【課題】耐久性に優れるとともに、所望の振動特性を有するアクチュエータを提供すること、かかるアクチュエータを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、枠状をなす支持部２９と、この枠状をなす支持部２９の内側に設けられた光反射部２２１を有する可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持するように支持部２９と可動板２２とを連結する２組の連結部２０、２１とを有し、連結部２０は一対の弾性部材２５、２６を有し、連結部２１は一対の弾性部材２７、２８を有するものであって、弾性部材２５〜２８上には接合膜３を介して圧電素子５１〜５４が接合されている。この接合膜３は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】振動部と磁性体とを設計する際の設計自由度を確保することができ、振動部と磁性体とを接合した際の接合強度および寸法精度が高いアクチュエータ、および、かかるアクチュエータを有する画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、回動可能に支持された可動板２１と、可動板２１に設けられた磁石２１２と、磁石２１２の近傍で、通電により磁界を発生させるコイル２１２とを備えている。磁石２１２は、可動板２１に接合膜５ａを介して接合されており、接合膜５ａは、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜５ａは、その少なくとも一部の領域にエネルギを付与したことにより、接合膜５ａの表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜５ａの表面の領域に発現した接着性によって、可動板２１と磁石２１２とを接合している。 （もっと読む）

【課題】異なる共振周波数のマイクロ揺動体を同じエッチングマスクで製造することができ、有効反射面積の低下及び共振周波数の製造ばらつきを抑制することが可能となる揺動体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板に、個々の揺動体が複数連結された繰り返し形状によるパターンを有するエッチングマスクを形成する工程と、エッチングマスクをマスクとして、単結晶シリコン基板をエッチングし、単結晶シリコン基板に繰り返し形状を形成する工程と、個々の揺動体として用いられる際に必要とされる共振周波数を規定する揺動体の可動部６及び支持基板の幅を決定し、ダイシングによって切断するダイシング工程と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および省電力化を図りつつ波長リップルを抑制すること。
【解決手段】入力ポート１１１および出力ポート１１２〜１１４は光を入出力する。回折格子１２０は、入力ポート１１１から入力された光を波長に応じて分光する。ミラー１４１〜１４３は、回折格子１２０によって分光された光の分光方向に並べて設けられ、分光された光をそれぞれ反射させる。制御部１５０は、出力ポート１１２〜１１４のうちの、ミラー１４１〜１４３の各反射光が結合する出力ポートが切り換わる方向にミラー１４１〜１４３の反射角度を変化させる。また、制御部１５０は、ミラー１４１〜１４３の反射角度を分光方向に変化させて、反射光が出力ポート１１２〜１１４のいずれかに結合する位置をずらして反射光を減衰させる。フィルタ１６０は、反射光のうちの、ミラー１４１〜１４３の分光方向の端部によって反射して回折した成分を減衰させる。 （もっと読む）

【課題】振動子駆動用の共振回路に印加するパルス状の電圧などから共振電流を発生させることで、印加電圧のみの場合に比べて振動子駆動用コイルに流れる電流を大きくできる揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、揺動軸の回りに揺動可能に支持された振動子25と、振動子25を駆動するための駆動手段30、40とを備える。駆動手段は、変調する磁場を発生するためのコイル30を含み、コイル30は、電源70に対してコンデンサ50と並列に接続されて共振回路を構成する。 （もっと読む）

【課題】 小型軽量であって、ユーザの頭部に日常的に装着可能であり、重度の弱視、近視、老眼などの視力障害を有するユーザであっても、映像や文字情報を見ることができる網膜投影ディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】 瞳孔２を通して網膜３に直接画像を投影するマクスウエル視を利用した網膜投影ディスプレイ装置１であって、ディジタル化された画像データを出力する画像データ出力部１０と、画像データ出力部１０から出力された画像データに応じてレーザ光を出力するレーザ光源部２０と、画像データ出力部２０から出力された画像データに応じて駆動され、レーザ光源部２０から出力されたレーザ光をユーザの瞳孔に向けて反射するＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)走査ミラー部３０を備える。 （もっと読む）

【課題】回動角ドリフトの影響を軽減し、出力光パワーの減少を低減することができる光スイッチを提供する。
【解決手段】駆動部５１によりマイクロミラー装置３ａ，３ｂの全ての電極３６０ａ〜３６０ｄに所定の電圧を印加して所定時間経過後に、入力ポート１ａからの入力光を出力ポート１ｂから出力させるための駆動電圧を、ＬＵＴ５４ｂに記憶させる。駆動部５１は、そのＬＵＴ５４ｂを参照して駆動電圧をマイクロミラー装置３ａ，３ｂに供給して、所定の入力ポート１ａに入力された入力光を選択的に任意の出力ポート１ｂから出力させる。これにより、ドリフトの影響を半減できる。また、電極ごとの電圧ドリフト量に対応した誤差補正電圧を印加することが可能となるので、結果として、スイッチング動作時のミラー回動角誤差による光パワー損失の増大を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】長寿命化及び応答速度の高速化を図り、しかも、被駆動体自体を変形させずに被駆動体の向きのみを変更することを可能にし、更には静定時間を短縮して駆動をより高速化する。
【解決手段】板状部材２の両端を脚部３を介して基板１に対して固定する。板状部材２は、基板１に対して固定された箇所間で撓み変形可能である。被駆動体であるミラー４が、接続部１１を介して、板状部材２の撓み変形可能な領域の所定部位に、局所的に機械的に接続される。板状部材２の中央部と対向する領域において、基板１上に固定電極５が設けられる。固定電極５とこれに対向する板状部材２の可動電極との間に電圧を印加して両者の間に静電力を発生させると、ミラー４自体は変形することなく、ミラー４の傾きが変化する。基体における板状部材２との対向領域が平坦化され、基板と板状部材２との間の間隔が狭められる。 （もっと読む）

【課題】揺動体の中立位置を調整して、それによる反射光ビームの照射位置の調整やそれと対象物間の距離の調整などを可能とした揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、中立位置を挟んで揺動軸2の回りに揺動可能に支持された揺動体1と、駆動手段4、5、6と、位置調整手段4、7、8とを有する。駆動手段は、揺動体1を揺動軸2の回りに揺動させるための手段であり、位置調整手段は、揺動体1の中立位置を調整するための手段である。 （もっと読む）

電荷をトラップし保持する電極（７１２，７１４）間の材料（７２２）を有する容量性ＭＥＭＳデバイスが、形成される。この材料が、いくつもの構成で実現されることが可能である。これが、異なるバンドギャップエネルギー又はバンドエネルギーレベルの領域を有する多層誘電性積層体であることが可能である。誘電体材料が、それ自身がトラップ機能を有することが可能である、すなわち、欠陥又はトラップ部が材料内にプレ−作製される。他の構成が、誘電体層の禁止ギャップ内にエネルギーレベルを有する導電材料の薄層を含む。このデバイスが、材料（７２２）内における電荷貯蔵を有利に使用する方法によって、プログラムされてよく（すなわち、オフセット及びしきい電圧がプレ−設定される）、干渉型変調器（１２ａ，１２ｂ）が、ヒステリシス曲線がシフトする方法などで、プレ−帯電され、変調器の作動電圧しきい値が、十分に低い。
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【課題】
電磁駆動方式で２軸ミラーを駆動する従来のミラーデバイスは、可動ミラーの面内方向外側に磁場発生源である磁石を配置する構造であったため、デバイス全体が可動ミラーの面内方向に大きく、実装領域が狭い装置に実装することが難しかった。
【解決手段】
２軸の電磁駆動ミラーを用いたミラーデバイスにおいて、駆動に必要な磁石をミラー反射面の裏面に配置する。第一の基板に第一の梁を介して支持され、上記第一の梁を捻る方向に回転モーメントを与えることにより回転可能な可動枠と、上記可動枠に第二の梁を介して支持され、上記第二の梁を捻る方向に回転モーメントを与えることにより回転可能であり、上記可動ミラーの光反射面の裏面と対向する位置に磁場発生源を配置した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラー部７のＹ軸を中心とした回動角を大きくすることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成する為、本発明は、第一振動部８Ａ、８Ｂとミラー部７との連結構造体１３は、一つの第一振動部８Ａと可動枠９との接続部位を固定端１４とした片持ち梁構造であるものとした。これにより本発明は、ミラー部７と第一振動部８Ａ、８Ｂの動きの自由度が高まり、結果としてミラー部７のＹ軸を中心とした回動角を大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】高速に光接続強度の最適値を求める。
【解決手段】摂動パターン設定部１０２は、摂動パターンに基づいてミラーを摂動させる。誤差演算補正部１０４は、操作量Ｖ_xおよび操作量Ｖ_yならびに検出部７により検出される出力光の光強度を座標軸とする３次元空間における光強度分布形状に対して仮定した曲面形状数式モデルの各次数の係数を光強度分布関数曲面形状を同定することにより決定し、当該曲面形状の最大値に基づいて１の入力ポートと１の出力ポートに対する最適な操作量を演算する。スイッチング部１０１は、誤差演算補正部１０４により算出された操作量に応じた駆動電圧を電極に印加する。これにより最大光強度を得る制御電圧を求めることが可能となり、１回の摂動で探索を終了して高速なスイッチングを実現することができるので、結果として、高速に光接続強度の最適値を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】 所望の光路を形成するように光学系中に配置することが可能な空間光変調ユニットを提供すること。
【解決手段】 空間光変調ユニットＳＭ１は、光学系中に配置可能であって、且つ当該光学系の光軸に沿って配置可能である。空間光変調ユニットＳＭ１は、光学系の光軸Ａｘと平行に入射した光を反射する第１の反射面Ｒ１１と、第１の反射面Ｒ１１で反射した光を反射する反射型の空間光変調器Ｓ１と、空間光変調器Ｓ１で反射した光を反射して光学系中に射出する第２の反射面Ｒ１２と、を備える。空間光変調器Ｓ１は、第１の反射面Ｒ１１で反射した光の当該空間光変調器Ｓ１に入射する位置に応じて、その光に空間的な変調を与える。 （もっと読む）

【課題】省電力化を図りつつ、大きい駆動力で可動板を回動させることができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の軸部材２３、２４とを有している。また、アクチュエータ１は、可動板２１の下面側に設けられた永久磁石５１とコイル５２とを有している。永久磁石５１は、回動中心軸Ｘと異なる方向に磁化されている。また、永久磁石５１は、コイル５２の内側に位置している。 （もっと読む）

【課題】逆止弁を備えた減圧封止が可能な構造を構成し、揺動体のジッタを低減する一方、揺動体の制御性を保持することが可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、
前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、
前記筐体には、該筐体の内部から外部に気体を通す逆止弁が一つ以上設けられ、
前記逆止弁によって減圧封止した前記筐体の内部に前記揺動体を配設することによって、該揺動体のジッタを低減する一方、制御性が保持可能とされた構成とする。 （もっと読む）

【課題】光の常時照射による受光素子の温度上昇を防ぐことが可能な技術を提供する。
【解決手段】投光装置１は、レーザ光を発する赤外線半導体レーザと、入射されたレーザ光を伝送する光伝送路と、赤外線半導体レーザと光伝送路との間に配置され、レーザ光を光伝送路に向けて集光させる光学素子と、光学素子を移動させて、レーザ光の集光位置を変位させる変位手段と、光伝送路からの出射光を周期的に走査して投光面に画像信号に応じた画像を表示させる光走査手段ＬＳと、光走査手段ＬＳによって走査された出射光を断続的に受光する受光素子ＰＤ１と、受光素子ＰＤ１の出力信号に応じて変位手段を制御し、レーザ光の集光位置を光伝送路の入射口に導く制御部ＣＮとを備えている。これによれば、受光素子ＰＤ１は断続的に出射光を受光するので、光の常時照射による受光素子の温度上昇を防ぐことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】減圧封止が可能な構造を構成して揺動体のジッタを低減するに際し、大気圧時の２倍から３倍のＱ値を確保し、制御性の保持が可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、前記揺動体は、大気圧時の２倍から３倍のＱ値を確保可能に減圧封止した前記筐体の内部に配設されている構成とする。 （もっと読む）

ディスプレイの前面上および／または裏面上に一体化されたパターン化光起電力（ＰＶ）材料（８１）を有するディスプレイが開示される。光は、ディスプレイ内の非アクティブ区域（１０３）を通って、ディスプレイの背後に位置するＰＶ材料（８１）に到達することができる。ディスプレイで発生された光も、ディスプレイの背後のＰＶ材料（８１）に到達することができる。ディスプレイの前に位置するパターン化ＰＶ材料（８１）が、周辺光ならびにディスプレイで発生された光の両方を集めることができる。
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【課題】内視鏡に搭載可能な小型の光走査素子を２軸方向にそれぞれ駆動可能に構成すると共に、光学系の開口率を上げることが可能な光走査素子および駆動方法、並びに光走査プローブを提供する。
【解決手段】基板上に支持された微小ミラー２９を物理的作用力によって揺動させる光走査素子であって、基板上で該基板の面に平行な第１の軸を中心として揺動変位可能に支持された第１可動部１１と、第１可動部１１上に一体に配置され、第１の軸とは直交する第２の軸を中心として揺動変位可能に支持されるともに、上面に微小ミラー２９を備えた第２可動部１３と、第１可動部１１および第２可動部１３に物理的作用力を印加することで、微小ミラー２９を第１の軸及び前記第２の軸方向を中心とする２軸方向に揺動変位させる駆動手段３１，３３，３５，３６，・・・と、を具備した。 （もっと読む）