによって、可動部の駆動トルクを大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】電極に印加する駆動電圧の振幅とミラーの回動角との非線形性を改善する。
【解決手段】ミラー制御装置は、ミラー２３０に電圧を印加するミラー電圧印加部４００と、バイアス電圧記録部４０２からバイアス電圧の値を取得し、ミラー２３０の回動軸に対して対称に配置された１対の電極のうちの一方の電極３４０ａ（３４０ｂ）とミラー２３０との間に生じる電位差の絶対値と、１対の電極のうちの他方の電極３４０ｃ（３４０ｄ）とミラー２３０との間に生じる電位差の絶対値とが、バイアス電圧によって発生する電位差の絶対値に対して常に差動的になるように、ミラー２３０の所望の回動角に応じて駆動電圧を決定する駆動電圧演算部４０４と、駆動電圧を電極３４０ａ〜３４０ｄに印加する駆動電圧印加部４０１とを備える。 （もっと読む）

【課題】表示画質を向上させつつ、装置の小型化を図ることが可能な表示装置を提供する。
【解決手段】光源１１からの入射光Ｌ１を任意の反射角で個別に反射して映像用光変調素子１３へ照射することが可能な複数の個別反射素子１２１を有する照明光制御素子１２を設ける。また、映像用光変調素子１３の形状に応じた均一の強度分布が形成されるように、個別反射素子１２１の反射角を個別に制御する。これにより、従来よりも省スペースな構成によって、表示映像に用いる照射光Ｌ２の強度分布の均一化が実現される。 （もっと読む）

【課題】光スイッチの接続パスに対する光学特性の測定作業の効率を向上させることができる光学特性測定装置を提供する。
【解決手段】光学特性測定装置１は、光入力部１１と、入力側１×１００スイッチ１２と、出力側１００×１スイッチ１３と、モニタ部１４と、測定装置制御部１５と備えている。この構成を有することにより、人手を介さず、自動的に光スイッチ１００の光学特性の測定ができるので、結果として、従来よりも光学特性の測定作業の効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】スペックルを確実に抑制できるとともに、高い解像度を確保できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の画像表示装置１は、レーザー光を射出するレーザー光源５Ｒ，５Ｇ，５Ｂと、レーザー光をスクリーン４上で走査して画像を描画するＭＥＭＳミラー３（光走査部）と、光源から入射されたレーザー光を透過させて光走査部に向けて射出させ、レーザー光の透過領域の中心部ではレーザー光の位相を時間的に変化させず、透過領域の周縁部ではレーザー光の位相を時間的に変化させる光透過板８（光透過部材）と、を備えている。 （もっと読む）

本発明は、電極層間に絶縁層を有する少なくとも３つの他の電気的な電極層を備える層状マイクロエレクトロニック及び／又はマイクロメカニック構造に関する。第１の外側層内にビアが提供され、前記ビアは前記層を介してウェハ固有の材料で作られる絶縁された電極、前記層を通して導電性を提供するために他の層を介して前記第１の外側層内の前記ビアに延びる電気的導電性のプラグと、前記選択された層にあって前記材料から前記プラグを絶縁するための前記他の層の少なくとも一つの選択層における前記導電性プラグを囲む絶縁エンクロージャとを備える。さらに、少なくとも一方向にて可動されるような、窪みのうえに提供された可動部材を備えるマイクロエレクトロニック及び／又はマイクロメカニックデバイスに関する。前記デバイスは、本発明に係る層状構造を有する。そのような層状ＭＥＭＳ構造を形成する方法も提供される。
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【課題】ミラーのドリフトの発生を抑制する。
【解決手段】ミラー制御装置は、回動可能に支持されたミラー２３０と、ミラー２３０から離間して配置された電極３４０ａ〜３４０ｄと、駆動電圧を印加した電極３４０ａ〜３４０ｄとミラー２３０との電位差が正電位である第１の区間と電位差が負電位である第２の区間とが生じるように、駆動電圧として交流電圧をミラー２３０の所望の傾斜角に応じて生成する駆動電圧印加部４０１とを備える。駆動電圧印加部４０１は、第１、第２の区間に加えて、電位差が第１の区間の電位差と第２の区間の電位差との間の電位である第３の区間がさらに生じるように駆動電圧を生成し、第１、第２の区間の時間幅の和と第３の区間の時間幅との比率をミラー２３０の所望の傾斜角に応じて変える。 （もっと読む）

【課題】本発明はミアンダ形振動子の駆動効率を向上させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、複数の振動板１１上には、それぞれドライブ素子１５が設けられ、これらのドライブ素子１５は、振動板１１の一方の端部側であって、隣接する振動板１１上に設けられたドライブ素子１５とは反対の端部側に片寄って配置されたものとした。これにより本発明は、ミアンダ形振動子全体としてはつづら折り状となるように駆動し、従来と比べてエネルギーロスの少ない自然な動作モードとなる。そしてその結果、高い駆動効率を実現できる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の傾斜角度を大きくすることが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１０は、光を反射させるミラー部２１と、ミラー部２１に接続され、ミラー部２１を振動可能に支持するねじり変形可能なトーションバー２２（２３）およびバー２４（２５）と、バー２４（２５）と接続される端部５０ｆおよび５０ｇ（６０ｆおよび６０ｇ）を有し、ねじり変形可能なトーションバー２２（２３）およびバー２４（２５）を介してミラー部２１を駆動させるための駆動部５０（６０）とを備え、平面的に見て、駆動部５０（６０）の端部５０ｆおよび５０ｇ（６０ｆおよび６０ｇ）の幅Ｗ４は、駆動部５０（６０）の端部５０ｆおよび５０ｇ（６０ｆおよび６０ｇ）以外の部分の幅よりも小さくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】挿入損失の少ない光スイッチを提供する。
【解決手段】光スイッチは、単一のポート１２を有する光入力部と、複数のポート２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを有する光出力部と、光入力部のポート１２と光出力部のポート２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとを光学的に結合するためのマイクロミラー３０とを有している。マイクロミラー３０は、その向きが変更可能な反射面３２を有している。光スイッチはまた、マイクロミラー３０を移動させてマイクロミラー３０を介して互いに光学的に結合されるポート１２，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを切り替える移動機構（移動体４２とアクチュエーター４４）と、光出力部から出力される光の強度を検出する複数の検出部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃと、検出部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃで得られる情報に基づいてマイクロミラー３０の反射面３２の向きを制御する制御部７０を有している。 （もっと読む）

【課題】パワー損失を減らし、フレキシブルな周波数ルーティング機能を有する光学コネクトシステムを提供すること。
【解決手段】本発明の光学クロスコネクト１００は、複数の入力ファイバ１１２から光学信号を受領するレンズ列１１４を有する。このレンズ列は複数のレンズ素子から構成され、各レンズ素子は、光学信号をＭＥＭＳミラー列１１８、１２２に向ける。即ち、集光する。このＭＥＭＳミラー列は、複数のミラー素子を有し、各素子は制御信号を所望のミラー素子に加えることにより一つあるいは複数の回転軸の周囲で傾斜する。かくして光学信号は様々なパスに沿って様々な出力ファイバ１２８に向けることが出来る。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および構造の簡素化を図りながら、ミラー部での振動を大きくすることが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１０は、ミラー部２１の両側にそれぞれ端部２２ａおよび２３ａが接続され、ミラー部２１を振動可能に支持するトーションバー２２および２３と、トーションバー２２の端部２２ｂおよびトーションバー２３の端部２３ｂとそれぞれ接続されるバー２４および２５と、バー２４および２５の端部２４ｂ、２４ｃ、２５ｂおよび２５ｃとそれぞれ接続される駆動部５０および６０とを備え、平面的に見て、ミラー部２１はバー２４および２５と駆動部５０および６０とに囲まれる領域Ｒに配置されるとともに、トーションバー２２および２３の幅Ｗ１とバー２４および２５の幅Ｗ２とは、駆動部５０および６０の幅Ｗ３よりも小さくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】近接投影を行う場合に、投影面全体で解像度を一定にすることができる光走査装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを出射する光源３と、所定の軸を中心にして回動可能に構成され、光反射部で反射したレーザビームを対象物に走査する光偏向器１と、光偏向器１による垂直方向の走査ラインの間隔が一定になるように、垂直走査ミラー１ｂの単位時間あたりの偏向角変化量を制御する駆動制御部７と、駆動制御部７によって決定された回動角度に従って光偏向器１を回動駆動させる駆動部２を備える。 （もっと読む）

【課題】より小型な波長選択スイッチを提供すること。
【解決手段】ファイバの端面で構成されている、光が出射する出射部と、該出射部の光出射側に配置された分散素子と、分散素子の光出射側に配置された光偏向部材と、ファイバの端面で構成されている、光偏向部材からの光が入射する入射部と、出射部と光偏向部材との間の光路中に設けられている第１の光学系と、分散素子と光偏向部材との光路中に設けられている第２の光学系とを有し、分散素子は第２の光学系の前側焦点位置に設けられ、光偏向部材は第２の光学系の後側焦点位置に設けられ、光偏向部材は複数の偏向素子で構成され、該複数の偏向素子は、互いに独立して制御可能であり、分散素子は、光が透過する透過面と、回折光学面を有し、透過面から回折光学面までの間が、屈折率が１よりも大きい媒質で形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の高精度な自励駆動を実現することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部９と連結された振動子１０を備え、振動子１０は、基材１９上に形成された絶縁層２０上に分断溝３０Ａによって分離して配置されたドライブ素子１６およびモニター素子１７を有し、これらのドライブ素子１６およびモニター素子１７の下部電極層２１は、共通の外部電極と接続され、モニター素子１７とドライブ素子１６とが隣接して配置された任意の点において、分断溝３０Ａにより、モニター素子１７の下部電極層２１とドライブ素子１６の下部電極層２１との最短導通経路は、モニター素子１７の下部電極層２１から共通の外部電極までの距離より長いものとした。これにより本発明は、モニター素子１７の検出精度を高め、光学反射素子８を高精度に自励駆動させることができる。 （もっと読む）