【課題】複数の波長選択スイッチを用いることなく、１つの波長選択スイッチを用いて、ポート数が多い波長選択スイッチを実現する。
【解決手段】第１方向にアレイ状に並び、波長多重光の入力部と出力部とを有する光入出力部と、入力部から入力された波長多重光をそれぞれの信号波長に分離する光分散手段と、信号波長に分離された光を集光させる集光要素と、集光要素により集光されたそれぞれの信号波長光を所望の出力部にスイッチングさせるよう第１方向に信号光を偏向させる光偏向素子アレイと、を備える波長選択スイッチであって、ｍを整数とするとき、入出力部がｍ個のグループに分かれ、入出力部のｍ個のグループに対応するように光偏向素子アレイが第１方向にｍ個配列されており、光分散手段が、入出力部のｍ個のグループにおいて共通である。 （もっと読む）

【課題】複数チャンネルのＷＤＭ光から所望のチャンネルの所望の波長を選択することができる光可変フィルタアレイ装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバ１１−１〜１１−ｍからの波長λ１〜λｎから成るｍチャンネルのＷＤＭ信号光を凹面鏡１６を介して波長分散素子１７に入射する。波長分散素子１７は入射光をその波長に応じて異なった方向に分散させ凹面鏡１８に加える。凹面鏡１８では光の各チャンネルの光を帯状に平行とすることによりチャンネルと波長に応じてｘｙ平面に展開する。波長選択素子１９は格子状に形成された画素構造であり、選択すべき各チャンネルと波長に応じた位置の画素を反射状態とする。波長選択素子１９で反射した光は同一の経路を介して光ファイバ１５−１〜１５−ｍより出射される。波長選択素子１９の反射特性を各画素毎に変化させることによって、任意のＷＤＭ光の任意の波長を選択することができる。 （もっと読む）

【課題】複数チャンネルのＷＤＭ光から所望のチャンネルの所望の波長を選択することができる光可変フィルタアレイ装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバ１１−１〜１１−ｍからの波長λ１〜λｎから成るｍチャンネルのＷＤＭ信号光を波長分散素子１７に入射する。波長分散素子１７は入射光をその波長に応じて異なった方向に分散させレンズ１８に加える。レンズ１８では光の各チャンネルの光を帯状に平行とすることによりチャンネルと波長に応じてｘｙ平面に展開する。波長選択素子１９は格子状に形成された画素構造であり、選択すべき各チャンネルと波長に応じた位置の画素を反射状態とする。波長選択素子１９で反射した光は同一の経路を介して光ファイバ１５−１〜１５−ｍより出射される。波長選択素子１９の反射特性を各画素毎に変化させることによって、光フィルタの特性を変化させ、任意のＷＤＭ光の任意の波長を選択することができる。 （もっと読む）

【課題】従来のミラー部のサイズに比べて装置全体のサイズを小さくできる、圧電駆動方式の光走査装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光ビームを反射するミラー部２と、圧電素子を備えて圧電駆動部として機能する可動支持体３Ａ〜３Ｄと、可動支持体３Ａ〜３Ｄを囲む固定枠部４とを備え、ミラー部２と可動支持体３Ａ〜３Ｄの互いに近接する端部の内側角部とを連結するトーションバー５、６で可動支持体３Ａ〜３Ｄの内側にミラー部２を軸支し、トーションバー５、６と軸方向が直交するように固定枠部４と可動支持体３Ａ〜３Ｄの前記内側角部と対角位置にある各外側角部とを連結するトーションバー機能を有する連結部７Ａ〜７Ｄで固定枠部４の内側に可動支持体３Ａ〜３Ｄを軸支し、圧電素子に駆動信号を印加してミラー部２を揺動駆動する構成とした。 （もっと読む）

【課題】電界シールド基板と板ばねとの衝突を防止し、素子の歩留りを向上させる。
【解決手段】ＭＥＭＳ素子は、ミラー基板１００と、ミラー基板１００と対向して配置される電極基板２００と、ミラー基板１００に接合される電界シールド基板３００ａと、ミラー基板１００に対して変位可能に形成された可動電極である板ばね１０５ａと、電極基板２００上に形成された固定電極である板ばね駆動電極２０１ａと、電界シールド基板３００ａのミラー基板１００と対向する側の面上に形成され、ミラー基板１００の開口部１０１に嵌挿されるシールド電極３０２とを備える。電界シールド基板３００ａの水平方向の大きさは、開口部１０１の水平方向の大きさよりも大きく、シールド電極３０２の厚さは、開口部１０１の深さと同じかあるいは開口部１０１の深さよりも薄い。 （もっと読む）

【課題】基板の上面と可動部の下面が対向しており、基板の上面が可動部の揺動軸に近い側で高く、遠い側で低くなる向きに傾斜している光偏向装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 上面の高さを高くする部分ではエッチングホールが小さく、上面の高さを低くする部分ではエッチングホールが大きいという規則に従っている複数のエッチングホールを有するエッチング用マスクを材料ウェハの上面に形成するエッチング用マスク形成工程と、エッチングホールを通して材料ウェハを異方性エッチング処理する異方性エッチング工程と、異方性エッチング工程の後にエッチングホールを通して材料ウェハを等方性エッチング処理し、材料ウェハの上面に傾斜面を形成する等方性エッチング工程と、材料ウェハの傾斜面に犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、犠牲層の上面に可動部およびミラーを形成する可動部形成工程と、可動部形成工程の後に犠牲層を除去する犠牲層除去工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ミラーを振動可能に維持する可動枠と、可動枠を振動可能に維持する支持枠とを有する２次元光スキャナにおいて、空気の逃げ道のためにミラーと可動枠との間及び可動枠と支持枠との間に空虚を設けていたので装置が大型化していた。
【解決手段】空洞部１１ａを有する半導体基板の可動枠１１にミラーＭ、ミラーＭを振動可能に支持する１対のトーションバー１２ａ、１２ｂ、２対の圧電アクチュエータ１３ａ、１２ｂ；１４ａ、１４ｂを形成する。空洞部２１ａを有する半導体基板支持枠２１に、可動枠１１、可動枠１１を振動可能に支持する１対のトーションバー２２ａ、２２ｂ、２対の圧電アクチュエータ２３ａ、２３ｂ；２４ａ、２４ｂを形成する。空気の逃げ道として、可動枠１１に複数の貫通孔１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動型の光偏向装置の可動部の傾き角を検出する磁気センサの検出信号から、駆動用の電磁石に由来するノイズを除去する。
【解決手段】光偏向装置は、可撓梁によって基板に揺動可能に支持されている可動部と、可動部に固定されているミラーと永久磁石を備えている。可動部の揺動軸に沿う方向を第１方向とし、それに直交する方向を第２、第３方向としたときに、第２方向において永久磁石を挟んで対向している第１磁極と第２磁極とを有している電磁石と、磁気センサを備えている。とともに、第３方向の磁束密度成分を検出する磁気センサは、電磁石に通電したときに発生する磁束の第３方向成分がゼロとなる位置におかれている。 （もっと読む）

【課題】基板の伸びとマイクロ構造体の伸びの差などによる応力の弾性支持部への伝達が低減されたマイクロ構造体を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体１８は、電極基板などの基板９と、基板９に支持部１を固定する１つのポスト１０と、支持部１の外周に枠状に配置される可動部５と、可動部５と支持部１とを弾性的に連結する弾性支持部２、３、４を有する。弾性支持部２、３、４は、支持部１に対して枠状の可動部５を可動に支持する。弾性支持部は、ねじりバネ２、４、弾性変形可能な連結部３などにより構成される。 （もっと読む）

【課題】可動部の設計変位を生じ易くしながら、意図しない変形は生じ難くすることが可能なマイクロ構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体は、基板９と、基板９に固定された固定支持部４と、第１の可動部６と、第２の可動部３と、第１の可動部６と固定支持部４とを弾性的に連結する弾性支持部５を有する。第２の可動部３は第１の可動部６に固定され、第１の可動部６と第２の可動部３は、弾性支持部４により、固定支持部４に対して一体的に変位可能に弾性支持される。 （もっと読む）

【課題】温度変化が起きて分散素子の分散特性が変化したとしても、正確なスイッチングができる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】基板を備えた波長選択スイッチであって、基板上に、波長選択スイッチ内に波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部と、入力部からの光を受光し、光を分散させる分散素子と、分散素子によって分散された光を波長ごとに集光する集光要素と、集光要素からの波長ごとの光を波長ごとに独立に偏向可能な、複数の偏向素子を有する光偏向部材と、光偏向部材によって偏向された波長ごとの光を受光する出力部と、分散素子、集光要素、及び光偏向部材の少なくともひとつを駆動させる駆動機構と、を備え、駆動機構による駆動は、分散素子の場合は基板に対して垂直な軸の周りの回転駆動であり、集光要素もしくは光偏光部材の場合は基板に対して波長分散方向の並進である。 （もっと読む）

【課題】ビーム径を変化させることなく、透過帯域の拡大を実現することができる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチ（５００）は、波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部（５０１）と、入力部（５０１）からの光を受光し光を分散させる分散素子（５０３）と、波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素（５０４）と、集光要素（５０４）からの分散光を波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子（１０１）を有する光偏向部材（５０５）と、光偏向部材（５０５）によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部（５０１）と、を備え、複数の反射光学素子（１０１）の少なくとも一つの分散素子（５０３）により分散される方向の端部の少なくとも一部に、反射光学素子の中心領域に対して反射率の高い領域を形成する。 （もっと読む）

【課題】実質的に透明なスクリーンを用いて観察者の興味を効果的に引き付けることのできる画像形成装置および背面投影型表示装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１は、表示面１１ａを有するスクリーン１１と、表示面１１ａに光を走査することにより画像を描画するプロジェクター１２とを有している。スクリーン１１は、表示面１１ａの各部位にて独立して、光を透過する光透過状態と光を拡散する光拡散状態とを選択でき、アドレス光が照射された部位が光拡散状態となる。プロジェクター１２は、表示面１１ａの当該表示面１１ａに表示する画像に対応した領域が光拡散状態となるようにアドレス光ＬＬ’を表示面１１ａにベクター走査するベクター走査部と、画像を表示するための表示光ＬＬ”をラスター走査するラスター走査部とを有している。 （もっと読む）

【課題】 エッチング技術を利用して積層基板を加工することにより、変位部と対向部を有するＭＥＭＳ構造体を製造する。
【解決手段】ＭＥＭＳ構造体１には、導電体下層２と絶縁体下層３と導電体中間層４を貫通する第１エッチング溝７ａと、導電体上層６と絶縁体上層５と導電体中間層４を貫通する第２エッチング溝７ｂが形成されている。第１エッチング溝７ａは、変位部４ａの輪郭の一部を形成する。第２エッチング溝７ｂも、変位部４ａの輪郭の一部を形成する。積層方向から観測したときに、第１エッチング溝７ａの少なくとも一部は、第１延長部６ａと重複する範囲に設けられている。 （もっと読む）

【課題】３自由度連成振動系を構成した光走査装置において走査範囲を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、ミラー１３、内ジンバル１２、外ジンバル１１、支持部３、弾性連結部１６ａ，１６ｂ、弾性連結部１５ａ，１５ｂ、及び弾性連結部１４ａ，１４ｂが、固有の周期的外力が作用した場合に大きい回転角で捩じり振動する３自由度連成振動系を構成する。このため、櫛歯電極部１７，１９と櫛歯電極部４ａ，４ｂとの間に電圧を印加して、固有の周期的外力を外ジンバル１１に作用させることにより、３自由度捻り振動子を共振状態にできる。そして、ミラー１３の振幅角を大きくするために、｛（ミラー１３のねじりバネ定数Ｋ１）／（ミラー１３の慣性モーメントＩ１）｝＞｛（外ジンバル１１のねじりバネ定数Ｋ３）／（外ジンバル１１の慣性モーメントＩ３）｝となるように光走査装置１を構成する。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーに対するミラー基板の歪みの影響を防ぐことができるマイクロミラーアレイを提供する。
【解決手段】ミラー基板１３には、応力緩和部１６が設けられている。これにより、マイクロミラー１５ａ〜１５ｎに対するミラー基板１３の歪みの影響が緩和される。結果として、マイクロミラー１５ａ〜１５ｎに対するミラー基板１３の歪みの影響を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】光走査領域の近傍に設置しても、大きな光走査領域を確保することのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１００は、レーザー光ＬＬを出射する光出射部２００と、光出射部２００から出射したレーザー光ＬＬを反射する光反射部２２を有し、光反射部２２を互いに直交する回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ回動させて、光反射部２２で反射したレーザー光ＬＬを回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ走査する光スキャナー１と、回動中心軸Ｘ１、Ｙ１の交点と光出射部２００との相対的位置関係を一定に保ちつつ、光スキャナー１を所定の軸線まわりに回動させる駆動手段３００とを有している。 （もっと読む）

【課題】集光レンズを動かすことなく集光レンズの中心をレーザ光線の光軸が通るように調整することを可能とする。
【解決手段】発振器４２から発せられたレーザ光線ＬがＹ方向調整ミラー４３、Ｘ方向調整ミラー４４、角度調整ミラー４５をそれぞれ反射して集光レンズ４７に導かれる構成において、Ｙ方向調整ミラー４３をＹ方向に移動可能に、Ｘ方向調整ミラー４４をＸ方向に移動可能に設け、これらミラー４３，４４を移動させるとともに、必要に応じて角度調整ミラー４５によるレーザ光線Ｌの反射角度を調整して、レーザ光線Ｌの光軸を集光レンズ４７の中心に通す調整を行う。レーザ光線Ｌの光軸の方を動かすことにより、集光レンズ４７を動かすことなく集光レンズ４７の中心にレーザ光線Ｌの光軸を通すことができる。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期にわたって安定させる。
【解決手段】電極、静電力により電極に引き付けられて揺動する可動部、および、可動部に支持されて可動部と共に揺動する反射鏡をそれぞれが有する単位素子を複数実装された基板と、反射鏡の間から基板に向かって差し込む光を遮断する遮光層とを備える。上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および基板の間に配されてもよい。また、上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および可動部の間に配されてもよい。 （もっと読む）

【課題】
従来のレーザー光線反射鏡はポリゴンミラー、ガルバノメータ、静電駆動ミラー等があり、近年ではディスクリート、コイル、磁石、ジンバルを用いた駆動ミラーと、発展して来たが、駆動力、生産性（歩留り）、耐久性、振動特性に問題があった。
これは、ピポット／スクリューを一括してゴム系ポッテングをしてしまった為の影響であり同時に駆動力が弱いのもヨークを採用しない為であった。
【解決手段】その方策としてヨークを確実に４個取り付ける構造と、ピボット、ゴム板、ピボットスクリュウを別々に設けスクリュウネジを回す構造にした事により、駆動力の向上と、振動特性の向上が計られた。と共に回転角を制御する事により耐久性、生産性が向上した。 （もっと読む）