【課題】偏向面駆動部。
【解決手段】第１走査部、第１走査部を第１方向に平行な軸周りに回転自在に保持する第２走査部、第２走査部を第２方向に平行な軸周りに回転自在に保持するフレームを備える。第１走査部は、偏向面、第２方向に突出した櫛歯で構成された第１櫛歯部を有する。第２走査部は、第２方向に突出した櫛歯で構成された第２櫛歯部、第１方向に突出した櫛歯で構成された第３、第４櫛歯部を有する。フレームは、第１方向に突出した櫛歯で構成された第５、第６櫛歯部を有する。第１櫛歯部を構成する櫛歯は第２櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第３櫛歯部を構成する櫛歯は第５櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第４櫛歯部を構成する櫛歯は第６櫛歯部構成する櫛歯と交互に配置される。第１、第３、第４櫛歯部、及び偏向面は、第１方向に並べられ、第３櫛歯部は第１櫛歯部より偏向面に近い側に、第１櫛歯部は第４櫛歯部より偏向面に近い側に配置される。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】ミラー装置２では、ミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、上述したように可動枠連結部２１１ｂの側、すなわちＹ方向に平行移動した位置に設けられており、ミラー回動軸ｍがミラー２３０の重心Ｇを通らない。このため、ミラー回動軸ｍ上において、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ａ側の端部とミラー回動軸との距離は、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ｂ側の端部とミラー回動軸との距離よりも長くなる。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄに一様な電圧（以下、バイアス電圧という）を印加してミラー２３０に吸引力が働くと、点線で示すように、ミラー２３０は、可動枠２２０と基部３１０側に引き寄せられるとともに、ミラー回動軸を回動中心として傾き、可動枠連結部２１１ａ側の端部が基部３１０側に引き寄せられた状態となる。 （もっと読む）

【課題】波長モニタ部における光信号の復旧の前後での制御の遅れによる影響を回避できる波長選択光スイッチを提供する。
【解決手段】複数の入力ポートから入力した波長多重分割信号光に対して各波長の光に分岐する第１の波長分岐部と、複数の入力ポートのいずれから、複数の出力ポートのいずれかに結合を経路選択制御する光信号処理部を有する波長選択光スイッチであって、前記複数の入力ポートの波長多重分割信号光のそれぞれの波長に対して１/Ｎ（Ｎは２以上の整数)の帯域の波長を持つモニタ光の光源と、前記モニタ光を前記入力ポートに入力する信号光に重畳する入力側カプラと、前記光信号処理部により経路選択された前記信号光とモニタ光を分離する出力側カプラと、分離したモニタ光を各波長の光に分岐する第２の波長分岐部と、分岐したモニタ光の強度を検出する検出部を有し、モニタ光の減衰率を検出することで、前記信号光の減衰率をモニタする。 （もっと読む）

【課題】良品歩留まりの高い状態でミラー基板が形成できるようにする。
【解決手段】ミラー基板２３００では、基部２３０１，連結部２３３２ａ，連結部２３３２ｂ，可動枠２３０３，ミラー連結部２３３４ａ，ミラー連結部２３３４ｂ，及びミラー２３３５の各間隙に、充填された状態で保護層２３０７ａを備えている。これにより、上述した構造体が回動などの動作を抑制された状態となり、外部からの機械的振動による破損や損傷から保護されるようになる。 （もっと読む）

【課題】ミラー装置及び複数のミラー装置を２次元的に配置したミラーアレイにおいて、近接する配線からの干渉による予期しないミラーの傾斜角の変動を抑制する。
【解決手段】ジンバル１１０２の回動軸と直交する方向に、配線１００５−１〜１００５−４，１００６を設ける。これにより、配線１００５−１〜１００５−４，１００６からの干渉による予期しないミラー１１０３の傾斜角の変動を抑制することができ、ミラー１１０３から配線１００５−１〜１００５−４，１００６を離すことで、この抑制効果をさらに高めることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】可動枠連結部２１１ａ，２１１ｂ及びミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、対となる部材同士でバネ定数が異なる。これより、初期状態で所定の角度だけ傾いた状態となるため、結果としてミラーの傾動角度を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】光スイッチに設けられる一対のミラーアレイにおいて、駆動電圧の高電圧化や製造の難しさを回避しつつ、ミラーを効率的に配置する。
【解決手段】ミラーアレイ２２０３ａ，２２０３ｂのミラー２０３の配置をミラーの傾斜角θの異方性を考量して最適化する。これにより、駆動電圧を高電圧化することなく、ミラー１５３の走査可能領域を有効利用することができ、効率的なミラー配置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】電極３４０ａ〜３４０ｄは、電極基板３００上に投影したミラー２３０の可動枠回動軸及びミラー回動軸の少なくとも一方に対して自身が対称とならない基部３１０上の位置に形成される。このため、ミラー２３０の中心軸（一点鎖線で示す）と電極３４０ａ〜３４０ｄの中心軸（二点鎖線で示す）とは、一致しない。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄにバイアス電圧をかけると、ミラー２３０には、電極３４０ａ〜３４０ｄと対向する部分に引力が働くため、ミラー２３０の中心軸に対して垂直な状態（点線で示す）から所定の角度だけ傾いた状態となる。 （もっと読む）

【課題】隣り合う素子における揺動部について近接配置するのに適した二軸型のマイクロ揺動素子、並びに、そのようなマイクロ揺動素子を備えるマイクロ揺動素子アレイおよび光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ１は、揺動部１０と、フレーム２０と、揺動部およびフレーム２０を連結して揺動部１０の揺動動作の軸心Ａ１を規定する一対の連結部４０と、支持基部３０Ａおよびこれから揺動部１０の側に延出するアーム部３０Ｂを有するフレーム３０と、フレーム２０，３０を連結してフレーム２０の揺動動作の軸心Ａ２を規定する一対の連結部５０Ａ，５０Ｂとを備える。連結部５０Ａは、揺動部１０および支持基部３０Ａの間においてフレーム２０とアーム部３０Ｂとに接続し、連結部５０Ｂは、揺動部１０および支持基部３０Ａの間においてフレーム２０と支持基部３０Ａまたはアーム部３０Ｂとに接続している。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーアレイにおいて、マイクロミラー素子の配列に制限を伴うことなく、２軸を中心に回動するミラーのミラー占有率を高める。
【解決手段】２軸を中心に回動するミラー３と、外フレーム８に接続されミラー３を支持する支持部（７，９）とを備えるマイクロミラー素子２を複数個配列してなるマイクロミラーアレイ１において、支持部（７，９）の幅Ｗ２は、ミラー３の幅Ｗｍと略同一又はそれ以下であり、支持部（７，９）は、ミラー３と反対側の端部が外フレーム８に接続され、
ミラー３側の端部はミラー３よりも外フレーム８との接続位置側に位置する構成とする。 （もっと読む）

【課題】半導体機械構造体において、外部から衝撃が加わってもヒンジが破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、ＳＯＩ基板２００からなる半導体部１００と、半導体部１００の上面、下面に接合されたガラス基板を用いてなる上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を有している。半導体部１００において、可動部５０は、第１ヒンジ５により固定フレーム４に揺動可能に軸支されている。上部保護基板１１０の凹部１１２ａには、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１１５が突設されている。下部保護基板１２０の凹部１２１には、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１２５が突設されている。ストッパ１１５及びストッパ１２５が設けられていることにより、可動部５０のｚ方向の変位が制限され、外部から衝撃が加わっても第１ヒンジ５の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】半導体機械構造体において、気密性を確保すると共に各部を絶縁分離し、且つ、製造コストを低くする。
【解決手段】光走査ミラー１は、ＳＯＩ基板２００からなる半導体部１００と、半導体部１００の上面、下面に接合されたガラス基板を用いてなる上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を有している。半導体部１００は、ＳＯＩ基板２００の第１シリコン層２００ａに形成され、ミラー面２０が搭載された可動部５０を有している。第１シリコン層２００ａはトレンチ１０１ａ，１０１ｂ等の絶縁分離部が形成されることにより複数の部位に絶縁分離され、各部位の電位を変更して可動部５０の櫛歯電極７，８に電圧を印加可能である。トレンチ１０１ａ，１０１ｂ等の絶縁分離部は半導体部１００の外周側部に露出せず、上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を半導体部１００に接合することにより、光走査ミラー１の内部の気密を容易に確保可能である。 （もっと読む）

【課題】高速駆動が可能でかつミラー面の動撓みを低減可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備え、ミラーにダイヤモンドライクカーボン膜を形成したことを特徴とするマイクロミラーデバイスが提供される。 （もっと読む）

【課題】ミラー表面の平滑性を向上させたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイスは、トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備える。ミラーは、母材と、母材の表面粗さを平滑化するための平滑化層と、平滑化層の上に形成された反射面とを備える。 （もっと読む）

【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型アクチュエータを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナ１００は、正十二角形柱である可動体１１０と、可動体１１０の周囲に設けられるＸ方向支持体１２０、１３０と、可動体１１０とＸ方向支持体１２０、１３０とを接続するＸ方向接続体１４０、１５０と、Ｘ方向支持体１２０、１３０の周囲に設けられるＹ方向支持体１６０、１７０と、Ｘ方向支持体１２０、１３０とＹ方向支持体１６０、１７０とを接続するＹ方向接続体１８０、１９０とから主に構成される。第１から第４のＸ正方向駆動電極１２１、１２２、１２３、１２４は、可動体１１０の中心を通るいずれの直線に対しても互いに対称とならないように配置される。 （もっと読む）

【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型アクチュエータを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナ１００（静電駆動型アクチュエータ）は、円盤形状の第１の可動部２００と、第１の可動部２００を取り囲む環状の第２の可動部３００と、第２の可動部３００を取り囲む環状の枠部４００とから主に構成される。第１の可動部２００の外周面２０２と第２の可動部３００の内周面側切欠３１１、３１２とを接続する第１の支持部５０１、５０２が設けられる。第１の支持部５０１、５０２は、直方体の板状部材を幅方向に幾重にも折り畳んだ形状であって、捻り方向に弾性を有し、第１の支持部５０１、５０２を軸として第２の可動部３００に対し揺動可能に第１の可動部２００を支持する。Ｘ方向電極７００は、円盤を直径で二分して得られる２つの略半円７０１、７０２からなる。Ｙ方向電極８００は、環形状を直径で二分して得られる２つの略半輪からなり、内周にＸ方向電極７００を納める。 （もっと読む）

【課題】電極と可動部との接触を防止することが可能な静電駆動型アクチュエータを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナ１００は、可動部１１０と電極部１２０とから構成される。電極部１２０は、第１の可動部２００を駆動するためのＸ方向電極と、第２の可動部３００を駆動するためのＹ方向電極８００とから成る。Ｘ方向電極及びＹ方向電極８００は、電極基板１２１に設けられ、電極基板１２１の表面に穿たれた凹部の底部に設けられる。Ｘ方向電極は、円盤を直径で二分して得られる２つの略半円であるＸ正電極７０１とＸ負電極７０２からなり、それぞれにＸ正突起７２１及びＸ負突起７２２が設けられる。第１の可動部２００の軸方向から見たとき、Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２は、Ｘ方向電極の中心軸上に中心を置く円上に設けられる。可動部１１０の回転角度が大きくなると、可動部１１０はＸ正突起７２１と衝突する。 （もっと読む）

【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型光スキャナを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナは、可動部と電極部１２０とから構成される。電極部１２０が設けられる層の下、つまり可動部と対向する面の裏と対向する位置に、配線層９００が設けられる。配線層９００には、Ｘ正配線９７１、Ｘ負配線、Ｙ正配線９８１、及びＹ負配線９８２が設けられる。Ｘ正配線９７１は、Ｘ正電極７０１の裏まで延び、Ｘ正接続ビア７１１によりＸ正電極７０１と電気的に接続される。Ｘ負配線も同様にしてＸ負接続ビア７１２によりＸ負電極７０２と電気的に接続される。Ｙ正配線９８１は、Ｙ正配線接続部８１１の裏まで延び、Ｙ正接続ビア８１３によりＹ正配線接続部８１１と電気的に接続される。Ｙ負配線９８２も同様にしてＹ負接続ビア８１４によりＹ負配線接続部８１２と電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】駆動効率の向上及びデバイスの小型化が可能な、電磁駆動型の光スキャナ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性連結部１３を捩り変形させながら可動板１１を回動させることにより、可動板１１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置の製造方法であって、デバイス基板２０に、可動板１１、弾性連結部１３、及びコイル１５を形成する第１の工程と、デバイス基板２０上の、支持枠１２の境界にミシン目Ｆを形成する第２の工程と、支持枠１２をデバイス基板２０を支持するための支持基板３０に固定することにより、デバイス基板２０と支持基板３０を接合する第３の工程と、デバイス基板２０の一部をミシン目Ｆに沿って切り離し、除去する第４の工程と、支持基板３０上の、第４の工程でデバイス基板２０の一部を除去した領域に、コイル１５に磁界を与えるための永久磁石１４ａ，１４ｂを配置する第５の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、機軸方向を含む広範囲において、空間安定性能を有し、小型で、かつ大きい受信開口径を有する視軸指向装置を得る。
【解決手段】クーデ光学系を構成する第１乃至第４ミラー７〜１０が、レーザ光Ｌを放射するとともに、目標物からの反射光を入射する第１レンズ１１と、第１レンズ１１に入射した目標物からの反射光をレーザ光送受信部４に集光する第２レンズ１３との間に配設され、第１レンズ１１と協働してアフォーカル光学系を構成する第３レンズ１２が第３ミラー９と第４ミラー１０との間に配設されている。第１ミラー７が第１ミラー回転手段１５により第１ミラー回転軸ＭＡまわりに回転可能に、第１レンズ１１が第１レンズ回転手段１６により第１ミラー７の回転動作に連動して第１ミラー回転軸ＭＡまわりに回転可能に、第１ミラー７と第１レンズ１１とがジンバル装置１７により一体にジンバル回転軸ＧＡまわりに回転可能になっている。 （もっと読む）