【課題】ミラー部を揺動駆動するための圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーをノコギリ波状の駆動電圧により圧電駆動しつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動する第１駆動電圧と、奇数数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動する第２駆動電圧とを逆位相のノコギリ波状の電圧とする。第１駆動電圧と第２駆動電圧との間の位相差が、ミラー部１の高周波振動が発生するのを抑制するように設定される。 （もっと読む）

【課題】クロストークの発生を低減した波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１は、入力ポートおよび出力ポートを含む入出力部１０と、入力ポートから入射した波長多重された入力光を、波長毎の光に分散する分散部１５と、入力光を分散部１５へ導く、少なくとも第１のレンズ１２を含むリレー光学系と、分散部１５により分散された波長毎の光を集光する第３のレンズ１６と、第３のレンズ１６により集光された波長毎の光をそれぞれ偏向して、出力ポートに出射させる偏向部１７とを備える。第１のレンズ１２は、入力光が第１のレンズのいずれかの面で反射され発生した迷光が、出力ポートに入射しないように、入力光に対して傾け、または、ずらして配置される。 （もっと読む）

【課題】駆動の安定性及びハンドリング性を向上させたプレーナ型アクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】枠状の固定部４と、固定部４の内側に形成されるトーションバー５ａ，５ａ、５ｂ，５ｂと、各トーションバーを介して固定部４に回動可能に軸支され駆動手段により駆動される可動部６ａ，６ｂとを第１半導体基板７で一体形成して備えたアクチュエータ部２と、第２半導体基板１０で形成され固定部４介してアクチュエータ部２を支持する支持部３とを有し、第１半導体基板７として、少なくとも各トーションバーに対応する部位に各トーションバーに応じた厚さが残るように予め溝部９ａ，９ｂが形成されたキャビティー基板を用いて形成したプレーナ型アクチュエータ１において、第２半導体基板１０で形成された支持部３を、固定部４と異なる形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】光信号のチャンネルスペーシングが狭くなっても、装置の小型化が可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長多重された信号光の入力部と、入力部からの信号光を受光する、互いに反射面同士が向き合った、負の焦点距離を有する反射部材及び正の焦点距離を有する反射部材と、負の焦点距離を有する反射部材及び正の焦点距離を有する反射部材からの光を受光し、この光を波長分散させる分散素子と、分散素子にて波長分散された信号光を波長ごとに偏向可能な偏向素子アレイと、負の焦点距離を有する反射部材と偏向素子アレイの間に配置されたレンズと、を有する。 （もっと読む）

【課題】使用温度範囲全域において分散素子の分散特性を補正することのできる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部と、入力部からの光を受光し、光を分散させる分散素子と、分散素子によって波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素と、分散光を、波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子を有する光偏向部材と、光偏向部材によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部と、分散素子の入射側に配置した２つ以上の偏向プリズムと、を備え、温度変化による、２つ以上の偏向プリズムから分散素子に向けて出射される順方向の光の出射角の変化の２次成分の絶対値と、温度変化前における順方向の光が分散素子から出射する光に沿った光であって、かつ、温度変化後における逆方向の光の分散素子から出射される光の、温度変化による出射角の変化の２次成分の絶対値と、が略一致する。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡便で、製造コストを小さくでき、解像度の低下を抑制する光走査素子を提供する。
【解決手段】アーム部１３ａ，１３ｂは、光を反射する平板状のミラー部１１と同じ水平位置に設けられ、梁部１２ａ，１２ｂを支持し、駆動されることによりミラー部１１を第１の方向に揺動させる。フレーム部１５は、ミラー部１１と異なる水平位置に設けられたそれぞれ一対のワイヤ固定部１７ａ〜１７ｆを有し、アーム部１１を支持する。サスペンションワイヤ１８ａ〜１８ｆは、ワイヤ固定部１７ａ〜１７ｆにおいて、フレーム部１５が第１の方向と直交する第２の方向の揺動可能なように、フレーム部１５を支持する。圧電膜１４ａ〜１４ｄは、アーム部１３ａ，１３ｂに設けられ、変位することによりアーム部１３ａ，１３ｂを駆動して、ミラー部１１を第１の方向に揺動させる。 （もっと読む）

【課題】駆動感度を損なうことなく、ミラー面垂直方向の加重に対する可動部の耐性が向上された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器１００は、ミラーユニット１１０と電極基板１４０を備えている。ミラーユニット１１０は、可動部１１２と一対の複合トーションバー１１４と一対の固定部１１６を備えている。一対の複合トーションバー１１４は、可動部１１２が固定部１１６に対して回転軸１１８の周りに回転変位すなわち傾斜し得るように可動部１１２と固定部１１６を機械的に接続している。各複合トーションバー１１４は、回転軸１１８に平行に延びている複数のトーションバーと、隣接する各二つのトーションバーの一端を互いに連結している複数の連結バーで構成されている。複数のトーションバーは、回転軸１１８に近いものよりも回転軸１１８から遠いものの方が高いねじり剛性を有している。 （もっと読む）

【課題】消費電力、製造コスト、面積が小さく、光ビームを大きな角度に２軸方向に走査可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】アーム部２３は、ミラー部２１がＸ軸方向の揺動可能なように、ミラー部２１を支持する。上層可動フレーム部２５は、アーム部２３を支持する。下層可動フレーム部３５は、上面に複数の凸部３２を有し、上面と上層可動フレーム部２５の下面との間に間隙を有するように、複数の凸部３２により上層可動フレーム部２５の下面に接合される。固定フレーム部（２０，３０）上層可動フレーム部２５及び前記下層可動フレーム部３５が、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向の揺動可能なように、上層可動フレーム部２５を支持する。 （もっと読む）

【課題】集光レンズの温度変化による屈折率変化を用いて、集光レンズの焦点距離を変化させ、温度が変化した際に変化する分散量を補正できる波長選択スイッチを提供すること。
【解決手段】波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部と、入力部からの光を受光し、光を波長ごとに分散させる分散素子と、波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素と、集光要素からの分散光を、波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子を有する光偏向部材と、光偏向部材によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部と、を備え、温度変化が生じた場合、分散素子が温度変化に伴って変化する分散量によって変化するビームスポット位置ずれを集光要素の温度特性による焦点距離の変化によって補正する。 （もっと読む）

【課題】集光レンズの温度変化による膨張及び収縮などで起こる焦点距離の変化を抑えることのできる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部と、入力部からの光を受光し、この光を分散させる分散素子と、分散素子により波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素と、集光要素によって集光された分散光を、波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子を有する光偏向部材と、光偏向部材によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部と、を備え、温度変化に対して、集光要素の膨張による焦点距離の変化を、屈折率の変化による焦点距離の変化によりほぼ相殺する硝材で構成する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの回動精度を保ちつつ、可動部に対する給電を円滑に行い得るミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラーアクチュエータ１は、支軸２４について回動可能なミラーユニットフレーム１１と、支軸１７に配されたミラー１９と、マグネットユニット２０とミラーユニットフレーム１１とを連結するサスペンションワイヤー２６ａ〜２６ｆと、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７とを連結するサスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄとを備える。サスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄ、２６ａ〜２６ｆにより、ミラーユニットフレーム１１に装着されたチルトコイル１１ｂと、支軸１７に装着されたパンコイル１２ｂ、１３ｂに給電でき、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７に対し、一定かつ安定的な抗力が付与される。 （もっと読む）

【課題】 温度変化が生じても分散特性の変化が十分に小さい分光装置などを提供すること。
【解決手段】順方向の光線が入射する順に、第１群の分散素子と、第２群の分散素子を有し、第１の温度Ｔ_１における順方向の光線の第１群の分散素子からの出射角をθ_４、第１の温度Ｔ_１とは異なる第２の温度Ｔ_２における順方向の光線の第１群の分散素子からの出射角をθ’_４、出射角の差分θ'_４−θ_４をΔθ_４、第１の温度Ｔ_１における順方向の光線が第２群の分散素子から出射する光路に沿った光線であって、かつ第２の温度Ｔ_２における逆方向の光線の第２群の分散素子からの出射角をθ”_５、第１の温度Ｔ_１における順方向の光線の第２群の分散素子への入射角をθ_５、出射角および入射角の差分θ”_５−θ_５をΔθ_５、とそれぞれするとき、Δθ_４とΔθ_５が略等しいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】波長選択スイッチにおいて、チャネルに依存しない波長ずれの変動を簡単な構成で補正する。
【解決手段】波長多重通信システムで使用される波長選択スイッチは、入力ポートに入射した波長多重信号を分波する波長分波部と、前記分波された各波長の光が入射する複数のスイッチング素子の配列を含み、前記各波長の光を任意の入力ポートから任意の出力ポートへ結合させる経路制御部と、前記出力ポートに結合された信号の一部をモニタする光チャネルモニタ部とを有し、前記光チャネルモニタ部は、前記波長多重信号の短波長側と長波長側の少なくとも一方の側でＡＳＥ光の一部を検出するＡＳＥ光検出部と、前記検出されたＡＳＥ光の中心の基準波長からのずれ量を算出するＡＳＥ光信号処理部とを有し、前記経路制御部は、前記ずれ量に基づいて、前記スイッチング素子配列に対する前記各波長の光の入射位置を相対的にシフトさせる駆動部、をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】エネルギー変換効率を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、一方の主面側に入射した第１レーザ光の一部を第１反射光として反射するとともに残りの一部を第１透過光として透過し、且つ、他方の主面に入射した第２レーザ光の一部を第２透過光として透過するとともに残りの一部を第２反射光として反射するミラーと、前記第１透過光と前記第２反射光との光軸、もしくは、前記第１反射光と前記第２透過光との光軸が略一致するように、前記ミラーへ前記第１および第２レーザ光を入射させる光学系と、前記第１透過光または前記第１反射光のビームパラメータを計測する第１計測部と、前記第２反射光または前記第２透過光のビームパラメータを計測する第２計測部と、前記第１計測部の計測結果に基づいて前記第１レーザ光を調整する第１調整部と、前記第２計測部の計測結果に基づいて前記第２レーザ光を調整する第２調整部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い共振周波数で駆動を行った場合であっても、非線形線振動の発生を低減しつつ、発生する応力を低減させ、ミラーの変形を防ぐことができる光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ミラー支持部２０を軸方向両側から捻れ梁３０により支持し、該捻れ梁３０の捻れにより前記ミラー支持部２０を軸周りに揺動させて駆動する光走査装置であって、
前記捻れ梁３０には、前記軸方向に略平行なスリット３１が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】衝撃に対する故障発生の低減を図ることのできるアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 本発明のアクチュエータ装置３０は、枠部材１と、枠部材１に梁部材３を介して回動可能に支持された可動部２とを備え、両梁部材３を回動軸として可動部２を枠部材１に対して回動させるアクチュエータ装置において、両梁部材３の回動軸線上にダンパー部材４を設けた。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部４２とを備え、可動板２を支持部３に対して変位可能に連結する連結部４を含む４つの連結部と、駆動部４１の中心に対して可動板２側の規制位置で第１の軸部４２が可動板２の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する１対の捩り梁部４４とを有し、駆動部４１の変位に伴って、１対の捩り梁部４４の規制位置を支点として第１の軸部４２を回動させる。 （もっと読む）

【課題】ポートを切り替える際に、切替元のポートと切替先のポートとの間に存在するポートへのクロストークを抑える。
【解決手段】出力ポート２０２−Ａに結合した状態から出力ポート２０２−Ｂに結合した状態に遷移する際に、最初に、出力ポート２０２−Ａのあらかじめ定められたヒットレスポイントに対応する電圧をミラー装置の電極に印加し（Ｓ１１０２）、次に、あらかじめ定められた中継ポイントに対応する電圧を印加し（Ｓ１１０３）、次に、出力ポート２０２−Ｂのあらかじめ定められたヒットレスポイントに対応する電圧を印加し（Ｓ１１０４）、最後に、出力ポート２０２−Ｂと結合状態になる電圧を印加する（Ｓ１１０５）。ヒットレスポイントと中継ポイントは、ポートを切り替えるときに、要求されるクロストークを下回るように設定される。 （もっと読む）

【課題】往復振動するミラー基板を有するマイクロミラー装置において、ミラー基板の重畳増加を最小限に抑えつつ剛性を向上させて、ミラー基板を高速で往復振動させた場合でも、該ミラー基板の動的変形を確実に防止する。
【解決手段】ミラー基板１０３は、一対の捻り梁１０２で揺動可能に支持され、該捻り梁１０２をねじり回転軸として往復振動する。このミラー基板１０３の光反射面とは反対側の裏面に、該ミラー基板１０３の動的変形を抑えるための構造補強部材１０４を設け、これを三次元規則配列多孔体で構成する。三次元規則配列多孔体は、多数の微粒子による最密充填構造体を形成した後に、前記微粒子とは異なる材料からなる物質を空隙に充填して固化し、その後、微粒子を選択的に除去することによって、該微粒子の占めていた領域が空隙として残された構造のいわゆるインバースオパール構造体である。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加を招くことなく、簡単かつ低コスト、軽量コンパクトな構成としながら、光減衰のある状態での透過帯域特性劣化を抑制する波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】入力部１０１と、入力部１０１からの光を受光し前記光を分散させる分散素子１０３と、集光要素１０４と、集光要素１０４からの前記分散光を波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子２００を有する光偏向部材１０５と、光偏向部材１０５によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部１０１と、を備えた波長選択スイッチ１００であって、複数の反射光学素子２００の各々が分散素子１０３によって波長ごとに分散される方向の少なくとも一方の端部２０２の面法線と、中心部分２０１の面法線とが、異なった角度を向いていることを特徴とする。 （もっと読む）