本発明は、ある軸（１１）を中心に回転できる可動プレート（１）であって、この回転軸（１１）に対して当該プレートの両側部に整列配置された２つのアーム（７，９）により静止フレーム（３）に連結され、外周部に導電性のループ（１３）を備える可動プレート（１）と、静止フレーム及び可動プレートにより形成された組立体の下側に、フレームの面において、可動プレートに関し、回転軸に対して斜めである横向きの磁場（５７）を形成するような態様で配列された、それぞれ異なる磁気方向を有する複数の磁石（５１，５３，５５）からなる磁石集合体と、を備える電磁駆動型マイクロシャッターに関する。 （もっと読む）

本発明は、一つの鏡（２２）と、第一及び第二回転作動要素（２４）を備えた、一つの光ビームを二つの異なる方向へ偏向するための装置（２０）に関している。第一回転作動要素（２４）は第一制御信号に従い第一軸（５４）の周りを回転する。第二回転作動要素（２６）は第一軸（５４）に沿って第一回転作動要素（２４）と向かい合わせに配置され、且つ、第二制御信号に従い第一軸（５４）の周りを回転する。第一バネ要素（２８）が、第一回転作動要素（２４）と、第一軸（５４）の外側に規定の距離だけ間隔をあけて鏡（２２）とに結合される。第二バネ要素（３０）が、第二回転作動要素（２６）と鏡（２２）とに結合される。
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【課題】光学装置における光軸調整を容易に行うことができるようにすることを課題とする。
【解決手段】光軸調整システム１０００は、可変波長光源１から出射された通信光が通過する光学部品１１０の位置決めを行う光学部品位置決め手段５と、光学部品１１０を通過した通信光を所望の方向へ反射するミラーアレイ１２０に置き換えて光学部品１１０と対向するように配置され、通信光を透過させるターゲットマスク１３０を備える。また、光軸調整システム１０００は、ターゲットマスク１３０の背面側に配置され、ターゲットマスク１３０に通信光が照射されることによってターゲットマスク１３０に浮かび上がるスポット光を撮影するカメラ３と、このカメラ３によって取得された撮影情報と、に基づいて前記光学部品位置決め手段に位置決め指令を発する制御部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】２つの回動軸に関して、充分な回動角度を得ることができる光スキャナを得る。
【解決手段】印加電圧が０Ｖから増加していくと、接地されているミラー部２１０と第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極との間、及び接地されているジンバル部２２０と第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極との間に電圧差が生じ、この電圧差によりミラー部２１０と第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極との間、及びジンバル部２２０と第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極との間に静電引力が生じる。ミラー部２１０は、第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極からの静電引力に加えて、第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極からの静電引力によりＹ軸時計回りに回動する。交流電圧が１３０Ｖになると、ミラー部２１０は、アイドル状態から１５度回転する。 （もっと読む）

【課題】通過帯域を狭くすることなく入出力ポートが２次元的に配列された波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】プリズム１３を設けることにより、マイクロレンズアレイ１２のレンズ１２ａ〜１２ｎから入力された信号光のビーム径を、この信号光の光軸に直交する１の方向に拡大または縮小させ、かつ、その信号光の偏向素子による反射光の光軸が光ファイバ１１ａ〜１１ｎの光軸と平行にさせることができる。これにより、入出力ポートが２次元的に配列された波長選択スイッチにおいても、信号光のビーム径を偏向素子の配列ピッチに対して十分小さくすることが可能となり、結果として通過帯域が狭くなるのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】照明装置において走査範囲の長さと走査速度を一定にする。
【解決手段】対象領域を光で走査することにより前記対象領域を照明する照明装置は、光を発生する光源（１）と、前記光源からの光の光路を変更可能に調整する光学系（１７）と、電圧の印加により屈折率の分布が誘起される電気光学素子であって、前記対象領域を走査するため前記電圧に応じて前記光学系からの光を偏向させる電気光学素子（９ａ、９ｂ）と、少なくとも前記電気光学素子への光の入射角度に応じて、前記電気光学素子に印加する前記電圧を調整する制御部（１５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安定して低速駆動を行うことができる圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】駆動対象物３０、３１を軸Ｘ周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータ１１０、１１１、１１２であって、
前記軸Ｘの両側に配置された錘部７１と、前記軸Ｘと交差して延在し、前記錘部７１を連結する連結部７２とで前記駆動対象物３０、３１を平面的に囲む環状構造を有し、前記駆動対象物３０、３１が連結されて前記駆動対象物３０、３１を連結支持する可動枠７０と、
弾性体１５に圧電薄膜２２が成膜された構造を有し、前記可動枠７０の外側に配置され、該可動枠７０の前記連結部７２に前記軸Ｘ周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁９０と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弾性支持部の破断を防止することができる光偏向器の製造方法を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０を形成する工程と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結する支持部材３０とを一体で形成する工程と、軸部材２０と支持部材３０に丸め処理を施す工程と、取付部２１に可動板１０を取り付ける工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】色評価に用いられるスペクトラム光源装置の出力光に、波長に依存する光強度分布、すなわち色むらを生じてしまう。
【解決手段】スペクトラム光源装置は、所定の波長領域に亘る光源光を発する光源と、光源光が照射される平面領域において、指示された特定領域が、他の領域と異なるように、光源光を反射または透過させる変調素子と、特定領域で反射または透過された光源光を波長分散させる波長分散素子と、波長分散素子に対して相対的に位置決めされ、波長分散素子によって波長分散された光源光の一部の波長光を通過させるスリットと、変調素子の特定領域を制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】外部衝撃による破損およびそれによるコストアップを抑制できるＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フレーム１１１と、フレームと同じ層に形成され、フレームに対して相対運動可能に一対のトーションバネ１１３によりフレームの内側に連結された駆動体１１５と、駆動体の高さ方向変位を制限する上昇ストッパ１４０および下降制限ストッパ１５０と、を備えたＭＥＭＳデバイスであり、駆動体は周辺部を備えており、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に上昇する場合には駆動体の周辺部が上昇制限ストッパの一端部１４１にひっかかり、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に下降する場合には下降制限ストッパの一端部１５１がフレームにひっかかることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】像内の不所望な強度最大値および／または強度最小値（スペックル）の発生を回避することができるマイクロメカニカル素子を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子が、第１の外面上に反射面を備えたミラー素子と、対向電極と、電圧制御装置とを有し、ミラー素子は、第１の外面とは反対方向に向けられているミラー素子の第２の外面上の第１の電極面に第１の電位が印加されるように構成されており、対向電極はミラー素子の第２の外面の近傍に配置されており、該対向電極の第２の電極面に第２の電位が印加されるように構成されており、電圧制御装置は第１のコンタクト素子を介してミラー素子の第１の電極面と接続されており、第２のコンタクト素子を介して対向電極の第２の電極面に接続されており、且つ、時間的に変化する電圧信号を第１の電極面と第２の電極面との間に印加するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】反射部以外での光の反射を防止できる光偏向器を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結された支持部材３０を備え、弾性支持部２２の表面に光吸収膜２３が、支持部材３０の表面に光吸収膜３３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ミラーと弾性支持部を連結するための接着剤が、弾性支持部へ付着してばね定数が変化することを防止する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０と、可動板１０とは異なる部材で、磁石４０を介して可動板１０取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２と、を有する軸部材２０と、を備え、取付部２１は、取付面に、溝内に接着剤２５が存在する溝２３と、接着剤２５が存在しない溝２４を有しており、溝２４は溝２３よりも弾性支持部２２に近い位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】安定した制御が可能な光信号交換装置を提供すること。
【解決手段】複数の入力ポートと、複数の出力ポートと、入力ポートから入力された光信号を反射し、いずれかの出力ポートに入射する複数のミラーＭ１〜Ｍｎと、ミラーの反射角度を制御し光信号の経路を選択する制御手段１１０とを有し、制御手段は所定周波数の低周波信号を発生する発生手段と、ミラーの反射角度を制御する制御信号に低周波信号を重畳する重畳手段と、出力ポートから出力される光信号の一部を電気信号に変換する光電気変換手段と、得られる電気信号を対数変換する対数変換手段と、対数変換された電気信号に対して重畳された低周波信号と同様の低周波信号を乗算し、所定周波数の信号成分を直流成分に変換して抽出する抽出手段と、抽出された信号成分に基づいてミラーを所望の反射角度に設定するための制御信号を生成する生成手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータチップの向きを適正に認識することができ、実装作業を容易にかつ確実に行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部２と、固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４と、固定部２に形成され少なくとも上下方向が認識できる認識部５と、を備えている。 （もっと読む）

眼科手術のためのレーザシステムは、パルスレーザビームを生成するレーザ光源と、パルスレーザビームを受け取り、Ｚ軸を横断する２つの方向に走査されたＸＹ走査ビームを出射するＸＹスキャナと、ＸＹ走査ビームを受け取り、Ｚ軸に沿った方向に追加的に走査されたＸＹＺ走査ビームを出射するＺスキャナとを備え、Ｚスキャナは、中間焦点面を有するビームを出力する第１のレンズグループと、中間焦点面を介してビームを受け取り、可変の形式でビームをコリメートする可動レンズグループと、Ｚスキャナからコリメートされたビームを受け取り、ビームの焦点を標的領域の焦点に集光する対物レンズとを備える。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化によって生じる熱膨張率差に起因する応力の変動や、マイクロミラー素子を固定している接着剤部分の強度劣化による応力の変動等が、マイクロミラーの傾斜角度へ影響することを軽減する。
【解決手段】固定フレーム１と、固定フレーム１に対して揺動可能な可動フレーム１３と、可動フレーム１３の揺動軸を規定するトーションバー１１ａ及び１１ｂと、固定フレーム１及びトーションバー１１ａ，１１ｂの少なくとも一方に設けられる応力緩和機構５０とを含み、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向の剛性より小さく、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における剛性よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】大規模な光スイッチを構成する光学系において、光入出力部の配列規模拡大に伴う光結合損失の増加を抑制し、低損失な光スイッチを実現する。
【解決手段】光信号を光スイッチ内部に入力する複数の光入力ポートを有する光入力部２と、前記光信号を出力する複数の光出力ポートを有する光出力部３とを有する。光入力ポートから入力された光信号を偏向させ、選択された光出力ポートに出力する光スイッチ１である。前記光入力ポートおよび光出力ポートは、それぞれ複数の支持部材（整列基板２７〜３０）に二次元的に配列されて支持される。前記光入力部２および光出力部３は、それぞれ前記複数の支持部材の集合体によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】 内蔵する空間光変調器の所要の機能を所要期間に亘って安定的に発揮する空間光変調ユニット。
【解決手段】 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学系に用いられる空間光変調ユニット（３）は、互いに並列的に配置されて、二次元的に配列されて個別に制御される複数のミラー要素を有する４つの空間光変調器（３１，３２，３３，３４）と、光源から入射した光を４つの空間光変調器のうちの少なくとも３つの空間光変調器へ選択的に導く選択導光部（３５，３６，３７，３８）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ポート間ピッチを不必要に拡げることなくＩＬＲとＸＴの両方を低減できる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】通過ポート１１とこの通過ポート１１と隣り合う挿入ポート１２ｂ，１２ｃとの間隔を、この他の挿入ポート間の間隔よりも広くする。これにより、ＩＬＲを抑制するために主軸成分の割合を大きくするようにＭＥＭＳミラー装置４５１のミラーを制御しながらＡＴＴを調整する、すなわち、通過ポート１１に関する制御軌跡の傾き角φを大きく取っても、通過ポート１１に隣り合うポートとの距離が離れているためにＸＴが増大しないので、ポート間ピッチを不必要に拡げることなくＩＬＲとＸＴの両方を低減することができる。 （もっと読む）